JPS6150028A - 流体用のソリツドステ−ト形温度測定装置および該温度測定装置を利用する装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、流体用のソリッドステート形温度測定装置お
よび該温度測定装置を利用する装置に関し、特に本発明
による装置は例えば大気汚染の監視技術において用いら
れる風速計に適用することができる。

〔従来の技術、および発明が解決しようとする問題点〕
風速計は大気の速度を計測するだめの装置であシ、一方
では気象上のデータ、換気テストまたは他の目的用に供
される装置である。大多数の風速計は、大気の移動に起
因して回転する羽根車の形態を有する。回転速度は風速
値を提供するよう目盛シ決めされている。このような風
速計は機械的要素からなシ、従って製造コストが高く、
耐用寿命を短くする摩耗および損傷を受けやすく、また
ｍｌｊ・化することが困難である。さらに、摩擦損失を
克服するようエネルギーを羽根車に伝えなければならな
いため、パイプ内に風速計を取り付けた場合には大気の
流れに対して制限が生じる。

ごく最近圧なって、換気テスト用に供されるソリッドス
テート形の風速計が開発されてきている。

この風速計は、補償回路（第１図参照）としてワイヤ接
続された１対のサーミスタビード素子を用いている。留
意されるべきこととして、サーミスタは電流を通過させ
ており、従って熱を発散させておシ、各サーミスタは周
囲温度に対して適度に上昇した温度状態に置かれている
。これは非常に重要なことであシ、これによって大気の
流れはサンプル用サーミスタの冷却を引き起こす。一方
のサーミスタ（サンプル用素子）は大気の流れにさらさ
れておム他方のサーミスタ（基準素子）は周囲温度にお
いて大気の流れが無い状態の中で防護されている。理想
的には、風速が０の条件の下で、サーミスタは等しい温
度において作動し、従って各サーミスタの抵抗値は等し
く、また補償回路は平衡している（差電圧出力がＯ）。

大気の流れが有ると、サンプル用サーミスタは冷却され
、該サーミスタはその抵抗値を変化させ、それにより補
償回路は不平衡状態になる。従って、該回路からの差電
圧出力は大気の流れの形で目盛り決めを行うことができ
る。基準サーミスタおよび補償回路を適宜選定すること
により、風速計が周囲温度の変化を補償するように設計
することができる。

しかしながら、この補償の精度は低く、一連の風速測定
を行う場合にその測定に先立って零設定を手動調整によ
υ行う必要がある。携帯の風速計においては、これは利
便性に欠けるものであるが、大しだ問題ではない。

サーミスタビードの更なる不利な点としては、細い接続
用ワイヤが損傷、疲労および腐食を受けやすく、一方、
ビード抵抗が経年使用に対して感応性を呈することであ
る。さらに、ザーミスタビードはかなシ高価であり、風
速計集合体の中で取り扱うには極めて困難である。

風速計の新しい応用例は風速を計測するだめの新しい方
法を生み出しており、それは温度ドリフトに対する適当
な補償を提供し、コンノククトであシ、堅牢であシ、低
コストであシ、製造容易であり、いかなる可動部材も含
まず、小規模であυ、大気の流れに対して無視し得る制
限を与えるのみである。

任意の大気汚染の監視技術は、初期の火事から初期の煙
の証跡を検出する目的のために応用されてお虱それによ
シ、確立された火事によシ引き起こされる生命および財
産の喪失が減少する。これは、高密度に有毒な煙霧が放
散されているが故に、近代的な合成材料が含まれている
ような状況では特に応用可能である。

防火用領域の各部内の空気のサンプルが煙霧検出器を通
過するようにし、それ【よシ空気の質を連続的に監視す
ることができるようにすることが必要である。このよう
な監視は、機械的に吸い込まれた／Ｊイブ網により行わ
れてもよいし、あるいはよシ単純に、空調システムの戻
）空気の計量装置に結合することによ９行われてもよい
。

いずれの場合においても、煙霧検出器を介する大気の流
れの中断は、危険な火事が検出されないままとならない
ように、検出されなければならない。

・ぐイブ網の場合、風速計により引き起こされる大気の
流れに対する制限の可能性を考慮することは重要である
。なぜならば、本管に破壊が生じた場合には、適度な容
量をもつ予備バッテリーから継続された動作を可能にす
るだめに、最少限のエネルギー人力のアスピレータが必
要になるからである。

