JPH02232156A - ワイヤ式切断機におけるワイヤ張力保持方法 - Google Patents
ワイヤ式切断機におけるワイヤ張力保持方法Info
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- JPH02232156A JPH02232156A JP5338889A JP5338889A JPH02232156A JP H02232156 A JPH02232156 A JP H02232156A JP 5338889 A JP5338889 A JP 5338889A JP 5338889 A JP5338889 A JP 5338889A JP H02232156 A JPH02232156 A JP H02232156A
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- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
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- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0069—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of devices for tensioning saw wires
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はワイヤ式切断機におけるワイヤ張力保持方法に
間する． 〔従来の技術〕 従来のワイヤ式切断機の一例の概略を第４図に示す．こ
のワイヤ式切断機５０は例えば３個の溝ローラ５１．５
２．５３にワイヤＳを所定ピッチを以て螺旋状に巻付け
、一端を一方の巻取りール５４に、また他端を他方の巻
取リール５５に巻付ける．５６．５７はキャブスタン、
５８．５９は定張力設定用ダンサローラ、６０，６ｌは
弱張力設定用ダンサローラを示し、定張力設定用ダンサ
ローラ５８．５９はキャブスタン５６．５７のそれぞれ
の駆勤モータ６６，６７の駆動規制用、また弱張力設定
用ダンサローラ８０．６１は巻取リール５４．５５のそ
れぞれの駆動モータ６２，６３の駆動規制用である。
間する． 〔従来の技術〕 従来のワイヤ式切断機の一例の概略を第４図に示す．こ
のワイヤ式切断機５０は例えば３個の溝ローラ５１．５
２．５３にワイヤＳを所定ピッチを以て螺旋状に巻付け
、一端を一方の巻取りール５４に、また他端を他方の巻
取リール５５に巻付ける．５６．５７はキャブスタン、
５８．５９は定張力設定用ダンサローラ、６０，６ｌは
弱張力設定用ダンサローラを示し、定張力設定用ダンサ
ローラ５８．５９はキャブスタン５６．５７のそれぞれ
の駆勤モータ６６，６７の駆動規制用、また弱張力設定
用ダンサローラ８０．６１は巻取リール５４．５５のそ
れぞれの駆動モータ６２，６３の駆動規制用である。
また６４は溝ローラ５ｌの駆動用モータ、６５は被切断
物Ｗの昇降装置である。
物Ｗの昇降装置である。
上記構成において、例えば５台の七一夕６２，６３．６
４．６６．６７を駆動し、ワイヤＳを矢符方向に移行し
、被切断物Ｗを昇降装置６５によって徐々に押し上げ、
ワイヤＳに切削液を添加し、ラッピング作用により切削
を行い、同時に多数のウエハー状に切断する． この場合溝ローラ５１〜５３に巻かれるワイヤＳは、切
断のための所要の張力（例えば４ ｔｔｇ〜２ ｋｇ
）を必要とする．しかし巻取リール５４．５５にこの張
力を付与するときはボビンは変形するか又はそれに耐え
る高強度，高重量，大径のボビンにする必要がある．こ
のため上記キャブスタン５６．５７を配し、溝ローラ側
のワイヤ張力を遮断し、巻取リール側は弱張力設定用ダ
ンサローラ６０．６１により弱張力（例えば２ ｋｇ以
