JPH02198794A - ワイヤ式切断機における溝ローラの取付構造 - Google Patents
ワイヤ式切断機における溝ローラの取付構造Info
- Publication number
- JPH02198794A JPH02198794A JP1490489A JP1490489A JPH02198794A JP H02198794 A JPH02198794 A JP H02198794A JP 1490489 A JP1490489 A JP 1490489A JP 1490489 A JP1490489 A JP 1490489A JP H02198794 A JPH02198794 A JP H02198794A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grooved roller
- wire
- grooved
- roller body
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims description 10
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は複数の溝ローラにワイヤを螺旋状に巻回し、ワ
イヤを高速走行させ、これに被切断物を押し当てて同時
に多数のウェハー状の切断片を形成するワイヤ式切断機
における溝ローラに関する。
イヤを高速走行させ、これに被切断物を押し当てて同時
に多数のウェハー状の切断片を形成するワイヤ式切断機
における溝ローラに関する。
上記ワイヤ式切断機としては例えば特開昭６１−１００
３６２号等に示される如く、例えば３個の溝ローラにワ
イヤを螺旋状に巻付け、ワイヤを高速走行させると共に
、ワイヤに切削液を添加してラッピング作用により被切
断物をウェハー状に切断するものである。この際上記切
断と共にワイヤ自体が摩耗し、かつ溝ローラに形成した
ワイヤ巻付用環状溝も摩耗し、従って巻回するワイヤ間
隔に誤差を生じる等の問題がある。
３６２号等に示される如く、例えば３個の溝ローラにワ
イヤを螺旋状に巻付け、ワイヤを高速走行させると共に
、ワイヤに切削液を添加してラッピング作用により被切
断物をウェハー状に切断するものである。この際上記切
断と共にワイヤ自体が摩耗し、かつ溝ローラに形成した
ワイヤ巻付用環状溝も摩耗し、従って巻回するワイヤ間
隔に誤差を生じる等の問題がある。
従って溝ローラは定期的に、あるいは摩耗状態を測定し
、交換する必要がある。
、交換する必要がある。
上記溝ローラの交換の１つの手段として組をなす溝ロー
ラを支持するブラケットと共に切断機より取り外して行
なう方法があるが、この場合、切断機に取り付けるに際
して下部溝ローラ間に張設されるワイヤと被切断物軸心
との角度、即ち芯出しに手数を要する等の問題がある。
ラを支持するブラケットと共に切断機より取り外して行
なう方法があるが、この場合、切断機に取り付けるに際
して下部溝ローラ間に張設されるワイヤと被切断物軸心
との角度、即ち芯出しに手数を要する等の問題がある。
また他の手段としては溝ローラを支持する前方のブラケ
ットに取り付けられるベアリングを取り外して空洞を形
成し、溝ローラをこの空洞から引き出す方法もある。し
かし溝ローラは寸法にもよるが通常３０ｋｇ前後あり、
取り扱いが困難で上記空洞に挿入するに際し溝ローラに
刻設した環状溝に当接し、これを損偏する等の問題があ
る。
ットに取り付けられるベアリングを取り外して空洞を形
成し、溝ローラをこの空洞から引き出す方法もある。し
かし溝ローラは寸法にもよるが通常３０ｋｇ前後あり、
取り扱いが困難で上記空洞に挿入するに際し溝ローラに
刻設した環状溝に当接し、これを損偏する等の問題があ
る。
本発明はかかる点に鑑み、着脱容易な溝ローラを提供す
ることを目的とする。
ることを目的とする。
上記目的を達成するための本発明の溝ローラは相対する
ブラケットにそれぞれ取り付けられる軸受部材と、両軸
受部材間に挟持される溝ローラ本体とからなり、それぞ
れの軸受部材には溝ローラ本体に嵌入する支軸を備え、
かつ一方の軸受部材は溝ローラ軸心方向に移行可能の可