知られているソリッドステート形の風速計では、サーミ
スタ補償回路が用いられ、該回路により大気の流れの損
失が検出され、適禍なアラーム信号が生成される。しか
しながら、このような風速計は、煙霧検出器の多くの応
用例において、周囲の大気温度の広い範囲にわたる変化
に対して補償可能でなければならない。

以下、知られているサーミスタ回路および温度に対して
プロットされた差電圧出力のグラフを例示する第１図か
ら第３図を参照する。

第１図のグラフは補償回路からの差電圧出力を示し、該
回路は典型的な１対の高精度サーミスタからなる。大気
の流れが無い状態では、差電圧出力は明らかに温度に依
存する。この依存度合は、（任意の・ぐイブ網およびア
スピレータによ）決定される）大気の流れが最大の状態
では、さらに大きくなる。これらの２本の曲線の間の垂
直方向の電圧値の隔たりは、任意の周囲温度における、
０と最大値の間のすべての風速に対するサーミスタ風速
計の応答を示している。

スイッチング境界値は便宜的に設定されるもので、通常
は調整可能である。この境界値以下においてアラーム信
号が生成される。この境界値スイッチング機能は、通常
比較器回路を用いて果たすことができる。例えば典型的
な２０℃の周囲温度において、もし差電圧出力が電圧値
の隔たシのほぼ３分の１に低下したならば、アラームが
発生されるようにする。留意されるべきこととして、風
速に対するサーミスタ風速計の応答が非直線的であるが
故に、この３分の１の電圧は風速の最大値のわずか１０
から２０％に対応する。

このような動作の広がりは、周囲温度の偏差が５から１
０℃の範囲（すなわち空調範囲）において小さい場合に
ば、許容されるであろう。

しかしながら、周囲温度が２０℃またはそれ以上上昇し
たならば、アラーム境界値を越えることは不可能になる
であろうし、またアラーム信号は風速に無関係に発生さ
れなければならなくなる。

さらに、周囲温度が２０℃まだはそれ以上低下したなら
ば、アラーム境界値に達することは不可能になるであろ
うし、アラーム信号を風速に無関係に発生させることは
不可能になるであろう。実用的には、このような風速計
の全動作範囲は４０℃以下となっておシ、季節的な温度
変化にさらされるような地域においてはこのような風速
計は不適轟でちる。製品の仕向は地を考）促することな
く、アラーム境界値を工場で設定することは極めて無意
味なことである。

さらに重要なこととして、煙霧検出器に関連してダスト
フィルタを使用することは、野原において得られた実際
の大気の流れに応じて、フィルタの部分釣力閉塞を検出
することができるようにアラーム境界値を設定しなけれ
ばならないという必要性につながる。単に大気の流れの
全損失を検出するだけでは充分ではない。例えば、−２
０℃から＋５０℃の範囲にわたり正確に流量の３０係の
損失を検出することは、温度補償の精度における実質上
の跳躍を必要とする。

サーミスタ設計による不良な性能の理由は、図面の第２
図を参照することによシ容易に理解することができる。

第２図は、供給電圧が直流１５Ｖで直列抵抗が２にΩの
場合における、各サーミスタのビード温度に対する各サ
ーミスタの個々の出力電圧を示す。ｌｉＩ］線Ａおよび
Ｂは、使用される高鞘度サーミスタに対する最悪ケース
の許容誤差の極端な例を示す。

第３図は、サーミスタＡおよびＢを有する補償回路の差
電圧出力を示す。サーミスタＡおよびＢが同じ温度に維
持される場合には、差電圧出力（Ａ−Ｂ　）は比較的平
坦である。これは大気の流れが無い状態を表わしている
。２個の同一のサーミスタ（Ａ−Ａ）または（Ｂ−Ｂ）
が選定されている場合には、曲線はＯｖにおいて水平方
向の直線となるであろう。しかしながら、一方のサーミ
スタを大気の流れの中にさらし、それによシその温度が
他方のサーミスタの温度より例えば２０℃低下させられ
た場合には、完全に性能が一致したサーミスタ（Ａ−Ａ
　）または（Ｂ−Ｂ）が用いられている時でさえ、極め
て急勾配の曲線（Ａ−Ｂ）となる。

すなわち、サーミスタの性能が完全に一致していない条
件の下では、大気の流れの信号（差電圧）に対する温度
ドリフトは、２０℃の周囲温度で、かつ大気の流れが高
速の時に、はぼ１．６％／℃である。サーミスタの性能
を完全に一致させるための困難な作業は、何の改善策に
もならないであろう。

