JPS6232348A - 露点検知装置および検知方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は雰囲気の湿力気の状ｍ’ｉ露点によって測定、
評価する１を点検知ｉｉ装置および検知方法に関し、さ
らに詳しくは！２８：雰囲気、アルカリ性雰囲んど不可
能であった１００℃以上の高温雰囲気の露点を測定する
ことが出来る露点検知装置、および検知方法に関する。

〔従来の技術） 従来、雰囲気の露点を測定する場合には、半導体や電解
質に水分が付着することによって、電気抵抗が著しく低
下する性質を利用した検知装置、電極間に存在する高電
気絶縁性フィルムに水分が付着すると電極間の電気容量
が著しく変化する性質を利用した検知装置、あるいは、
透明ガラス管の中へ雰囲気ガスを吸入し、管の外部から
光を当て、管を通過した光量を管を間にして光源と対向
する位置に配酸された光検知器によって測定し、水分が
管壁内に付着したときの光量の減衰率を利用した検知装
置、その他す−ずスタ温度計を用いたものなど各種の露
点検知装置が開発、使用されている。

〔発明が解決しようとする間露点〕

ところで、上記検知装置においては、雰囲気ガスが、半
導体、電解雪、電極、さらには光学式測定ではガラス管
等に直接接触するため、雰囲気ガスに塩素、フッ素、硫
黄等が含まれていたり、或いはナトリウム、カリウム等
が含まれていると、結露した時に、強い酸性、またはア
ルカリ性を示し、接触した部分を腐食して、上記半導体
、電解質、電極を著しく劣化させ、光学式ではガラス管
がシラ透して不透明となり、結露した水分による減衰と
見誤まるなどにより、測定の信頼性を損なう不部分があ
った。

さらに、上記半導体や電解質を利用した露点検知装置で
は、１００℃以上の高温で使用出来るものはなく、通常
、５０〜６０℃、高温度用といっても、ぜいぜい８０〜
９０℃までであるため、排ガスや乾燥器の雰囲気ガスな
ど、１５０〜２００℃にも達するような高温ガスの露点
を検知することはできなかった。

本発明は上記の事情に鑑み、雰囲気が上述のような過酷
な条件であっても、或いは温度が１００℃を越える高温
であっても、経時的に劣化せず、信頼度の高い、実用性
に富んだ露点検知装置および検知方法を提供することを
目的とする。

〔問題点を解決するための手段］ 本発明は上記の目的を達成するためＫなされ九もので、
その要旨は、熱流計と、熱流計の雰囲気に接する側の面
の温度を検出する側温素子と、側温素子の存在しなｈ前
記熱流計の面を冷却する冷却素子とを具備した電点検知
装置、２ケの同種の熱流計を並列に並べ、それぞれの熱
流計の出力が互いにキャンセルするように結線された一
体化熱流計と、この一体化熱流計の雰囲気に接する側の
面の温度全検出する側温素子と、側温素子の存在しない
側の前記一体化熱流計の面を冷却する冷却素子とを具備
した露点検知装置、熱抵抗体の雰囲気と接する面に平面
状の温度差検出素子およびこの面の温間を測定する側温
素子を配役し、反対側の面に、この面を冷却する冷却素
子を設けた露点検知装置、および一方の面は雰囲気ＪＣ
接し、他方のｒｋＪは冷却される熱流計、または一体化
熱流計、または熱抵抗体の雰囲気に接する面に設けられ
た平面状の温度差検出素子の出力信号を、他方の面を冷
却させることによって変化させ、その信号に重畳するノ
イズを見出するとともに、そのノイズ発生時点における
雰囲気に接する側の面の温度を検知することによって、
雰囲気の露点を検知する露点検知方法にある。

