JPH02220294A - 半導体装置における出力回路 - Google Patents

半導体装置における出力回路

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JPH02220294A
JPH02220294A JP1039410A JP3941089A JPH02220294A JP H02220294 A JPH02220294 A JP H02220294A JP 1039410 A JP1039410 A JP 1039410A JP 3941089 A JP3941089 A JP 3941089A JP H02220294 A JPH02220294 A JP H02220294A
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JP
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circuit
level
output
signal
transistor
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JP1039410A
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Shigeo Araki
茂生 荒木
Hiroyuki Suzuki
裕之 鈴木
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Sony Corp
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Sony Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野〕 本発明はメモリ等の半導体装置の出力回路に関する。 (発明の概要) 本発明は、出力信号が第1又は第2のレベルでなされ、
出力部のレベルをプリチャージするプリチャージ回路を
有したメモリ等の半導体−Jlの出力回路において、そ
のプリチャージ回路を、出力信号のレベルを検出するレ
ベル検出手段からの信号に応じて第1のレベルと第2の
レベルの中間の第3のレベルにプリチャージさせる構成
とすることにより、貫通電流を防止し、高速な出力動作
を行うものである。 〔従来の技術] SRAMやDRAM等のメモリ装置においては、そのデ
ータを出力するために出力回路(出力バッファ)を有し
ている。この出力回路からの出力信号は、通常2値の論
理レベノCを有し、高レベル(電源電圧)と低レベル(
接地電圧)の2つのレベルによってデータが出力される
。 ところで、このような出力回路の一例として、特開昭6
2−214583号公報に記載される技術がある。 この出力回路の技術は、出力回路のインバーターで構成
される最終出力段の出力部にプリチャージ回路を形成す
るものである。このプリチャージ回路は、出力部と電源
電圧の間及び出力部と接地電圧の間に、それぞれMOS
トランジスタを設けるものであり、各MO3)ランジス
タはアドレスバッファからのイコライズ信号により共に
オンとなってプリチャージ動作が行われる。このような
プリチャージ動作によって、出力レベルが2つの論理レ
ベルの間の中間レベルになり、次に高レベル若しくは低
レベルにスイングする場合にも、高速にスイングするこ
とになる。 〔発明が解決しようとする課題〕 ところが、上記公報記載のプリチャージ回路を有する出
力回路では、MOS)ランジスクを流れる貫通電流が問
題となる。 すなわち、プリチャージ動作を行う時には、出力部と電
源電圧部、出力部と接地電圧部の間でMOSトランジス
タが両方ともオンになり、電源電圧部から接地電圧部へ
向かって貫通電流が流れてしまう0例えば、第6図のよ
うに読み出し時に出力部(Ilo)の電圧■が変化した
とすると、2つのMOSトランジスタを貫通する電流が
加わって電流iが急激に変動することになる。すると、
電源電圧や接地電圧のレベルがその急激な電流iによっ
て変動してしまうという問題が生ずる。 そこで、本発明は高速な読み出し動作を貫通電流を抑え
ながら実現するような半導体装置における出力回路の提
供を目的とする。 〔課題を解決するための手段〕 上述の目的を達成するために、本発明の半導体装置にお
ける出力回路は、第1のレベルと第2のレベルを有する
出力信号のレベルを検出するレベル検出手段と、そのレ
