JPH02213147A - フリップチップ法による実装構造 - Google Patents
フリップチップ法による実装構造Info
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- JPH02213147A JPH02213147A JP1033408A JP3340889A JPH02213147A JP H02213147 A JPH02213147 A JP H02213147A JP 1033408 A JP1033408 A JP 1033408A JP 3340889 A JP3340889 A JP 3340889A JP H02213147 A JPH02213147 A JP H02213147A
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- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims abstract description 59
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract description 6
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract description 6
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract description 6
- 238000002161 passivation Methods 0.000 abstract 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
- H01L2224/14—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of a plurality of bump connectors
-
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- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、ICチップの基板への実装構造に関する。
〈従来の技術〉
近年、ICチップにおける信号処理回路の集積度の向上
には著しいものがある。これに伴って種々の高密度実装
法が開発されており、その一つとしてフリップチップ実
装法が挙げられる。
には著しいものがある。これに伴って種々の高密度実装
法が開発されており、その一つとしてフリップチップ実
装法が挙げられる。
フリップチップ実装法は、第3図、第4図に示すように
、ICチップの電極部に、あらかじめハンダバンプを形
成しておき、このICチップをフェイスダウンにより基
板上に載せた後、ハンダバンプをリフローすることによ
って、ICチップを基板上の配線パターンに電気的に接
続しつつ同時に固定する方法である。
、ICチップの電極部に、あらかじめハンダバンプを形
成しておき、このICチップをフェイスダウンにより基
板上に載せた後、ハンダバンプをリフローすることによ
って、ICチップを基板上の配線パターンに電気的に接
続しつつ同時に固定する方法である。
〈発明が解決しようとする課題〉
ところで、フリップチップ実装法によれば、実装に要す
るスペースがICチップ自体の大きさ程度でよく、高密
度の実装に適している反面、各ハンダバンプのそれぞれ
の距離があまりにも近くなるため、相互に容量性の結合
による信号干渉を起こす虞れがあるという欠点がある0
例えば、信号入力側にアナログ回路、出力側にデジタル
回路が形成されたICチップにおいて、特に入力側のイ
ンピーダンスが高い場合、出力側ハンダバンプがらの入
力側ハンダバンプへの容量性の結合が大となり、入出力
間における相互の信号干渉が容易に起り得る。
るスペースがICチップ自体の大きさ程度でよく、高密
度の実装に適している反面、各ハンダバンプのそれぞれ
の距離があまりにも近くなるため、相互に容量性の結合
による信号干渉を起こす虞れがあるという欠点がある0
例えば、信号入力側にアナログ回路、出力側にデジタル
回路が形成されたICチップにおいて、特に入力側のイ
ンピーダンスが高い場合、出力側ハンダバンプがらの入
力側ハンダバンプへの容量性の結合が大となり、入出力
間における相互の信号干渉が容易に起り得る。
〈課題を解決するための手段〉
本発明は、上記問題点を解決すべくなされたもので、そ
の構成を実施例に対応する第1図を参照しつつ説明する
と、本発明は、ICチップ1の信号入力側のハンダバン
プB1群と出力側のハンダ87180群との間の空間に
ハンダ製壁体Wを形成するとともに、このハンダ製壁体
Wを接地することを特徴としている。
の構成を実施例に対応する第1図を参照しつつ説明する
と、本発明は、ICチップ1の信号入力側のハンダバン
プB1群と出力側のハンダ87180群との間の空間に
ハンダ製壁体Wを形成するとともに、このハンダ製壁体
Wを接地することを特徴としている。
〈作用〉
信号入力側のハンダ87180群と出力側のハンダ87
180群とは接地されたハンダ製壁体Wによって遮蔽さ
れ、その両者間には浮遊容量が殆ど存在しなくなり、容
量性の結合を抑えることができる。
180群とは接地されたハンダ製壁体Wによって遮蔽さ
れ、その両者間には浮遊容量が殆ど存在しなくなり、容
量性の結合を抑えることができる。
〈実施例〉
第1図は本発明実施例の構造を示す縦断面図、第2図は
