JPH02227940A - 液体金属イオン源 - Google Patents
液体金属イオン源Info
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- JPH02227940A JPH02227940A JP1049462A JP4946289A JPH02227940A JP H02227940 A JPH02227940 A JP H02227940A JP 1049462 A JP1049462 A JP 1049462A JP 4946289 A JP4946289 A JP 4946289A JP H02227940 A JPH02227940 A JP H02227940A
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Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は液体金属イオン源に関するものであり、特に
加熱手段の構造が改良された液体金属イオン源に関する
ものである。
加熱手段の構造が改良された液体金属イオン源に関する
ものである。
[従来の技術]
液体金属イオン源は、液体金属のイオンから由来するイ
オンビームを与えるものであり、イオン注入装置、イオ
ンビームエツチング装置、゛イオンマイクロアナライザ
等に利用されている。第2図は従来の液体金属イオン源
の断面模式図である。
オンビームを与えるものであり、イオン注入装置、イオ
ンビームエツチング装置、゛イオンマイクロアナライザ
等に利用されている。第2図は従来の液体金属イオン源
の断面模式図である。
その底面が錐状の形をした円筒形状のるつぼ1の中に、
エミッタの働きをする針状チップ2が設置されている。
エミッタの働きをする針状チップ2が設置されている。
針状チップ2の先端は、るつぼ1の底面にある錐状の部
分の中心部に設けられた中心孔1aを貫通し、外部に突
出している。針状チップ2の先端部2aの対向する位置
に、引出電極3が設けられている。るつぼ1の外表面に
は、該るつぼ1を加熱するエナメル線でできた通電加熱
用ヒータ4がコイル状に巻付けられている。るつぼ1内
には、イオン化すべき金属、たとえば、Ga、Au、I
n、AuSi、Au5iBe等のイオン源金属5が入れ
られる。通電加熱用ヒータ4は加熱用電源7に接続され
ている。エミッタである針状チップ2と引出電極3の間
には引出電圧用電源8が接続されており、通常数kVの
電圧がかけられる。加熱用電源7の一端には、イオンを
加速するための加速電源9が接続されており、該加速電
源9の他方端は接地されている。
分の中心部に設けられた中心孔1aを貫通し、外部に突
出している。針状チップ2の先端部2aの対向する位置
に、引出電極3が設けられている。るつぼ1の外表面に
は、該るつぼ1を加熱するエナメル線でできた通電加熱
用ヒータ4がコイル状に巻付けられている。るつぼ1内
には、イオン化すべき金属、たとえば、Ga、Au、I
n、AuSi、Au5iBe等のイオン源金属5が入れ
られる。通電加熱用ヒータ4は加熱用電源7に接続され
ている。エミッタである針状チップ2と引出電極3の間
には引出電圧用電源8が接続されており、通常数kVの
電圧がかけられる。加熱用電源7の一端には、イオンを
加速するための加速電源9が接続されており、該加速電
源9の他方端は接地されている。
次に動作について説明する。
るつぼ1内にイオン源金属5を入れる。次いで加熱用電
源7をONL、通電加熱用ヒータ4で、るつぼ1を加熱
する。するとその熱により、るつぼ1内に入れられたイ
オン源金属は溶融する。液体化した金属は、該るつぼ1
の下方部に形成された錐状の部分の中心部に形成された
中心孔1aを通って、針状チップ2の先端2aに微滴と
なって留まる。液体の金属の微滴が重力によって下方部
に落ちてしまわないのは、その表面張力によるものであ
る。
源7をONL、通電加熱用ヒータ4で、るつぼ1を加熱
する。するとその熱により、るつぼ1内に入れられたイ
オン源金属は溶融する。液体化した金属は、該るつぼ1
の下方部に形成された錐状の部分の中心部に形成された
中心孔1aを通って、針状チップ2の先端2aに微滴と
なって留まる。液体の金属の微滴が重力によって下方部
に落ちてしまわないのは、その表面張力によるものであ
る。
次いで、針状チップ2と引出電極3の間に接続された引
出電圧用電源8をONL、数kVの電圧を印加する。す
ると、針状チップ2の先端部2aに留まっていた液体金
