JPH02230085A - 電気抵抗炉 - Google Patents
電気抵抗炉Info
- Publication number
- JPH02230085A JPH02230085A JP4888589A JP4888589A JPH02230085A JP H02230085 A JPH02230085 A JP H02230085A JP 4888589 A JP4888589 A JP 4888589A JP 4888589 A JP4888589 A JP 4888589A JP H02230085 A JPH02230085 A JP H02230085A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heating chamber
- high temperature
- heated
- secondary heating
- heat generating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 85
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 claims description 7
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 34
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 12
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 abstract description 12
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 4
- YXTPWUNVHCYOSP-UHFFFAOYSA-N bis($l^{2}-silanylidene)molybdenum Chemical compound [Si]=[Mo]=[Si] YXTPWUNVHCYOSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NFYLSJDPENHSBT-UHFFFAOYSA-N chromium(3+);lanthanum(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Cr+3].[La+3] NFYLSJDPENHSBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910021343 molybdenum disilicide Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 239000011819 refractory material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Furnace Details (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は酸化雰囲気下で超高温の加熱を行なえる電気抵
抗炉に関する。
抗炉に関する。
［従来の技術］
酸化雰囲気下での加熱を行なえる電気抵抗炉としては、
炭化珪素発熱体やジルコニア発熱体、あるいは二珪化モ
リブデン、ランタンクロマイト等を備えたものが従来よ
り用いられている．このうち、炭化珪素発熱体は通常の
高温（例えば１５００℃程度以下）の加熱に用いられ、
ジルコニア発熱体、二珪化モリブデン、ランタンクロマ
イト等はそれよりも高い温度領域の加熱に用いられてい
る。
炭化珪素発熱体やジルコニア発熱体、あるいは二珪化モ
リブデン、ランタンクロマイト等を備えたものが従来よ
り用いられている．このうち、炭化珪素発熱体は通常の
高温（例えば１５００℃程度以下）の加熱に用いられ、
ジルコニア発熱体、二珪化モリブデン、ランタンクロマ
イト等はそれよりも高い温度領域の加熱に用いられてい
る。
［発明が解決しようとする課題］
二珪化モリブデンやランタンクロマイトを用いた電気抵
抗炉においては、１８００℃を超える超高温酸化雰囲気
を得ることはできなかった。また、ジルコニア発熱体は
低温領域での抵抗が大きく、低温領域では昇温速度が小
さいという問題があった． ［課題を解決するための手段］ 請求項（１）の電気抵抗炉は、高温抵抗発熱体を有する
１次加熱室と、超高温抵抗発熱体を備え、該１次加熱室
内に設置された２次加熱室とを具備してなるものである
。
抗炉においては、１８００℃を超える超高温酸化雰囲気
を得ることはできなかった。また、ジルコニア発熱体は
低温領域での抵抗が大きく、低温領域では昇温速度が小
さいという問題があった． ［課題を解決するための手段］ 請求項（１）の電気抵抗炉は、高温抵抗発熱体を有する
１次加熱室と、超高温抵抗発熱体を備え、該１次加熱室
内に設置された２次加熱室とを具備してなるものである
。
請求項（２）の電気抵抗炉は、請求項（１）の電気抵抗
炉において２次加熱室の少なくとも天井部に空洞部を設
け、この空洞部に冷却ガスを流通させるようにしたこと