ベル検出手段からの信号に応じて出力部のレベルを第1
のレベルと第2のレベルの間の第3のレベルにするプリ
チャージ回路とを有することを特徴としている。 ここで、第1のレベルは高レベル又は低レベルであり、
第2のレベルは第1のレベルの逆の論理レベルである。 上記出力回路のレベル検出手段は、第1のレベル又は第
2のレベルのみを検出して信号を発生させる構成や、第
1のレベルと第2のレベルの双方を検出して各レベルに
応じた信号を発生させる構成とすることができる。また
、このレベル検出手段はイコライズ信号によって動作す
るものとすることができる。イコライズ信号は、例えば
、アドレス遷移信号等の出力信号のタイミングを設定す
るようなりロックにより生成される。 また、レベル検出手段の一例を挙げて説明すると、この
ようなレベル検出手段は、出力部にその入力端子が接続
したNAND回路やNOR回路等の論理回路を以て構成
することができ、他の入力端子をイコライズ信号の入力
とすることで、イコライズ信号によってアクティブにす
ることが可能となる。 また、プリチャージ回路は、出力部のレベルを第1.第
2のレベルの間の第3のレベルにする回路であり、その
制御が上記レベル検出手段からの信号により行われる。 第1のレベル又は第2のレベルのみを検出する構成では
、その逆の論理レベル側の電位と出力部の間にスイッチ
を設ければ良い、また、第1と第2のレベルの双方のレ
ベルを検出する回路構成では、双方のレベル側と出力部
の間にスイッチを設ける構成とすれば良い、具体的には
MOSトランジスタでスイッチを構成できる。 第3のレベルは、−例としてTTLの闇値レベルに合わ
せることができる。また、プリチャージ動作の前後で出
力のレベルが同じ場合にも高速化できるように、TTL
の闇値レベルから多少のマージンを以て設定されるレベ
ルとしても良い。この場合、低レベルをプリチャージす
る時はTTLの闇値レベルより少し低いレベル、高レベ
ルをプリチャージする時はTTLの闇値レベルより少し
高いレベルが第3のレベルとなる。また、TTLの闇値
レベルに限定されず、1/2Vcc(電源電圧)等の中
間的なレベルを第3のレベルとしても良い。 〔作用〕 レベル検出手段は、出力信号のレベルを検出し、そのレ
ベルに応じた信号を発生する。その信号しよプリチャー
ジ回路に供給され、そのプリチャージ回路の作動によっ
て出力部のレベルを中間電位である第3のレベルにさせ
るが、上記信号によってすなわち出力部のレベルに応じ
て、プリチャージ回路の一部を不作動にし、貫通電流の
経路を断つことができる。 〔実施例〕 本発明の好適な実施例を図面を参照しながら説明する。 第1の実施例 本実施例は、レベル検出手段としてNOR回路とNAN
D回路が設けられ、プリチャージ回路がMOS)ランジ
スタで構成される出力回路の例であり、例えばSRAM
、DRAM等のメモリ装置の出力バッファとして用いら
れるものである。 まず初めに、本実施例の出力回路10が用む1られるメ
モリについて第3図を参照して簡単に説明すると、アド
レス信号ΦADが入力されるアドレスバッファ・アドレ
ス遷移検出回路(ATD)40が設けられ、そのアドレ
スバッファ・ATD回路40からはアドレスデータがア
ドレスデコーダ41に送られる。デコーダ41からメモ
リセルの選択信号がメモリコア部42に送られ、そこで
成るメモリセルが選択されてデータが読み出される。 このメモリコア部42からのデータはセンスアンプ43
で増幅され、データ信号Doutが出力回路10に送ら
れる。一方、アドレスバッファ・ATD回路40からは
アドレスの遷移により発生するパルス信号であるアドレ
ス遷移検出信号が出力され、この信号がクロックジェネ
レーター44に送られる。このクロックジェネレーター
44では、上記アドレス遷移検出信号のパルスに基づい
てパルス信号であるイコライズ信号ΦEQが生成される
。このイコライズ信号ΦEQは出力回路10に送られる
。また、出力回路10には信号ΦOE(アウトプットイ
ネーブル)も供給される。すなわち、出力回路10には
、データ信号Doutとイコライズ信号ΦEQ及び信号
ΦOEが送られて所要の出力動作及びプリチャージ動作
が行われることになる。 次に、本実施例の出力回路IOの回路構成を第1図に示
す0本来のバッファとして機能する部分は、NAND回
路13.NOR回路14.pM。 Sトランジスタ11及びnMOSトランジスタ12によ
り構成される。2人力のNOR回路14の一方の入力端