属の微滴はイオン化して引出電極3の方に向かってイオ
ンビームとして引出される。なお、このときのイオンビ
ームの速度は、加熱用電源7の一端に接続された加速電
圧用電源9と引出電圧用電源8で印加する電圧によって
加速電圧によって決まる。
出電圧用電源8をONL、数kVの電圧を印加する。す
ると、針状チップ2の先端部2aに留まっていた液体金
属の微滴はイオン化して引出電極3の方に向かってイオ
ンビームとして引出される。なお、このときのイオンビ
ームの速度は、加熱用電源7の一端に接続された加速電
圧用電源9と引出電圧用電源8で印加する電圧によって
加速電圧によって決まる。
[発明が解決しようとする課題]
従来の液体金属イオン源は以上のように構成されている
。しかしながら、るつぼ1の外から、ヒータ4でイオン
源金属5を加熱している構造であるので、エミッタチッ
プ2の周囲のイオン源金属5まで効率的に加熱すること
ができず、イオンビームの発生が安定しないという問題
点があった。
。しかしながら、るつぼ1の外から、ヒータ4でイオン
源金属5を加熱している構造であるので、エミッタチッ
プ2の周囲のイオン源金属5まで効率的に加熱すること
ができず、イオンビームの発生が安定しないという問題
点があった。
この問題点を解決するために、本出願人会社は以前に、
第3図に示すような液体金属イオン源を公表した(特開
昭61−147440号公報)。この液体金属イオン源
は、エミッタチップ2の周囲にヒータ線40を直接巻付
けてなるものである。
第3図に示すような液体金属イオン源を公表した(特開
昭61−147440号公報)。この液体金属イオン源
は、エミッタチップ2の周囲にヒータ線40を直接巻付
けてなるものである。
この液体金属イオン源によると、エミッタチップ2の周
囲のイオン源金属を加熱することができるので、上述の
問題点は少なからず改良される。しかしながら、エミッ
タチップ2は径が0.5mmという極めて細いものであ
り、さらに、その先端の円錐部分の長さが3mmという
極めて小さいものであるため、エミッタチップ2にヒー
タ線40を巻付けていく際、エミッタチップ2の先端部
が曲がってしまうという問題点があった。また、上述の
ようにエミッタチップ2の先端部が極めて小さいので、
エミッタチップ2の先端部分にヒータ線4′を巻付ける
ことができないという問題点もあった。さらに、エミッ
タチップ2の周囲にヒータ線4′を巻付けた構造である
ので、エミッタチップ2とヒータ線40との密着性が悪
いという問題点もあった。
囲のイオン源金属を加熱することができるので、上述の
問題点は少なからず改良される。しかしながら、エミッ
タチップ2は径が0.5mmという極めて細いものであ
り、さらに、その先端の円錐部分の長さが3mmという
極めて小さいものであるため、エミッタチップ2にヒー
タ線40を巻付けていく際、エミッタチップ2の先端部
が曲がってしまうという問題点があった。また、上述の
ようにエミッタチップ2の先端部が極めて小さいので、
エミッタチップ2の先端部分にヒータ線4′を巻付ける
ことができないという問題点もあった。さらに、エミッ
タチップ2の周囲にヒータ線4′を巻付けた構造である
ので、エミッタチップ2とヒータ線40との密着性が悪
いという問題点もあった。
それゆえに、この発明の目的は安定したイオンビームを
与えることのできる液体金属イオン源を提供することを
目的とする。
与えることのできる液体金属イオン源を提供することを
目的とする。
この発明の他の目的は、加熱手段とエミッタチップの密
着性の良い、液体金属イオン源を提供することにある。
着性の良い、液体金属イオン源を提供することにある。
この発明のさらに他の目的は、不必要な部分に熱を与え
ることな(、効率的にイオン源金属を加熱することので
きる液体金属イオン源を提供することを目的とする。
ることな(、効率的にイオン源金属を加熱することので
きる液体金属イオン源を提供することを目的とする。
[課題を解決するための手段]
この発明に係る液体金属イオン源は、その中にイオン化
物質を収容するるつぼと、上記るつぼ内に挿入されたエ
ミッタチップと、上記イオン化物質を加熱溶融する゛た
めの加熱手段と、を備えている。そして、上記問題点を
解決するために、上記加熱手段を導電性材料の膜で形成
し、該膜を上記エミッタチップの外表面に被覆したこと
を特徴とする。
物質を収容するるつぼと、上記るつぼ内に挿入されたエ
ミッタチップと、上記イオン化物質を加熱溶融する゛た
めの加熱手段と、を備えている。そして、上記問題点を
