JPH02203303A

JPH02203303A - 金属管被覆型光導杆

Info

Publication number: JPH02203303A
Application number: JP1023284A
Authority: JP
Inventors: Yoshiharu Inoue; 井上　善春; Takaharu Morioka; 森岡　隆治
Original assignee: Hoya Corp
Current assignee: Hoya Corp
Priority date: 1989-01-31
Filing date: 1989-01-31
Publication date: 1990-08-13
Anticipated expiration: 2009-11-02
Also published as: JPH0687090B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、金属管によって被覆された光ファイバを備え
た金属管被覆型光導杆、特に光フアイバセンサ、ライト
ガイド、イメージガイド等に使用するのに好適な金属管
被覆型光導杆に関する。

〔従来の技術〕

光ファイバを用いた光導杆には、公知のごとく、光フア
イバセンサ、ライトガイド、イメージガイド等があり、
一般にこれらの光導杆は、光ファイバと、これを保護す
るための被覆管からなっている。そして光ファイバや被
覆管の材質は、光導杆が使用される環境に応じて選択さ
れ、光導杆が炉内、反応槽内等の高温環境下で使用され
る場合は、光ファイバにはガラスが用いられ、その被覆
管には金属が用いられる。

例えば、光ファイバにＳｉＯ□−ＰｂＯ−ＮａｚＯ系ガ
ラス、その被覆管にステンレスを用いた場合、それぞれ
の耐熱温度は約４００℃と約９００℃であるが、熱はス
テンレス製被覆管を通って直ちに光ファイバに達するた
め、前記構成からなる光導杆の耐熱温度は光ファイバの
材料であるガラスの耐熱温度よりも高くならない。

一般に、ガラスの耐熱温度はステンレスの耐熱温度より
かなり低いので、耐熱性が要求される光導杆の耐熱温度
はガラスの耐熱温度によって決まることが多い。

従来、４００°Ｃ以下の比較的に温度の低い熱処理炉内
の処理物品の監視には、前述のガラス製光ファイバにス
テンレス製被覆管で被覆した光フアイバセンサが用いら
れる。この光フアイバセンサの使用例を第１Ｏ図に示す
。

反射型光ファイバセンサ１０１は、ステンレス管１０２
内に投光用光ファイバ束１０３と受光用光ファイバ束１
０４が一緒に挿入されたものであり、この両光ファイバ
束１０３，１０４の先端部は口金１０５に収められ、ス
テンレス管１０２の先端部１０６にかしめによって固定
されている。

更に、光ファイバ束は、ステンレス管１０２の先端部１
０６と反対側の端部に取付けられたコネクタ１０７によ
って、投光用光ファイバ束１０３と受光用光ファイバ束
１０４とに分けられている。

そして、コネクタ１０７内の投光用光ファイバ束１０３
および受光用光ファイバ束１０４の端面１０８．１０９
は、図示していない発光ダイオードおよびフォトダイオ
ードに接している。

この反射型光ファイバセンサ１０１を用いて、熱処理炉
１１０内の移動コンベヤ１１１上を連続的に流れる処理
物品１１２．の有無を監視するには、先ず、反射型光フ
ァイバセンサ１０１の先端部を熱処理炉１１０の炉壁１
１３に設けられた細孔１１４を通して処理物品１１２の
近傍まで挿入する。

その際、反射型光ファイバセンサ１０１は、ステンレス
管１０２の先端部分を曲げておくことにより、所望の適
切な監視位置にセットされ、そして発光ダイオードから
の光を投光用光ファイバ束１０３から処理物品１１２に
照射し、反射光を受光用光ファイバ束１０４で受光し、
フォトダイオードで検知することにより、処理物品１１
２の有無を確認する。

なお、前記熱処理炉１１０内の温度が反射型光ファイバ
センサ１０１の耐熱温度を超える場合には、当然のこと
ながら反射型光ファイバセンサ１０１を熱処理炉１１０
内にそのまま挿入できない。