子には、データ信号Doutが供給され、他方の入力端
子には信号ΦOEが供給される。 2人力のNAND回路13の一方の端子には信号ΦOE
が・インバーター回路15を介して供給され、その他方
の端子にはデータ信号Doutが供給される。NAND
回路13の出力端子はpMO3)ランジスタ11のゲー
トに接続する。NOR’回路14の出力端子はnMOS
トランジスタ12のゲートに接続する。pMOSトラン
ジスタ11とnMO3)ランジスタ12は電源電圧と接
地電圧の間を直列に接続されており、pMOSトランジ
スタ12のソースが電源電圧に、nMO3トランジスタ
11のソースが接地電圧にされる。そして、PMOSト
ランジスタ11とnMOSトランジスタ12の接続点が
出力部5となる。 このバッファとしての機能に加えてプリチャージ動作を
行うための回路が設けられている。各2人力のNORO
R回路−AND回路2はレベルを検出するためのレベル
検出手段として機能する。 NOROR回路一方の入力端子にはインバーター回路1
6を介してイコライズ信号ΦEQが供給される。NAN
D回路2の一方の入力端子には直接イコライズ信号ΦE
Qが供給される。そして、NOR回路1とNAND回路
2の各残りの入力端子はレベルの検出のために出力部5
に接続される。 NOR回路1の出力端子はインバーター回路6を介して
プリチャージ回路を構成するpMO3)ランジスタ3の
ゲートに接続される。NAND回路2の出力端子はイン
バーター回路7を介じて同じ(プリチャージ回路を構成
するnMO3)ランジスタ4のゲートに接続される。p
MOSトランジスタ3のソースは電源電圧が供給され、
そのドレインは出力部5に接続される。0MO3)ラン
ジスタ4のソースは接地電圧が供給され、そのドレイン
は出力部5に接続される。 次に、第2図を参照して、その動作について説明する。 まず、イコライズ信号ΦEQのパルスが供給される前に
おいて、波形(a)のように前のアクセスにかかるデー
タとして出力部5のレベルが高レベルであるものとする
0次のアクセスによって時刻t−でイコライズ信号ΦE
Qのパルスが発生し、このイコライズ信号ΦEQのレベ
ルが高レベルとなって、NAND回路2の一方の入力端
子に高レベルの信号が供給され、インバーター回路16
を介するためNOR回路1の一方の入力端子に低レベル
の信号が供給される。すると、出力部5のレベルが高レ
ベルであるため、その出力部5の高レベルを検出してN
OROR回路用力は低レベルとなり、インバーター回路
6を介して供給される9MO3)ランジスタ3のゲート
電圧は高レベルとなる。よって、9MO3)ランジスタ
3はオフ状態とされる。また、出力部5の高レベルを検
出してNAND回路2の出力は低レベルとなり、インバ
ーター回路7を介して供給されるnMOSトランジスタ
4のゲート電圧は高レベルとなる。従って、0MO3)
ランジスタ4はオン状態となる。その結果、時刻t1か
らは9MO3)ランジスタ3がオフ、nMOs)ランジ
スタ4がオンとなり、出力部5の電位は接地電圧側に引
っ張られることになる。そして、pMOs)ランジスタ
3がオフであるために、このプリチャージ回路では貫通
電流がない。 プリチャージ動作が行われ続けて出力部50レベルが下
がって行き、出力部5のレベルが、そのレベルを検出し
ているNAND回路2の閾値電圧よりも下がったところ
で、NAND回路2の出力は高レベルに転じる(時刻t
2)。その結果、0MO3)ランジスタ4のゲート電圧
は低レベルになり、0MO3)ランジスタ4はオフにな
って、プリチャージ動作が終了する。このプリチャージ
動作の終了によって、出力部5のレベルはNAND回路
2の閾値電圧近くのレベルに保持されることになり、そ
のレベルから高レベル或いは低レベルにスイングする場
合には、いずれも高速に遷移することができる。 時刻
【3でイコライズ信号ΦEQのレベルが低レベルに
なって、以後衣のΦEQのパルスが供給されるまでNA
ND回路2の出力は高レベルに、NOROR回路用力は
低レベルにそれぞれ保持される。このため9MO3)ラ
ンジスタ3.nM。 Sトランジスタ4からなるプリチャージ回路は動作しな
い、なお、イコライズパルスの立ち下がりが上記時刻t
2よりも早い場合、出力部5のレベルはイコライズパル
スの立ち下がり時のレベルに止まる。 次に、データ信号Doutの入力と信号ΦOEのタイミ
ングにより、データの出力が行われる。入力するデータ
信号Doutを低レベルとすると、NAND回路13の