動軸受部材とし、可動軸受部材はブラケットに取り付け
た押圧ねじ杆によりばねを介して溝ローラ本体側に押圧
され、溝ローラ本体を弾圧支持すると共に、溝ローラ本
体の熱膨張は上記ばねにより吸収可能とするようにした
ものである。
ブラケットにそれぞれ取り付けられる軸受部材と、両軸
受部材間に挟持される溝ローラ本体とからなり、それぞ
れの軸受部材には溝ローラ本体に嵌入する支軸を備え、
かつ一方の軸受部材は溝ローラ軸心方向に移行可能の可
動軸受部材とし、可動軸受部材はブラケットに取り付け
た押圧ねじ杆によりばねを介して溝ローラ本体側に押圧
され、溝ローラ本体を弾圧支持すると共に、溝ローラ本
体の熱膨張は上記ばねにより吸収可能とするようにした
ものである。
溝ローラ本体を支持する可動軸受部材の移行により溝ロ
ーラ本体を両ブラケット間において取り出し、あるいは
挿着を容易に行なうことができる。
ーラ本体を両ブラケット間において取り出し、あるいは
挿着を容易に行なうことができる。
この場合、上記可動軸受部材はブラケットに取り付けた
螺杆によりばねを介して押圧し、ばね圧により溝ローラ
本体を挟持するときは、溝ローラ本体の発熱により熱膨
張をばねにより吸収することができる。
螺杆によりばねを介して押圧し、ばね圧により溝ローラ
本体を挟持するときは、溝ローラ本体の発熱により熱膨
張をばねにより吸収することができる。
図は本発明の実施例を示す。第５図に示す如くワイヤ式
明断機１はワイヤＳを張設するワイヤ張設機構２と駆動
機構３とを備える。駆動機構３はワイヤＳの両端を巻取
るリール４．５と、ワイヤＳに所定の張力を付与するダ
ンサローラ６．７を備えており、これらは周知構造であ
り説明を省略する。
明断機１はワイヤＳを張設するワイヤ張設機構２と駆動
機構３とを備える。駆動機構３はワイヤＳの両端を巻取
るリール４．５と、ワイヤＳに所定の張力を付与するダ
ンサローラ６．７を備えており、これらは周知構造であ
り説明を省略する。
張設機構２は第１図、第５図、第６図に示す妬く３個の
溝ローラ１０． １１． １２とこれを支持する前後の
ブラケット１３．１４とからなる。ただし後部ブラケッ
ト１４は機台フレームＦ ｌ＝ ８２けた溝ローラ取付
板Ｆ２にベアリング１５を介して回動自在に取り付けた
回転円板としたもので、この後部ブラケット１４の中心
には回動主軸１６を取り付け、これに駆動ブー９１７を
固着し、この駆動プーリ１７はベルト１８を介して回転
円板駆動モータ１９に連結されている。
溝ローラ１０． １１． １２とこれを支持する前後の
ブラケット１３．１４とからなる。ただし後部ブラケッ
ト１４は機台フレームＦ ｌ＝ ８２けた溝ローラ取付
板Ｆ２にベアリング１５を介して回動自在に取り付けた
回転円板としたもので、この後部ブラケット１４の中心
には回動主軸１６を取り付け、これに駆動ブー９１７を
固着し、この駆動プーリ１７はベルト１８を介して回転
円板駆動モータ１９に連結されている。
また前部ブラケット１３は連結杆２０により後部ブラケ
ット１４に接続されている。
ット１４に接続されている。
これにより回動主軸１６を回動しつつ適宜のワイヤ案内
機構（図示省略）によりワイヤを案内し、上記溝ローラ
１０． １１． １２に対しワイヤＳを螺旋状に巻付け
るようにしたものである。
機構（図示省略）によりワイヤを案内し、上記溝ローラ
１０． １１． １２に対しワイヤＳを螺旋状に巻付け
るようにしたものである。
各溝ローラ１０． １１． １２のうち上部溝ローラ１
０は溝ローラ駆動モータ２１に接続される駆動プーリ２
２を備えている以外は各溝ローラは同一構造であり、以
下上部溝ローラ１０について説明する。この溝ローラｌ
Ｏは溝ローラ本体１０ａと前後のブラケット１３．１４
に取り付けられる前部軸受部材１０ｂと後部軸受部材１
０ｃとからなる。
０は溝ローラ駆動モータ２１に接続される駆動プーリ２
２を備えている以外は各溝ローラは同一構造であり、以
下上部溝ローラ１０について説明する。この溝ローラｌ
Ｏは溝ローラ本体１０ａと前後のブラケット１３．１４
に取り付けられる前部軸受部材１０ｂと後部軸受部材１
０ｃとからなる。
第３．第４図に示す如く溝ローラ本体１０ａは芯筒３０
