JPH02228546A - 温度・湿度センサー - Google Patents
温度・湿度センサーInfo
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- JPH02228546A JPH02228546A JP4925389A JP4925389A JPH02228546A JP H02228546 A JPH02228546 A JP H02228546A JP 4925389 A JP4925389 A JP 4925389A JP 4925389 A JP4925389 A JP 4925389A JP H02228546 A JPH02228546 A JP H02228546A
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- JP
- Japan
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- temperature
- moisture
- comb
- humidity
- ceramic substrate
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- Pending
Links
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 14
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 abstract description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract 1
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 240000001980 Cucurbita pepo Species 0.000 description 1
- 235000009852 Cucurbita pepo Nutrition 0.000 description 1
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、温度と湿度を同時に測定するセンサーに関す
る。
る。
（従来の技術）
従来、温度や湿度を測定する場合には、セラミックス基
板上にスパッタリング等でＰｔ薄膜測温抵抗体を形成し
た温度センサーと、別のセラミックス基板上にＰｔ又は
Ａｕ櫛形電極を形成しその櫛形部分に感湿素子を塗布し
て成る湿度センサーの両センサーを個々に測定していた
。
板上にスパッタリング等でＰｔ薄膜測温抵抗体を形成し
た温度センサーと、別のセラミックス基板上にＰｔ又は
Ａｕ櫛形電極を形成しその櫛形部分に感湿素子を塗布し
て成る湿度センサーの両センサーを個々に測定していた
。
（発明が解決しようとする課題）
ところで、上記のような測定の仕方では、小空間の温度
・湿度を同時に測定しようとした際、センサーの小空間
を占める割合が大きい為、空間の大きさによっては測定
不可能となることがあり、また温度と湿度の測定位置が
ずれる為、同一位置で温度、湿度を測定しようとした際
、誤差が生じるものである。
・湿度を同時に測定しようとした際、センサーの小空間
を占める割合が大きい為、空間の大きさによっては測定
不可能となることがあり、また温度と湿度の測定位置が
ずれる為、同一位置で温度、湿度を測定しようとした際
、誤差が生じるものである。
そこで本発明は大空間はもとより小空間でも同時にしか
も同一位置で温度、湿度を測定することのできる温度、
湿度センサーを提供しようとするものである。
も同一位置で温度、湿度を測定することのできる温度、
湿度センサーを提供しようとするものである。
（課題を解決するための手段）
上記課題を解決するための本発明の温度・湿度センサー
は、セラミックス基板の片面にＰｔ測温抵抗体を形成し
、他の片面にＰｔ又はＡｕの櫛形電極を設けその上に感
湿素子を形成して成るものである。
は、セラミックス基板の片面にＰｔ測温抵抗体を形成し
、他の片面にＰｔ又はＡｕの櫛形電極を設けその上に感
湿素子を形成して成るものである。
（作用）
上述の如く構成された本発明の温度・湿度センサーは、
セラミックス基板の両面のＰｔ測温抵抗体と感湿素子に
より同時にしかも同一位置で温度と湿度を測定できるの
で、その測定には誤差が無く、特に小空間での測定には
効果的で、しかも測定作業は手間隙がかからず、作業性
が良い。
セラミックス基板の両面のＰｔ測温抵抗体と感湿素子に
より同時にしかも同一位置で温度と湿度を測定できるの
で、その測定には誤差が無く、特に小空間での測定には
効果的で、しかも測定作業は手間隙がかからず、作業性
が良い。
（実施例）
本発明の温度・湿度センサーの一実施例を図によって説
明する。第１図に示す如＜！２０．０闘、横８．０ｍｍ
５厚さ０．６３５のｍのセラミックス基板１の片面に、
スパッタリング法にて（又は厚膜ペーストやメタロオー
ガニックスをスクリーン印刷した後焼成して）、厚さ
１．０μｍ、ライン幅２５０μｍ１スペース幅２５０μ
ｍのＰｔ測温抵抗体２を形成し、セラミックス基板１の
他の片面に第２図に示す如く同様の方法で、厚さ１．０
μｍ１ライン幅１００μｍ１スペース幅１００μｍのＡ
ｕ（又はＰｔ）櫛形電極３を形成し、その櫛状部分に高
分子膜や吸湿性のあるセラミックス等の感湿素子４を塗
布形成した。
明する。第１図に示す如＜！２０．０闘、横８．０ｍｍ
５厚さ０．６３５のｍのセラミックス基板１の片面に、
スパッタリング法にて（又は厚膜ペーストやメタロオー
ガニックスをスクリーン印刷した後焼成して）、厚さ
１．０μｍ、ライン幅２５０μｍ１スペース幅２５０μ
ｍのＰｔ測温抵抗体２を形成し、セラミックス基板１の
他の片面に第２図に示す如く同様の方法で、厚さ１．０
μｍ１ライン幅１００μｍ１スペース幅１００μｍのＡ
ｕ（又はＰｔ）櫛形電極３を形成し、その櫛状部分に高
分子膜や吸湿性のあるセラミックス等の感湿素子４を塗
布形成した。
上記の如く構成した温度・湿度センサーは、片面のＰｔ
測温抵抗体２に１ｍＡの微小電流を流し、その抵抗値を
測定する。抵抗値と温度には対応した関係があるので、
抵抗値より温度が求まる。また他の片面のＡｕ （又は
Ｐｔ）櫛形電極３の両端に周波数ＩＫＨｚの交流を流し
、そのインピーダンスを測定する。湿度とインピーダン
ス値には対応した関係があるので、インピーダンス値よ
り湿度が求まる。
測温抵抗体２に１ｍＡの微小電流を流し、その抵抗値を
測定する。抵抗値と温度には対応した関係があるので、
抵抗値より温度が求まる。また他の片面のＡｕ （又は
Ｐｔ）櫛形電極３の両端に周波数ＩＫＨｚの交流を流し
、そのインピーダンスを測定する。湿度とインピーダン
ス値には対応した関係があるので、インピーダンス値よ
り湿度が求まる。
このようにして温度と湿度を同時にしかも同一位置で測
定できるので、その測定には誤差が生ぜず、特に小空間
での測定に有効で、測定作業に手間隙がかからず、作業
性が良い。
定できるので、その測定には誤差が生ぜず、特に小空間
での測定に有効で、測定作業に手間隙がかからず、作業
性が良い。
また、本発明の温度・湿度センサーに於いて、セラミッ
クス基板１として、吸湿性のある感湿セラミックスを用
いた場合は、セラミックス基板１自身が感湿素子として