出力が高レベル、NOR回路14の出力が高レベルとな
り、9MO3)ランジスタ11がオフ、nMOSトラン
ジスタ12がオンになる。その結果、時刻t4で波形(
a)のレベルはNAND回路2の閾値電圧をこえたレベ
ルから、0MO3)ランジスタ12の駆動によって徐り
に下がって行き、時刻t、でTTLの閾値電圧をこえて
低レベルに出力部5のレベルが変化することになる。 また、前のサイクルのデータが低レベルの時では、波形
■)に示すように、初めに出力部5のレベルが低レベル
とされる。次に、時刻L1でイコライズ信号ΦEQのパ
ルスが供給され、NOR回路1の出力が高レベルとされ
、NAND回路2の出力が高レベルとされる。すると、
インバーター回路6の出力が低レベルとなり、インバー
ター回路7の出力が低レベルとなって、pMOSトラン
ジスタ3がオン、nMOs)ランジスタ4がオフになる
。このため、出力部5のレベルがpMOSトランジスタ
3により引き上げられて行って、プリチャージが行われ
る。 続いて、時刻1.で出力部5のレベルがNOR回路lの
閾(a’を圧をこえる。すると、NOR回路1の出力が
高レベルから低レベルに変化し、インバーター回路6を
介してPMOSトランジスタ3がオフに転じる。これで
プリチャージ動作の終了となる。以下、イコライズ信号
ΦEQの立ち下がり(時刻ts)後、データ信号Dou
tとして高レベルの入力があるとすると、NAND回路
13の出力が低レベルとなって9MO3)ランジスタ1
1がオンになり、波形(ロ)で示すように、出力部5の
レベルが引きあげられ(時刻t4)、TTLの閾値電圧
をこえる(時刻ts)ことになる。 上述のように、本実施例の出力回路では、出力部5のレ
ベルに応じて、その逆の論理レベルの電位側ヘプリチャ
ージするようにNOROR回路上AND回路2が作動す
る。特に、プリチャージ回路を構成するpMOSトラン
ジスタ3やnMOSトランジスタ4は、レベル検出手段
であるNOR回路1やNAND回路2によって、一方の
トランジスタのみがオンとなり、貫通電流は抑制される
ことになる。第5図は、本実施例の出力回路を用いた時
の電圧の変化と電流の変化を示す図である。 読み出し時に電圧■が高レベルから低レベルに遷移する
ものとすると、その電流Iはプリチャージ動作により小
さなピーク1.、Itに分割されて流れることになり、
従来例(第6図)の115程度の電流のピークで済むこ
とになる。 また、換言すると、本実施例の出力回路の貫通電流を抑
制する機能は、レベル検出手段であるNAND回路2と
NOROR回路上れぞれ闇値電圧が異なっており、出力
部のレベルが各闇値電圧の間のレベルにされる時にはp
MOSトランジスタ3とnMO3l−ランジスタ4の双
方がオフにされることにより発揮される。ここで、NA
ND回路2の闇値電圧は2■程度、TTLの閾(a電圧
は1゜5v程度、NOR回路1の閾値電圧は1.0 V
程度に設定することが可能である。出力信号の闇値電圧
とレベル検出手段の闇値電圧の差は、プリチャージ終了
時に出力信号の闇値電圧を越えてしまわない程度のマー
ジンを以て設定されることが望ましい。 なお、上述の実施例においては、出力信号のレベルの中
心をTTLの闇値電圧を基準としたが、これに限定され
ず、電源電圧と接地電圧の間の任意のレベルにプリチャ
ージすることが可能である。 また、出力回路としては、出力バッファに限定されず、
半導体装置内のデータ転送用のバッファに用いることも
可能であり、配線容量等が大きくプリチャージにより高
速化が図れる回路部分に利用できる。さらに、上述の実
施例では、高レベルと低レベルの両レベル側にプリチャ
ージするための回路を設けているが、片側でも良く、例
えばNAND回路2.インバーター回路7及びnMO3
)ランジスタ4を省いた構成、或いはNOR回路】。 インバーター回路6及び9MO3)ランジスタ3を省い
た構成等でも良い。 第2の実施例 本実施例は、第1の実施例の変形例であり、第4図に示
す構成を有する。 本来のバッファとして機能する部分は、NAND回路3
3.、NOR回路34.pMO3l−ランジスタ31及
びnMO3)ランジスタ32により構成される。この部
分においては、第1の実施例と同じ構成である。すなわ
ち、2人力のNOR回路34の一方の入力端子には、デ
ータ信号Doutが供給され、他方の入力端子には信号
ΦOEが供給される。2人力のNAND回路33の一方
の端子には信号ΦOEがインバーター回路35を介して