この場合は、熱処理炉１１０内に挿入される反射型光フ
ァイバセンサ１０１の先端部を水冷ジャケット内に収め
、冷却する必要がある。

また、前述のように熱処理炉内の処理物品の監視を反射
型光ファイバセンサで行うと同時に、処理物品の有無に
応じて熱処理温度を制御したい場合は、反射型光ファイ
バセンサとは別に、熱電対を処理物品の近傍まで挿入し
、この熱電対で処理物品の近傍の温度を検知し、制御す
る。

また、高温の反応槽内の反応物質をサンプリングするに
は、反応槽の外側から遠隔操作できる、イメージガイド
およびライトガイド付マジックハンドが用いられる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

前述のように、熱処理炉内、反応槽内等の高温環境下で
使用される光導杆は、光ファイバの材質としてガラス、
その被覆管の材質として金属が用いられる。そして、こ
のような光導杆の耐熱温度は、金属に比べて耐熱温度が
低いガラスの耐熱温度で決まる。

近年、光導杆の用途が広がり、より高温で使用できる光
導杆が望まれているが、ガラスの耐熱温度があまり高（
ないため、光導杆の耐熱温度を上げることができないと
いう問題点があった。

また、光導杆を高温環境下で使用すると、光ファイバを
収めた被覆管の熱膨張により、口金が緩み、外れ易いと
いう問題点があった。

また、ガラスの耐熱温度以上の高温環境下で光導杆を使
用する場合には、光導杆を水冷ジャケットで覆う必要が
あり、太く、複雑になり、かつ曲げられないという問題
点があった。

また、前述のように、光導杆（反射型光ファイバセンサ
）による監視と、熱電対による温度制御を同時に行う場
合、光導杆と熱電対を別々に配置しなければならず、光
導杆、熱電対をそれぞれ適切な位置に配置する作業がわ
ずられしいという問題点があった。

また、高温の反応槽内の反応物質や炉内の高温物質をサ
ンプリングするために使われるイメージガイドおよびラ
イトガイド付マジックハンドは、装置が大きく、高価で
あるという問題点があった。

本発明は、上記問題点を解決するためになされたもので
あり、第１の目的は、光ファイバの耐熱温度より高い温
度で使用でき、可撓性のある金属管被覆型光導杆を提供
することであり、第２の目的は、光導杆と熱電対相互の
位置決めをする必要のない、熱電対を組み込んだ、耐熱
性および可撓性のある金属管被覆型光導杆を提供するこ
とであり、第３の目的は、高温の反応槽内の反応物質や
炉内の高温物質をサンプリングすることのできる、コン
パクトで安価なマニピュレータ付の、耐熱性および可撓
性のある金属管被覆型光導杆を提供することである。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本発明の金属管被覆型光導
杆は、可撓性金属製外管と、該外管内に収容された少な
くとも１本以上の可撓性金属製内管と、核内管の少なく
とも１本以上に収容された光ファイバとを具備し、該光
ファイバを収容した内管の一端部または両端部が縮径さ
れている。

ここで、冷却用液体および／または気体を流すための内
管を、少なくとも１本以上有することが好ましく、更に
、内管内に熱電対を配置することが望ましい。

更に、内管内を通じてマニピュレータが配置されている
ことが望ましく、また外管と内管の間の隙間に耐火断熱
材が充填されていることが望ましい。

更に、外管と内管の間の隙間が、冷却用液体および／ま
たは気体を流すための通路として形成されていることが
好ましい。

更に、可撓性金属製外管と、該外管内に収容された少な
くとも１本以上の可撓性金属製内管と、該内管の少なく
とも１本以上に収容された少なくとも１本以上の可撓性
金属製小管と、該小管内に収容された光ファイバとを具
備し、該光ファイバを収容した小管の一端部または両端
部が縮径されていることが望ましい。

〔実施例〕

次に、第１ａ図と第１ｂ図を参照して本発明の第１実施
例を詳細に説明する。

本実施例の金属管被覆型光導杆１は、外管２と、その内
側に収められた内管３と、この内管３内に収められた光
ファイバ束４と、前記外管の一端部に嵌込まれたコネク
タ５からなっている。