を特徴とするものである。
炉において２次加熱室の少なくとも天井部に空洞部を設
け、この空洞部に冷却ガスを流通させるようにしたこと
を特徴とするものである。
［作用］
請求項（１）の電気抵抗炉においては、炭化珪素発熱体
等の昇温速度の大きい高温抵抗発熱体により１次加熱室
及び該１次加熱室内の２次加熱室を加熱する。２次加熱
室内の温度が十分に高くなフた後は、ジルコニア発熱体
等の超高温抵抗発熱体により超高温領域まで２次加熱室
内を加熱する。この場合、超高温抵抗発熱体は、その抵
抗が小さくなる高温度下において通電されるので、大き
な昇温速度で超高温領域にまで昇温するようになる． ［実施例］ 以下図面を参照して実施例について説明する。
等の昇温速度の大きい高温抵抗発熱体により１次加熱室
及び該１次加熱室内の２次加熱室を加熱する。２次加熱
室内の温度が十分に高くなフた後は、ジルコニア発熱体
等の超高温抵抗発熱体により超高温領域まで２次加熱室
内を加熱する。この場合、超高温抵抗発熱体は、その抵
抗が小さくなる高温度下において通電されるので、大き
な昇温速度で超高温領域にまで昇温するようになる． ［実施例］ 以下図面を参照して実施例について説明する。
第１図は本発明の実施例に係る電気抵抗炉の縦断面図で
ある。なお、この第１図は後述する別の実施例に係る第
３図のＡ−Ａ線に相当する断面を示している。
ある。なお、この第１図は後述する別の実施例に係る第
３図のＡ−Ａ線に相当する断面を示している。
第１図において、符号１は１次加熱室であり、シェル２
の内面にライニング３が施されて構成されている．この
１次加熱室１内には２次加熱室４が設置ざれている。こ
の２次加熱室４はジルコニアファイバー ジルコニアボ
ード等の耐火材料５で囲まれたものであり、支持部材６
により１次加熱室１内の所要高さの部位に設けられてい
る。
の内面にライニング３が施されて構成されている．この
１次加熱室１内には２次加熱室４が設置ざれている。こ
の２次加熱室４はジルコニアファイバー ジルコニアボ
ード等の耐火材料５で囲まれたものであり、支持部材６
により１次加熱室１内の所要高さの部位に設けられてい
る。
前記１次加熱室１には高温抵抗発熱体として炭化珪素発
熱体７が設置されており、２次加熱室４には超高温抵抗
発熱体としてジルコニア発熱体８が設けられている。符
号９、１０はこれら発熱体７、８を取り巻くカラーを示
す。また符号１１、１２はジルコニア発熱体８に通電す
るための導電部材の挿通孔を示す。
熱体７が設置されており、２次加熱室４には超高温抵抗
発熱体としてジルコニア発熱体８が設けられている。符
号９、１０はこれら発熱体７、８を取り巻くカラーを示
す。また符号１１、１２はジルコニア発熱体８に通電す
るための導電部材の挿通孔を示す。
１次加熱室１及び２次加熱室４の底面部分を貫通するよ
うにしてリフター１３が設けられており、該リフター１
３の上面に坩堝１４が載置されている。
うにしてリフター１３が設けられており、該リフター１
３の上面に坩堝１４が載置されている。
このように構成された電気抵抗炉にあっては、まず炭化
珪素発熱体７に通電を開始することにより、１次加熱室
１内及びその内部に設置されている２次加熱室４を高温
領域まで加熱する。２次加熱室４も該炭化珪素発熱体７
により十分に（例えば１２００〜１５００℃に）加熱さ
れた後、ジルコニア発熱体８に通電を開始することによ
り、１８００℃を超える超高温領域（例えば１８００〜
２２００℃特に、２０００℃程度）にまで２次加熱室４
内を加熱することができる。この場合、２次加熱室４は
炭化珪素発熱体７により予め十分に加熱され、ジルコニ
ア発熱体８の電気抵抗も小さ《なった高温領域において
該ジルコニア発熱体８に通電が開始されるから、ジルコ
ニア発熱体８による昇温も大きな昇温速度で行なわれる
ようになる．従って、坩堝１４内に挿入された被加熱物
買を富温から超高温領域まで迅速に加熱することが可能
である．（例えば、室温から２０００℃まで３時間程度
で昇温できる．なお、２０００℃から室温まで３時間程
度で降温することも可能である。） なお、加熱された物質は、リフター１３を降下させるこ
とにより電気抵抗炉から取り出すことができる。
珪素発熱体７に通電を開始することにより、１次加熱室
１内及びその内部に設置されている２次加熱室４を高温
領域まで加熱する。２次加熱室４も該炭化珪素発熱体７
により十分に（例えば１２００〜１５００℃に）加熱さ
れた後、ジルコニア発熱体８に通電を開始することによ
り、１８００℃を超える超高温領域（例えば１８００〜
２２００℃特に、２０００℃程度）にまで２次加熱室４
内を加熱することができる。この場合、２次加熱室４は
炭化珪素発熱体７により予め十分に加熱され、ジルコニ
ア発熱体８の電気抵抗も小さ《なった高温領域において
該ジルコニア発熱体８に通電が開始されるから、ジルコ
ニア発熱体８による昇温も大きな昇温速度で行なわれる
ようになる．従って、坩堝１４内に挿入された被加熱物
買を富温から超高温領域まで迅速に加熱することが可能
である．（例えば、室温から２０００℃まで３時間程度
で昇温できる．なお、２０００℃から室温まで３時間程