この不良な性能の理由は基本的なサーミスタのアプロー
チの制限である。すなわち、それは温度に対する抵抗曲
線の固有の非直線性である。この曲線は便宜上次式で表
わされる。

Ｒ＝Ａｅｘｐ　（Ｋ／　（Ｔ　＋　２７３　））ただし
、Ｒは抵抗で、Ｔはビード温度（℃）である。

Ａは０．０１２９３から０．０３８８４の、１・ｉ２囲
にある定数で、Ｋば＝１０９６から３６８１の範囲にあ
る定数である。いずれの定数も、選定された特殊役銘柄
のサーミスタの製造工程により決定される。

ダイナミックな抵抗が温度の関数であることは知られて
いる。２個のサーミスタは（風速に依存する）異なった
温度で作動するため、該サーミスタはこの曲線の異なる
部分で作動する。これらのダイナミックな抵抗は異なっ
てお９、従って、一方が他方を補償することは不可能に
なる。

従っそ直観的に、いかなる解決策においても直線的応答
を備えた温度検出素子が必要であるように思われた。

集積回路化された温度検出素子は開発されてきておシ、
該素子は全く直線的な応答を有している。

しかしながら、これらの素子は高価であり、比較的大型
で、縮小化における困難性および大気あ流れに対する制
限を呈する。捷た、該素子は重要な熱時定数を有する。

従って、半導体接合のようなあまり複雑でない素子が求
められてきた。

＋１一方向にバイアスされたンリコンダイオード接合は
、本質的に直線性の温度特性、一般には２２ｍ■／℃、
を得られるものとして知られている。従って、それらは
温度測定の際に用いられてきた。

しかしながら、風速測定への応用は従来知られていない
。それにもかかわらず、シリコンダイオードの順方向の
電圧降下はほぼ０．６Ｖであり、また、大気の流れに対
して適度な感度が得られるように充分な電力を消費させ
てチップの温度を上昇させることは、１００　ｍＡまた
はそれ以上のオーダーの実質的な電流の流れを必要とす
る。これは許容し難いことであった。なぜならば、本管
に破壊が生じた揚台に適度な容量をもっ予’ｊ？ｉｉバ
ッテリーから継続された動作を可能にするために、全体
的に煙霧検出器のエネルギー効率を高めなければならな
いからである。従って、この手段は放棄された。

本発明の目的は正確で電力消費が少なく作動範囲にわた
って変化する温度には実質的に無関係であるソリッドス
テート形の風速計を提供することにある。

本発明のさらに別の目的は、ソリッドステート形の温度
測定装置を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の基本的形態によれは、流体媒質に露出され温度
に実質的に直線状に依存する電圧出力を発生するツェナ
ーダイオード、および、該電圧出力を該流体媒質の温度
を示すものとして測定する手段、を包含する、流体媒質
例えは大気用のソリッドステート形温度測定装置が提供
される。

本発明の他の形態によれば、一対の半導体接合体手段で
あって一方が流体流に露出され他方が該流体流から隔離
されたものを有する一つのソリッドステート形回路、お
よび、該接合体手段のそれぞれの出力を測定し流体流の
指示値を提供する手段、を包含する、流体流の計測装置
が提供される。

便宜上、該接合体手段は該測定手段に着脱自在に結合さ
れている。

本発明のさらに他の形態によれば、補償回路形態に接続
された一対のツェナーダイオードであって一方が流体流
に露出され他方が該流体流から隔離されたもの、および
、該ダイオード間の電圧差を測定する手段であって該電
圧差は流体流の速度を示すものであるもの、を包含する
、ソリ、トステート形風速計装置が提供される。

本発明のさらに他の形態によれば、ソリッドステート形
風速計を空気流検出装置として使用する、初期発火から
の煙の最初の微小量を検出するだめの光学的空気汚染監
視装置であって、該風速計は、補償回路形態に接続され
た一対のツェナーダイオードであって一方が汚染の影響
下にある可能性のある流体流に露出するのに適合させら
れ他方が該流体流から隔離されるもの、および、該ダイ
オード間の電圧差を測定する手段であって該電圧差が流
体流の速度を示すものでありしたがって該空気汚染監視
装置による新鮮流体サンプリングを示すものである、光
学的空気汚染監視装置が提供される。