その実施例の実装工程前のICチップ1の斜視図である
。
その実施例の実装工程前のICチップ1の斜視図である
。
多層基板2上にICチップ1が搭載されている。
ICチップ1の信号入力電極および出力電極(ともに図
示せず)は、それぞれハンダバンプBlおよびBoによ
って多層基板2表面上の配線パターン2aおよび2bに
接続されている。
示せず)は、それぞれハンダバンプBlおよびBoによ
って多層基板2表面上の配線パターン2aおよび2bに
接続されている。
信号入力側のハンダバンプBIと出力側のハンダバンプ
Boとの間の空間にハンダ製壁体Wが形成されている。
Boとの間の空間にハンダ製壁体Wが形成されている。
このハンダ製壁体Wは、第2図に示すように、ハンダバ
ンプB、・・・B+、Bo・・・Boの配列方向に沿っ
て、ICチップ1の一端から他端まで一様に延びている
。また、ハンダ製壁体Wは、多層基板2の中間部に形成
された接地配線(グランド・ブレーン)2cに接続され
ている。
ンプB、・・・B+、Bo・・・Boの配列方向に沿っ
て、ICチップ1の一端から他端まで一様に延びている
。また、ハンダ製壁体Wは、多層基板2の中間部に形成
された接地配線(グランド・ブレーン)2cに接続され
ている。
次に、実装手順を説明する。まず、第2図に示すように
、ICチップ2の電極側の面に人出用のハンダバンプB
1・・B+、Bo・・・Boおよびハンダ製壁体Wを形
成しておく、なお、このハンダ製壁体Wは、公知の電解
メツキ法により、ハンダバンプB1・・・B+、Bo・
・・Boと同時に、かつ容易に形成できる。また、ハン
ダ製壁体WはICチップ1表面のバンシベーション膜等
の絶縁層上に形成する。
、ICチップ2の電極側の面に人出用のハンダバンプB
1・・B+、Bo・・・Boおよびハンダ製壁体Wを形
成しておく、なお、このハンダ製壁体Wは、公知の電解
メツキ法により、ハンダバンプB1・・・B+、Bo・
・・Boと同時に、かつ容易に形成できる。また、ハン
ダ製壁体WはICチップ1表面のバンシベーション膜等
の絶縁層上に形成する。
次いで、ICチップ1をフェイスダウンにより多層基板
上に載せた後、ハンダバンプB−・・・BI。
上に載せた後、ハンダバンプB−・・・BI。
B6・・・Boおよびハンダ製壁体Wのリフローを行い
、硬化させることによって、第1図に示すような実装構
造を得る。
、硬化させることによって、第1図に示すような実装構
造を得る。
以上のような実装構造とすることにより、信号入力側の
ハンダバンプB1・・・Biと出力側のハンダバンプB
0・・・Boとは、接地されたハンダ製壁体Wによって
完全に遮蔽されることになり、その両者間には浮遊容量
が殆ど存在しなくなる。従って、出力側のハンダバンプ
B0・・・Boからの入力側のハンダバンプB1・・・
B、への容量性の結合が生じることはなく、入出力間に
おける相互の信号干渉を抑えることができる。
ハンダバンプB1・・・Biと出力側のハンダバンプB
0・・・Boとは、接地されたハンダ製壁体Wによって
完全に遮蔽されることになり、その両者間には浮遊容量
が殆ど存在しなくなる。従って、出力側のハンダバンプ
B0・・・Boからの入力側のハンダバンプB1・・・
B、への容量性の結合が生じることはなく、入出力間に
おける相互の信号干渉を抑えることができる。
〈発明の効果〉
本発明によれば、信号入力側のハンダバンプと出力側の
ハンダバンプとの間に、接地電位のハンダ製壁体を形成
したので、入力側のハンダバンプと出力側のハンダバン
プとの間における容量性の結合を抑えることができる。
ハンダバンプとの間に、接地電位のハンダ製壁体を形成
したので、入力側のハンダバンプと出力側のハンダバン
プとの間における容量性の結合を抑えることができる。
これにより、その両者の間の相互の信号干渉の低減化を
はかることができ、信鎖性の高い実装構造を実現するこ
とが可能になる。しかも、ハンダ製壁体は、ハンダバン
プと同じ工程で容易に形成できるので、従来とほぼ同様
の実装手順により上記の効果を奏することができる。
はかることができ、信鎖性の高い実装構造を実現するこ
とが可能になる。しかも、ハンダ製壁体は、ハンダバン
プと同じ工程で容易に形成できるので、従来とほぼ同様
の実装手順により上記の効果を奏することができる。
第1図は本発明実施例の構造を示す縦断面図、第2図は
その実施例の実装工程前のICチップ1の斜視図である
。 第3図および第4図は、フリップチップ実装法を説明す
るための図である。 1・・・ICチップ 2・・・多層基板 2a、2b・・・配線パターン 2c・・・接地配線 B、およびBo・・・信号入力側および出力側のハンダ
バンプ W・・・ハンダ製壁体 第1図 第3図 第4図
その実施例の実装工程前のICチップ1の斜視図である
。 第3図および第4図は、フリップチップ実装法を説明す
るための図である。 1・・・ICチップ 2・・・多層基板 2a、2b・・・配線パターン 2c・・・接地配線 B、およびBo・・・信号入力側および出力側のハンダ
バンプ W・・・ハンダ製壁体 第1図 第3図 第4図
Claims (1)
- ICチップの信号入力および信号出力電極群の各電極そ
れぞれに、あらかじめハンダバンプを形成しておき、こ
のチップを基板にフェイスダウンによりハンダ付けする
実装構造において、上記信号入力側のハンダバンプ群と
上記信号出力側のハンダバンプ群との空間にハンダ製壁
体を形成するとともに、このハンダ製壁を接地すること
