JPH071342A - 自在総型砥石とこれを用いた電解ドレッシング方法 - Google Patents
自在総型砥石とこれを用いた電解ドレッシング方法Info
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- JPH071342A JPH071342A JP14718793A JP14718793A JPH071342A JP H071342 A JPH071342 A JP H071342A JP 14718793 A JP14718793 A JP 14718793A JP 14718793 A JP14718793 A JP 14718793A JP H071342 A JPH071342 A JP H071342A
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Abstract
間に安価に製造することができる自在総型砥石とこれを
用いた電解ドレッシング方法を提供する。 【構成】 自在総型砥石10が、回転するスピンドル2
に固定されるようになった砥石ホルダー4と、砥石ホル
ダーに取り付けられる複数の円板状砥石エレメント6と
からなり、砥石ホルダーは、円筒状取付面4bと、取付
面の一端に設けられた鍔部4cと、その他端に設けられ
たネジ部4dとを有し、複数の砥石エレメントは、取付
面と嵌合する貫通孔を有する金属部7と、該金属部の外
周部分に形成されたメタルボンド砥石部8とを有し、砥
石ホルダーの取付面に複数の砥石エレメントの貫通孔が
挿入され、砥石ホルダーのネジ部と螺合するナット5に
より鍔部との間に複数の砥石エレメントを挟持する。
Description
自在総型砥石とこれを用いた電解ドレッシング方法に関
する。
の導電性砥石を用い、この砥石に電圧を印加し、砥石を
電解によりドレッシングする導電性砥石の電解ドレッシ
ング方法及び装置が、本願と同一の出願人による特開平
1-188266号( 特願昭63-12305号) に開示され、電子材料
であるシリコン等の半導体材料を鏡面研削することに成
功している。更に、この方法及び装置を発展させた電解
インプロセスドレッシング研削法(Electrolytic Inproc
ess Dressing: 以下 ELID 研削法という) と呼ばれる方
法及び装置が本願出願人により開発され、発表されてい
る( 理研シンボジウム「鏡面研削の最新技術動向」、平
成3年3月5日開催)。この ELID 研削法は、ワークと
の接触面を有する砥石と、接触面に対向する電極と、砥
石と電極との間に導電性液を流すノズルと、砥石と電極
との間に電圧を印加する電源及び給電体とからなる装置
を用い、砥石と電極との間に導電性液を流しながら、砥
石と電極との間に電圧を印加し、砥石を電解によりドレ
ッシングするものである。この ELID 研削法によるドレ
ッシングの機構を図5に示す。砥石の目立て開始時
(A)には、砥石と電極との間の電気抵抗が少なく比較
的大きい電流(5〜10A)が流れる。これにより、電
解効果により砥石表面の金属部(ボンド)が溶解し、非
導電性のダイヤモンド砥粒が突出する。更に、通電を続
けると、酸化鉄(Fe2O3)を主とした絶縁被膜が砥石表面
に形成され、砥石の電気抵抗が大きくなる。これによ
り、電流が低下し、ボンドの溶解が減り、砥粒の突出
(砥石の目立て)が実質的に終了する(B)。この状態
で研削を開始する(C)と、被膜が研削屑を遊離しつ
つ、ワークの研削につれてダイヤモンド砥粒が摩耗して
いく。更に研削を続けると(D)、砥石表面の絶縁被膜
が摩耗により除去され、砥石の電気抵抗が低下し、砥石
と電極間の電流が増大し、ボンドの溶解が増し、砥粒の
突出(砥石の目立て)が再開される。従って、 ELID 研
削法による研削中には、(B)〜(D)のように被膜の
形成・除去によりボンドの過溶出が抑えられ、砥粒の突
出(砥石の目立て)が自動的に調整される。(B)〜
(D)に示したサイクルを以下 ELID サイクルと呼ぶ。
上述した ELID 研削法では砥粒を細かくしても ELID サ
イクルによる砥石の目立てにより砥石に目詰まりが生じ
ないので、砥粒を細かくすれば鏡面のような極めて優れ
た加工面を研削加工により得ることができる。従って、
ELID 研削法は、高能率研削から鏡面研削に至るまで砥
石の切れ味を維持でき、研削を多用する金型加工への適