度で降温することも可能である。） なお、加熱された物質は、リフター１３を降下させるこ
とにより電気抵抗炉から取り出すことができる。
第２図は本発明の別の実施例に係る電気抵抗炉の２次加
熱室４の天井部分の構成を示す縦断面図、第３図は第２
図の平面図である。本実施例では、２次加熱室４の天井
部分には、空気等の冷却ガスを通過させるためのジルコ
ニア製の空洞ブロック２１、”２２、２３、２４が設け
られている。そして、空洞ブロック２１〜２４に冷却ガ
スを導入するための配管２５と、冷却ガスを取り出すた
めの配管２６が接続されている。本実施例では、ブロッ
ク２７と仕切部材２８により冷却ガスの導入室２９と、
中継室３０、３１、３２と、排出室３３とが設けられて
おり、配管２５から導入室２９に導入された冷却ガスが
、空洞ブロック２１、中継室３０、空洞ブロック２２、
中継室３１、空洞ブロック２３、中継室３２、空洞ブロ
ック２４、排出室３３、配管２６の順路で流通される。
熱室４の天井部分の構成を示す縦断面図、第３図は第２
図の平面図である。本実施例では、２次加熱室４の天井
部分には、空気等の冷却ガスを通過させるためのジルコ
ニア製の空洞ブロック２１、”２２、２３、２４が設け
られている。そして、空洞ブロック２１〜２４に冷却ガ
スを導入するための配管２５と、冷却ガスを取り出すた
めの配管２６が接続されている。本実施例では、ブロッ
ク２７と仕切部材２８により冷却ガスの導入室２９と、
中継室３０、３１、３２と、排出室３３とが設けられて
おり、配管２５から導入室２９に導入された冷却ガスが
、空洞ブロック２１、中継室３０、空洞ブロック２２、
中継室３１、空洞ブロック２３、中継室３２、空洞ブロ
ック２４、排出室３３、配管２６の順路で流通される。
このように、２次加熱室４の天井部分を空冷構造とする
ことにより、２次加熱室４のうちでも最も高温にさらさ
れる天井部分の熱歪による変形の防止を図ることができ
、その寿命を延長することができる。
ことにより、２次加熱室４のうちでも最も高温にさらさ
れる天井部分の熱歪による変形の防止を図ることができ
、その寿命を延長することができる。
なお、上記実施例では２次加熱室４の天井部分にのみ空
冷構造が採用されているが、その他の部分例えば２次加
熱室４の側面や必要に応じ底面部分あるいはジルコニア
発熱体８の近傍部分をも空冷構造としても良い。
冷構造が採用されているが、その他の部分例えば２次加
熱室４の側面や必要に応じ底面部分あるいはジルコニア
発熱体８の近傍部分をも空冷構造としても良い。
上記実施例では炭化珪素発熱体とジルコニア発熱体が用
いられているが、本発明ではその他の抵抗発熱体を採用
しても良い。
いられているが、本発明ではその他の抵抗発熱体を採用
しても良い。
［効果］
以上の通り、本発明の請求項（１）の電気抵抗炉による
と、超高温領域まで大きな昇温速度で昇温させることが
できる。また、超高温の酸化雰囲気を形成できる。請求
項（２）の電気抵抗炉によると、２次加熱室の耐火物の
損傷を防止し、耐久性を高めることが可能である。
と、超高温領域まで大きな昇温速度で昇温させることが
できる。また、超高温の酸化雰囲気を形成できる。請求
項（２）の電気抵抗炉によると、２次加熱室の耐火物の
損傷を防止し、耐久性を高めることが可能である。
第１図は本発明の実施例にかかる電気抵抗炉の縦断面図
、第２図は別の実施例を示す２次加熱室の天井部の縦断
面図、第３図は第２図の平面図である。 １・・・１次加熱室、 ４・・・２次加熱室、 ７・・・炭化珪素発熱体、 ８・・・ジルコニア発熱体、 ２１、２２、２３、２４・・・空洞ブロック。
、第２図は別の実施例を示す２次加熱室の天井部の縦断
面図、第３図は第２図の平面図である。 １・・・１次加熱室、 ４・・・２次加熱室、 ７・・・炭化珪素発熱体、 ８・・・ジルコニア発熱体、 ２１、２２、２３、２４・・・空洞ブロック。
Claims (2)
- （１）高温抵抗発熱体を有する１次加熱室と、超高温抵
抗発熱体を備え、該１次加熱室内に設置された２次加熱
室とを具備してなる電気抵抗炉。 - （２）２次加熱室の少なくとも天井部に空洞部を設け、
この空洞部に冷却ガスを流通させるようにしたことを特
徴とする請求項（１）の電気抵抗炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1048885A JPH0748039B2 (ja) | 1989-03-01 | 1989-03-01 | 電気抵抗炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1048885A JPH0748039B2 (ja) | 1989-03-01 | 1989-03-01 | 電気抵抗炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02230085A true JPH02230085A (ja) | 1990-09-12 |
| JPH0748039B2 JPH0748039B2 (ja) | 1995-05-24 |
Family
ID=12815738