を特徴とする、フリップチップ法による実装構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1033408A JPH02213147A (ja) | 1989-02-13 | 1989-02-13 | フリップチップ法による実装構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1033408A JPH02213147A (ja) | 1989-02-13 | 1989-02-13 | フリップチップ法による実装構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02213147A true JPH02213147A (ja) | 1990-08-24 |
Family
ID=12385769
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1033408A Pending JPH02213147A (ja) | 1989-02-13 | 1989-02-13 | フリップチップ法による実装構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02213147A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0587144A3 (en) * | 1992-09-08 | 1994-06-08 | Seiko Epson Corp | Liquid crystal display apparatus, structure for mounting semiconductor device, method of mounting semiconductor device, electronic optical apparatus and electronic printing apparatus |
CN1303675C (zh) * | 2002-06-18 | 2007-03-07 | 矽品精密工业股份有限公司 | 四方形平面无管脚式半导体封装结构及制造方法 |
US8159074B2 (en) | 2004-08-12 | 2012-04-17 | Megica Corporation | Chip structure |
US8198729B2 (en) | 2004-07-16 | 2012-06-12 | Megica Corporation | Connection between a semiconductor chip and a circuit component with a large contact area |
-
1989
- 1989-02-13 JP JP1033408A patent/JPH02213147A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0587144A3 (en) * | 1992-09-08 | 1994-06-08 | Seiko Epson Corp | Liquid crystal display apparatus, structure for mounting semiconductor device, method of mounting semiconductor device, electronic optical apparatus and electronic printing apparatus |
US5737272A (en) * | 1992-09-08 | 1998-04-07 | Seiko Epson Corporation | Liquid crystal display apparatus, structure for mounting semiconductor device, method of mounting semiconductor device, electronic optical apparatus and electronic printing apparatus |
US5986342A (en) * | 1992-09-08 | 1999-11-16 | Seiko Epson Corporation | Liquid crystal display apparatus structure for mounting semiconductor device |
US6128063A (en) * | 1992-09-08 | 2000-10-03 | Seiko Epson Corporation | Liquid crystal display apparatus having multi-layer substrate |
CN1303675C (zh) * | 2002-06-18 | 2007-03-07 | 矽品精密工业股份有限公司 | 四方形平面无管脚式半导体封装结构及制造方法 |
US8198729B2 (en) | 2004-07-16 | 2012-06-12 | Megica Corporation | Connection between a semiconductor chip and a circuit component with a large contact area |
US8159074B2 (en) | 2004-08-12 | 2012-04-17 | Megica Corporation | Chip structure |
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