用が期待されている。
は、従来、砥粒、メタルボンド等の混合物を成形し焼結
させた高強度のメタルボンド超砥粒砥石を用いるため、
砥石を必要な形状に仕上げるのが困難である問題点があ
った。すなわち、かかる高強度の砥石の加工は、通常放
電加工による必要があるが、この放電加工の工程におい
て加工する砥石形状に対応した電極を製作し、これを放
電加工により転写して砥石を加工するため、放電加工用
電極を含めた砥石の製作に時間と費用がかかる問題点が
あった。更に、 ELID 研削に使用する電極も砥石形状に
一致させて精密に製作する必要であり、この ELID 研削
用電極の製作にも時間と費用がかかる問題点があった。
更に、従来の ELID 研削用砥石は、使用によりエッジ部
分が丸くなると、その修正が困難である問題点があっ
た。本発明はかかる問題点を解決するために創案された
ものである。すなわち、本発明の目的は、種々の砥石形
状に対応することができ、短時間に安価に製造すること
ができる電解ドレッシング用の自在総型砥石とこれを用
いた電解ドレッシング方法を提供することにある。
るスピンドルに固定されるようになった砥石ホルダー
と、該砥石ホルダーに取り付けられる複数の円板状砥石
エレメントとからなり、前記砥石ホルダーは、円筒状取
付面と、該取付面の一端に設けられた鍔部と、その他端
に設けられたネジ部とを有し、前記複数の砥石エレメン
トは、前記取付面と嵌合する貫通孔を有する金属部と、
該金属部の外周部分に形成されたメタルボンド砥石部と
を有し、前記砥石ホルダーの取付面に前記複数の砥石エ
レメントの貫通孔が挿入され、前記砥石ホルダーのネジ
部と螺合するナットにより前記鍔部との間に前記複数の
砥石エレメントを挟持する、ことを特徴とする自在総型
砥石が提供される。本発明の好ましい実施例によれば、
前記メタルボンド砥石部の外周面は、円筒面、切頭円錐
面、或いは円弧面である。更に、本発明によれば、回転
するスピンドルに固定されるようになった砥石ホルダー
と、該砥石ホルダーに取り付けられる複数の円板状砥石
エレメントとからなり、前記砥石ホルダーは、円筒状取
付面と、該取付面の一端に設けられた鍔部と、その他端
に設けられたネジ部とを有し、前記複数の砥石エレメン
トは、前記取付面と嵌合する貫通孔を有する金属部と、
該金属部の外周部分に形成されたメタルボンド砥石部と
を有し、前記砥石ホルダーの取付面に前記複数の砥石エ
レメントの貫通孔が挿入され、前記砥石ホルダーのネジ
部と螺合するナットにより前記鍔部との間に前記複数の
砥石エレメントを挟持する、自在総型砥石を備え、前記
自在総型砥石によりグラファイト材を研削して自在総型
砥石の外周面と同一の断面形状を有する電解ドレッシン
グ用電極を成形し、前記自在総型砥石でワークを研削し
ながら、前記自在総型砥石と電極との間に導電性液を流
して電解ドレッシングすることを特徴とする電解ドレッ
シング方法が提供される。前記自在総型砥石を用いてス
ライド雌部を研削加工し、次いで前記自在総型砥石の複
数の砥石エレメントの組み合わせを変えて前記スライド
雌部に嵌合するスライド雄部を研削加工する、ことが好
ましい。
基本的な形状、すなわち、平、テーパ、円弧からなるこ
とに着目した。すなわち、上記本発明の構成によれば、
スピンドルに固定される砥石ホルダーと、これに取り付
けられる複数の円板状砥石エレメントとから自在総型砥
石を構成し、円筒面、切頭円錐面、或いは円弧面の外周
面を有する複数の砥石エレメントの組み合わせによって
種々の砥石形状に対応することができる。従って、基本
的な形状の放電加工用電極により、複数の円板状砥石エ
レメントを予め準備しておけば、放電加工用電極を含め
た砥石の製作時間と費用を大幅に低減することができ
る。また、砥石のエッジ部分が使用により丸くなって
も、複数の砥石エレメントの個々の外周面は比較的簡単
な形状であり、容易に修正することができる。更に、か
かる自在総型砥石を備え、この自在総型砥石によりグラ
ファイト材を研削して自在総型砥石の外周面と同一の断
面形状を有する電解ドレッシング用電極を成形し、自在
総型砥石でワークを研削しながら、自在総型砥石と電極
との間に導電性液を流して電解ドレッシングすることに
より、従来別個に製作する必要があった ELID 研削用電
極を簡単に準備することができ、電極の製作時間と費用
が大幅に低減できる。
お、各図において共通する部分には同一の符号を付して