の外周に耐摩耗性合成樹脂を以てする外筒３１を嵌合し
、外筒３１には所定ピッチの環状溝３２を刻設してなる
。
の外周に耐摩耗性合成樹脂を以てする外筒３１を嵌合し
、外筒３１には所定ピッチの環状溝３２を刻設してなる
。
前部軸受部材１０ｂは前部支軸４０と、この支軸４０を
支承するベアリング４１及びこのべアリング４１を収納
するベアリング筐体４２とを備え、支軸４０は先端をテ
ーパ状とし、溝ローラ本体１０ａの芯筒３０の一端には
この支軸４０に嵌合するテーパ孔３３を穿孔し、必要に
よっては支軸４０にキー４３を植設し、テーパ孔３３に
はキー溝３４を刻設する。
支承するベアリング４１及びこのべアリング４１を収納
するベアリング筐体４２とを備え、支軸４０は先端をテ
ーパ状とし、溝ローラ本体１０ａの芯筒３０の一端には
この支軸４０に嵌合するテーパ孔３３を穿孔し、必要に
よっては支軸４０にキー４３を植設し、テーパ孔３３に
はキー溝３４を刻設する。
上記ベアリング筐体４２は前部ブラケット１３に形成し
た収納筒４４内に摺動可能に挿入され、この収納筒４４
にはベアリング筐体４２を押圧するねじ杆４５を備え、
ねじ杆先端には板ばね等のばね４６を介入する。なおベ
アリング筐体４２は収納筒４４に対し回動することば不
適当であり、キー４７により回動を阻止する。
た収納筒４４内に摺動可能に挿入され、この収納筒４４
にはベアリング筐体４２を押圧するねじ杆４５を備え、
ねじ杆先端には板ばね等のばね４６を介入する。なおベ
アリング筐体４２は収納筒４４に対し回動することば不
適当であり、キー４７により回動を阻止する。
なお４８は前部ブラケット１３における各収納筒４４を
連結する連結板である。
連結する連結板である。
前述の後部軸受部材］Ｏｃは後部支軸５０と、この支軸
５０を支承するベアリング５１とを備え、ベアリング５
１は後部ブラケット１４に嵌着されている。支軸５０は
溝ローラ本体１０ａの端面に当接するフランジ５２及び
該本体内孔３５に嵌合する嵌入軸５３を備え、嵌入軸５
３にはキー５４を植殺し、溝ローラ本体１０ａにはキー
溝３６を形成する。なお支軸５０の反対側先端には前述
の駆動プーリ２２を固定する。
５０を支承するベアリング５１とを備え、ベアリング５
１は後部ブラケット１４に嵌着されている。支軸５０は
溝ローラ本体１０ａの端面に当接するフランジ５２及び
該本体内孔３５に嵌合する嵌入軸５３を備え、嵌入軸５
３にはキー５４を植殺し、溝ローラ本体１０ａにはキー
溝３６を形成する。なお支軸５０の反対側先端には前述
の駆動プーリ２２を固定する。
５５は防塵用カバーである。
他の溝ローラ１１．１２も同一構造であり、それぞれ溝
ローラ本体１１ａ、１２ａ、前部軸受部材１ ｌ ｂ、
１２ ｂ、 ｆ＆部軸受部材１１ｃ。
ローラ本体１１ａ、１２ａ、前部軸受部材１ ｌ ｂ、
１２ ｂ、 ｆ＆部軸受部材１１ｃ。
１２ｃとからなり、それぞれ上記溝ローラ１０と同一部
品に対しては同一符号を付して説明を省略する。ただし
５０ｂ、５０ｃはそれぞれ後部支軸である。
品に対しては同一符号を付して説明を省略する。ただし
５０ｂ、５０ｃはそれぞれ後部支軸である。
図中６０は回動主軸１６に遊嵌する中間プーリであり、
２個のプーリ６１，６２を形成し、一方のプーリ６１と
前記駆動ブー９２２との間にベルト６３を、またプーリ
６２と溝ローラ駆動モータ２１との間にベルト６４をそ
れぞれ架設する。また７０は被切断物Ｗの昇降装置であ
る。
２個のプーリ６１，６２を形成し、一方のプーリ６１と
前記駆動ブー９２２との間にベルト６３を、またプーリ
６２と溝ローラ駆動モータ２１との間にベルト６４をそ
れぞれ架設する。また７０は被切断物Ｗの昇降装置であ
る。
上記構成に於て、溝ローラ本体１０ａの取り付けに際し
ては、第４図に示す如く、ねじ杆４５により前部軸受部
材１０ｂを収納筒４４の内方に引き入れ、前後の支軸４
．０．５０との間に溝ローラ本体１０ａを挿入する間隙
を形成し、両立軸間に溝ローラ本体１０ａを定位する。
ては、第４図に示す如く、ねじ杆４５により前部軸受部
材１０ｂを収納筒４４の内方に引き入れ、前後の支軸４
．０．５０との間に溝ローラ本体１０ａを挿入する間隙
を形成し、両立軸間に溝ローラ本体１０ａを定位する。