光ファイバ束４は、内管３の縮径部６ａ、６ｂにおいて
緊密に保持されている。内管３と外管２の相互の固定は
、第１ａ図において左側の内管縮径部６ａと外管２との
間の隙間に等間隔で嵌込まれたステンレス製ロッド（パ
イプでもよい）７ａ。

７ｂ、７ｃによって行われている。内管３の左端８ａは
外管２の左端９ａよりも引っ込められており、内管３の
右端８ｂは外管２の右端９ｂから突出し、コネクタ５の
右端１０まで延びている。このコネクタ５は光ファイバ
束４に光を送る図示していない光源装置に接続されるも
のである。コネクタ５は、外管２と内管３の間の隙間１
１に冷却空気を流すための空気取入口１２を備えている
。

前記外管２の寸法は、外径３．０ｍｎ＋　、肉厚０．２
ｉ＋ｎであり、外管２内に収められた内管３の寸法は、
外径１．６ｍｍ　、肉厚０．１５ｍｍである。内管３内
に収められた光ファイバ束４は、径が５０μｍの光フア
イバ３００本からなり、バンドル径は１．０１である。

この光ファイバ束４は、内管３が縮径部６ａ、６ｂにお
いて内径１．３ｍｍから１　、　Ｏｎ＋＋＊に縮径され
ることにより、内管３内で緊密に保持されている。

また、外管２と内管の材質は共に、焼なまししたステン
レスであり、耐熱温度は約９００℃である。

マタ、光ファイバ束４の材質は、ＳｉＯ，−ＰｂＯ−Ｎ
ａ、０系ガラスであり、耐熱温度は約４００℃である。

本実施例の金属管被覆型光導杆１は、ライトガイド、透
過型光ファイバセンサ等に使用することができ、ライト
ガイドとして高温の炉内で使用する場合は、光導杆ｌを
先端部１３側から炉内に挿入し、内管３の右端部８ｂに
接続した光源装置からの光を光フアイバ束４中を伝播さ
せ、左端面８ａから出射し、炉内の処理物品を照明する
。その際同時に、コネクタ５の空気取入口１２から外管
２と内管３との間の隙間１１に空気を送り込み、光ファ
イバ束４を冷却する。この場合、内管３の先端面８ａの
先に出た空気は、矢印１４で示すような流れを作り、炉
内の高温空気から光ファイバ束４の先端面１５を保護す
る。このように、外管２と内管３の間の隙間１１に冷却
空気を流しているため、光ファイバ束４の耐熱温度より
も高温の環境下で、光導杆ｌを使用することができる。

本実施例の金属管被覆型光導杆ｌは更に、外管２と内管
３が共に、焼なまししたステンレスからなっているので
、耐熱性が高く、かつ可撓性がある。また、光ファイバ
束４の先端部が内管３の縮径部６ａ、６ｂによって保持
されているため、高温環境下で内管３が熱膨張しても、
光ファイバ束４が内管３から外れることがない。

次に、第２ａ図と第２ｂ図に示した本発明の第２実施例
について説明する。

本実施例の金属管被覆型光導杆２１は、前記第１実施例
の光導杆１と同様に、外管２２と、その内側に収められ
た内管２３と、この内管２３内に収められた光ファイバ
束２４とからなり、内管２３の両端部は縮径され、光フ
ァイバ束２４を緊密に保持している。そして、外管２２
、内管２３および光ファイバ束２４の材質と寸法は前記
第１実施例と同一である。

しかし前記第１実施例と異なり、外管２２と内管２３の
間の隙間には、耐火性の断熱材２５ａ。

２５ｂ、２５ｃが充填されている。この場合、両端部の
断熱材２５ａ、２５ｃは焼結ＭｇＯであり、中間の断熱
材２５ｂは粉末ＭｇＯからなっている。

この断熱材２５ａ、２５ｂ、２５ｃの作用により、本実
施例の金属管被覆型光導杆２１は光ファイバ束２４の耐
熱温度よりも高温の環境下で使用することができる。

本実施例の金属管被覆型光導杆２１は、第１実施例の光
導杆１と同様に使用することができ、第１実施例と同じ
利点、すなわち外管２２と内管２３が共に、焼なましし
たステンレス性であるため可撓性があり、更に光ファイ
バ束２４の先端部が内管２３の縮径部によって保持され
ているので、高温環境下で使用しても、内管２３から外
れることがないという利点がある。