〔発明の具体的＃４成およば作用〕 本４発明の露点検知装置は、誕１図に示すように、冷却
素子１と、熱流計２と、温度計３とを一体化した基本構
成となっている。

上記熱流計２の一方Ｏ薗Ａは、雰囲気ガスＣにさらされ
る如（配置され、他方の面Ｂは冷却素子ｌと熱的に接続
され、上記温度ｂ↑３は、熱流計２の面Ａ（以下Ａ面と
いう）を測定するように配設されてｂる。上記露点検知
＆＆ｌζおいて、冷却素子１が熱流計２の［１］Ｂ（以
下３面という）を冷却し始めると、雰囲気ＣＫ接するＡ
面の温度も徐々に低下する。七のため、熱流計２の出力
は、吸熱量（熱流密尻ンが次第に増大し、大きくなる。

さらに吸熱量が増大して、Ａ面の温ｋが露点に遅すると
、Ａ［（１）で結露が始まる。七〇ｌｉａ露が始まった
時点を熱的に見ると、Ａ面に露がない時は、気体の熱伝
達率をペースにＷＶ！４気ガスＣとＡ面との間で熱の受
授がなされている。、千乃場合の気体の熱伝達率は、通
常、数１０　ｋｃａ／＝　／（陽−ｈ−℃）であって、
熱流計２の出力は清らかｆｋ中加曲Ｍ金画（。

しかし、結露し始めると、Ａ面に水が滴状に付着する。

この際、水の熱伝達率は約１０００　ｋｃａυ′←２・
ｈ・℃）で、気体の熱伝達率より約２桁も大きいため、
増加−Ｉ！〈ノイズを生じたように急激に熱流計２の出
力は増加する。したがって、結露が始まると熱流計２の
出力ＶＣＦｉ、ノイズが多数出現し、さらに冷却が幌け
られると、熱流計２の出力は常に変動する値として壊測
され続ける。すなわち、熱流計２の出力に最初にノイズ
が現われ九時のＡ面の温度を示す温度計３の指示温度が
露点となる。

このようにして、露点を測定した優は、冷却をやめ、熱
流計２の＠変が雰囲気ガスＣの温間まで戻るのを待つか
、或いは冷却素子１がベルチェ−効果を利用したサーモ
モジュール（熱電冷却素子）であれば、これＩＣ流す直
流電流の向きを逆にすることによって加熱素子として作
動し、初期の温度にすみやかに戻すことが出来る。、ま
た、冷却素子ｌの他に、第２図で示すようにヒータ４を
設け、加熱してもよい。

次に露点検出装Ｂｔｉｃ用込られる熱流計２、温度計３
、冷却素子１について説明する。

熱流計２は、薄い熱抵抗板の表裏面間の温度差を、差動
熱電対群（サーモバイル）や、差動結線形の測温抵抗体
、或いはザーミスタで検出し、熱流密度（単位：Ｗ／ｍ
　　）や熱流（Ｗ）ｆｔ測定する計測器である。この計
測器の温度差検出素子の外側には、被覆材が設けられて
いるので、検出素子が直接雰囲気ガスに触れて劣化する
ことがない。

また、耐熱温度は熱流計の構成材料にもよるが、低温用
でｔｓｏ’ｅ、高温用で５００℃程度の耐熱性がある。

７２ニジ、熱流計については、本発明者等が詳しく解説
したものがある（例えば、オートメンジョン、１９７９
　ｖｏｔ　　２４鳳７、ｐ２７等）。

また、温度計（側温素子）としては、熱電対、サー・ミ
スタ、白金側温抵抗体等が用いられ、Ａ面の温度を測定
するには、熱流計の内部、或いは外部からＡ面に取つけ
る。しかし、熱流計の内部に配置してＡ面の温度を測定
するようにした方が耐酸化性、機械的強度が高（、さら
に露点検知装置として外観がよくなるので好ましい。