本発明のさらに他の形態によれば、空気汚染監視装置用
に使用されるソリッドステート形温度測定装置であって
、該温度測定装置が、監視されつつある流体媒質にそれ
ぞれ露出する一対のツェナーダイオードであって、一方
のダイオードが流体流に露出し他方のダイオードが作動
温度を示す電圧出力を発生するように適合させられ該電
圧出力は少くとも作動範囲において実質的に直線状であ
るもの、および、該２個のダイオード間の電圧差を測定
しそれにより該空気汚染監視装置への適正な流体流が存
在するか否かを表示する比較手段、を具◇１１１する、
ソリッドステート形温度測定装置が提供される。

本発明のさらに他の形態によれば、空気汚染監視装置用
に使用されるソリッドステート形温度測定装置であって
、監視されつつある流体媒質にそれぞれ露出する一対の
ツェナーダイオードであって比較的小電流を通流されそ
れにより電池の長期間使用を可能ならしめ一方のダイオ
ードが流体流に露出し他方のダイオードが流体流に露出
せずダイオードの各個が少くとも作動範囲において実質
的に直線状である作動温度を表示する電圧出力を発生す
るのに適合させられるもの、および、該２個のダイオー
ド間の電圧差を測定しそれにより該空気汚染監視装置へ
の適正な流体流が存在するが否かを表示する比較手段、
を具備する、ソリッドステート形温度測定装置が提供さ
れる。

〔実施例〕。

以下添付図面を用いて本発明の詳細な説明する。

風速測定においてはもちろんのこと、温度測定において
ツェナーダイオードを使用することは従来知られていな
い。ツェナーダイオードは一般に逆バイアス状態で動作
させられ、その温度特性については詳細がほとんど公表
されていない。個々のツェナーダイオードのブレークダ
ウン電圧次第で、その温度特性の大きさと様子が変化す
ることが知られている。

ツェナーダイオードの試験が行われ、その結果の平均値
が第４図に示されている。それぞれのツェナーダイオー
ドには一定の消費電力（８０ｍＷ）となるようにバイア
ス電流が印加されており、この結果ツェナーダイオード
の接合部温度は実質的に不変の確実なものとなる。この
図からツェナー電圧が３ｖのダイオードではこう配が負
であり、４．７ｖのものでこう配がゼロになり、電圧が
高くなるにつれてこう配が正の向きに増加する。ここで
重要なのは、正確に測定できる値（ｉｏｍＶ）以内では
、試験結果に直線的な関係が見られることである。

第５図はツェナーダイオードを選択する時のガイドとな
る図であシ、この図によシ要求された温度係数に応じた
適切なツェナーダイオードの動作電圧を選べる。曲線の
直線近似により次のような単純な関係が生じ、この直線
近似はこれまで得られた結果の分布と大部分一致するほ
ど正確であるＧ＝１．２Ｘ（ｖｚ　　４．６）または、
Ｖｚ＝、４．６＋（Ｇ／１．２）ここでＧは温度こう配
（ｍＶ／℃）であり、ｖ２はツェナーダイオードのツェ
ナー電圧である。

直流電圧の供給制限が１５Ｖであることを考慮して、よ
シ厳格な試験を行なうために公称８．２ｖのツェナーダ
イオードを選ぶことが決定された。

どのような電力消費の要求にも答えるだめに、ツェナー
ダイオードのバイアス電流は通常の（正方向にバイアス
された）ダイオードのバイアス電流のほぼ１４分の１で
あることが必要である。

第６図は無作為に試験された多数のツェナーダイオード
の代表例を示すものである。これらは全て公称８．２ｖ
のものであるが、２種の異なった品質のツェナーダイオ
ードが含まれている。直線性と相互関係は保証されてお
り、そのこう配は４．０ｍｖ／℃に近い。全ての試験に
おいて１０ｍＡのバイアス電流が使用された。

最悪の場合の棒端な許容差を得るために、第７図に示す
回路配置においては素子Ａと素子Ｈとが選ばれて使用さ
れた。第７図が示すように、素子Ａと素子Ｈとの間の差
電圧出力（Ａ−Ｈ）は非常に直線的であシ、そのこう配
には実質的に変化がない。例えば２０℃の温度差が２つ
の接続点間に与えられている場合（サンプル用の素子は
大気流によって冷却されているのである）でも、前記こ
う配ては実質的に変化がない（図に示されているように
こう配はＱ、　３８　ｍＶ／℃が０．３７　ｍＶ／℃に
変化する）。素子Ａと素子Ａまたは素子Ｈと素子Ｈの組
合せのように完全に素子が一致している場合は、差出力
は完全に温度とは無関係になる。サーミスタを使用した
場合と違って、ツェナーダイオードの特性を合わせるこ
とは比較的簡単な処置である（これはこれまで温度に対
する電圧の直線性の変動が確かめられておらず、まだ（
構成が困難であったからである）。