解決するために、上記加熱手段を導電性材料の膜で形成
し、該膜を上記エミッタチップの外表面に被覆したこと
を特徴とする。
[作用]
本発明に係る液体金属イオン源によれば、加熱手段を導
電性材料の膜で形成し、該膜を上記エミッタチップの外
表面に被覆しているので、加熱手段とエミッタチップの
密着性が良好となる。また、加熱手段によっては発熱さ
れた熱が直接エミッタチップおよび液体金属イオン源に
与えられるため、不必要な部分に熱を奪われることもな
く、効率的にこれらを加熱することができる。さらに、
加熱が安定しているので、安定したイオンビームが得ら
れる。
電性材料の膜で形成し、該膜を上記エミッタチップの外
表面に被覆しているので、加熱手段とエミッタチップの
密着性が良好となる。また、加熱手段によっては発熱さ
れた熱が直接エミッタチップおよび液体金属イオン源に
与えられるため、不必要な部分に熱を奪われることもな
く、効率的にこれらを加熱することができる。さらに、
加熱が安定しているので、安定したイオンビームが得ら
れる。
[実施例]
第1図は、この発明の一実施例に係る液体金属イオン源
の断面模式図である。
の断面模式図である。
その底面が錐状の形をした円筒形状のるつぼ1の中に、
エミッタの働きをする針状チップ2が設置されている。
エミッタの働きをする針状チップ2が設置されている。
針状チップ2の外表面には、導電性材料の膜で形成され
たヒータ膜4が、絶縁膜6aを介して被覆されている。
たヒータ膜4が、絶縁膜6aを介して被覆されている。
針状チップ2の先端部には絶縁膜は設けられておらず、
ヒータ膜4が、針状チップの先端部に直接接触している
。したがって、この部分で、針状チップ2とヒータ膜4
とは電気的に接続される。ヒータ膜4の外表面には絶縁
膜6bが被覆されている。この絶縁膜6bは、イオン源
金属5とヒータl114とを電気的に分離するためのも
のである。針状チップ2の先端は、るつぼ1の底面にあ
る錐状の部分の中心に設けられた中心孔1aを貫通して
いる。針状チップ2の先端部2aの対向する位置に、引
出電極3が設けられている。るつぼl内には、イオン化
すべき金属、たとえば、Ga、Au、In、AuSi、
Au5iBe等のイオン源金属5が入れられる。ヒータ
膜4は加熱用電源7の一方端に接続され、加熱用電源7
の他方端は針状チップ2の一端に接続されている。エミ
ッタである針状チップ2と引出電極3の間には引出電圧
用電源8が接続されており、通常数kVの電圧がかけら
れる。針状チップ2の一端には、イオンを加速するため
の加速電源9が接続されており、該加速電源9の他方端
は設置されている。なお、ヒータ膜4は、MoまたはW
等を含む化合物ペーストの焼結体から形成される。
ヒータ膜4が、針状チップの先端部に直接接触している
。したがって、この部分で、針状チップ2とヒータ膜4
とは電気的に接続される。ヒータ膜4の外表面には絶縁
膜6bが被覆されている。この絶縁膜6bは、イオン源
金属5とヒータl114とを電気的に分離するためのも
のである。針状チップ2の先端は、るつぼ1の底面にあ
る錐状の部分の中心に設けられた中心孔1aを貫通して
いる。針状チップ2の先端部2aの対向する位置に、引
出電極3が設けられている。るつぼl内には、イオン化
すべき金属、たとえば、Ga、Au、In、AuSi、
Au5iBe等のイオン源金属5が入れられる。ヒータ
膜4は加熱用電源7の一方端に接続され、加熱用電源7
の他方端は針状チップ2の一端に接続されている。エミ
ッタである針状チップ2と引出電極3の間には引出電圧
用電源8が接続されており、通常数kVの電圧がかけら
れる。針状チップ2の一端には、イオンを加速するため
の加速電源9が接続されており、該加速電源9の他方端
は設置されている。なお、ヒータ膜4は、MoまたはW
等を含む化合物ペーストの焼結体から形成される。
また、ヒータ膜4は、SiC,SiN、TiCまたはT
fN等の導電性セラミックから形成されてもよい。この
場合の膜形成には、たとえばプラズマCVD法が利用さ
れる。また、絶縁膜6a、6bには、アルミナ等のセラ
ミックが好ましく用いられる。
fN等の導電性セラミックから形成されてもよい。この
場合の膜形成には、たとえばプラズマCVD法が利用さ
れる。また、絶縁膜6a、6bには、アルミナ等のセラ
ミックが好ましく用いられる。
次に、動作について説明する。
るつぼ1内にイオン源金属5を入れる。次いで、加熱用
電源7をONする。すると、加熱用電源7からの電流は
、エミッタチップ2を通り、エミッタチップの先端部2