働くので、別に感湿素子４は不要である。この感湿セラ
ミックスを用いた温度・湿度センサーを９０％ＲＨ付近
の高湿度下で使用するには、Ｐｔ測温抵抗体２上に大電
流を１５秒間流し、セラミックス基板１を約５００℃ま
で加熱して、付着した水分を除去する。水分除去後、セ
ラミックス基板１が十分に冷却した後再びＰｔ測温抵抗
体２として使用するものとする。
クス基板１として、吸湿性のある感湿セラミックスを用
いた場合は、セラミックス基板１自身が感湿素子として
働くので、別に感湿素子４は不要である。この感湿セラ
ミックスを用いた温度・湿度センサーを９０％ＲＨ付近
の高湿度下で使用するには、Ｐｔ測温抵抗体２上に大電
流を１５秒間流し、セラミックス基板１を約５００℃ま
で加熱して、付着した水分を除去する。水分除去後、セ
ラミックス基板１が十分に冷却した後再びＰｔ測温抵抗
体２として使用するものとする。
（発明の効果）
以上の説明で判るように本発明の温度・湿度センサーに
よれば、大空間はもとより小空間でも温度と湿度を同時
にしかも同一位置での精度良く測定できる。また測定作
業に手間隙がかからず、作業性が良い。
よれば、大空間はもとより小空間でも温度と湿度を同時
にしかも同一位置での精度良く測定できる。また測定作
業に手間隙がかからず、作業性が良い。
第１図は本発明の温度・湿度センサーの一実施例の表面
を示す図、第２図はその裏面を示す図である。 第 １ 図 出願人 田中貴金属工業株式会社 Ｊ・・・Ａｕ榔形を檜 ４・・・瓢夕２素子
を示す図、第２図はその裏面を示す図である。 第 １ 図 出願人 田中貴金属工業株式会社 Ｊ・・・Ａｕ榔形を檜 ４・・・瓢夕２素子
Claims (1)
- １、セラミックス基板の片面にＰｔ測温抵抗体を形成し
、他の片面にＰｔ又はＡｕの櫛形電極を設けその上に感
湿素子を形成して成る温度・湿度センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4925389A JPH02228546A (ja) | 1989-03-01 | 1989-03-01 | 温度・湿度センサー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4925389A JPH02228546A (ja) | 1989-03-01 | 1989-03-01 | 温度・湿度センサー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02228546A true JPH02228546A (ja) | 1990-09-11 |
Family
ID=12825677
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4925389A Pending JPH02228546A (ja) | 1989-03-01 | 1989-03-01 | 温度・湿度センサー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02228546A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7208067B2 (en) * | 2003-03-27 | 2007-04-24 | Tokyo Electron Limited | Method and system for monitoring RF impedance to determine conditions of a wafer on an electrostatic chuck |
| WO2014108597A1 (en) * | 2013-01-11 | 2014-07-17 | Nokia Corporation | An apparatus for temperature and fluid relative vapour pressure measurement and accociated methods |
| WO2017064784A1 (ja) * | 2015-10-15 | 2017-04-20 | 株式会社日立製作所 | 水分検出素子、ガス検出装置及び呼気検査システム |
| US10942070B2 (en) * | 2018-05-21 | 2021-03-09 | Haesung Ds Co., Ltd. | Sensor unit, temperature sensor including the same, method of manufacturing the sensor unit, and method of manufacturing the temperature sensor |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4935838U (ja) * | 1972-06-29 | 1974-03-29 | ||
| JPS6063453A (ja) * | 1983-09-16 | 1985-04-11 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 感湿素子 |
| JPS6063452A (ja) * | 1983-09-16 | 1985-04-11 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 感湿素子 |
-
1989
- 1989-03-01 JP JP4925389A patent/JPH02228546A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4935838U (ja) * | 1972-06-29 | 1974-03-29 | ||
| JPS6063453A (ja) * | 1983-09-16 | 1985-04-11 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 感湿素子 |
| JPS6063452A (ja) * | 1983-09-16 | 1985-04-11 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 感湿素子 |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US10883949B2 (en) | 2015-10-15 | 2021-01-05 | Hitachi, Ltd. | Moisture detection element, gas detection device, and breath inspection system |
| US10942070B2 (en) * | 2018-05-21 | 2021-03-09 | Haesung Ds Co., Ltd. | Sensor unit, temperature sensor including the same, method of manufacturing the sensor unit, and method of manufacturing the temperature sensor |
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