との直線性は上述の試験の結果によシ確かめられる。

差電圧出力は通常は従来の直流オフセット調節を備えた
差動増幅器に与えられ、そこからアラーム境界値切換装
置（比較器）に送られる。

ツェナーダイオードの特性が完全に一致していない状態
のもとで、大気の流れの信号（差電圧）に対する温度ド
リフトは、周囲温度が少なくとも０℃から５０℃の範囲
内のどの温度においても、かつ速い大気の流れがある状
態で０．４％／℃である。この最悪のケースの状態はサ
ーミスタを使用した方法に比べて４倍の改善に和尚する
が、よシ高い改善を行なおうとする場合には、簡単な方
法で特性の一致したツェナーダイオードの一対を選ぶこ
とにより、必要とされる粒度がどのようなものであろう
とも、比較的簡単にツェナーダイオードをそれに一致さ
せられるということは驚くべきことである。

第８図に示された流速計の回路構成では、ツェナーダイ
オード１０のようなサンプル素子は大気の流れにさらさ
れており、ツェナーダイオード１１のような基準素子は
実質的に犬云の流れからは防護されているが、周囲温度
の中には置かれている。この構成では、シールド管１３
がパイプ１２の壁に挿入されており、大気の流れを煙霧
検出器（図示せず）に導くようになっている。ガラス内
に封入されだツェナーダイオードとその結合ワイヤは、
前記管１３内に固定されたプリント配線基板１４に機械
的かつ電気的に固着されている。

この実施例ではバイアス抵抗と後段の電子回路は前記管
１３から遠く離れたところに位置している。

基準素子１１は管１３の中に深く防護されているが、一
方、サンプル用素子１０はツクイブの中に突出している
。第９図における他の実施例では、半尋体素子とツェナ
ーダイオードのチップとがセラミックサブストレート２
０に固着され、適轟な保護材料で被覆されている厚いフ
ィルム状の微小回路モ：ヒ造を使用することにより同様
の結果が達成される。

変形実施例では２個のツェナーダイオードは異なったバ
イアス電流で動作させられる。通常の動作においては、
サンプル用素子は大気の流れによって冷却される。これ
に対して、基準素子の在る限られた空間はその温度が上
昇する（オーブン効果）。これより基準素子は低いバイ
アス、つまり素子が同様の接合温度に達する通常の動作
状態で動作させた方が適嶺であると考えられる。一方、
温度特性は正確な測定範囲内では直線的であり、同じ接
合温度を維持することにより素子の周囲温度に対する追
従を改良することができる。さらに重要なことは、バイ
アス電流はサンプル用素子の大気の流れに対する全体の
感度によりあらかじめ決定されるので、基準バイアス電
流の減少により流速計からの全体の電流の流出を減少さ
せることができる。実験結果によれば最適な比率は２：
１である。

第１０図はツェナーダイオードを用いて構成された代表
的な流速計の較正曲線を示しており、そのバイアス電流
は大気速度が１ｍ／秒程度の時に最適の値となる。この
曲線はその範囲の大部分が直線的であるので、アラーム
境界用回路の調整が簡単になる。

第１１図は補償回路４０を備えた流速計のブロック図を
示すものであり、この補償回路４０は第１２図に示され
るような抵抗性の回路の中にツェナーダイオードｚＳと
ＺＲとを有している。差電圧出力が差動増幅器４１に接
続されている。そして増幅器４１の出力が任意の比較器
４２に接続されている。大気速度をアナログ量で表示し
たものが差動増幅器４１の出力に与えられているが、こ
れに反して任意の比較器４２は過度の信号、あるいは不
適当な大気の流れの検出に使用され得るアラームを発生
させるための設定点を規定する。

