JPH0221533A - 電子管用カソード構体 - Google Patents
電子管用カソード構体Info
- Publication number
- JPH0221533A JPH0221533A JP63173228A JP17322888A JPH0221533A JP H0221533 A JPH0221533 A JP H0221533A JP 63173228 A JP63173228 A JP 63173228A JP 17322888 A JP17322888 A JP 17322888A JP H0221533 A JPH0221533 A JP H0221533A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sintered body
- cathode
- heater
- tungsten powder
- burying
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title abstract 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 22
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract description 21
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 abstract description 11
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 4
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 abstract description 4
- BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Chemical compound [O-2].[Ca+2] BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Inorganic materials [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 abstract description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 4
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 229910001182 Mo alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- OUFGXIPMNQFUES-UHFFFAOYSA-N molybdenum ruthenium Chemical compound [Mo].[Ru] OUFGXIPMNQFUES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Solid Thermionic Cathode (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は電子管用カソード構体に関する。
従来、ヒータがカソードを支持する金属筒体（以下刃ソ
ートスリーブと記す）の内部にアルミナ粉末焼結体で埋
設されてなるカソード構体（以下埋込形ヒータと記す）
は、第３図に示すように、カソードディスク１がろう材
２によりカソードスリーブ３に接合され、カソードスリ
ーブ３の中にヒータコイル４がアルミナ粉末焼結体１２
で埋設されてなるものである。通常のアルミナ絶縁層を
被覆したヒータは、カソードスリーブ内に挿入されるだ
けであるので、ヒータコイルの熱は大部分輻射によって
カソードディスクに伝わる。−方、埋込形ヒータでは、
ヒータコイルとカソードスリーブ間がアルミナ粉末焼結
体で満たされており、ヒータコイルの熱は伝導により伝
わる。このため、通常のヒータにくらべ、埋込形ヒータ
では熱が伝わりやすく、ヒータコイルの温度が数百度低
くなる。その結果、ヒータの寿命が伸び信頼性が向上す
る。埋込形ヒータにはこのような利点があるなめ、動作
温度が高いカソードで多く用いられている。
ートスリーブと記す）の内部にアルミナ粉末焼結体で埋
設されてなるカソード構体（以下埋込形ヒータと記す）
は、第３図に示すように、カソードディスク１がろう材
２によりカソードスリーブ３に接合され、カソードスリ
ーブ３の中にヒータコイル４がアルミナ粉末焼結体１２
で埋設されてなるものである。通常のアルミナ絶縁層を
被覆したヒータは、カソードスリーブ内に挿入されるだ
けであるので、ヒータコイルの熱は大部分輻射によって
カソードディスクに伝わる。−方、埋込形ヒータでは、
ヒータコイルとカソードスリーブ間がアルミナ粉末焼結
体で満たされており、ヒータコイルの熱は伝導により伝
わる。このため、通常のヒータにくらべ、埋込形ヒータ
では熱が伝わりやすく、ヒータコイルの温度が数百度低
くなる。その結果、ヒータの寿命が伸び信頼性が向上す
る。埋込形ヒータにはこのような利点があるなめ、動作
温度が高いカソードで多く用いられている。
しかしながら、近年、電子管には予熱時間を短くするこ
とが要求されている。予熱時間を短くするなめには、ヒ
ータコイルの熱を効率的にカソードに伝え、カソード温
度の上昇を速くする必要があるが、アルミナ粉末焼結体
を使用した埋込形ヒータ槽体では、アルミナの熱伝導率