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1048885A Expired - Lifetime JPH0748039B2 (ja) | 1989-03-01 | 1989-03-01 | 電気抵抗炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0748039B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102425951A (zh) * | 2011-09-23 | 2012-04-25 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 可快速预热起动的氧化锆超高温电炉炉体结构和使用方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6133392U (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-28 | 三菱重工業株式会社 | 電気炉における発熱構造体 |
| JPH02213078A (ja) * | 1989-02-14 | 1990-08-24 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | セラミックスヒータ炉 |
-
1989
- 1989-03-01 JP JP1048885A patent/JPH0748039B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6133392U (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-28 | 三菱重工業株式会社 | 電気炉における発熱構造体 |
| JPH02213078A (ja) * | 1989-02-14 | 1990-08-24 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | セラミックスヒータ炉 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102425951A (zh) * | 2011-09-23 | 2012-04-25 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 可快速预热起动的氧化锆超高温电炉炉体结构和使用方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0748039B2 (ja) | 1995-05-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH02230085A (ja) | 電気抵抗炉 | |
| KR850008060A (ko) | 서스펜션 캔틸레버(suspension cantilever)부하장치를 갖는 횡형로(橫型爐) | |
| JPH04155828A (ja) | 熱処理装置 | |
| US4321459A (en) | Electrical heating molded-element comprising inorganic fibers | |
| US4238667A (en) | Heating unit for HIP furnace | |
| US2661385A (en) | Muffle type furnace | |
| JP5555860B2 (ja) | 浸漬ヒーター及び浸漬ヒーターの使用方法 | |
| JPH0569767B2 (ja) | ||
| JP2535485Y2 (ja) | 超高温抵抗炉のライニング構造 | |
| JPH02210785A (ja) | セラミックスヒータ炉 | |
| US11184956B2 (en) | Dental furnace and process for operating a dental furnace | |
| JP2001182912A (ja) | 三重管式シングルエンド型ラジアントチューブ、及びこれを用いた加熱方法 | |
| JPS58210116A (ja) | 加熱炉に於ける被加熱体支持部材 | |
| JP4415110B2 (ja) | 高温熱処理炉 | |
| JP3079148U (ja) | 密封式加熱炉用発熱体 | |
| JP3340300B2 (ja) | ラジアントチューブ炉 | |
| JPS6231997Y2 (ja) | ||
| SU1239497A1 (ru) | Свод электропечи сопротивлени | |
| SU1343664A1 (ru) | Печь газостата | |
| US1820028A (en) | Furnace | |
| JPH0510681A (ja) | 加熱炉の断熱構造 | |
| JP2649295B2 (ja) | 超高温電気抵抗炉 | |
| JPH052599Y2 (ja) | ||
| JP2000171012A (ja) | 加熱炉用ヒータ部材 | |
| JPH04268186A (ja) | 焼成炉 |