通常、この流速計の方法の応用は煙霧検出器に限定され
るものではない。この応用は化学における工程、航空学
、気象学、空調装置、自動車設計や流体の馬鹿測定等を
含む流体の流れの測定の多様な分野に広げることができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図は従来公知のサーミスタ回路の出力特性
を示す線図、第４図はツェナーダイオードが８０　ｍＶ
一定の電力を消費するようにバイアス電流を流した試験
の結果を示す線図、第５図は要求された温度係数に応じ
たほぼ正確なツェナーダイオードを表示する選択ガイド
となる線図、第６図は多種類のツェナーダイオードの温
度特性の代表例を示す線図、第７図はツェナーダイオー
ド補償回路の温度に対する差電圧出力特性を示す線図、
第８図および第９図は流速計の一実施例の構造を示す説
明図、第１０図はツェナーダイオードを用いた流速計の
だめの代表的な較正曲線を示す線図、第１１図は離れた
場所に位置するアラーム手段にアナログ出力を供給する
流量計用の簡単な回路構成を示すブロック図、第１２図
はアラーム出力をオフするために比較器を使用するツェ
ナーダイオード式流速計の回路構成図である。 １０．１１・・・ツェナーダイオ−Ｐ、１２・・・ノや
イブ、１３・・・シールド管、１４・・・プリント配線
基板、２０・・・セラミックサブストレート、４０・・
・補イ１１回路、４１・・・差動増幅器、４２・・・比
較器。 以下余白 ｊｌｌ　ｊｌｌ　ウ）／’ｆ’　１’：　（ｌ　’Ｉ’
：占”ｔ、”！　Ｉ　’１’　ｌ−）士二上乙ｉ、ユ 王−工と；、÷ ドエ乙、６ ゴー１２互　／ Ｌ／１ 壬−エル、　ユＯ６ 手続補正書（方式） 昭和６０年　９月ノア日 許庁長官宇賀道部　殿 事件の表示 昭和６０年特許願　第９８８６５　号 び該温度測定装置を利用する装７を 補正をする者 事件との関係　　特許出願人

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、流体媒質に露出され温度に実質的に直線状に依存す
   る電圧出力を発生するツェナーダイオード、および、 該電圧出力を該流体媒質の温度を示すものとして測定す
   る手段、 を包含する、流体媒質例えば大気用のソリッドステート
   形温度測定装置。 ２、一対の半導体接合体手段であって一方が流体流に露
   出され他方が該流体流から隔離されたものを有する一つ
   のソリッドステート形回路、および、 該接合体手段のそれぞれの出力を測定し流体流の指示値
   を提供する手段、 を包含する、流体流の計測装置。 ３、補償回路形態に接続された一対のツェナーダイオー
   ドであって一方が流体流に露出され他方が該流体流から
   隔離されたもの、および、 該ダイオード間の電圧差を測定する手段であって該電圧
   差は流体流の速度を示すものであるもの、を包含する、
   ソリッドステート形風速計装置。 ４、ソリッドステート形風速計を空気流検出装置として
   使用する、初期発火からの煙の最初の微小量を検出する
   ための光学的空気汚染監視装置であって、該風速計は、
   補償回路形態に接続された一対のツェナーダイオードで
   あって一方が汚染の影響下にある可能性のある流体流に
   露出するのに適合させられ他方が該流体流から隔離され
   るもの、および、 該ダイオード間の電圧差を測定する手段であって該電圧
   差が流体流の速度を示すものでありしたがって該空気汚
   染監視装置による新鮮流体サンプリングを示すものであ
   る、 光学的空気汚染監視装置。 ５、空気汚染監視装置用に使用されるソリッドステート
   形温度測定装置であって、該温度測定装置が、監視され
   つつある流体媒質にそれぞれ露出する一対のツェナーダ
   イオードであって、一方のダイオードが流体流に露出し
   他方のダイオードが作動温度を示す電圧出力を発生する
   ように適合させられ該電圧出力は少くとも作動範囲にお
   いて実質的に直線状であるもの、および、 該２個のダイオード間の電圧差を測定しそれにより該空
   気汚染監視装置への適正な流体流が存在するか否かを表
   示する比較手段、 を具備する、ソリッドステート形温度測定装置。 ６、該一方の露出するダイオードは空気汚染監視装置の
   一つのサンプリング管内に位置し、該他方のダイオード
   は流体流から隔離されるが流体の環境温度を検知するよ
   うになっている、 特許請求の範囲第５項記載の装置。 ７、空気汚染監視装置用に使用されるソリッドステート
   形温度測定装置であって、監視されつつある流体媒質に
   それぞれ露出する一対のツェナーダイオードであって比
   較的小電流を通流されそれにより電池の長期間使用を可
   能ならしめ一方のダイオードが流体流に露出し他方のダ
   イオードが流体流に露出せずダイオードの各個が少くと
   も作動範囲において実質的に直線状である作動温度を表
   示する電圧出力を発生するのに適合させられるもの、お
   よび、 該２個のダイオード間の電圧差を測定しそれにより該空
   気汚染監視装置への適正な流体流が存在するか否かを表
   示する比較手段、 を具備する、ソリッドステート形温度測定装置。