供給され、その他方の端子にはデータ信号Doutが供
給される。NAND回路33の出力端子は2MO3)ラ
ンジスタ31のゲートに接続する。NOR回路34の出
力端子はnMO3)ランジスタ32のゲートに接続する
。9MO3)ランジスタ31とnMOSトランジスタ3
2は電源電圧と接地電圧の間を直列に接続されており、
pMOsトランジスタ32のソースが電源電圧に、nM
OSトランジスタ31のソースが接地電圧にされる。 そして、9MO3)ランジスタ31とnMOSトランジ
スタ32のドレインの接続点が出力部25となる。 プリチャージ動作を行うための回路は、2人力のNOR
回路21.2人力のNAND回路22゜nMO3)ラン
ジスタ23.pMOsトランジスタ″2h4よりなる。 各2人力のNOR回路21とNAND回路22はレベル
を検出するためのレベル検出手段として機能する。NO
R回路21の一方の入力端子にはインバーター回路36
を介してイコライズ信号ΦEQが供給される。NAND
回路22の一方の入力端子には直接イコライズ信号ΦB
Qが供給される。そして、NOR回路21とNAND回
路22の各残りの入力端子はレベルの検出のために出力
部25に接続される。NOR回路21の出力端子はプリ
チャージ回路を構成する0MO5)ランジスタ23のゲ
ートに接続される。 NAND回路2の出力端子はプリチャージ回路を構成す
る9MO3)ランジスタ24のゲートに接続される。n
Mo5トランジスタ23のドレインは電源電圧が供給さ
れ、そのソースは出力部25に接続される。9MO3)
ランジスタ24のドレインには接地電圧が供給され、そ
のソースは出力部25に接続される。 このような回路構成とされる本実施例の出力回路は、第
1の実施例の出力回路と同様に、NOR回路21及びN
AND回路22に供給されるイコライズ信号ΦEQによ
って、プリチャージ動作が開始され、貫通電流を抑制し
ながら例えばTTLレベルの近くまで出力部25のレベ
ルを以て行くことができる。特に、第1の実施例との違
いについて説明すると、プリチャージ回路とレベル検出
手段の間のインバーター回路が省略され、nM。 Sトランジスタ23とpMOsMOSトランジスタ24
れぞれソースが出力部25に接続する。このため、出力
部25をプリチャージした時のレベルの上昇又は下降を
9MO3)ランジスタ24又はnMO3)ランジスタ2
3の闇値電圧分のみで停止させることができる。また、
MOSトランジスタのゲートに接続するインバーター回
路の分だけ占有面積も縮小化できることになる。 なお、本実施例の出力回路についても、出力回路として
は、出力バッファに限定されず、半導体装置内のデータ
転送用のバッファに用いることも可能であり、配線容量
等が大きくプリチャージにより高速化が図れる回路部分
に利用できる。さらに、上述の実施例では、高レベルと
低レベルの両レベル側にプリチャージするための回路を
設けているが、片側のみのプリチャージを行う構成でも
良い。 [発明の効果] 本発明の半導体装置における出力回路は、レベル検出手
段を有してなるために、出力信号のレベルに応じた信号
によってプリチャージ回路を制御し、貫通電流の発生を
防止することができ、また、高速な読み出しやピーク電
流の低減も可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は半導体装置における本発明の出力回路の一例の
回路図、第2図はその一例の動作を説明するための波形
図、第3図は上記−例を用いたメモリの構成例を示すブ
ロック図、第4図は本発明の半導体装置における出力回
路の他の一例を示す回路図、第5図は本発明の半導体装
置における出力回路の一例の読み出し時における電圧及
び電流の波形図、第6図は従来例の読み出し時における
電圧及び電流の波形図である。 1、 14. 21゜ 2、 13. 22゜ 3、 11. 24゜ 4、 12. 23゜ ΦEQ・・・イコライ 34・・・NOR回路 33・・・NAND回路 31・・・pMOsMOSトラン ジスタ・・nMOsMOSトラン ジスタ 特許出願人   ソニー株式会社 代理人弁理士 手漉 晃(他2名) メ石りの構成例 第3図 第4図 第5図 疵 東別 第6図 手続補正書(自発) 特許庁長官殿      平成1年11月16日1、事
件の表示 平成1年 特許願 第39410号 2、発明の名称 半導体装置における出力回路 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京部品用区北品用6丁目7番35号名称 (2