が２１Ｗ・ｍ −１・Ｋ−１と小さいため、カソードへ
の熱の伝わり方が遅く、その結果として予熱時間が長く
なっていた。
とが要求されている。予熱時間を短くするなめには、ヒ
ータコイルの熱を効率的にカソードに伝え、カソード温
度の上昇を速くする必要があるが、アルミナ粉末焼結体
を使用した埋込形ヒータ槽体では、アルミナの熱伝導率
が２１Ｗ・ｍ −１・Ｋ−１と小さいため、カソードへ
の熱の伝わり方が遅く、その結果として予熱時間が長く
なっていた。
予熱時間を短くするための方法として、アルミナ粉末の
代わりに熱伝導率が１３９Ｗ−ｍ−１・Ｋ−１と大きい
タングステン粉末を使用することが提案されている。こ
の方法では、第４図に示すように、カソードスリーブ３
の中にアルミナ粉末焼結層１４を被覆したヒータコイル
１５がタングステン粉末焼結体１６で埋設されてなるも
のである。アルミナ粉末焼結層１４は、ヒータコイル１
５とタングステン粉末焼結体１６とを絶縁するためのも
のである。このヒータ構体は、熱伝導率のよいタングス
テンを使用しているため、カソードの予熱時間を短くす
ることができるが、アルミナ粉末焼結層１４は、通常ヒ
ータコイル１５をアルミナ懸濁液中にデイピングし、さ
らに、焼結させた厚さ数１０μｍの層であるなめにタン
グステン粉末焼結体１６を充てん、焼結する際にはがれ
、その結果、ヒータコイル１５とタングステン粉末焼結
体１６とが電気的に短絡する欠点を有していた。
代わりに熱伝導率が１３９Ｗ−ｍ−１・Ｋ−１と大きい
タングステン粉末を使用することが提案されている。こ
の方法では、第４図に示すように、カソードスリーブ３
の中にアルミナ粉末焼結層１４を被覆したヒータコイル
１５がタングステン粉末焼結体１６で埋設されてなるも
のである。アルミナ粉末焼結層１４は、ヒータコイル１
５とタングステン粉末焼結体１６とを絶縁するためのも
のである。このヒータ構体は、熱伝導率のよいタングス
テンを使用しているため、カソードの予熱時間を短くす
ることができるが、アルミナ粉末焼結層１４は、通常ヒ
ータコイル１５をアルミナ懸濁液中にデイピングし、さ
らに、焼結させた厚さ数１０μｍの層であるなめにタン
グステン粉末焼結体１６を充てん、焼結する際にはがれ
、その結果、ヒータコイル１５とタングステン粉末焼結
体１６とが電気的に短絡する欠点を有していた。
又、別の方法としてタングステン粉末の代わりに熱伝導
率が７０Ｗ−ｍ−１・Ｋ−１と比較的大きい窒化アルミ
ニウムを用いる方法も提案されているが、窒化アルミニ
ウムは、焼結時に加圧することが必要であるので、加圧
時カソードディスクを傷つける欠点があり、この方法は
実用に供していない。
率が７０Ｗ−ｍ−１・Ｋ−１と比較的大きい窒化アルミ
ニウムを用いる方法も提案されているが、窒化アルミニ
ウムは、焼結時に加圧することが必要であるので、加圧
時カソードディスクを傷つける欠点があり、この方法は
実用に供していない。
上述した従来の方法のうち、アルミナ粉末焼結体をヒー
タコイルとカソードスリップ間に満たす方法では、アル
ミナの熱伝導率が小さいためカソードの予熱時間長くな
る欠点があった。
タコイルとカソードスリップ間に満たす方法では、アル
ミナの熱伝導率が小さいためカソードの予熱時間長くな
る欠点があった。
又、タングステン粉末焼結体をヒータコイルとカソード
スリーブ間に満たす方法では、カソードの予熱時間を短
かくすることができるが、アルミナ粉末焼結層がタング
ステン粉末を充てん、焼結する際にはがれ、その結果、
ヒータコイルとタングステン粉末焼結体とが電気的に短
絡する欠点があった。
スリーブ間に満たす方法では、カソードの予熱時間を短
かくすることができるが、アルミナ粉末焼結層がタング
ステン粉末を充てん、焼結する際にはがれ、その結果、
ヒータコイルとタングステン粉末焼結体とが電気的に短
絡する欠点があった。
又、窒化アルミニウムをヒータコイルとカソードスリー
ブ間に満たす方法では、窒化アルミニウムは焼結時に加
圧することが必要であるので加圧時にカソードディスク
を傷つける欠点があった。
ブ間に満たす方法では、窒化アルミニウムは焼結時に加
圧することが必要であるので加圧時にカソードディスク
を傷つける欠点があった。
本発明の目的は、予熱時間が短かく、電気的に短絡がな
く、カソードディスクが傷つくことのない電子管用カソ
ード構体を提供することにある。
く、カソードディスクが傷つくことのない電子管用カソ
ード構体を提供することにある。
本発明は、カソードのヒータルームにヒータコイルが焼
結体で埋設されている電子管用カソード構体において、
ヒータコイルが耐熱性高熱伝導性絶縁物焼結体で覆われ
該絶縁物焼結体がタングステン粉末焼結体で覆われてい
る。
結体で埋設されている電子管用カソード構体において、
ヒータコイルが耐熱性高熱伝導性絶縁物焼結体で覆われ
該絶縁物焼結体がタングステン粉末焼結体で覆われてい
る。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図は第１図の
ヒータ埋込焼結体の製造方法を説明する断面図である。
ヒータ埋込焼結体の製造方法を説明する断面図である。
第１図に示すように、電子放射面が曲面加工された含浸
型カソードディスク１は、ルテニウム・モリブデン合金
からなるろう材２により、カソードスリーブ３と接合さ
れている。
型カソードディスク１は、ルテニウム・モリブデン合金
からなるろう材２により、カソードスリーブ３と接合さ
れている。
ヒータ埋込焼結体５は、第２図に示すように、円筒状耐
熱性容器８の中に窒化アルミニウム粉末７を均一に厚さ
１止充てんし、次いで、ヒータコイル４を挿入して、さ