次に、第３ａ図と第３ｂ図に示した本発明の第３実施例
について説明する。

本実施例の金属管被覆型光導杆３１は、構造、材質、寸
法が前記第２実施例とほぼ同じであるが、外管３２の左
側（第３ａ図）の端部３７が縮径され、内管３３の左端
部３６に被さっている点が異なる。内管３３の左端部３
６は第２実施例と同様に縮径され、光ファイバ束３４を
緊密に保持している。縮径された外管３２の左端部３７
と内管３３の左端部３６との間には断熱材が設けられて
おらず、断熱材は外管３２と内管３３の間の中央の隙間
と右端部の隙間にのみ設けられている（３５ｂ、３５ａ
参照）、この中央の隙間に充填された断熱材３５ｂは粉
末のＭｇＯであり、右端部の隙間に充填された断熱材３
５ａは焼結ＭｇＯである。

本実施例の金属管被覆型光導杆３１は、第１実施例の光
導杆１と同様に使用することができ、第２実施例と同じ
利点があるが、第２実施例に比べ光導杆３１の左端部の
構造が簡単である。

次に、第４ａ図と第４ｂ図に示した本発明の第４実施例
について説明する。

本実施例の金属管被覆型光導杆４１は、外管４２と、そ
の内側に設けられた２本の内管４３ａ。

４３ｂと、内管４３ａ内に収められた光ファイバ束４４
とからなっている。内管４３ａの両端部は第２実施例と
同様に縮径され、光ファイバ束４４を緊密に保持してい
る。空の他の内管４３ｂは冷却用の空気や水等が流通す
る。外管４２と内管４３ａ、４３ｂの間の隙間には、断
熱材４５ａ、４５ｂ、４５ｃが充填されている０両端部
の断熱材４５ａ、４５ｃは焼結ＭｇＯであり、中間の断
熱材４５ｂは粉末？ＩｇＯである。

外管４２内における内管４３ａ、４３ｂの配置は、内管
４３ａと４３ｂが互いに接し、内管４３ａと外管４２の
間隔と、内管４３ｂと外管４２の間隔が互いに同一にな
るように行われている。

外管４２の寸法は、外径４．０ｍｍ　、肉厚０．２ｍ曽
、内管４３ａ、４３ｂの寸法は、外径１．６ｍｍ　、肉
厚０．１５ｍ−であり、内管４３ａに収められた光ファ
イバ束４４は、第１実施例の光ファイバ束４と同様のも
のであり、内管４３ａの両端部の縮径部の寸法も第１実
施例のものと同じである。

また、外管４２と内管４３　ａ、　　４３　ｂの材質も
第１実施例のものと同じである。

本実施例の金属管被覆型光導杆４１は、光ファイバ束４
４が第１実施例と同様なものであるので、ライトガイド
、透過型光ファイバセンサ等に使用することができ、空
の内管４３ｂに空気や水等を光ファイバ束４４の冷却の
ために流せば、光導杆４１を光ファイバ束４４の耐熱温
度よりも高温の環境下で使用することができる。また、
本実施例においても外管４２と内管４３ａ、４３ｂに焼
なましのステンレスを使用しているので、光導杆４１は
可撓性がある。

次に、第５ａ図と第５ｂ図に示した本発明の第５実施例
について説明する。

本実施例の金属管被覆型光導杆５１は、外管５２と、そ
の内側に収められた３本の内管５３ａ。

５３ｂ、５３ｃと、内管５３ａ、５３ｂ内に収められた
光ファイバ束５４ａ、５４ｂとからなっている。内管５
３ａ、５３ｂの両端部は、第２実施例と同様に縮径され
、光ファイバ束５４ａ、５４ｂを緊密に保持している。