aからヒータ膜4に入り、ヒータ膜4内を通って、加熱
用電源7に戻る。こうして、ヒータ膜4に電流が流れる
と、ヒータ膜4は発熱し、るつぼ1内のイオン源金属5
は加熱され、溶融する。溶融し、液体化したイオン源金
属5はるつぼ1の下方に形成された錐状の部分の中心部
に形成された中心孔1aを通って流れ出し、針状チップ
2の先端部に微滴となって留まる。エミッタである針状
チップ2と引出電極3の間に接続された引出電源8に高
電圧を印加すると、流出してきた液体金属の微滴はイオ
ン化され、引出電極3側へイオンビーム10として引出
される。引出されたイオンビームは、引出電圧用電源8
により印加される電圧により、加速される。以上のよう
にして、るつぼ1内の液体金属はイオン化されるが、加
熱手段がエミッタチップ2の外表面に被覆された導電性
材料の膜で形成されているので、加熱手段とエミッタチ
ップ2との密着性が良好となる。また、ヒータ膜4によ
って発熱した熱が直接エミッタチップ2およびイオン源
金属5に与えられるため、必要部分に熱を奪われること
なく、効率的にこれらを加熱することができる。それゆ
えに、加熱性能が安定する結果、安定したイオンビーム
が得られる。したがって、この発明の液体金属イオン源
は、特に高融点金属の加熱・溶融に有効に利用され得る
ものである。
電源7をONする。すると、加熱用電源7からの電流は
、エミッタチップ2を通り、エミッタチップの先端部2
aからヒータ膜4に入り、ヒータ膜4内を通って、加熱
用電源7に戻る。こうして、ヒータ膜4に電流が流れる
と、ヒータ膜4は発熱し、るつぼ1内のイオン源金属5
は加熱され、溶融する。溶融し、液体化したイオン源金
属5はるつぼ1の下方に形成された錐状の部分の中心部
に形成された中心孔1aを通って流れ出し、針状チップ
2の先端部に微滴となって留まる。エミッタである針状
チップ2と引出電極3の間に接続された引出電源8に高
電圧を印加すると、流出してきた液体金属の微滴はイオ
ン化され、引出電極3側へイオンビーム10として引出
される。引出されたイオンビームは、引出電圧用電源8
により印加される電圧により、加速される。以上のよう
にして、るつぼ1内の液体金属はイオン化されるが、加
熱手段がエミッタチップ2の外表面に被覆された導電性
材料の膜で形成されているので、加熱手段とエミッタチ
ップ2との密着性が良好となる。また、ヒータ膜4によ
って発熱した熱が直接エミッタチップ2およびイオン源
金属5に与えられるため、必要部分に熱を奪われること
なく、効率的にこれらを加熱することができる。それゆ
えに、加熱性能が安定する結果、安定したイオンビーム
が得られる。したがって、この発明の液体金属イオン源
は、特に高融点金属の加熱・溶融に有効に利用され得る
ものである。
なお、上記実施例において、るつぼ1の上方部にるつぼ
蓋を設ければ、液体金属の蒸気が外部へ逸散するのを防
ぐことができ、材料が早く消耗してしまうのを防ぐこと
ができる。その結果、高飽和蒸気圧のイオン源金属にこ
の発明を応用することができるようになる。また、この
ようなるつぼ蓋を設けると、液体金属の蒸気の外部漏れ
による環境汚染を防ぐこともできる。
蓋を設ければ、液体金属の蒸気が外部へ逸散するのを防
ぐことができ、材料が早く消耗してしまうのを防ぐこと
ができる。その結果、高飽和蒸気圧のイオン源金属にこ
の発明を応用することができるようになる。また、この
ようなるつぼ蓋を設けると、液体金属の蒸気の外部漏れ
による環境汚染を防ぐこともできる。
また、この実施例のように、るつぼおよび針状チップの
材質を金属と反応しにくいものとすることにより、反応
性のイオン源金属にも応用し得るイオン源とすることが
できる。
材質を金属と反応しにくいものとすることにより、反応
性のイオン源金属にも応用し得るイオン源とすることが
できる。
以上、具体的な実施例を挙げてこの発明の液体金属イオ
ン源を説明したが、この発明はこの実施例に限定される
ものではない。
ン源を説明したが、この発明はこの実施例に限定される
ものではない。
[発明の効果]
以上説明したように、この発明に係る液体金属イオン源
によれば、加熱手段を導電性材料の膜で形成し、護膜を
エミッタチップの外表面に被覆しているので、加熱手段
とエミッタチップの密着性が良くなる。また、加熱手段
によって発熱した熱が直接エミッタチップおよびイオン
源金属に与えられるため、不必要な部分に熱を取られる
こともなく、効率的にこれらを加熱することができる。
によれば、加熱手段を導電性材料の膜で形成し、護膜を
エミッタチップの外表面に被覆しているので、加熱手段