ついでねじ杆４５を回動して前部軸受部材１０ｂを押し
出し、両支軸４０．５０間に溝ローラ本体１０ａを挟持
する。
出し、両支軸４０．５０間に溝ローラ本体１０ａを挟持
する。
この場合、ねじ杆４５は、ばね４６に抗して回動した後
、若干反対方向に回動し、ばね４６の弾圧力により溝ロ
ーラ本体１０ａを支持する。
、若干反対方向に回動し、ばね４６の弾圧力により溝ロ
ーラ本体１０ａを支持する。
これにより溝ローラ本体１０ａの温度が上昇したとき熱
膨張をばね４６により吸収させる。
膨張をばね４６により吸収させる。
他の溝ローラ１１，１２に対しても同様であり、説明を
省略する。
省略する。
本発明によるときは、溝ローラは外周に環状溝を形成し
た筒状の溝ローラ本体と、＠後のブラケットに取り付け
られる軸受部材とより構成し、両軸受部材のそれぞれに
設けた支軸により溝ローラ本体を挟持すると共に、一方
の軸受部材は軸心方向に移動可能としたから、溝ローラ
本体は前後のブラケット間において容易に着脱すること
ができる。
た筒状の溝ローラ本体と、＠後のブラケットに取り付け
られる軸受部材とより構成し、両軸受部材のそれぞれに
設けた支軸により溝ローラ本体を挟持すると共に、一方
の軸受部材は軸心方向に移動可能としたから、溝ローラ
本体は前後のブラケット間において容易に着脱すること
ができる。
また上記移動可能の軸受部材は、ブラケットに取り付け
たねじ杆により、ばねを介して移行し、ばね圧により軸
受部材を押圧支持することが好ましく、この構造による
時は溝ローラ本体が使用時の発熱による熱膨張を上記ば
ねにより吸収することができる効果を有する。
たねじ杆により、ばねを介して移行し、ばね圧により軸
受部材を押圧支持することが好ましく、この構造による
時は溝ローラ本体が使用時の発熱による熱膨張を上記ば
ねにより吸収することができる効果を有する。
図は本発明の実施形を示し、第１図は第２図におけるＩ
−１線に沿う断面図、第２図はワイヤ張設機構の正面図
、第３図は溝ローラ本体の縦断面図、第４図は溝ローラ
の組立要領説明図、第５図はワイヤ式切断機の全体説明
図、第６図は第５図におけるＩＩ −ＩＩ線に沿うワイ
ヤ張設機構の平面図である。 １はワイヤ式切断機、 １０． １１． １２は溝ロー
ラ、 １０ａ、 冊ａ、１２ａは溝ローラ本体、 ｂ。 ２Ｃは軸受部 材、 ３゜ １４はプラケッ ト、 ０は支 軸、 ５はねじ杆、 ６はばねである。 特 許 出 願 人 住 友 金 属 工 業 株 式
−１線に沿う断面図、第２図はワイヤ張設機構の正面図
、第３図は溝ローラ本体の縦断面図、第４図は溝ローラ
の組立要領説明図、第５図はワイヤ式切断機の全体説明
図、第６図は第５図におけるＩＩ −ＩＩ線に沿うワイ
ヤ張設機構の平面図である。 １はワイヤ式切断機、 １０． １１． １２は溝ロー
ラ、 １０ａ、 冊ａ、１２ａは溝ローラ本体、 ｂ。 ２Ｃは軸受部 材、 ３゜ １４はプラケッ ト、 ０は支 軸、 ５はねじ杆、 ６はばねである。 特 許 出 願 人 住 友 金 属 工 業 株 式
Claims (1)
- （１）複数の溝ローラを組とし、これにワイヤを螺旋状
に巻付け、ワイヤを走行させて被切断物を同時に多数の
ウェハー状に切断するワイヤ式切断機において、上記溝
ローラは相対するブラケットにそれぞれ取り付けられる
軸受部材と、両軸受部材間に挟持される溝ローラ本体と
からなり、それぞれの軸受部材には溝ローラ本体に嵌入
する支軸を備え、かつ一方の軸受部材は溝ローラ軸心方
向に移行可能の可動軸受部材とし、可動軸受部材はブラ
ケットに取り付けた押圧ねじ杆によりばねを介して溝ロ
ーラ本体側に押圧され、溝ローラ本体を弾圧支持すると
共に、溝ローラ本体の熱膨張は上記ばねにより吸収可能
としたワイヤ式切断機における溝ローラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1490489A JP2861016B2 (ja) | 1989-01-24 | 1989-01-24 | ワイヤ式切断機における溝ローラの取付構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1490489A JP2861016B2 (ja) | 1989-01-24 | 1989-01-24 | ワイヤ式切断機における溝ローラの取付構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02198794A true JPH02198794A (ja) | 1990-08-07 |