使用する。図1は、本発明による自在総型砥石の全体断
面図である。この図において、本発明による自在総型砥
石10は、回転するスピンドル2に固定されるようにな
った砥石ホルダー4と、この砥石ホルダー4に取り付け
られる複数の円板状砥石エレメント6とからなる。スピ
ンドル2はテーパ状取付面2aを有しており、この取付
面2aに砥石ホルダー4の中心テーパ孔4aを嵌め、締
付けナット3をスピンドル2の端面の雌ネジに螺合させ
ることにより砥石ホルダー4をスピンドル2に強固に固
定することができる。
該取付面4bの一端に設けられた鍔部4cと、その他端
に設けられたネジ部4dとを有する。また、砥石エレメ
ント6はそれぞれ、前記取付面4bと嵌合する貫通孔7
aを有する金属部7と、該金属部7の外周部分に形成さ
れたメタルボンド砥石部8とを有する。砥石ホルダー4
の取付面4bに複数の砥石エレメント6の貫通孔7aを
挿入し、砥石ホルダー4のネジ部4dと螺合するナット
5を締めつけることによりナット5と鍔部4cとの間に
複数の砥石エレメント6を挟持し、複数の砥石エレメン
ト6を砥石ホルダー4と一体化し、スピンドル2の回転
を複数の砥石エレメント6に伝達することができる。更
に図1に示すように、各砥石エレメント6が軸方向に整
合した位置に複数の貫通孔を有し、この貫通孔に複数の
固定ボルト9(図には1本のみ示す)をそれぞれ通し、
砥石ホルダー4の鍔部4cの雌ネジと螺合させることに
より、複数の砥石エレメント6と砥石ホルダー4との連
結を更に強化することができる。複数の砥石エレメント
6のメタルボンド砥石部8の外周面は、図1に例示する
ように例えば円筒面(平)、切頭円錐面(テーパ)、円
弧面(R)である。しかし、本発明はこれに限定され
ず、厚さ及び/又は外径の異なる種々の砥石エレメント
6を自由に組み合わせることができ、かつ外周面形状も
平、テーパ、R、以外の自由な形状のものを組み合わせ
てもよい。上述した構成により、複数の砥石エレメント
の組み合わせによって種々の砥石形状に対応することが
できる。従って、基本的な形状の放電加工用電極によ
り、複数の円板状砥石エレメントを予め準備しておけ
ば、放電加工用電極を含めた砥石の製作時間と費用を大
幅に低減することができる。また、砥石のエッジ部分が
使用により丸くなっても、複数の砥石エレメントの個々
の外周面は比較的簡単な形状であり、容易に修正するこ
とができる。
た電解ドレッシング方法を示す図である。最初に図2
(A)に示す複数の砥石エレメント6から所望の組み合
わせにより自在総型砥石10を準備する。次いで、この
自在総型砥石10をスピンドル2に取り付けて適当なグ
ラファイト材を研削し、自在総型砥石10の外周面と同
一の断面形状を有する電解ドレッシング用電極12を成
形する。更に、この電極12を砥石10からわずかに間
隔を隔ててに対向させ、自在総型砥石10でワーク1を
研削しながら、自在総型砥石10と電極12との間にノ
ズル14から導電性液を流して電解ドレッシングする。
かかる方法により、従来別個に製作する必要があった電
解ドレッシング用電極を簡単に準備することができ、電
極の製作時間と費用が大幅に低減できる。
ド雌部とスライド雄部を研削加工した実施例を示す図で
ある。この例では、図3(A)に示す3つの砥石エレメ
ント6からなる自在総型砥石10を用いてスライド雌部
16を研削加工し、次いで図3(B)に示すように自在
総型砥石10の複数の砥石エレメント6の組み合わせを
変えてスライド雌部16に嵌合するスライド雄部18を
研削加工した。かかる方法により、従来のように、スラ
イド雌部とスライド雄部を別々に研削加工した場合に比
べて高い精度で互いに嵌合するスライド雌部とスライド
雄部を研削することができた。
材20を研削した実施例を示す図である。この例では、
4つの砥石エレメント6からなる自在総型砥石10を用
いて円筒面の外周部を研削加工し、高精度の研削面を得
ることができた。かかる研削において、砥石のエッジ部
分が使用により丸くなっても、複数の砥石エレメントの
個々の外周面は比較的簡単な形状であり、容易に修正す
ることができた。
の砥石エレメントの組み合わせによって種々の砥石形状
に対応することができ、従って、基本的な形状の放電加
工用電極により、複数の円板状砥石エレメントを予め準
備しておけば、放電加工用電極を含めた砥石の製作時間
と費用を大幅に低減することができる。また、砥石のエ