冷却素子１としては、第３図に示すように、サーモモジ
ュールｌａに放熱フィンｌｂ、送ｉファン１Ｃを一体に
して用いたり、或い社冷却水や冷ＩＮ発生機が用いられ
る。

以上は、本発明に倶る露点検知装置の基本構成について
説明したが、その他具備ぜしめておいた方がよい各種の
ものがある。

簗１は、第４図に示すようＶｃｉ点検知装置（以下装置
とｈう）の周囲に断熱材１１を配設する。

この断熱材１１は、冷却素子ｌの冷却能力が充分大きけ
れは無くしてもよめ。

第２は、ＷＸ５図に示すように煙突の中や、乾燥器等の
雰囲気ガスＣｔ−検知する壜台の対応である。

上記煙突等の壁１２に孔１２ａを穿設し、測定する雰囲
気空間に装置の熱流計２、温度計３の部分のみを挿入し
、冷却素子ｌは温度が低くかつ清浄な雰囲気下で使用す
ることが好ましい、そのため、８面と冷却素子ｌとを熱
的に接続する、例えば丁ルミニウム、ステンレス等の金
属、アルミナなどのセラミックス、ガラス等からなる良
熱伝導性棒１３が使用される。

また、煙突内や乾燥器内では、火炎や、高温放熱源の存
在することがあり、火炎や高温度放熱源が存在すると、
これらの変動によって熱流計２の受熱量が変動してノイ
ズを生じ、ＩＩＩ露温度の判定を見誤まることが多い。

そのため、熱流計２にはカバーを取付けるとよい。この
カバーは、放射熱が連間され、かつＷ囲気ガスＣが出入
自在のものであればその構造上の制限はなめ。例えばｆ
８６図に示すように上板１４ａは孔のない金属板で、側
部１４ｂは多数の孔を有する金属板、或いは金属製金網
となっている有底筒状のカバー１４が好適に使用される
。このカバー１４を第５図の装置に取付けると、第７図
に示すようになり、雰囲気ガスは側部１４ｂを通過して
Ａ面に接するが、放射熱は上板１４ａによって遮断され
る。

次に装置の具体例について説明する。

薯８図は、試験に供した装置の一例全示す鳥轍図である
。熱流計２は熱容量が小さく、感度の高いものが望まし
く、ここでは昭和電工株式会社製のＥＳ＝熱流センサを
使用した。この熱流センサは、寸法が３０ｔｌｌＸｉ２
驕×厚さ０．６（１）Ｌで、感度は、５　Ｘ　１０　”
　３ｓＶ／　（ｋｃａｔ／ｌｓ；’、ｈ　）であり、内
部には温度剃足用の熱電対が内蔵されている、また、冷
却素子１は、市販の熱電子工業株式会社製、マイクロク
ーラーＭＣ−１４を使用した。

この冷却素子１は、サーモモジュールＩａの上に４０（
１）Ｘ４０１ＪｌのアＡ／　ｉ　ステージ１５を有し、
その！！！面に熱流計２全両面粘着テープで貼付した。

上ｆＭアルミステージ１５には、熱流計２を覆って、側
面に無数の１〜２Ｂφの孔１６ａが穿設された盲底角筒
状の紙勾カバー１６カ１設けられ、下部には、送風ファ
ンＩＣによって送られる風を通し、アルミステージ１５
の冷却を助長する金網ｓｒが設けられている。

上記第８図の装置を室内に置き、冷却素子（マイクロク
ーラーＭＣ−１４）１に１アンペアの直流１！流を流し
て冷却すると、第９因に示すように、熱流計（ＥＳ　−
センサ）２の出力（熱流密度）の変化、および熱流計２
の内部にあって雰囲気に接する面（Ａ面）の温度を測定
する温度素子（Ｔ熱電対）の温買変化を同時に記録して
、これを曲線（イ）、（ロ）とすると、曲＠０）から０
点で結露がはじまり、曲線（ロ）から、その温度Ｅが１
７．０’Ｃであることが検知される。

上記室内写囲気を７スでン乾湿球湿ｌ計で測定したとこ
ろ、乾球温度は２６．２℃、湿球濡ｅは２０．２℃を示
し、したがって、相対湿層（Ｒ，Ｈ）は５８％、露点は
１７．３℃となる。この結果で為ら本発明の装置は、丁
スマン乾湿球湿度計から求めた露点と良（一致すること
がわかる。