らに、窒化アルミニウム粉末７を充てんした後、耐熱性
金属製重しく図示せず）をのせて、２００ ｋｇ ／
ＣＭで加圧しながら水素雰囲気中で１８００℃、２０分
間加熱することによって製造できる。
熱性容器８の中に窒化アルミニウム粉末７を均一に厚さ
１止充てんし、次いで、ヒータコイル４を挿入して、さ
らに、窒化アルミニウム粉末７を充てんした後、耐熱性
金属製重しく図示せず）をのせて、２００ ｋｇ ／
ＣＭで加圧しながら水素雰囲気中で１８００℃、２０分
間加熱することによって製造できる。
このようにして製造されたヒータ埋込焼結体５をカソー
ドスリーブ３内に挿入し、さらに、カソードスリーブ３
とヒータ埋込み焼結体５との間隙に、酸化カルシウムを
２ｗｔ％混合した平均粒径５μのタングステン粉末を充
てんし、水素雰囲気中で１２５０℃１０分間加熱しタン
グステン粉末焼結体６を形成することによって、埋込型
ヒータを使用しな含浸型カソード構体が得られる。
ドスリーブ３内に挿入し、さらに、カソードスリーブ３
とヒータ埋込み焼結体５との間隙に、酸化カルシウムを
２ｗｔ％混合した平均粒径５μのタングステン粉末を充
てんし、水素雰囲気中で１２５０℃１０分間加熱しタン
グステン粉末焼結体６を形成することによって、埋込型
ヒータを使用しな含浸型カソード構体が得られる。
他の実施例としては、ヒータ埋込焼結体５の製造工程に
おいて、円筒状耐熱性容器８の中に炭化ケイ素粉末を充
てんし、２００ｋｇ／ｃｎｉで加圧しながら水素雰囲気
中で１４００℃、３０分間加熱することによって、ヒー
タコイル４を炭化ケイ素粉末焼結体の中に埋込んだヒー
タ埋込焼結体５が製造できる。
おいて、円筒状耐熱性容器８の中に炭化ケイ素粉末を充
てんし、２００ｋｇ／ｃｎｉで加圧しながら水素雰囲気
中で１４００℃、３０分間加熱することによって、ヒー
タコイル４を炭化ケイ素粉末焼結体の中に埋込んだヒー
タ埋込焼結体５が製造できる。
この炭化ケイ素粉末焼結体を用いた含浸型カソード構体
は窒化アルミニウム粉末焼結体を用いた含浸型カソード
とその効果は同じである。
は窒化アルミニウム粉末焼結体を用いた含浸型カソード
とその効果は同じである。
以上説明したように、本発明は、円筒状の高熱伝導率を
有する絶縁物焼結体で覆われたヒータコイルをタングス
テン粉末焼結体で覆うため、ヒータコイルとタングステ
ン粉末焼結体の短絡がなく、かつ、カソード予熱時間を
短かくでき、さらに、絶縁物焼結体とヒータコイルだけ
で埋込形ヒータを構成する方法に比べ、タングステンの
熱伝導率が絶縁物より大きいためカソード予熱時間を短
かくできる効果がある。
有する絶縁物焼結体で覆われたヒータコイルをタングス
テン粉末焼結体で覆うため、ヒータコイルとタングステ
ン粉末焼結体の短絡がなく、かつ、カソード予熱時間を
短かくでき、さらに、絶縁物焼結体とヒータコイルだけ
で埋込形ヒータを構成する方法に比べ、タングステンの
熱伝導率が絶縁物より大きいためカソード予熱時間を短
かくできる効果がある。
さらに、絶縁物粉末を焼結する際一般に加圧する必要が
あるが、絶縁物粉末をカソードスリーブ内に充てんして
から加圧する方法では、加圧の際カソードディスクを傷
つけやすいのに対し、本実施例では、加圧はカソードデ
ィスクの外で行なうためカソードディスクを傷つけない
という効果もある。
あるが、絶縁物粉末をカソードスリーブ内に充てんして
から加圧する方法では、加圧の際カソードディスクを傷
つけやすいのに対し、本実施例では、加圧はカソードデ
ィスクの外で行なうためカソードディスクを傷つけない
という効果もある。
第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図は第１図の
ヒータ埋込焼結体の製造方法を説明する断面図、第３図
は従来の含浸型カソードの一例の断面図、第４図は従来
の含浸型カソードの他の例の断面図である。 １・・・カソードディスク、２・・・ろう材、３・・・
カソードスリーブ、４・・・ヒータコイル、５・・・ヒ
ータ埋込焼結体、６・・・タングステン粉末焼結体、７
・・・窒化アルミニウム粉末焼結体、８・・・円筒状耐
熱性容器、１２・・・アルミナ粉末焼結体、１４・・・
アルミナ粉末焼結層、１５・・・ヒータコイル、１６・
・・タングステン粉末焼結体。 第１図 第２図 ／Ｚ：アノｍ粉幻む告体 ん−のクス乃粉末境詰体
ヒータ埋込焼結体の製造方法を説明する断面図、第３図
は従来の含浸型カソードの一例の断面図、第４図は従来
の含浸型カソードの他の例の断面図である。 １・・・カソードディスク、２・・・ろう材、３・・・
カソードスリーブ、４・・・ヒータコイル、５・・・ヒ
ータ埋込焼結体、６・・・タングステン粉末焼結体、７
・・・窒化アルミニウム粉末焼結体、８・・・円筒状耐
熱性容器、１２・・・アルミナ粉末焼結体、１４・・・
アルミナ粉末焼結層、１５・・・ヒータコイル、１６・
・・タングステン粉末焼結体。 第１図 第２図 ／Ｚ：アノｍ粉幻む告体 ん−のクス乃粉末境詰体
Claims (1)
- カソードのヒータルームにヒータコイルが焼結体で埋設
されている電子管用カソード構体において、ヒータコイ
ルが耐熱性高熱伝導性絶縁物焼結体で覆われ該絶縁物焼
結体がタングステン粉末焼結体で覆われてなることを特