下）に設定する． 〔発明が解決しようとする課題〕 上記キャブスタンの概略を第５（！Ｉに示す．このキャ
ブスタン５６は駆勤モータ６６に接続される多条駆動ブ
ーリ（例えば６条ブーリ）７１と、これに対向する各個
独立したガイドブーリ群７２とを備え、ワイヤＳはこれ
らブーリに亘って巻回されている．図においてブーりｌ
ｉｉ７１ａをダンサローラ５８を経て溝ローラ５１１１
ｍに、またブーり溝７ｌｂはダンサローラ６０を介して
巻取リール６４側とする．この場合ブーり溝７１ａはワ
イヤの引出し時には高張力側となり、ブーり溝７１ａは
他方のブーリ溝７ｌｂに比し摩耗が大である．従って長
期使用に際してはブーりｔｆＡ ７ １ ａは小径とな
り、ブーり溝７１ａによる引込み量よりもブーり溝７ｌ
ｂによる送り出し量が大となる．即ちキャブスタン内に
おいてワイヤは引張られ切断する等の問題がある。
４．６６．６７を駆動し、ワイヤＳを矢符方向に移行し
、被切断物Ｗを昇降装置６５によって徐々に押し上げ、
ワイヤＳに切削液を添加し、ラッピング作用により切削
を行い、同時に多数のウエハー状に切断する． この場合溝ローラ５１〜５３に巻かれるワイヤＳは、切
断のための所要の張力（例えば４ ｔｔｇ〜２ ｋｇ
）を必要とする．しかし巻取リール５４．５５にこの張
力を付与するときはボビンは変形するか又はそれに耐え
る高強度，高重量，大径のボビンにする必要がある．こ
のため上記キャブスタン５６．５７を配し、溝ローラ側
のワイヤ張力を遮断し、巻取リール側は弱張力設定用ダ
ンサローラ６０．６１により弱張力（例えば２ ｋｇ以
下）に設定する． 〔発明が解決しようとする課題〕 上記キャブスタンの概略を第５（！Ｉに示す．このキャ
ブスタン５６は駆勤モータ６６に接続される多条駆動ブ
ーリ（例えば６条ブーリ）７１と、これに対向する各個
独立したガイドブーリ群７２とを備え、ワイヤＳはこれ
らブーリに亘って巻回されている．図においてブーりｌ
ｉｉ７１ａをダンサローラ５８を経て溝ローラ５１１１
ｍに、またブーり溝７ｌｂはダンサローラ６０を介して
巻取リール６４側とする．この場合ブーり溝７１ａはワ
イヤの引出し時には高張力側となり、ブーり溝７１ａは
他方のブーリ溝７ｌｂに比し摩耗が大である．従って長
期使用に際してはブーりｔｆＡ ７ １ ａは小径とな
り、ブーり溝７１ａによる引込み量よりもブーり溝７ｌ
ｂによる送り出し量が大となる．即ちキャブスタン内に
おいてワイヤは引張られ切断する等の問題がある。
本発明はかかる点に鑑み、上記キャブスタンを省略し、
かつ溝ローラ群間のワイヤに対する高張力と、巻取リー
ルに対する低張力をそれぞれ保持することを目的とする
． （課題を解決するための手段〕 上記目的を達成するための本発明のワイヤ張力保持方法
は巻取リールに近接して配備したワイヤ張力設定用ダン
サローラと溝ローラ間の繰出側に制動機構を配備し、該
制動機構により繰出されるワイヤに所要の走行抵抗を付
与するようにしたものである． 〔作 用〕 キャブスタンを省き制動機構を設けることにより、繰出
されるワイヤに走行抵抗を付与し満車内においては所要
の張力を、そして巻取リールにはこれより低い所要の張
力を付与して巻付けることができる。
かつ溝ローラ群間のワイヤに対する高張力と、巻取リー
ルに対する低張力をそれぞれ保持することを目的とする
． （課題を解決するための手段〕 上記目的を達成するための本発明のワイヤ張力保持方法
は巻取リールに近接して配備したワイヤ張力設定用ダン
サローラと溝ローラ間の繰出側に制動機構を配備し、該
制動機構により繰出されるワイヤに所要の走行抵抗を付
与するようにしたものである． 〔作 用〕 キャブスタンを省き制動機構を設けることにより、繰出
されるワイヤに走行抵抗を付与し満車内においては所要
の張力を、そして巻取リールにはこれより低い所要の張
力を付与して巻付けることができる。