また、ｇｔｏ図は、別の雰囲気を冷却素子ｌに流す１！
ｆｉ’ｔ−０，８アンペアとして得ら、れた第９図相当
図で、曲線（ａで為ら得られた露点りの温匠Ｅは、１７
．８℃となる。この雰囲気を丁スマン乾湿球温度計で測
定すると、乾球温度：２５．６℃、湿球温度：２０．４
℃となり、これから求オる露点は、１８．０℃となり、
これもまたよい精度で一致する。

次に同稽の熱流計（ＥＳ熱流センサ）２つを、第８図の
アルミステージ１５に、両面粘着テープで貼付し、篇１
１図に示すように、熱流計２１゜２２の出力が互いにキ
ャンセルするようにそれぞれのサーモバイルｉｇ、ｔ６
を接続した装置を作成した。その理由は、第９図、第１
０図では熱流計が１つであるので、その出力は増加する
が、ノイズが発生し始める点りを見つければよいので、
熱流計出力の絶対値は変化しない方が判足し易いためで
ある。

上記装置を用いて、冷却素子１に、０アンペアの直流電
流を流して冷却し、ａＫ１２図に示すように熱流計２、
２２を接続した差（結線熱流計２３の出力を曲１ｌＧ（
）、熱流計２１に内蔵された側温素子３０１つであるＴ
熱電対の出力を曲線（ロ）に示した０曲線印は、記録計
の感度を高くしているので、全体的にノイズを生じてい
るが、ＤＡでノイズは格段と太きく６っておｐ１結露が
生じ始めたことが判定出来、その時の温度はＩ＆４℃と
なった。同じ雰囲気をアスマン乾湿球温淀計でｂノ定す
ると、乾球温度２２４．４℃、温蔵ｇ［：２０．５℃と
なシ、これよシ求めた１点は１８．３℃でよく一致する
。

上記、第１１図に示し念、２つの熱流計を差動Ｊｌｉ！
Ｆ＃シて用いた一体化＃流計２３は、熱流計の冷却側の
面の温式が一様であれば、第１３図（ａ）のように平面
状サーモバイルＩｇａ、或いは測温抵抗体１８ｈやサー
ミスタを第１３図（ｃ）のように雰囲気ガスと接する面
に平面状に配置したことと同様となるので、平面状温度
差検出素子２４を検出素子と゛して用いることも出来る
。上記平面状温度差検出素子２４を、側温素子３とと４
ＪＣ熱抵親体２５の一方の１１に電付け、他方の面には
冷却素子１を取付ければよい。上記熱抵抗体２５社熱寥
量が小さく、断熱性のよい多孔質材料が望ましい。

なお、Ｉ！！１１図の２ケの熱流計２、２２において、
サーモバイル１８．１８の代りに白金抵抗体やサーミス
タを用いた熱流計が使用出来ることは当然であるので、
その説明を省略する。また、上記熱流計や平面状温度差
検出素子の雰囲気ガスに触れる面には、例えば金等の金
属の蒸着、或いはアルはペイントの塗布などによって極
めて薄い良熱伝導体層を設けると、サーモバイル、サー
ミスタ、測温抵抗体等の感温点以外の位置て結露を生じ
始めても、熱的変化が検知し易い。

上記３つのタイプの装置は、いずれもセンサ部分につい
て述べ九が、例えば第８図に示す装置は、単に記録計を
用いた場合、第９図の曲線（イ）のようになり、それ自
体の変化がな；（、ノイズ発生開始時点が検知しにくい
。そのため熱流計の出力については、微分回路を付加す
ることが望ましい。

この微分回路の一例を第１４図に示し、説明する。熱流
計２の出力（サーモバイル１８の出力）は微分回路３２
への入力となシー、微分回路３２″に通ってアナログマ
ルチプレクサ−３４、およびアナログ信号出力端子４５
の出力として送られる。

