JPH02197804A - 光ファイバアレイ - Google Patents
光ファイバアレイInfo
- Publication number
- JPH02197804A JPH02197804A JP1016459A JP1645989A JPH02197804A JP H02197804 A JPH02197804 A JP H02197804A JP 1016459 A JP1016459 A JP 1016459A JP 1645989 A JP1645989 A JP 1645989A JP H02197804 A JPH02197804 A JP H02197804A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- substrate
- optical fibers
- fiber array
- shaped grooves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 title claims abstract description 54
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 24
- 239000011347 resin Substances 0.000 abstract description 13
- 229920005989 resin Polymers 0.000 abstract description 13
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 abstract description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 abstract 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 abstract 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 abstract 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 abstract 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 17
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 238000007526 fusion splicing Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/38—Mechanical coupling means having fibre to fibre mating means
- G02B6/3807—Dismountable connectors, i.e. comprising plugs
- G02B6/3833—Details of mounting fibres in ferrules; Assembly methods; Manufacture
- G02B6/3855—Details of mounting fibres in ferrules; Assembly methods; Manufacture characterised by the method of anchoring or fixing the fibre within the ferrule
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/38—Mechanical coupling means having fibre to fibre mating means
- G02B6/3807—Dismountable connectors, i.e. comprising plugs
- G02B6/3833—Details of mounting fibres in ferrules; Assembly methods; Manufacture
- G02B6/3834—Means for centering or aligning the light guide within the ferrule
- G02B6/3838—Means for centering or aligning the light guide within the ferrule using grooves for light guides
- G02B6/3839—Means for centering or aligning the light guide within the ferrule using grooves for light guides for a plurality of light guides
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、光フアイバアレイに関するものである。
［従来の技術］
従来、低損失、高信頼性、低価格な光導波路素子の実現
のため、光ファイバと光導波路素子との接続法の検討が
行われている。
のため、光ファイバと光導波路素子との接続法の検討が
行われている。
第３図に従来の光フアイバアレイと光導波路との接続法
の一例を示す。
の一例を示す。
７字型の湧１１が形成されたＳＩ基板１２．ｈに光ファ
イバ１３を並べ、樹脂１４を用いて固定し、光フアイバ
アレイを製作した後、光導波路装置１８の各光導波路１
５と光フアイバアレイを付き合わせ、その結合部分にレ
ンズ１７により集光したＣＯ２レーザ光１６を照射する
ことにより融着接続を行っている。
イバ１３を並べ、樹脂１４を用いて固定し、光フアイバ
アレイを製作した後、光導波路装置１８の各光導波路１