第１図及び第２図は本発明の実施例を示す．ワイヤ式切
断機１は周知構造を同様に３個の溝ローラ２， ３．
４にワイヤＳを所定ピッチの螺旋状に巻付け、一端
を一方の巻取りール５に、また他端を他の巻取リール６
に巻付ける．７は溝ローラ２の駆動モータ、８，９は巻
取リール駆動用の制動機付可変速モータである．また１
０，１１は張力付与ダンサローラであり、この位置を検
出し、該リール駆勤モータ８，９の回動を規制する． 上記満ローラ２， ３． ４とダンサローラ１ ０
，ｌｌ間にはそれぞれ制動機構１２．１３を配備する．
本実施例の制動機構は多数のアイドルローラを以て構成
したもので第２図に示す．この制動機構１２は相対する
支軸１４．１５にそれぞれ多数のアイドルローラ１６ａ
，１６ｂΦ●・、１７ａ，１７ｂを回勤自在に支持し、
両アイドルローラｌｅａ，１６ｂ＝、１ ７ ａ，１７
ｂ−●φに亘ってワイヤを巻回したものである．他方の
制動機構ｌ３も同一構造であるが、巻取側となるので使
用せず、ｌコのローラのみをガイドローラとして使用す
る．構造の説明は同一構造なので省略する．なお２０は
ガイドローラ、２ｌは被加工物Ｗの昇降装置である．上
記制動機構ｌ２によるワイヤＳに対する制動力（引張り
張力）は、溝ローラ２， ３． ４閏のワイヤ張力
とボビン巻け張力との差を補償するものである．即ち上
記溝ローラ群閏のワイヤ張力は切断に必要な張力であり
、例えば２．５ｋｇ以上を必要とする。しかし巻取リー
ルに巻付けるときは例えば２．５ｋｇ以上の張力で巻付
けると、ボビンの変形により崩れを生じゃすくなる欠点
がある．このため例えば巻取リールへの巻付許容張力を
２ ． ０ ｋｇとするとその差５００ ｇを制動機構
によりワイヤに付与するものである．上記アイドルロー
ラ１６ａ，１６ｂ●●●！７ａ，１７ｂ・・・にょる所
要のルＪ勤力（張力）を得るための取付個数の決定要領
は次の通りである． 例えば溝ローラ２， ３． ４間のワイヤ張カを２
． ５ ｋｇ、’Ｊ−ル５． ６（７）巻取り張力
ヲ２．０ｋｇ、即ちその張力差を５００ｇとする．上記
アイドルローラの回転力は実験の結果３０〜５０ ｇ／
個である．なおこの数値はガイドローラ２ｏも略同様で
ある．従ってこの張力差５００ｇを得るためには、アイ
ドルローラ及びガイドローラの平均回転力を４０８／個
として１２〜１３個配置すればよい．図はその一例とし
てアイドルローラ１６ｅｂ，１６ｂ・・・を６個、アイ
ドルローラ１７ａ，１７ｂ・・・を５個用いたものであ
る。上記張力差を５００８以上とするときは、それに応
じてアイドルローラを増せばよい． 上記構成において、運転に際しては各駆勤モータ？，
８． ９を作動し、巻取リール６からワイヤＳを矢
符方向に引き出す。このときワイヤには張力付与ダンサ
ー１１により引張り張力（約２ ｋｇ ）が加えられる
． 溝ローラ２． ３． ４には更に制動機構ｌ２にお
ける制動力（約０．５ｋｇ）が付加されて約２．５ｋｇ
の張力を以てワイヤＳが巻回される．溝ローラ群から繰
出されるワイヤＳは、同時に他方の巻取リール５の駆動
モータ８の作動により巻取られる．ただしこの場合、張
力付与ダンサローラＩＯの作動により前述の許容巻取張
力（約２ｋｇ）にて巻取られる． 上記巻取リール６のワイヤ終了時または切断終了時等に
はワイヤＳの走行方向を切り換える．この時制動機構１
３のアイドルローラ群にはワイヤを巻回し、制動機構１
２側は巻取側となるので、ローラ群の巻回を外し、ｌコ
のみをガイドローラとして使用する． 次に第３図は制動機構の他の例を示す．この制動機構３
０は電気制動により走行ワイヤＳに抵抗を付与するよう
にしたもので、電磁ブレーキ３１に接続される主ブー９
３２とガイドブーリ３３．３４とからなる．電磁ブレー
キ３１は主ブーり３２をこれに懸架されるワイヤＳに対
し例えば５００ ｇの張力により回勤されるよう印加電
力を規制するようにしたものである．この制動機構３０