内管５３ｃは空の内管である。更に、外管５２の両端部
５６ａ、５６ｂも縮径され、内管５３　ａ、　　５３　
ｂ、　　５３　ｃを固定保持している。外管５２と内管
５３　ａ、　　５３　ｂ。

５３ｃの間の隙間内には、粉末ＭｇＯからなる断熱材５
５が充填されている。

外管５２の寸法は、外径５．（１ｍｍ　、肉厚０．２ｍ
ｍであり、内管５３ａ、５３ｂ、５３ｃの寸法は、外径
１．６ｍｍ　、肉厚０．１５ｍｍであり、内管５３ａ、
５３ｂ内に収められた光ファイバ束５４ａ、５４ｂは第
１実施例と同様のものであり、内管５３ａ、５３ｂの両
端部の縮径も第１実施例と同じである。

また、外管５２と内管５３　ａ、　　５３　ｂ、　　５
３　ｃの材質も第１実施例と同じである。

本実施例の金属被覆型光導杆５１は、光ファイバ束５４
ａ、５４ｂを収めた内管５３ａ、５３ｂを２本有してい
るため、ライトガイド、透過型光ファイバセンサ、反射
型光ファイバセンサ等に用いることができる。

本実施例の光導杆５１の空の内管５３ｃは、第４実施例
の内管４３ｂと同様に、空気や水等の冷却媒体を、光フ
ァイバ束５４ａ、５４ｂの冷却のために流すことができ
る。また、この内管５３ｃに、熱電対を配置すれば、温
度測定や温度制御にも使用することができる。従って、
従来の光導杆の代わりに、本実施例の光導杆５１を使用
すれば、熱処理炉内の処理物品の監視と同時に、処理物
品の温度測定や処理温度の制御を行うことができる。

更に、内管５３ｃを通してマニピュレータを配置すれば
、サンプリングを行うこともできる。

そして、本実施例の光導杆５１は、断熱材５５を外管５
２と内管５３ａ、５３ｂ、５３ｃの間の隙間に充填しで
あるため、従来の光導杆よりも高温の環境下で使用する
ことができ、更に外管５２と内管５３　ａ、　　５３　
ｂ、　　５３　ｃの材質が焼なましのステンレスである
ため、光導杆５１に可撓性があり、所望の適切な測定条
件を与えるために自在に曲げることができる。

第６図は本発明の第６実施例による金属管被覆型光導杆
６１の端面を示している。

本実施例の金属管被覆型光導杆６１は、外管６２と、そ
の中に収められた４本の内管６３ａ、６３ｂ、６３ｃ、
６３ｄと、内管６３ａ、６３ｂの中に収められた光ファ
イバ束６４ａ、６４ｂとからなっている。なお、空の内
管６３ｃ、６３ｄは例えば一方が空気や水を流すための
冷却用として、他方がマニピュレータ配置用として使用
される。

前記内管６３ａ、６３ｂの両端部は第５実施例と同様に
縮径され、外管６２の両端部も第５実施例と同様に縮径
されている。また、外管６２と内管６３　ａ、　　６３
　ｂ、　　６３　ｃ、　　６３　ｄの間の隙間には断熱
材６５が充填されている。

本実施例の金属管被覆型光導杆６１は、外管６２内に、
光ファイバ束６４ａ、６４ｂを収めた２本の内管５３ａ
、６３ｂと、空の２本の内管６３ｃ、６３ｄを配置した
ので、例えば光ファイバ束６４ａ、６４ｂを収めた２本
の内管６３ａ、６３ｂのうちの１本を、イメージガイド
として使用し、他の１本をライトガイドとして使用する
ことができ、更に空の２本の内管６３ｃ、６３ｄのうち
の１本を冷却用とし、もう１本にマニピュレータを設け
れば、高耐熱性のマニピュレータ付ファイバスコープと
して使用することができる。