1B)ソニー株式会社 代表者 大賀 典雄 4、代理人 住所 ◎105東京都港区虎ノ門二丁目6番4号第11
 aヒル11階f?(508)8266自発 6、補正の対象 7、補正の内容 (1)明細書第3頁第6行目の「このような」から同頁
第10行目の「スイングすることになる。Jまでの記載
を「このようなプリチャージ動作によって、第6図に示
すように、高レベルから低レベルに出力レベルが遷移す
る場合であっても、予め出力レベルが2つの論理レベル
の間の中間レベルにされてから、出力レベルが低レベル
にスイングする。このために出力レベルの高速なスイン
グが可能である。」と補正する。 (2)明細書第3頁第19行目の「しまう。例えば、」
から次頁第5行目の「問題が生ずる。」までの記載を「
しまうため、消費電力の増加を招くことになる。すなわ
ち、第6図に示すように、出力レベルが2つの論理レベ
ルの間の中間レベルに遷移した時では、出力段の一方の
導電型のMOSトランジスタとプリチャージ回路の他方
の導電型のMOS)ランジスタを介して流れる貫通電流
があり、その中間レベルとされている間に電力が消費さ
れてしまい、低消費電力が困難になっている。」と補正
する。 図)の」とある記載を「従来のプリチャージ回路(3)
明細書第6頁第9行目から同頁第1O行目にかけて「同
じ場合にも高速化できるように、TTLの闇値レベルか
ら」とある記載を[同じ場合にも反転した出力レベルに
変化するのを抑えて高速化できるように、出力判定レベ
ルである例えばTTl、の閾値レベルからJ (4)明細書第8頁第2行目の「アドレス信号ΦAD」
の記載を「アドレス信号ADJと補正する。 (5)明細書第8頁第20行目の「イネーブル)も供給
される。Jとの記載を「イネーブル)もクロックジェネ
レーター44を介して供給される。」と補正する。 (6)明細書第1O頁第1行目から同頁第2行目にわた
りr12のソースが電源電圧に、nMOSトランジスタ
11のソースが接地電圧にされる。」との記載をrll
のソースが電源電圧に、nM。 Sトランジスタ12のソースが接地電圧にされる。 Jと補正する。 (7)明細書第16頁第5行目の「従来例(第6を持た
ない出力回路の」と補正する。 (8)明細書第18頁第16行目から同頁第17行目に
わたり「32のソースが電’IQB圧に、nM。 Sトランジスタ31のソースが接地電圧にされる。 」との記載を「31のソースが電源電圧に、nMOSト
ランジスタ32のソースが接地電圧にされる。」と補正
する。 (9)明細書第19頁第17行目から同頁第20行目ま
での「トランジスタ23のドレインは電源電圧が供給さ
れ、そのソースは出力部25に接続される。pMOSト
ランジスタ24のドレインは接地電圧が供給され、その
ソースは」とある記載を[トランジスタ23のソースは
電源電圧が供給され、そのドレインは出力部25に接続
される。pMOSトランジスタ24のソースは接地電圧
が供給され、そのドレインは」と補正する。 00)  明細書第20頁第12行目の「ソース」を「
ドレイン」と補正する。 01)明細書第20頁第15行目の「のみ」を「まで」 と補正する。 θり 添付図面の中の第3図と第6図を別紙のようにそれぞれ
補正する。 以上 XEりの櫂バIJ 第3図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 第1のレベルと第2のレベルを有する出力信号のレベル
    を検出するレベル検出手段と、そのレベル検出手段から
    の信号に応じて出力部のレベルを第1のレベルと第2の
    レベルの間の第3のレベルにするプリチャージ回路とを
    有する半導体装置における出力回路。
JP1039410A 1989-02-18 1989-02-21 半導体装置における出力回路 Pending JPH02220294A (ja)

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EP9494200916A EP0608967A3 (en) 1989-02-18 1990-02-16 Memory devices
US07/481,057 US4996671A (en) 1989-02-18 1990-02-16 Semiconductor memory device
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