を第１図における制動機構１２及びｌ３と置換する．そ
の作用は前述と同様であり、説明を省略するが、ワイヤ
の繰出側、巻取側と交わる毎のワイヤのアイドルローラ
群への巻回や、巻外し作業が不要で、電気の印加のＯＮ
−ＯＦＦで済まされる簡易さがある．なおこの電磁ブレ
ーキ３１に換えて機械式ブレーキとしても勿論可能であ
り、これらは本発明の趣旨を逸脱しない範囲で設計変更
することができる．また、ワイヤ走行方向の逆転をせず
に常に同一方向にしかワイヤを走行させない場合には、
一方の制動機構は不要である．〔発明の効果〕 本発明による時は、従来のキャブスタンに代えて制動機
構により溝ローラ間のワイヤ張力と巻取リールに巻付け
る張力との差を補償するようにしたから、上記キャブス
タンにおける複数のブーリ溝のそれぞれの摩耗量の相違
によるワイヤ切断事故の発生を防止することができる．
また上記制動機構として多数のアイドルローラを組み合
わせて使用するときは、それぞれのローラが摩耗による
径の変化を生じても、ワイヤに対し影響を及ぼすことが
なく、かつ変換容易であり、ワイヤ切断機の構成を簡素
化することができる．又ワイヤ用ボビンを高強度，高１
量，大径にする必要がない等の効果を有する．
断機１は周知構造を同様に３個の溝ローラ２， ３．
４にワイヤＳを所定ピッチの螺旋状に巻付け、一端
を一方の巻取りール５に、また他端を他の巻取リール６
に巻付ける．７は溝ローラ２の駆動モータ、８，９は巻
取リール駆動用の制動機付可変速モータである．また１
０，１１は張力付与ダンサローラであり、この位置を検
出し、該リール駆勤モータ８，９の回動を規制する． 上記満ローラ２， ３． ４とダンサローラ１ ０
，ｌｌ間にはそれぞれ制動機構１２．１３を配備する．
本実施例の制動機構は多数のアイドルローラを以て構成
したもので第２図に示す．この制動機構１２は相対する
支軸１４．１５にそれぞれ多数のアイドルローラ１６ａ
，１６ｂΦ●・、１７ａ，１７ｂを回勤自在に支持し、
両アイドルローラｌｅａ，１６ｂ＝、１ ７ ａ，１７
ｂ−●φに亘ってワイヤを巻回したものである．他方の
制動機構ｌ３も同一構造であるが、巻取側となるので使
用せず、ｌコのローラのみをガイドローラとして使用す
る．構造の説明は同一構造なので省略する．なお２０は
ガイドローラ、２ｌは被加工物Ｗの昇降装置である．上
記制動機構ｌ２によるワイヤＳに対する制動力（引張り
張力）は、溝ローラ２， ３． ４閏のワイヤ張力
とボビン巻け張力との差を補償するものである．即ち上
記溝ローラ群閏のワイヤ張力は切断に必要な張力であり
、例えば２．５ｋｇ以上を必要とする。しかし巻取リー
ルに巻付けるときは例えば２．５ｋｇ以上の張力で巻付
けると、ボビンの変形により崩れを生じゃすくなる欠点
がある．このため例えば巻取リールへの巻付許容張力を
２ ． ０ ｋｇとするとその差５００ ｇを制動機構
によりワイヤに付与するものである．上記アイドルロー
ラ１６ａ，１６ｂ●●●！７ａ，１７ｂ・・・にょる所
要のルＪ勤力（張力）を得るための取付個数の決定要領
は次の通りである． 例えば溝ローラ２， ３． ４間のワイヤ張カを２
． ５ ｋｇ、’Ｊ−ル５． ６（７）巻取り張力
ヲ２．０ｋｇ、即ちその張力差を５００ｇとする．上記
アイドルローラの回転力は実験の結果３０〜５０ ｇ／
個である．なおこの数値はガイドローラ２ｏも略同様で
ある．従ってこの張力差５００ｇを得るためには、アイ
ドルローラ及びガイドローラの平均回転力を４０８／個
として１２〜１３個配置すればよい．図はその一例とし
てアイドルローラ１６ｅｂ，１６ｂ・・・を６個、アイ
ドルローラ１７ａ，１７ｂ・・・を５個用いたものであ
る。上記張力差を５００８以上とするときは、それに応
じてアイドルローラを増せばよい． 上記構成において、運転に際しては各駆勤モータ？，
８． ９を作動し、巻取リール６からワイヤＳを矢
符方向に引き出す。このときワイヤには張力付与ダンサ