第７図は本発明の第７実施例による金属管被覆型光導杆
７１の端面を示している。

本実施例の金属管被覆型光導杆７１は、外管７２と、そ
の内側に収められた３本の内管７３ａ。

７３ｂ、７３Ｃと、内管７３ａ内に収められた小管７４
ａ、７４ｂと、この小管７４ａ、７４ｂ内に収められた
光ファイバ束７５ａ、７５ｂとからなっている。小管７
４ａ、７４ｂはその両端部において縮径されている。光
ファイバ束７５ａ、７５ｂは、それぞれ小管７４ａ、７
４ｂの両端の縮径部において緊密に保持されている。外
管７２と内管７３ａ、７３ｂ、７３ｃの間の隙間と、内
管７３ａと小管７４ａ、７４ｂの間の隙間にはそれぞれ
断熱材７６が充填されている。また、内管７３ｂ、７３
Ｃは空の内管である。

本実施例の金属管被覆型光導杆７１は、第６実施例の光
導杆６１と同様の使い方もできるが、フィアバ束７５ａ
、７５ｂを収めた２本の小管７４ａ、７４ｂを内蔵する
内管７３ａを、反射型光ファイバセンサとして使用して
もよい。

第８図は本発明の第８実施例による金属管被覆型光導杆
８１の端面を示している。

本実施例の金属管被覆型光導杆８１は、外管８２と、そ
の中に収められた内管８３と、その中に収められた小管
８４と、その中に収められた光ファイバ束８５とからな
っている。小管８４はその両端部において縮径されてい
る。光ファイバ束８５は、小管８４の両端の縮径部にお
いて緊密に保持されている。外管８２と内管８３の間の
隙間内には断熱材８６が充填され、内管８３と小管８４
との相互固定は、第１実施例の場合と同様に、ロッド８
７　ａ、　　８７　ｂ、　　８７　ｃによって行われて
いる。

なお、内管８３と小管８４の間の隙間には、光ファイバ
束８５を冷却するための空気や水を流すことができる。

本実施例の金属管被覆型光導杆８１は、第１実施例の場
合と同じ使い方ができ、更に、第１実施例よりも、断熱
材８６の層を備えている分だけ一層高温の環境下で使用
できる。

第９図は本発明の第９実施例による金属管被覆型光導杆
９１の端面を示している。

本実施例の金属管被覆型光導杆９１は、外管９２と、そ
の内側に収められた７本の内管９３ａ。

９３ｂ、９３ｃ、９３ｄ、９３ｅ、９３ｆ、９３ｇと、
内管９３ａ〜９３ｆ内に収められた光ファイバ束９４　
ａ、　　９４　ｂ、　　９４　ｃ、　　９４　ｄ、　　
９４　ｅ。

９４ｆとからなっている。内管９３ａ、９３ｂ。

９３ｃ、９３ｄ、９３ｅ、９３ｆはその両端部において
縮径されている。光ファイバ束９４ａ、９４ｂ、９４ｃ
、９４ｄ、９４ｅ、９４ｆは、それぞれ内管９３ａ、９
３ｂ、９３ｃ、９３ｄ、９３ｅ、９３ｆの両端の縮径部
において緊密に保持されている。外管９２と内管９３ａ
〜９３ｇの間の隙間には断熱材９５が充填されている。

また、内管９３ｇは空であり、光フアイバ束冷却用の空
気や水を流すことができる。

本実施例の金属管被覆型光導杆９１は、断熱材９５と冷
却用内管９３ｇを備えているいるので、高温の環境下で
使用することができると同時に、光ファイバ束９４ａ〜
９４ｆを収めた６本の内管９３ａ〜９３ｆを有している
ので、複数の機器に信号を送ることができる。

以上、本発明の実施例について述べたが、本発明は前述
の実施例に限定されるものではない０例えば、前述の実
施例において、光ファイバ束に替えて、１本または数本
の光ファイバを用いて光信号の受発信に用いてもよい。