側温素子３の出力はアンプ３３への入力となり、増幅さ
れてアナログマルチプレクサ−３４への入力となる。さ
らにアンプ３３の出力は、アナログ信号出力端子４５へ
も送られる。アナログ信号出力端子４５へは、記録計を
接続し、熱流計２および側温素子３の出力を監視するこ
とが出来る。

アナログマルチプレクサ−３４の出力はＡ／ＤＫｍ器３
５によってディジタル信号となシ、ディジタルインプッ
ト回路３６へ送られる。さらにディジタルインプット回
路３６から処理装置３７を通して記憶装置３８へ信号が
送られる。記憶装置３８では側温素子３の温度と出力電
圧との関係の記憶がなされてシシ、温度換算すること、
およびしきい値設定器４３で設定された設定電圧、±Ｖ
。

を記憶している、処理装置３７においては、熱流計から
微分回路３２ｔ−経由して入力された信号電圧が、上記
±ｖＯと比較され、±Ｖｏを超えた時点を判別し、その
時点の側温素子３の温度をディジタルアウト回路３９全
通して露点表示＠［１１４０で表示する。今、第９図の
曲線（イ）の微分出力を示すと肩１５図の上図のように
なシ、Ｄ点のピークは、同図上図の微分出力ではプラス
、マイナスの出力として表わさ、するので、単に＋ｖＯ
値または、−ＶＯ値を超える時を、結露開始時点として
とらえるよりも、＋ｖＯと−ｖＯを超え九時点の温度を
露点として判定した方が検知し易い。

ディジタルインプット回路３６には、しきい値設定器４
３の他にスタート釦４１η為らのディジタル信号が入力
される。スタート釦４１のディジタル信号は、ディジタ
ルアウト回路３９全経て直流電源３１をＯＮさせ、サー
モモジュール１ａと送風ファンＩＣへ一定の［Ｒ，ｔ（
ｉｆ、を供給する。電流設定５４４は直流電流の値を設
定＋るために使用される。また、ストップ釦４２は電流
供給の停止と、側温素子３、熱流計２からの出力データ
の消去作用を持つ。

上記回路では、ＯＰアンプを用いたアナログ式の微分回
路としたが、このアナログ式の微分回路を用いないで、
単にＯＰ了ンプを通しで熱流計２の出力信号をアナログ
マルチプレクサ−３４へ送り、そして、処理装置３７と
、記憶装ｆｉｔ３８とによって時間ｔｎの熱流計出力値
ｖｎ　　と時間妬＋１の熱流計の出力値Ｖｎ＋１　　と
から屓次（Ｖｎ＋　１″−Ｖｎ　）を求めれば微分出力
と同等の出力となり、アナログ式の微分回路を用いるこ
となくディジタル式に微分値を得ることが出来る、 なお、アナログマルチプレクサ−以降の回路におけるソ
フト処理につめては、さらに有効な処理方法、表示方法
が考えられるが省略する。

