JPS6138534A - 熱流センサ - Google Patents
熱流センサInfo
- Publication number
- JPS6138534A JPS6138534A JP16172484A JP16172484A JPS6138534A JP S6138534 A JPS6138534 A JP S6138534A JP 16172484 A JP16172484 A JP 16172484A JP 16172484 A JP16172484 A JP 16172484A JP S6138534 A JPS6138534 A JP S6138534A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat flow
- temperature
- film
- resistor
- sensitive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K17/00—Measuring quantity of heat
- G01K17/06—Measuring quantity of heat conveyed by flowing media, e.g. in heating systems e.g. the quantity of heat in a transporting medium, delivered to or consumed in an expenditure device
- G01K17/08—Measuring quantity of heat conveyed by flowing media, e.g. in heating systems e.g. the quantity of heat in a transporting medium, delivered to or consumed in an expenditure device based upon measurement of temperature difference or of a temperature
- G01K17/20—Measuring quantity of heat conveyed by flowing media, e.g. in heating systems e.g. the quantity of heat in a transporting medium, delivered to or consumed in an expenditure device based upon measurement of temperature difference or of a temperature across a radiating surface, combined with ascertainment of the heat transmission coefficient
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は室内暖冷房装置などの熱源の発熱貴を制御する
システムに利用される熱流センサ、すなわち熱流を検出
するセンサに関するものである。
システムに利用される熱流センサ、すなわち熱流を検出
するセンサに関するものである。
従来例の（７に成とその問題点
従来の熱流センサの構成を第１図に示す。同センサは熱
抵抗体１の表裏にサーモパイル２を組み込み、さらに熱
抵抗体１の温度測定用熱電対３を付加して構成される。
抵抗体１の表裏にサーモパイル２を組み込み、さらに熱
抵抗体１の温度測定用熱電対３を付加して構成される。
熱流センサが放熱面４に設置されたとき、熱抵抗体１の
表裏に温度差△Ｔが生じる。熱抵抗体１の熱伝導率をλ
、厚さをｄとすれば、熱流Ｑは原理的にＱ−（λ／ｄ）
△Ｔによって求められる。
表裏に温度差△Ｔが生じる。熱抵抗体１の熱伝導率をλ
、厚さをｄとすれば、熱流Ｑは原理的にＱ−（λ／ｄ）
△Ｔによって求められる。
このように従来の熱流センサでは、サーモパイル２（熱
電対を複数個直列に接続したもの）および温度測定用熱
電対３が用いられているが、熱電対の熱起電力は１℃あ
たり１〜１０１１ｖと小さな値である。このように従来
のものは熱流の検出感度が小さく、また、このために起
電力の検出回路が複数で高価であるなどの問題があった
。
電対を複数個直列に接続したもの）および温度測定用熱
電対３が用いられているが、熱電対の熱起電力は１℃あ
たり１〜１０１１ｖと小さな値である。このように従来
のものは熱流の検出感度が小さく、また、このために起
電力の検出回路が複数で高価であるなどの問題があった
。
発明の目的
本発明は熱流の検出感度が大きく、かつ構成が簡単で安
価な熱流センサを提供することを目的とする。
価な熱流センサを提供することを目的とする。
発明の構成
本発明の熱流センサは感湿性平板状セラミック基板とこ
の感湿性平板状セラミック基板の互いに平行な２つの表
面に形成された感温抵抗体膜、電極膜とから構成される
。
の感湿性平板状セラミック基板の互いに平行な２つの表
面に形成された感温抵抗体膜、電極膜とから構成される
。
感湿性平板状セラミック基板は感温抵抗体膜と電極膜と
を保持する基板として作用するとともに熱抵抗体として
も作用する。この熱抵抗体の表裏の温度差は感温抵抗体
膜の抵抗値によって検出される。感温抵抗体膜の抵抗値
は１℃あたシ１〜１０儂の割合で変化するので、熱流を
Ｈす度よく検出できる。
を保持する基板として作用するとともに熱抵抗体として
も作用する。この熱抵抗体の表裏の温度差は感温抵抗体
膜の抵抗値によって検出される。感温抵抗体膜の抵抗値
は１℃あたシ１〜１０儂の割合で変化するので、熱流を
Ｈす度よく検出できる。
実施例の説明
本発明の一実施例を第２図に示す。熱抵抗体としての感
湿性平板状セラミック基板５の互いに平行な２つの表面
５１．５１′に感温抵抗体膜６．６′と電極膜７．７′