５と光フアイバアレイを付き合わせ、その結合部分にレ
ンズ１７により集光したＣＯ２レーザ光１６を照射する
ことにより融着接続を行っている。
［発明が解決しようとする課題］
しかし、従来の光フアイバアレイにおいては、次の欠点
があることが分かった。
があることが分かった。
（１）光導波路との接続において、ＣＯ２レ一ザ光照射
時における温度上昇により、樹脂が劣化し、信頼性に問
題がある。
時における温度上昇により、樹脂が劣化し、信頼性に問
題がある。
（２）接続損失を小さくするためには、光フアイバ間距
離をミクロオーダで制御する必要があるが、樹脂の硬化
時における収縮により、光ファイバが僅かに動き、接続
損失が増加する。
離をミクロオーダで制御する必要があるが、樹脂の硬化
時における収縮により、光ファイバが僅かに動き、接続
損失が増加する。
本発明の目的は、前記した従来技術の欠点を解消し、接
続損失を大幅に低減でき、信頼性を向上することができ
る新規な光フアイバアレイを提供することにある。
続損失を大幅に低減でき、信頼性を向上することができ
る新規な光フアイバアレイを提供することにある。
［課Ｕを解決するための手段］
本発明の光フアイバアレイは、７字型の溝が形成され且
つその表面が熱酸化膜に覆われたＳｉ基板を用い、前記
７字型の消に沿って光ファイバを配置し、Ｓｉ基板の裏
面よりＣＯ２レーザを照射して、光ファイバの側面と７
字型の溝表面の熱酸化被膜とを触着した構成としたもの
である。
つその表面が熱酸化膜に覆われたＳｉ基板を用い、前記
７字型の消に沿って光ファイバを配置し、Ｓｉ基板の裏
面よりＣＯ２レーザを照射して、光ファイバの側面と７
字型の溝表面の熱酸化被膜とを触着した構成としたもの
である。
［作用］
熱酸化膜に覆われたＶ溝付きＳｉ基板にその裏面により
ＣＯ２レーザ光を照射した場合、そのレーザ光はＳｉ基
板を透過して熱酸化膜にて吸収され、光ファイバはＶ溝
に触着される。樹脂は使用されていないため、この光フ
アイバアレイを光導波路にレーザ光で融着接続する際に
温度上昇が生じても、従来の樹脂の劣化、１ｍ脂硬化時
の光ファイバの位置ずれ等を生じない。
ＣＯ２レーザ光を照射した場合、そのレーザ光はＳｉ基
板を透過して熱酸化膜にて吸収され、光ファイバはＶ溝
に触着される。樹脂は使用されていないため、この光フ
アイバアレイを光導波路にレーザ光で融着接続する際に
温度上昇が生じても、従来の樹脂の劣化、１ｍ脂硬化時
の光ファイバの位置ずれ等を生じない。
［実施例］
以下、本発明の一実施例を、第１図を用いて説明する。
光フアイバアレイを構成するため基板として、ここでは
片面に７字型の消１１を複数本平行に設けた３１基板１
２を用意する。この７字型の消１１は、フォトリソグラ
フィーと化学エツチングにより製作され、高精度（１μ
ｍ以下）の加工が可能である。
片面に７字型の消１１を複数本平行に設けた３１基板１
２を用意する。この７字型の消１１は、フォトリソグラ
フィーと化学エツチングにより製作され、高精度（１μ
ｍ以下）の加工が可能である。
先ず、この７字型の清１１を設けた３１基板１２を、１
２００℃に酸素雰囲気中において加熱することにより、
Ｓｉ基板１２の７字型の溝１１を設けた面に熱酸化膜２
１を形成する。
２００℃に酸素雰囲気中において加熱することにより、
Ｓｉ基板１２の７字型の溝１１を設けた面に熱酸化膜２
１を形成する。
次いで、この熱酸化膜２１の形成された各７字型の渭１
１に、それぞれ１本の光ファイバ１３を位置させて、清
の数だけ光ファイバ１３を並べる。
１に、それぞれ１本の光ファイバ１３を位置させて、清
の数だけ光ファイバ１３を並べる。
次に、Ｓｉ基板１２の裏面より、レンズ１７により集光
したＣＯ２レーザ光１６を、光ファイバ１３の側面に照
射する。このとき、Ｓｉ基板１２はレーザ光（λ＝１０
．６μｍ）を吸収せず透過する。これに対し、熱酸化膜
２１及び光ファイバ１３を構成するＳ ｉ Ｏ２は、Ｃ
Ｏ２レーザを吸収し、互いに融着する。ＣＯ２レーザ光
１６を第１図のＸ方向に走査することにより、光フアイ
バアレイを製作できる。照射するＣＯ２レーザ光１６の
パワーを調整することにより、光フアイバ間距離ａは、
照射前後において殆ど変化しない。
したＣＯ２レーザ光１６を、光ファイバ１３の側面に照
射する。このとき、Ｓｉ基板１２はレーザ光（λ＝１０
．６μｍ）を吸収せず透過する。これに対し、熱酸化膜
２１及び光ファイバ１３を構成するＳ ｉ Ｏ２は、Ｃ
Ｏ２レーザを吸収し、互いに融着する。ＣＯ２レーザ光
１６を第１図のＸ方向に走査することにより、光フアイ
バアレイを製作できる。照射するＣＯ２レーザ光１６の
パワーを調整することにより、光フアイバ間距離ａは、
照射前後において殆ど変化しない。
第２図に、上記光フアイバアレイをガラス光導波路と接
続する一例を示す。
続する一例を示す。
光フアイバアレイの光ファイバ１３を光導波路装置１８
の各光導波路１５と付き合わせ、その結合部分に、レン
ズ１７で集光したＣＯ２レーザ光１６を照射することに
より、融着接続を行う、このＣＯ□レーザ照射時におけ
る温度上昇が生じても、Ｓｉ基板１２と光ファイバ１３
とは予め融着されており樹脂は使用されていないため、
従来の樹脂の劣化、＊脂硬化時の光ファイバ１３の位置
ずれ等のような問題は何等生じない、従って、低損失、
高信頼性の光ファイバ付き光導波路素子が実現される。
の各光導波路１５と付き合わせ、その結合部分に、レン
ズ１７で集光したＣＯ２レーザ光１６を照射することに
より、融着接続を行う、このＣＯ□レーザ照射時におけ
る温度上昇が生じても、Ｓｉ基板１２と光ファイバ１３
とは予め融着されており樹脂は使用されていないため、
従来の樹脂の劣化、＊脂硬化時の光ファイバ１３の位置
ずれ等のような問題は何等生じない、従って、低損失、
高信頼性の光ファイバ付き光導波路素子が実現される。