ー１１により引張り張力（約２ ｋｇ ）が加えられる
． 溝ローラ２． ３． ４には更に制動機構ｌ２にお
ける制動力（約０．５ｋｇ）が付加されて約２．５ｋｇ
の張力を以てワイヤＳが巻回される．溝ローラ群から繰
出されるワイヤＳは、同時に他方の巻取リール５の駆動
モータ８の作動により巻取られる．ただしこの場合、張
力付与ダンサローラＩＯの作動により前述の許容巻取張
力（約２ｋｇ）にて巻取られる． 上記巻取リール６のワイヤ終了時または切断終了時等に
はワイヤＳの走行方向を切り換える．この時制動機構１
３のアイドルローラ群にはワイヤを巻回し、制動機構１
２側は巻取側となるので、ローラ群の巻回を外し、ｌコ
のみをガイドローラとして使用する． 次に第３図は制動機構の他の例を示す．この制動機構３
０は電気制動により走行ワイヤＳに抵抗を付与するよう
にしたもので、電磁ブレーキ３１に接続される主ブー９
３２とガイドブーリ３３．３４とからなる．電磁ブレー
キ３１は主ブーり３２をこれに懸架されるワイヤＳに対
し例えば５００ ｇの張力により回勤されるよう印加電
力を規制するようにしたものである．この制動機構３０
を第１図における制動機構１２及びｌ３と置換する．そ
の作用は前述と同様であり、説明を省略するが、ワイヤ
の繰出側、巻取側と交わる毎のワイヤのアイドルローラ
群への巻回や、巻外し作業が不要で、電気の印加のＯＮ
−ＯＦＦで済まされる簡易さがある．なおこの電磁ブレ
ーキ３１に換えて機械式ブレーキとしても勿論可能であ
り、これらは本発明の趣旨を逸脱しない範囲で設計変更
することができる．また、ワイヤ走行方向の逆転をせず
に常に同一方向にしかワイヤを走行させない場合には、
一方の制動機構は不要である．〔発明の効果〕 本発明による時は、従来のキャブスタンに代えて制動機
構により溝ローラ間のワイヤ張力と巻取リールに巻付け
る張力との差を補償するようにしたから、上記キャブス
タンにおける複数のブーリ溝のそれぞれの摩耗量の相違
によるワイヤ切断事故の発生を防止することができる．
また上記制動機構として多数のアイドルローラを組み合
わせて使用するときは、それぞれのローラが摩耗による
径の変化を生じても、ワイヤに対し影響を及ぼすことが
なく、かつ変換容易であり、ワイヤ切断機の構成を簡素
化することができる．又ワイヤ用ボビンを高強度，高１
量，大径にする必要がない等の効果を有する．
第１図及び第２図は本発明の実施例に間し、第１図はワ
イヤ式切断機におけるワイヤ張力保持要領の概略説明図
、第２図はアイドルローラ群の正面図、第３図は制動機
構の他の例の正面図、第４図及び第５図は従来例に関し
、第４図は従来のワイヤ式切断機におけるワイヤ張力保
持要領の概略説明図、第５図はキャブスタンの正面図で
ある． １はワイヤ式切断機、２， ３． ４は溝ローラ、
５，６は巻取リール、 １２． １３１ ３０は制
動機構、 １． ６ ａ， １ ６ ｂ
Ｉ１−１ ７ ａ， ！ ７ ｂ中・はアイド
ルローラ、Ｓはワイヤである．特許出願人 住友金属工
業株式会社
イヤ式切断機におけるワイヤ張力保持要領の概略説明図
、第２図はアイドルローラ群の正面図、第３図は制動機
構の他の例の正面図、第４図及び第５図は従来例に関し
、第４図は従来のワイヤ式切断機におけるワイヤ張力保
持要領の概略説明図、第５図はキャブスタンの正面図で
ある． １はワイヤ式切断機、２， ３． ４は溝ローラ、
５，６は巻取リール、 １２． １３１ ３０は制
動機構、 １． ６ ａ， １ ６ ｂ
Ｉ１−１ ７ ａ， ！ ７ ｂ中・はアイド
ルローラ、Ｓはワイヤである．特許出願人 住友金属工
業株式会社
Claims (2)
- （１）複数の溝ローラに所定ピッチを以て螺旋状に巻付
け、ワイヤの両端をそれぞれ巻取リールに巻付け、上記
溝ローラ間のワイヤに所定張力を付与しつつワイヤを走
行して切断を行なうワイヤ式切断機において、上記巻取
リールに近接して配備したワイヤ張力設定用ダンサロー