〔効果〕

以上述べたように、本発明の露点検知装置および検知方
法は、酸性雰囲気、アルカリ性雰囲気或いは高温雰囲気
等の過酷な環境条件下において、検知素子が被覆材に覆
われた状態で使用されるので、劣化することなく、また
ノイズ発生点を相対的に検出するのみで、格別の校正を
行なうことな（Ｍ点温度が検知され、しかも装置は比較
的簡単な構造で、製作も容易で、安価で実用性が高い等
、多（の長所を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第３図は、本発明の露点検知装置の原理的
説明図で、第１図は、縦断面視した略図、箪２図は、第
１図にヒータを設けた図、坑３図は、冷却素子として、
サーモモジュールおよび送風ファンを取付けた図、π４
図および！ｘ５図は、本発明の露点検出装置の原理的構
造に付加物を取付けた図で、填４ｒｙＪは断熱材全取付
けた図、Ｍ５図は、高温雰囲気測定のため、熱流計と冷
却素子との間を離間し、その間を良熱伝導性棒により熱
的に接続した図、ＩＥ６図は、カバーの斜視図、第７図
は、第５図の露点検知装置にカバーを取付けた図、第８
図は、具体的な４点検出装置の一例を示す鳥諏図、篇９
図、藁１０図は、！８図の露点検出装置を用いて露点を
検知する場合の記録チャートを示す図、第１１図は、２
つの同種の熱流計を用いた露点構出！！萱の図、第１２
図は第１１図の露点検出＊Ｒを用いて露点を検知した場
合の記録チャートの図、Ｉ！１３図（ａ）　、　（ｂ）
　、　（ｃ）ば、平面状温度差検出素子を用いた露点検
出装置の図で、８１３図（ａ）は平面状サーモバイルを
用いた斜視図、ｇ１３図（ｂ）は第１３図（ａｌ）１ｉ
＆断面図、第１３図（０１は測瀉低抗体を用いた斜視図
、第１４図は、熱流計の出力チャートを微分して画かせ
る回路の図、第１５因は第９図の熱流計の出力を、第１
４図の回路を用いて記録した図である。 ｌ・・・・・・冷却素子、ｌａ・・・・・・サーモモジ
ュール、ｌｂ・・・・・・放熱フィン、ｌａ・・・・・
・送風ファン、２・・・・・・熱流計、３・・・・・・
側温素子（温度計）、４・・・・・・ヒータ、１１・・
・・・・断熱材、１２・・・・・・穂、１２＆・・・・
・・孔、１３・・・・・・良熱伝導性俸、１４・・・・
・・カバー、１４ｍ・・・・・・上板、１４ｂ・・・・
・・＠部、１５・・・・・・アルミステージ、１６・・
・・・・紙製カバー、１６ａ・・・・・・孔、１７・・
・・・・金Ｌ１ｓ・・・用サーモパイル、１８＆・・・
・・・平面状サーモパイル、　　１１３ｂ・旧・・？１
！ｌ温抵抗体、２、２２・・・・・・同種の熱流計、２
３・・・・・・差動結線熱流計（一体化熱流計）、２４
・・・・・・平面状温度差検出素子、２５・・・・・・
熱抵抗体、３１・・・・・・直流電源、３２・・・・・
・微分回路、３３・・・・・・アンプ、３４・・・す・
アナログマルチプレクサ−１３５・・・・・・Ａ／Ｄ変
換器、３６・・・・・・ディジタルインプット回路、３
７・・・・・・処理装置、３８・・・・・・記憶装置、
３９・・・・・・ディジタルアウト回路、４０・・・・
・・露点表示装賞、４１・・・・・・スタート釦、４２
・・・・・・ス十ツブ釦、４３・・・・・・しきい値設
定器、４４・・・・・・電流設定器、４５・・・・・・
アナログ信号出力端子、Ａ・・・・・・熱流計の５４！
７！気と接する面、Ｂ・・・・・・熱流計の冷却素子と
接する面、Ｃ・・・・・・雰囲気ガス（雰囲気）、Ｄ・
・・・・・ｗ！露が開始する点、Ｅ・・・・・・績露が
開始する温度、（イ）・・・・・・熱流計の出力曲Ｎ（
熱流密度）、（ロ）温度計の出力曲線。 第１図　　　　　　第４図 第２図 第８図 ｈ； 第９図 第１０図 第１１図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）熱流計と、熱流計の雰囲気に接する側の面の温度
   を検出する測温素子と、測温素子の存在しない前記熱流
   計の面を冷却する冷却素子とを具備したことを特徴とす
   る露点検知装置。 （２）冷却素子の他に加熱用ヒータを具備した特許請求