上記実施例の光フアイバアレイでは、熱酸化膜に覆われ
たＳｉ基板の７字型の清に光ファイバを配置し光ファイ
バの側面と７字型の溝表面の熱酸化被膜とを融着しただ
けであったが、もう−枚の所定の厚さの熱酸化被膜付Ｓ
ｉ基板を上記Ｖ渭の上面に被せ、２枚のＳｉ基板の接合
面にＣＯ２レーザを照射することにより、両者のＳｉ基
板を融着し、光ファイバの位置精度及び安定性を高めた
構成とすることもできる。
たＳｉ基板の７字型の清に光ファイバを配置し光ファイ
バの側面と７字型の溝表面の熱酸化被膜とを融着しただ
けであったが、もう−枚の所定の厚さの熱酸化被膜付Ｓ
ｉ基板を上記Ｖ渭の上面に被せ、２枚のＳｉ基板の接合
面にＣＯ２レーザを照射することにより、両者のＳｉ基
板を融着し、光ファイバの位置精度及び安定性を高めた
構成とすることもできる。
［発明の効果］
以上述べたように、本発明の光フアイバアレイの各光フ
ァイバはＳｉ基板の■消に融着されているため、この光
フアイバアレイに光導波路との融着接続する際の温度上
昇が生じても、従来の樹脂の劣化、樹脂硬化時の光ファ
イバの位置ずれ等の問題を生じない、従って、低損失。
ァイバはＳｉ基板の■消に融着されているため、この光
フアイバアレイに光導波路との融着接続する際の温度上
昇が生じても、従来の樹脂の劣化、樹脂硬化時の光ファ
イバの位置ずれ等の問題を生じない、従って、低損失。
高信頼性の光ファイバ付き光導波路素子を実現できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本売明光ファイバアレイの一実施例を示す断面
図、第２図は本発明光フアイバアレイを用いたガラス光
導波路との接続例を示す図、第３図は従来の光フアイバ
アレイを用いたガラス光導波路素子との接続例を示す図
である。 図中、１１は７字型の清、１２はＳｉ基板、１３は光フ
ァイバ、１４は樹脂、１５は光導波路、１６はＣＯ２レ
ーザ光、１７はレンズ、１８は光導波路装置、２１は熱
酸化膜を示す。 特許出願人 日立電線株式会社 代理人弁理士 絹 谷 信 雄 ７７！レソス ２７ ・°遺マド酸化月稟 第
図、第２図は本発明光フアイバアレイを用いたガラス光
導波路との接続例を示す図、第３図は従来の光フアイバ
アレイを用いたガラス光導波路素子との接続例を示す図
である。 図中、１１は７字型の清、１２はＳｉ基板、１３は光フ
ァイバ、１４は樹脂、１５は光導波路、１６はＣＯ２レ
ーザ光、１７はレンズ、１８は光導波路装置、２１は熱
酸化膜を示す。 特許出願人 日立電線株式会社 代理人弁理士 絹 谷 信 雄 ７７！レソス ２７ ・°遺マド酸化月稟 第
Claims (1)
- １、Ｖ字型の溝が形成され且つその表面が熱酸化膜に覆
われたＳｉ基板を用い、前記Ｖ字型の溝に沿つて光ファ
イバを配置し、Ｓｉ基板の裏面よりＣＯ＿２レーザを照
射して、光ファイバの側面とＶ字型の溝表面の熱酸化被
膜とを融着したことを特徴とする光ファイバアレイ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1016459A JPH02197804A (ja) | 1989-01-27 | 1989-01-27 | 光ファイバアレイ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1016459A JPH02197804A (ja) | 1989-01-27 | 1989-01-27 | 光ファイバアレイ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02197804A true JPH02197804A (ja) | 1990-08-06 |
Family
ID=11916833
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1016459A Pending JPH02197804A (ja) | 1989-01-27 | 1989-01-27 | 光ファイバアレイ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02197804A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0540850A2 (en) * | 1991-09-09 | 1993-05-12 | Sumitomo Electric Industries, Ltd | Optical connector |
| JPH05341151A (ja) * | 1992-06-09 | 1993-12-24 | Hitachi Cable Ltd | 光学部品と光ファイバとの接続方法 |
| GB2298288A (en) * | 1995-02-21 | 1996-08-28 | At & T Corp | Optic fibre connector having rigid substrate and grooved encapsulant |
| JP2008180995A (ja) * | 2007-01-25 | 2008-08-07 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 融着接続方法 |
-
1989
- 1989-01-27 JP JP1016459A patent/JPH02197804A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0540850A2 (en) * | 1991-09-09 | 1993-05-12 | Sumitomo Electric Industries, Ltd | Optical connector |