を形成した。感湿性平板状セラミック基板５としてマグ
ネシウムクロメイトなどの多孔質セラミックを用い、感
温抵抗体膜６．６′としてＦｅ、Ｃｏ、Ｍｎなどの複合
酸化物、ＳｉＣ，Ｇｅ１Ｓｉ などの厚膜抵抗体あるい
は薄膜抵抗体を用い、電極膜７．７′として厚膜電極膜
あるいは薄膜電極膜を用いる。電極膜７．７′にはリー
ド線８．８′が接続される。
湿性平板状セラミック基板５の互いに平行な２つの表面
５１．５１′に感温抵抗体膜６．６′と電極膜７．７′
を形成した。感湿性平板状セラミック基板５としてマグ
ネシウムクロメイトなどの多孔質セラミックを用い、感
温抵抗体膜６．６′としてＦｅ、Ｃｏ、Ｍｎなどの複合
酸化物、ＳｉＣ，Ｇｅ１Ｓｉ などの厚膜抵抗体あるい
は薄膜抵抗体を用い、電極膜７．７′として厚膜電極膜
あるいは薄膜電極膜を用いる。電極膜７．７′にはリー
ド線８．８′が接続される。
このようにして形成された熱流センナにおいて感温抵抗
体膜６と感温抵抗体膜６′との間に１°Ｃの温度差が生
じたとき、両者の抵抗値には約６％（感湿性平板状セラ
ミック基板５の温度は約３０℃）の差が観測された。両
者の抵抗値の差は、感湿性平板状セラミック基板５の温
度が上昇すると、低下する傾向を示すが、感湿性平板状
セラミック基板５が約２３０℃になってもこの抵抗値の
差は約２．５％を示した。このように本発明の熱流セン
サは、熱抵抗体、すなわち感湿性平板状セラミック基板
５の表裏の温度差を高感度で検出できるので、熱流の検
出感度が大きく、また、その検出回路も簡単で安価とな
る。
体膜６と感温抵抗体膜６′との間に１°Ｃの温度差が生
じたとき、両者の抵抗値には約６％（感湿性平板状セラ
ミック基板５の温度は約３０℃）の差が観測された。両
者の抵抗値の差は、感湿性平板状セラミック基板５の温
度が上昇すると、低下する傾向を示すが、感湿性平板状
セラミック基板５が約２３０℃になってもこの抵抗値の
差は約２．５％を示した。このように本発明の熱流セン
サは、熱抵抗体、すなわち感湿性平板状セラミック基板
５の表裏の温度差を高感度で検出できるので、熱流の検
出感度が大きく、また、その検出回路も簡単で安価とな
る。
また、本発明の熱流センサは、感湿性平板状セラミック
基板５の表裏に電極膜７．７′が形成され−ているので
、電極膜７と電極膜７′との間の感湿性平板状セラミッ
ク基板５の湿度抵抗をも同時に測定できる。この湿度抵
抗は雰囲気の湿度に応じて変化するので、本発明の熱流
センサは湿度抵抗によって雰囲気の湿度をも検出できる
。
基板５の表裏に電極膜７．７′が形成され−ているので
、電極膜７と電極膜７′との間の感湿性平板状セラミッ
ク基板５の湿度抵抗をも同時に測定できる。この湿度抵
抗は雰囲気の湿度に応じて変化するので、本発明の熱流
センサは湿度抵抗によって雰囲気の湿度をも検出できる
。
湿度抵抗を測定するには、感温抵抗体６．６′および電
極膜７．７′が厚膜抵抗体、厚膜電極膜で構成されるこ
とが望ましい。その理由は、厚膜抵抗体、厚膜電極膜は
導電性粒子、硝子粉末および溶剤でｔｊｌｊ成されたべ
一ヌトを印刷、焼成して形成されるので、溶剤の蒸発に
より多孔質厚膜が形成され、この多孔質のために水分子
が厚膜抵抗体、厚膜′ＩＥ極膜を透過し易すくなり、し
たがって、感湿性平板状セラミック基板５の湿度抵抗を
高感度で測定できるようになるからである。
極膜７．７′が厚膜抵抗体、厚膜電極膜で構成されるこ
とが望ましい。その理由は、厚膜抵抗体、厚膜電極膜は
導電性粒子、硝子粉末および溶剤でｔｊｌｊ成されたべ
一ヌトを印刷、焼成して形成されるので、溶剤の蒸発に
より多孔質厚膜が形成され、この多孔質のために水分子
が厚膜抵抗体、厚膜′ＩＥ極膜を透過し易すくなり、し
たがって、感湿性平板状セラミック基板５の湿度抵抗を
高感度で測定できるようになるからである。
発明の効果
本発明の熱流センサによれば次の効果が得られる。
（１）熱抵抗体としての感湿性平板状セラミック基板の
表裏の温度差の検出に感温抵抗体膜を用いているので１
．温度差を高感度で検出できる。したがって、熱流の検
出感度が大きく、まだ検出回路も簡単で安価になる。
表裏の温度差の検出に感温抵抗体膜を用いているので１
．温度差を高感度で検出できる。したがって、熱流の検
出感度が大きく、まだ検出回路も簡単で安価になる。
（２）感湿性平板状セラミック基板の表裏に電極膜が形
成されているので、電極膜の間の感湿性平板状セラミッ
ク基板の湿度抵抗を測定することにより雰囲気の湿度を
も熱流と同時に検出できる。
成されているので、電極膜の間の感湿性平板状セラミッ
ク基板の湿度抵抗を測定することにより雰囲気の湿度を
も熱流と同時に検出できる。
第１図は従来の熱流センサの（画成を示す断面図、第２
図は本発明の熱流センサの実施例の（１１ｆ成を示す断
面図である。 ５・・・・・・感湿性平板状セラＥ７り基板、５１．５
１′・・・・・・感湿性平板状セラミック基板の互いに
平行な２つの表面、６．６′・・・・・・感温抵抗体膜
、７．７′・・・・・・電極膜、８、ｅ′・・・・・・
リード線。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図
図は本発明の熱流センサの実施例の（１１ｆ成を示す断
面図である。 ５・・・・・・感湿性平板状セラＥ７り基板、５１．５
１′・・・・・・感湿性平板状セラミック基板の互いに
平行な２つの表面、６．６′・・・・・・感温抵抗体膜
、７．７′・・・・・・電極膜、８、ｅ′・・・・・・
リード線。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図
Claims (2)
- （１）感湿性平板状セラミック基板とこの感湿性平板状
セラミック基板の互いに平行な２つの表面に形成された
感温抵抗体膜、電極膜とからなる熱流センサ。 - （２）感温抵抗体膜と電極膜とが厚膜抵抗体、厚膜電極