ッジ部分が使用により丸くなっても、容易に修正するこ
とができる。更に、かかる自在総型砥石によりグラファ
イト材を研削して自在総型砥石と同一の断面形状を有す
る電極を成形することにより、従来別個に製作する必要
があった電極を簡単に準備することができ、電極の製作
時間と費用が大幅に低減できる。従って、本発明の自在
総型砥石とこれを用いた電解ドレッシング方法は、種々
の砥石形状に対応することができ、短時間に安価に製造
することができる、等の優れた効果を有する。
る。
シング方法を示す図である。
発明の実施例を示す図である。
る。
明図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 回転するスピンドルに固定されるように
なった砥石ホルダーと、該砥石ホルダーに取り付けられ
る複数の円板状砥石エレメントとからなり、 前記砥石ホルダーは、円筒状取付面と、該取付面の一端
に設けられた鍔部と、その他端に設けられたネジ部とを
有し、 前記複数の砥石エレメントは、前記取付面と嵌合する貫
通孔を有する金属部と、該金属部の外周部分に形成され
たメタルボンド砥石部とを有し、 前記砥石ホルダーの取付面に前記複数の砥石エレメント
の貫通孔が挿入され、前記砥石ホルダーのネジ部と螺合
するナットにより前記鍔部との間に前記複数の砥石エレ
メントを挟持する、ことを特徴とする自在総型砥石。 - 【請求項2】 前記メタルボンド砥石部の外周面は、円
筒面、切頭円錐面、或いは円弧面である、ことを特徴と
する請求項1に記載の自在総型砥石。 - 【請求項3】 回転するスピンドルに固定されるように
なった砥石ホルダーと、該砥石ホルダーに取り付けられ
る複数の円板状砥石エレメントとからなり、前記砥石ホ
ルダーは、円筒状取付面と、該取付面の一端に設けられ
た鍔部と、その他端に設けられたネジ部とを有し、前記
複数の砥石エレメントは、前記取付面と嵌合する貫通孔
を有する金属部と、該金属部の外周部分に形成されたメ
タルボンド砥石部とを有し、前記砥石ホルダーの取付面
に前記複数の砥石エレメントの貫通孔が挿入され、前記
砥石ホルダーのネジ部と螺合するナットにより前記鍔部
との間に前記複数の砥石エレメントを挟持する、自在総
型砥石を備え、 前記自在総型砥石によりグラファイト材を研削して自在
総型砥石の外周面と同一の断面形状を有する電解ドレッ
シング用電極を成形し、 前記自在総型砥石でワークを研削しながら、前記自在総
型砥石と電極との間に導電性液を流して電解ドレッシン
グすることを特徴とする電解ドレッシング方法。 - 【請求項4】 前記自在総型砥石を用いて互いに嵌合す
るスライド雄部とスライド雌部の一方を研削加工し、次
いで前記自在総型砥石の複数の砥石エレメントの組み合
わせを変えてスライド雄部とスライド雌部の他方を研削
加工する、ことを特徴とする請求項3に記載の電解ドレ
ッシング方法。
Priority Applications (1)
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JP14718793A JP3295896B2 (ja) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | 自在総型砥石を用いた電解ドレッシング方法 |
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JP3295896B2 JP3295896B2 (ja) | 2002-06-24 |
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JP14718793A Expired - Fee Related JP3295896B2 (ja) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | 自在総型砥石を用いた電解ドレッシング方法 |
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1993
- 1993-06-18 JP JP14718793A patent/JP3295896B2/ja not_active Expired - Fee Related
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