また、本発明の金属管被覆型光導杆をライトガイドや光
フアイバセンサとして使用しているが、光ファイバ束を
イメージファイバに代えれば、ファイバスコープとして
使用することができる。

また、必要に応じて、光ファイバ束の収められた内管と
空の内管の数を増やしてもよい。

また、本発明の実施例の金属管被覆型光導杆の空の内管
は、吸引管として使用することができ、その場合、反応
槽等からサンプルを採取することができる。

更に、空の内管を外管から突出させれば、空の内管によ
って反応槽等からサンプルを採取するとき、光ファイバ
束の端面を濡らさずにすむ。

また、外管と内管の外径、肉厚も必要に応じて変えるこ
とができ、外管と内管の材質はステンレス以外の可撓性
のある他の金属、例えば銅、真鍮等を用いることができ
る。

また、断熱材は耐火、断熱性のあるものであればＭｇＯ
以外のものでもよく、例えば＾ｌｚＱ、　、５ｉｎ２等
のセラミックスの粉末でもよい。

また、前述の実施例における外管の外側に、１層以上の
金属管被覆を行ってもよい。

更に、前述の実施例における外管または内管の縮径は、
引き抜き加工によって行うことができる。

また、外管内に２本以上の内管を収めた金属管被覆型光
導杆においても、外管と内管の間の隙間の断熱材に代え
て、冷却空気や冷却水を流してもよい。

また、内管を外管の先端からどの位引っ込めるかは、使
用温度、光ファイバの開口角等によって決めればよい。

また、前述の実施例において、外管と内管をロンドによ
って固定しているが、この固定は他の方法でもよく、ま
た、使用上特に差し支えがなければ、外管と内管の固定
をしなくてもよい。

また、外管内に複数の内管が収められている場合、それ
ぞれが占める内管の位置関係は、実施例に限定されるも
のではない。

また、冷却空気や冷却水を金属被覆型光導杆の先端から
放出することなく、空の内管を流入側、外管と内管の間
の隙間を戻り側としてもよい、空の内管が複数の場合、
一方の内管を流入側とし、他方の内管を戻り側としても
よい。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明の金属被覆型光導杆は、外
管内に内管を収め、内管内に光ファイバを収める構造と
したため、外管と内管の間の隙間に冷却空気や冷却水を
流すか、または断熱材を充填することができ、従来の光
導杆よりも高温の環境下で使用できるようになった。

また、光ファイバの先端部が内管の縮径部によって保持
されているため、高温環境下で使用しても、前記光ファ
イバの先端部が内管から外れることがない。

更に、空の内管を設けたので、この内管内に冷却空気や
冷却水を流すことができ、この場合も、高温の環境下で
使用できるようになった。

また、空の内管に熱電対を配置したため、ライトガイド
や光フアイバセンサと熱電対を一体で動かすことができ
、作業性がよく、温度測定が容易な金属管被覆型光導杆
が得られた。