膜とで構成された特許請求の範囲第１項記載の熱流セン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16172484A JPS6138534A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 熱流センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16172484A JPS6138534A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 熱流センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6138534A true JPS6138534A (ja) | 1986-02-24 |
| JPH0333215B2 JPH0333215B2 (ja) | 1991-05-16 |
Family
ID=15740673
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16172484A Granted JPS6138534A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 熱流センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6138534A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03123239U (ja) * | 1990-03-29 | 1991-12-16 | ||
| US5356216A (en) * | 1993-05-03 | 1994-10-18 | Industrial Technology Research Institute | Apparatus for measuring heat of circuit module |
| CN106768493A (zh) * | 2016-12-04 | 2017-05-31 | 中国科学院工程热物理研究所 | 一种串联供电的薄膜热阻式热流传感器 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2791317B2 (ja) | 1995-12-26 | 1998-08-27 | 株式会社三和化学研究所 | 多層フィルム製剤 |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP16172484A patent/JPS6138534A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03123239U (ja) * | 1990-03-29 | 1991-12-16 | ||
| US5356216A (en) * | 1993-05-03 | 1994-10-18 | Industrial Technology Research Institute | Apparatus for measuring heat of circuit module |
| CN106768493A (zh) * | 2016-12-04 | 2017-05-31 | 中国科学院工程热物理研究所 | 一种串联供电的薄膜热阻式热流传感器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0333215B2 (ja) | 1991-05-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4307373A (en) | Solid state sensor element | |
| EP0202453B1 (en) | Dew point measuring apparatus | |
| CN111157039B (zh) | 一种可同时检测湿度、温度和流量的多功能气体传感器及其制备方法 | |
| JPH04216452A (ja) | 混合気の組成とガス速度を同時に検出するためのセンサ | |
| US3427209A (en) | Quick response heat-sensing element | |
| JPS6138534A (ja) | 熱流センサ | |
| JPS6113121A (ja) | 熱流センサ | |
| JPS61240135A (ja) | 真空計 | |
| JP2529895B2 (ja) | フロ―センサ | |
| JPH04235338A (ja) | 湿度センサ | |
| Fang et al. | Integrated temperature and humidity sensor based MEMS | |
| JPS60230027A (ja) | 熱流センサ | |
| JPS60213834A (ja) | 熱流センサ | |
| JPS61112935A (ja) | 熱流センサ | |
| JPH04105028A (ja) | 感温センサ | |
| JP2686878B2 (ja) | 複合センサ装置 | |
| JP2794347B2 (ja) | ガス濃度検出方法及び検知素子並びに検出装置 | |
| JPS6232348A (ja) | 露点検知装置および検知方法 | |
| EP0701123A1 (en) | Formaldehyde vapour detector | |
| JPS60249023A (ja) | 熱流センサ | |
| JP3163558B2 (ja) | 流速検出装置 | |
| JPH02193019A (ja) | フローセンサ | |
| JPH04116464A (ja) | 流速センサ | |
| JPS6111638Y2 (ja) | ||
| JPS6025574Y2 (ja) | 露点湿度計 |