| US5339376A (en) * | 1991-09-09 | 1994-08-16 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Grooved optical fiber connector incorporating elastic guide pin pressing members |
| US5351328A (en) * | 1991-09-09 | 1994-09-27 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Optical connector with V-grooves having an oxide film |
| US5416868A (en) * | 1991-09-09 | 1995-05-16 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Optical connector having a resin molding portion which includes opposite opened portions at top and bottom surfaces |
| JPH05341151A (ja) * | 1992-06-09 | 1993-12-24 | Hitachi Cable Ltd | 光学部品と光ファイバとの接続方法 |
| GB2298288A (en) * | 1995-02-21 | 1996-08-28 | At & T Corp | Optic fibre connector having rigid substrate and grooved encapsulant |
| GB2298288B (en) * | 1995-02-21 | 1997-07-30 | At & T Corp | Optic fiber connector having rigid substrate and grooved encapsulant |
| US6254280B1 (en) | 1995-02-21 | 2001-07-03 | Agere Systems Optoelectronics Guardian Corp. | Substrate based array connector |
| JP2008180995A (ja) * | 2007-01-25 | 2008-08-07 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 融着接続方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3829195A (en) | Optical couplers | |
| US4767174A (en) | Process and device for connecting an optical fibre and an integrated optical component comprising a wave guide | |
| US5015059A (en) | Optical fiber connector assemblies and methods of making the assemblies | |
| JP2002169042A (ja) | 光導波路結合構造、光導波路及びその製造方法、並びに光導波路付き光素子部品及びその製造方法 | |
| JPH04502069A (ja) | 光学装置 | |
| JPH02197804A (ja) | 光ファイバアレイ | |
| JP2002048949A (ja) | 光導波路接続構造及び光素子実装構造並びに光ファイバー実装構造 | |
| US20220276445A1 (en) | Methods for laser bonding optical elements to substrates and optical assemblies fabricated by the same | |
| JP5278644B2 (ja) | 光電気基板及びその製造方法、光集積回路、光インターコネクタ、光合分波器 | |
| TWI229204B (en) | Multiple planar complex optical devices and the process of manufacturing the same | |
| JP3413750B2 (ja) | モードフィールド整合用光導波路製造方法及びモードフィールド整合用光導波路製造装置 | |
| JP2004258076A (ja) | 光配線層およびその製造方法 | |
| JPH11211929A (ja) | 光ファイバコネクタおよびその製造方法 | |
| JP2004101847A (ja) | 光モジュール | |
| JPS6396609A (ja) | 光接続回路 | |
| JPH0836119A (ja) | 低損失コリメータ対の作製方法 | |
| JP3974891B2 (ja) | 光ファイバガイド、光素子モジュール | |
| JPH0470607A (ja) | 光導波路と光ファイバの融着接続方法及びその装置 | |
| JP3163580B2 (ja) | 導波型光部品 | |
| JPH0720340A (ja) | 光ファイバブロックアレイ及びその製造方法 | |
| JP4763497B2 (ja) | 光モジュールの結合構造及びその組み立て方法 | |
| JP2781888B2 (ja) | 光導波路部品 | |
| JP2008286948A (ja) | 融着接続方法 | |
| JPS6396608A (ja) | 光接続回路の製造方法 | |
| Kinoshita et al. | Two-dimensionally arrayed optical-fiber splicing with a CO 2 laser |