   の範囲第１項記載の露点検知装置。 （３）雰囲気に接する側の面に薄い良熱伝導体層が設け
   られた熱流計を用いる特許請求の範囲第１項または第２
   項記載の露点検知装置。 （４）熱流計と冷却素子との間を離間し、その間に良熱
   伝導体を配して熱的に接続した特許請求の範囲第１、２
   、３項いずれかに記載の露点検知装置。 （５）熱流計の雰囲気に接する側の面に、側面に通気孔
   を有する有底筒状カバーを設けた特許請求の範囲第１、
   ２、３、４項いずれかに記載の露点検知装置。 （６）冷却素子として熱電冷却素子を用いた特許請求の
   範囲第１、３、４、５頂いずれかに記載の露点検知装置
   。 （７）熱流計の出力を微分出力として得ることのできる
   アナログ式、またはデジタル式の微分回路を具備した特
   許請求の範囲第１、２、３、４、５、６項いずれかに記
   載の露点検知装置。 （８）２ケの同種の熱流計を並列に並べ、それぞれの熱
   流計の出力が互いにキヤンセルするように結線された一
   体化熱流計と、この一体化熱流計の雰囲気に接する側の
   面の温度を検出する測温素子と、測温素子の存在しない
   側の前記一体化熱流計の面を冷却する冷却素子とを具備
   したことを特徴とする露点検知装置。 （９）冷却素子の他に加熱用ヒータを具備した特許請求
   の範囲第８項記載の露点検知装置。 （１０）雰囲気に接する側の面に薄い良熱伝導体層が設
   けられた一体化熱流計を用いる特許請求の範囲第８頂ま
   たは第９項記載の露点検知装置。（１１）　一体化熱流
   計と冷却素子との間を離間し、その間に良熱伝導体を配
   して熱的に接続した特許請求の範囲第８、９、１０項い
   ずれかに記載の露点検知装置。 （１２）　一体化熱流計の雰囲気に接する側の面に、側
   面に通気孔を有する有底筒状カバーを設けた特許請求の
   範囲第８、９、１０、１１項いずれかに記載の露点検知
   装置。 （１３）　冷却素子として熱電冷却素子を用いた特許請
   求の範囲第８、１０、１１、１２項いずれかに記載の露
   点検知装置。 （１４）　一体化熱流計の出力を微分出力として得るこ
   とのできるアナログ式、またはデジタル式の微分回路を
   具備した、特許請求の範囲第８、９、１０、１１、１２
   、１３項いずれかに記載の露点検知装置。 （１５）　熱抵抗体の雰囲気と接する面に平面状の温度
   差検出素子およびこの面の温度を測定する側温素子を配
   設し、反対側の面に、この面を冷却する冷却素子を設け
   たことを特徴とする露点検知装置。 （１６）　冷却素子の他に加熱用ヒータを具備した特許
   請求の範囲第１５項記載の露点検知装置。 （１７）　平面状の温度差検出素子および測温素子を配
   設した面を覆つて薄い良熱伝導体層を設けた特許請求の
   範囲第１５項または第１６項記載の露点検出装置。 （１８）　熱抵抗体と冷却素子との間を離間し、その間
   に良熱伝導体を配して熱的に接続した特許請求の範囲第
   １５、１６、１７項いずれかに記載の露点検知装置。 （１９）　平面状の温度差検出素子および側温素子を配
   した側の面に、側面に通気孔を有する有底筒状カバーを
   設けた特許請求の範囲第１５、１６、１７、１８項いず
   れかに記載の露点検知装置。（２０）　冷却素子として
   熱電冷却素子を用いた特許請求の範囲第１５、１７、１
   ８、１９項いずれかに記載の露点検知装置。 して得ることができるアナログ式又はデジタル式の微分
   回路を具備した特許請求の範囲第１５、１６、１７、１
   ８、１９、２０項いずれかに記載の露点検出装置。 （２２）　一方の面は雰囲気に接し、他方の面は冷却さ
   れる熱流計、または一体化熱流計、または一方面に平面
   状の温度差検出素子が取付けられている熱抵抗体の、熱
   流計または一体化熱流計または温度差検出素子の出力信
   号を、他方の面を冷却することによつて変化させ、その
   信号に重畳するノイズを見出し、そのノイズ発生時点に
   おける雰囲気に接する側の温度を検知することによつて
   、雰囲気の露点を検知することを特徴とする露点検知方
   法。