ラと溝ローラ間の繰出側に制動機構を配備し、該制動機
構により繰出されるワイヤに所要の走行抵抗を付与する
ことを特徴とするワイヤ式切断機におけるワイヤ張力保
持方法。 - （２）制動機構は多数のアイドルローラにより構成した
請求項１記載のワイヤ式切断機におけるワイヤ張力保持
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5338889A JPH02232156A (ja) | 1989-03-06 | 1989-03-06 | ワイヤ式切断機におけるワイヤ張力保持方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5338889A JPH02232156A (ja) | 1989-03-06 | 1989-03-06 | ワイヤ式切断機におけるワイヤ張力保持方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02232156A true JPH02232156A (ja) | 1990-09-14 |
Family
ID=12941442
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5338889A Pending JPH02232156A (ja) | 1989-03-06 | 1989-03-06 | ワイヤ式切断機におけるワイヤ張力保持方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02232156A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06226614A (ja) * | 1993-01-28 | 1994-08-16 | Seratetsuku Japan Kk | ピッチローラ |
| WO1997031765A1 (fr) * | 1996-02-28 | 1997-09-04 | Tokyo Rope Mfg. Co., Ltd. | Appareil et procede d'usinage a fil coupant |
| US5944007A (en) * | 1996-02-08 | 1999-08-31 | Tokyo Rope Mfg. Co., Ltd. | Wire type slicing machine and method |
| CN101670623A (zh) * | 2009-09-29 | 2010-03-17 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 线轮主轴 |
| EP2842676A1 (en) * | 2013-09-02 | 2015-03-04 | Applied Materials Switzerland Sàrl | Wire saw device |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63260757A (ja) * | 1987-04-16 | 1988-10-27 | Nippei Toyama Corp | ワイヤソ−装置 |
-
1989
- 1989-03-06 JP JP5338889A patent/JPH02232156A/ja active Pending
Patent Citations (1)
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| JPS63260757A (ja) * | 1987-04-16 | 1988-10-27 | Nippei Toyama Corp | ワイヤソ−装置 |
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