徴とする電子管用カソード構体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63173228A JPH0221533A (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | 電子管用カソード構体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63173228A JPH0221533A (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | 電子管用カソード構体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0221533A true JPH0221533A (ja) | 1990-01-24 |
Family
ID=15956521
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63173228A Pending JPH0221533A (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | 電子管用カソード構体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0221533A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05258659A (ja) * | 1992-03-11 | 1993-10-08 | Nec Corp | 含浸型陰極構体 |
| US6421615B1 (en) | 1997-03-14 | 2002-07-16 | Yanmar Diesel Engine Co., Ltd. | Torsional vibration measuring instrument and torsional vibration measuring method |
| CN105931935A (zh) * | 2016-04-26 | 2016-09-07 | 北京科技大学 | 一种高导热绝缘介质快热阴极热丝组件及制备方法 |
-
1988
- 1988-07-11 JP JP63173228A patent/JPH0221533A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05258659A (ja) * | 1992-03-11 | 1993-10-08 | Nec Corp | 含浸型陰極構体 |
| US6421615B1 (en) | 1997-03-14 | 2002-07-16 | Yanmar Diesel Engine Co., Ltd. | Torsional vibration measuring instrument and torsional vibration measuring method |
| CN105931935A (zh) * | 2016-04-26 | 2016-09-07 | 北京科技大学 | 一种高导热绝缘介质快热阴极热丝组件及制备方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108878232B (zh) | 用于真空电子器件的热阴极组件 | |
| US3528156A (en) | Method of manufacturing heated cathode | |
| JPH0221533A (ja) | 電子管用カソード構体 | |
| JP7121932B2 (ja) | ショートアーク型放電ランプ | |
| JPH02239536A (ja) | 高出力真空管用の急速余熱陰極 | |
| US6563265B1 (en) | Applying prealloyed powders as conducting members to arc tubes | |
| US3405328A (en) | Incandescent lamp with a refractory metal carbide filament | |
| US2798182A (en) | Dispenser cathode having heater embedded in densely sintered receptacle wall | |
| US3013328A (en) | Method of forming a conductive film | |
| JP2003059789A (ja) | 接続構造体および半導体製造・検査装置 | |
| JP3914377B2 (ja) | 静電吸着機能を有するウエーハ加熱装置 | |
| JP3821075B2 (ja) | セラミックスヒータ及びその製造方法 | |
| JP2005026585A (ja) | セラミック接合体 | |
| JP3264975B2 (ja) | 高圧放電灯の製造方法 | |
| JP3398167B2 (ja) | 受像管 | |
| CN217955801U (zh) | 短弧型放电灯 | |
| JP2826245B2 (ja) | 放電ランプ用電極及びその製造方法 | |
| JP2001319964A (ja) | 半導体製造・検査装置 | |
| JP2000277239A (ja) | セラミックスヒータ | |
| JPH10289645A (ja) | 陰極加熱用ヒータ及びそれを用いたブラウン管 | |
| JPH05258659A (ja) | 含浸型陰極構体 | |
| JPH04174936A (ja) | 電子管用陰極構体 | |
| JPS5954156A (ja) | 電界放出型イオンビ−ム発生装置用電極構造 | |
| JPH01154425A (ja) | ポッテット形陰極 | |
| JPS6261236A (ja) | 含浸形陰極構体 |