とエミッタチップの密着性が良くなる。また、加熱手段
によって発熱した熱が直接エミッタチップおよびイオン
源金属に与えられるため、不必要な部分に熱を取られる
こともなく、効率的にこれらを加熱することができる。
それゆえに、従来装置よりも加熱効率が向上し、ひいて
は省電力化が達成される。また、加熱が安定しているの
で、安定したイオンビームが得られるという効果を奏す
る。
は省電力化が達成される。また、加熱が安定しているの
で、安定したイオンビームが得られるという効果を奏す
る。
第1図はこの発明の一実施例に係る液体金属イオン源の
断面模式図である。第2図は、従来の液体金属イオン源
の断面模式図である。第3図は、この発明の基礎となっ
た液体金属イオン源の断面模式図である。 図において、1はるつぼ、2はエミッタチップ、4はヒ
ータ膜である。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
断面模式図である。第2図は、従来の液体金属イオン源
の断面模式図である。第3図は、この発明の基礎となっ
た液体金属イオン源の断面模式図である。 図において、1はるつぼ、2はエミッタチップ、4はヒ
ータ膜である。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (6)
- (1)その中にイオン化物質を収容するるつぼと、 前記るつぼ内に挿入されたエミッタチップと、前記イオ
ン化物質を加熱溶融するための加熱手段と、を備えた液
体金属イオン源において、前記加熱手段を導電性材料の
膜で形成し、該膜を前記エミッタチップの外表面に被覆
したことを特徴とする、液体金属イオン源。 - (2)前記導電性材料の膜を絶縁膜を介して前記エミッ
タチップの外表面に被覆した、特許請求の範囲第1項記
載の液体金属イオン源。 - (3)前記被覆された導電性材料の膜の外表面にさらに
絶縁膜を被覆した、特許請求の範囲第1項記載の液体金
属イオン源。 - (4)前記導電性材料の膜は、MoまたはWを含む化合
物ペーストの焼結体から形成される、特許請求の範囲第
1項記載の液体金属イオン源。 - (5)前記導電性材料の膜は、SiC、SiN、TiC
およびTiNからなる群より選ばれた導電性セラミック
から形成される、特許請求の範囲第1項記載の液体金属
イオン源。 - (6)前記絶縁膜はアルミナセラミックから形成される
、特許請求の範囲第2項記載の液体金属イオン源。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1049462A JPH02227940A (ja) | 1989-03-01 | 1989-03-01 | 液体金属イオン源 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1049462A JPH02227940A (ja) | 1989-03-01 | 1989-03-01 | 液体金属イオン源 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02227940A true JPH02227940A (ja) | 1990-09-11 |
Family
ID=12831810
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1049462A Pending JPH02227940A (ja) | 1989-03-01 | 1989-03-01 | 液体金属イオン源 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02227940A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112449546A (zh) * | 2019-08-27 | 2021-03-05 | 华硕电脑股份有限公司 | 液态金属散热膏涂布方法及散热模块 |
-
1989
- 1989-03-01 JP JP1049462A patent/JPH02227940A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112449546A (zh) * | 2019-08-27 | 2021-03-05 | 华硕电脑股份有限公司 | 液态金属散热膏涂布方法及散热模块 |
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