更に、空の内管にマニピュレータを配置したため、処理
物品や反応物質のサンプリングを、大きく、高価なマジ
ックハンドを用いることなく、簡単にできるようになっ
た。

更に、外管と内管に可撓性のある金属を使用しているの
で、金属管被覆型光導杆を、所望の適切な位置にセット
するため自在に曲げることができる。

【図面の簡単な説明】

第１ａ図は本発明の第１実施例による金属管被覆型光導
杆の、第１ｂ図のＩａ−Ｉａ線に沿った縦断面図、第１
ｂ図は第１ａ図に示した光導杆の左側面図、第２ａ図は
本発明の第２実施例による金属管被覆型光導杆の、第２
ｂ図のＵａ−ＩＩａ線に沿うた縦断面図、第２ｂ図は第
２ａ図に示した光導杆の左側面図、第３ａ図は本発明の
第３実施例による金属管被覆型光導杆の、第３ｂ図の■
ａ−■ａ線に沿った縦断面図、第３ｂ図は第３ａ図に示
した光導杆の左側面図、第４ａ図は本発明の第４実施例
による金属管被覆型光導杆の、第４ｂ図のＩＶ　ａ　−
ＩＶ　ａ線に沿った縦断面図、第４ｂ図は第４ａ図に示
した光導杆の左側面図、第５ａ図は本発明の第５実施例
による金属管被覆型光導杆の断面図、第５ｂ図は第５ａ図に示した光導杆の左側面図、第６図は本
発明の第６実施例による金属管被覆型光導杆の側面図、
第７図は本発明の第７実施例による金属管被覆型光導杆
の側面図、第８図は本発明の第８実施例による金属管被
覆型光導杆の側面図、第９図は本発明の第９実施例によ
る金属管被覆型光導杆の側面図、第１Ｏ図は従来の金属
管被覆型光導杆の使用例を示す縦断面図である。１．２１，３１，４１，５１，６１，７１，８１．９１
・・・金属管被覆型光導杆、　２，２２゜３２．４２，
５２，６２，７２，８２．９２・・外管、　３，２３，
３３，４３ａ、４３ｂ、５３ａ、５３ｂ、５３ｃ、６３
ａ、６３ｂ、６３ｃ。６３ｄ、７３ａ、７３ｂ、７３ｃ、８３，９３ａ。９３ｂ、９３ｃ、９３ｄ、９３ｅ、９３ｆ、９３ｇ・・
・内管、　　４，２４，３４，４４，５４ａ。５４ｂ、６４ａ、６４ｂ、７５ａ、７５ｂ、８５゜９４
ａ、９４ｂ、９４ｃ、９４ｄ、９４ｅ、９４ｒ・・・光
ファイバ束、　　５・・・コネクタ、６ａ、６ｂ・・・
縮径部、　７ａ、７ｂ、７ｃ。８７ａ、８７ｂ、ｓ’ｙｃ−−−ロッド、　　Ｂａ・・
・内管の左端、　８ｂ・・・内管の右端、　９ａ・・・
外管の左端、　９ｂ・・・外管の右端、ＩＯ・・・コネ
クタの右端、　　１１・・・隙間、１２−・−空気取入
口、　２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、３５ａ、３５ｂ、４５
ａ。５５、　６５．７６．８６．９５３６・・・内管の左端部、　３端部、　７４ａ、７４ｂ、８４４５ｂ、　　４５ｃ。・・・断熱材、７・・・内管の右・・・小管第１ｂ図１１８図＋２出願人　　ホ　−　ヤ　株式会社代理人　弁理士　中　村　静　男第２ａ図第４ｂ図１５ｂ＠第４８＠第５８図！：１１

Claims

【特許請求の範囲】１、可撓性金属製外管と、該外管内に収容された少なく
とも１本以上の可撓性金属製内管と、該内管の少なくと
も１本以上に収容された光ファイバとを具備し、該光フ
ァイバを収容した内管の一端部または両端部が縮径され
ていることを特徴とする金属管被覆型光導杆。２、冷却用液体および／または気体を流すための内管を
、少なくとも１本以上有することを特徴とする、請求項
１記載の金属管被覆型光導杆。３、内管内に熱電対を配置したことを特徴とする、請求
項１または請求項２記載の金属管被覆型光導杆。４、内管内を通じてマニピュレータが配置されているこ
とを特徴とする、請求項１から請求項３までのいずれか
一つに記載の金属管被覆型光導杆。５、外管と内管の間の隙間に耐火断熱材が充填されてい
ることを特徴とする、請求項１から請求項４までのいず
れか一つに記載の金属管被覆型光導杆。６、外管と内管の間の隙間が、冷却用液体および／また
は気体を流すための通路として形成されていることを特
徴とする、請求項１から請求項４までのいずれか一つに
記載の金属管被覆型光導杆。７、可撓性金属製外管と、該外管内に収容された少なく
とも１本以上の可撓性金属製内管と、該内管の少なくと
も１本以上に収容された少なくとも１本以上の可撓性金
属製小管と、該小管内に収容された光ファイバとを具備
し、該光ファイバを収容した小管の一端部または両端部
が縮径されていることを特徴とする金属管被覆型光導杆
。