| JP2861016B2 JP2861016B2 (ja) | 1999-02-24 |
Family
ID=11873977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1490489A Expired - Fee Related JP2861016B2 (ja) | 1989-01-24 | 1989-01-24 | ワイヤ式切断機における溝ローラの取付構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2861016B2 (ja) |
-
1989
- 1989-01-24 JP JP1490489A patent/JP2861016B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2861016B2 (ja) | 1999-02-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ES2006575A6 (es) | Dispositivo de sujecion para la fijacion axial de una herramienta. | |
| JP3198736B2 (ja) | ボビン把持装置およびボビンホルダ | |
| US20180257193A1 (en) | Double disc surface grinding machine and grinding method | |
| US4095754A (en) | Winding device and chuck therefor | |
| JP4352278B2 (ja) | 横型射出成形機 | |
| US4989487A (en) | Anvil assembly for a slitting machine | |
| JP2015137972A (ja) | 軸受の耐久試験装置 | |
| JPH02198794A (ja) | ワイヤ式切断機における溝ローラの取付構造 | |
| CN210387910U (zh) | 一种等离子切割用转盘组件 | |
| JP2013111708A (ja) | アウターリング交換セット、アウターリング取り外し治具およびアウターリング取り外し方法 | |
| CN102310436A (zh) | 高速主轴单轴木工铣床 | |
| CN217418945U (zh) | 一种聚酯纤维支撑管生产涨力器 | |
| CN213003196U (zh) | 一种切割机的滚动支撑结构 | |
| CN218692705U (zh) | 一种钢带挂料放卷装置 | |
| CN112744639B (zh) | 一种漆包线定速滚筒装置 | |
| CN209758633U (zh) | 料轮张紧机构 | |
| CN218487691U (zh) | 一种带压合支撑结构的工位转盘 | |
| CN216912437U (zh) | 一种焊辊机卧式滑块涨盘固定焊丝输送装置 | |
| CN219617080U (zh) | 一种焊机用固定夹持装置 | |
| JP2002096253A (ja) | ワイヤソー | |
| CN213288203U (zh) | 开式固定台压力机的放卷装置 | |
| KR101047531B1 (ko) | 대형 플랜지용 링 제작을 위한 절단장치 | |
| JP2003081532A (ja) | ボビンホルダ | |
| CA1093526A (en) | Winding device and chuck therefor | |
| JPS6126465B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |