JPH02195017A - 静圧気体軸受スピンドル - Google Patents

静圧気体軸受スピンドル

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JPH02195017A
JPH02195017A JP1012875A JP1287589A JPH02195017A JP H02195017 A JPH02195017 A JP H02195017A JP 1012875 A JP1012875 A JP 1012875A JP 1287589 A JP1287589 A JP 1287589A JP H02195017 A JPH02195017 A JP H02195017A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、静圧気体軸受により主軸を非接触で支持す
る静圧気体軸受スピンドルに関する。
〔従来の技術〕
静圧気体軸受スピンドルは、各種工作機械、工業用ロボ
ットの腕等に用いられ、非接触式で高速回転が可能であ
り、また潤滑油による汚染が無い等種々の利点を有する
第5図に示すように、か−る従来の静圧気体軸受スピン
ドル100は、一般に半径方向の荷重及びモーメント荷
重を支持するために2つ以上のジャーナル軸受が静圧気
体軸受として用いられる。
第5図は上記ジャーナル軸受として4つの軸受スリーブ
20′が主軸20に対して嵌合され、ハウジング30に
設けられている。圧縮気体としての給気は、入口110
から分流111.112.113.114に分流され図
示のそれぞれの部位に供給される。このとき分流113
は給気通路50、円周方向環状溝70、絞り孔71を介
してジャーナル軸受の隙間80間にそれぞれ供給される
。軸受スリーブ20′のそれぞれの両端から流出する排
気は、排気孔90から外部へ排出されるか、あるいは主
軸20の両端から直接排出される。40はハウジング円
筒部、120は分流114のための環状溝、130は主
軸フランジ、140は主軸20のスラストを支持するた
め、駆動部側のハウジング30#を主ハウジング30へ
連結するためのボルトである。主軸フランジ130は分
流112と114の対向する給気圧で同様に静圧軸受と
して支持されている。なお、給気通路50及び排気孔9
0は通常ドリル等により機械加工により穿設される。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、か−る従来の静圧気体軸受スピンドルを
、例えば工作機械等の移動台に取付けて高速で精密な位
置決めをする場合などでは、軸受スピンドルは極力小型
、軽量でなければならない。
ところが、圧縮気体源からの給気は、入口110から絞
り孔71までの途中経路における圧力損失を極力小さく
することによって良好な軸受性能を得るため、絞り孔7
1までの給気流路断面積を十分な大きさのものとして確
保する必要がある。
これは、絞り孔71からの静圧気体として一定の圧力と
一定給気盪が必要なためである。第6図は第5図の線■
〜■から見た断面である。
従って、第5図に示したような従来の給気通路の形式で
は、ハウジング内での給気通路50に対して一定以上の
断面積のものが必要となり、このためハウジング30の
ジャーナル軸受部分の肉厚が大きくなって、小形・軽量
化が困難である。
さらに、上記形式〇給排気構造では、特に排気孔90等
から異物、金属破片等が侵入し易く、この場合は軸受の
焼付き等の原因となる。これは、排気孔からの排気を大
気圧に近づけて排気させるため周方向に相当数の排気孔
を設ける必要があるからである。
二の発明は、か−る従来の静圧軸受スピンドルの問題点
を解決し、ハウジング内に設けられた大径の給気流路、
排気路を小断面積で数条のものに置き代え、環状溝を省
略することによってノ飄つジング径を極力小さく、全体
をコンパクト化した静圧気体軸受スピンドルを提供する
ことを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
そこで、この発明では上記課題を解決するための手段と
して、工作機械等の回転軸などに用いられる主軸と、静
圧気体軸受としてこれを非接触で支持する少なくとも1
つの軸受スリーブと、主軸と軸受スリーブの内面間に形
成される複数のジャーナル軸受面と、前記軸受スリーブ
を収納するノ1ウジングとを備え、前記軸受スリーブは
圧縮気体供給源からの圧縮給気を円周方向へ導く環状溝
、この環状溝へ導通し軸受スリーブの外周面に設けられ
各ジャーナル軸受面へ給気絞り孔を介して圧縮給気を導
く少なくとも3以上の軸方向給気溝、及び各ジャーナル
軸受面からの排気を外部へ導く軸方向排気溝とから成り
、前記軸方向給気溝及び排気溝に対してはそれぞれ適宜
間隔て給気絞り孔、排気孔を複数個設けて成る静圧気体
軸受スピンドルの構成を採用したのである。
前記軸方向給気溝及び排気溝は、その列数を互に隣接し
て対応する数段け、また環状溝は軸受スリーブの一端に
形成するようにしてもよい。
〔作用〕
上記のように構成したこの発明では、給気導入口から送
り込まれる圧縮給気は給気通路内で分流されて少なくと
も3以上の軸方向給気溝に分流され、さらに給気溝に設
けられた複数個の給気絞り孔からジャーナル軸受面に噴
出される。ジャーナル軸受面は軸受スリーブと主軸の間
に形成されたわずかな隙間を有し、これに送り込まれる
圧縮給気により主軸はその回転中軸受スリーブに対して
非接触で支持される。従って回転時の金属間の摩擦損失
が最小限になる。
ジャーナル軸受面に送り込まれた給気はその軸受面を通
り排気孔の方へ移動し、軸方向排気溝に集められてほり
主軸の軸方向に沿って排出される。
このため排気口から反対方向に異物が逆流することがな
くなる。
上記のように給排気が送られるように構成されているた
め、軸方向溝はその断面形状をほり長方形とすることが
でき、このため断面積の大きな給排気路が確保され、し
かもこれら給排気孔は従来のようにハウジングに設けら
れているのではな(、軸受スリーブ自体に設けられてい
るから)zQリジング断面積も小さくなり、従って静圧
気体軸受スピンドル全体が小型・軽量化されることにな
る。
〔実施例〕
以下この発明の好ましい実施例について添付図を参照し
て説明する。
第1図に示すように、この実施例の静圧気体軸受スピン
ドル1は、工作機械等の回転軸に用し)られる主軸2を
ハウジング3内に挿通軸支してむ)る。
主軸2はハウジング3の主)z?)ソング4内に設けら
れた軸受スリーブ6に嵌挿されており、この軸受スリー
ブ6の外周面上には後述する軸方向給気溝5、軸方向排
気溝10等が設けられている。11は給気導入口である
第2図は第1図の線■−■から見た断面図であり、主ハ
ウジング4内に軸受スリーブ6、主軸2の大径部2′が
嵌合しているのが分る。
第3図は上記第1図、第2図に示した軸受スリーブ6の
拡大斜視図である。その軸方向に沿って前記軸方向給気
溝5、同排気溝10がそれぞれ互に隣接して複数個設け
られている。そしてこれらの溝5.10には圧縮給気、
排気をするための給気絞り孔7、排気孔9が適当数(図
示ではそれぞれ4ケ所ずつ)設けられている。給気絞り
孔7から供給される圧縮給気は、第1図に示すように主
軸2の大径部2′と軸受スリーブ6との間にわずかな隙
間を形成されているジャーナル軸受8に送り込まれ、こ
れにより静圧軸受の役目を果たしている。このジャーナ
ル軸受8は通常は複数ケ所主軸の必要幅に応じて設けら
れる。
この実施例では、軸受スリーブ6の右端付近には圧縮気
体供給源からの圧縮給気を円周方向へ導く環状溝12が
設けられている。従って、この環状溝12によって各列
の軸方向給気溝5へバランスしてそれぞれ給気が分配さ
れる。なお、給気絞り孔は自戒絞り、オリフィス絞り、
毛細管絞り、多孔絞りなどのいずれの形式のものであっ
てもよい。
上記のように、軸方向給気溝へ送られた圧縮給気は、給
気絞り孔7からジャーナル軸受面8へ送られ、排気孔9
を介して軸方向排気溝10より排気される。
また、軸受スリーブ6の右端に接してフランジ部13が
設けられている。このフランジ部13は主軸2に固定さ
れ、主軸2のスラスト支持をするために設けられている
フランジ部13によるスラスト支持のため、主ハウジン
グ4に対してスラスト受は部材3aを内装しているカプ
ラー3′がボルト14により接合されている。このカプ
ラー3′内には、第1図に示すように、圧縮給気をフラ
ンジ部13の右側へ導くための給気通路が設けられてお
り、フランジ部13の左側の給気絞り孔7′とこれに対
向して設けたちのスラスト受は部材3aの給気絞り孔7
“によりスラスト方向の静圧気体軸受の役目を行なって
いる。
上記のように構成したこの実施例の作用について次に説
明する。
給気導入口11から送り込まれる圧縮給気は給気通路を
介して分流11..11□、11..114に分流され
てそれぞれの給気絞り孔7.7′7“へ導かれる。この
時軸方向給気溝5は軸受スリーブ6の外周面に形成され
ているから、従来のようにこの軸受スリーブ6の外側主
ハウジングに給気通路を設ける必要がない、従って主ハ
ウジング4の断面積が小さ(なり、このため静圧気体軸
受スピンドルが小型・軽量化される。
軸受スリーブ6の給気絞り孔7から送り込まれた圧縮給
気により主軸2は、回転中軸受スリーブ6とは非接触で
回転され、その排気は軸方向排気溝10から排出される
ことは前述した通りである。
第4図は前記第1実施例と若干構成の異なるもう1つの
実施例の縦断面図である。この実施例では、圧縮給気の
給気導入口11を主軸に平行に設けたこと、主軸の大径
部2′の右側端がや一離れていること、従って軸方向給
気溝5が若干長くなり、又排気路が左側の短い部分と右
上部に独立に設けたもの(排気口13″)から成ること
等の点で構成が異なるが、作用については第一実施例と
ぼり同じである。
〔効果〕
以上詳細に説明したように、この発明では圧縮給気、排
気のための通路として軸方向給気溝、軸方向排気溝、及
び環状溝を円筒状の軸受スリーブにそれぞれ設けるよう
にしたから、従来のように給・排気路を主ハウジングに
設ける必要がない。
又、軸方向溝は複数個設けられ、かつ断面形状をは\゛
長方形とすることができるから、断面積の大きな給気通
路を容易に確保できる。又、円周方向の環状溝よりも左
側の主ハウジングは給・排気溝をシールできれば十分で
あるから肉厚を薄くできる。従って、小型、軽量でかつ
良好な軸受性能を有する静圧気体軸受スピンドルが得ら
れる。
また、排気溝は主としてスピンドル端がら軸方向へ流出
させるように構成したから、軸受ごとに排気孔を周方向
に多数個設ける従来の形式のものに比較して軸受隙間に
異物が侵入し難い、さらに、軸受スリーブが一体である
ため、加工、組立が容易で時間の短縮化、コストの低下
を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明による静圧気体軸受スピンドルの第
一実施例の縦断面図、第2図は第1図の線■−■から見
た断面図、第3図は軸受スリーブの拡大斜視図、第4図
は第二実施例の縦断面図、第5図は従来例の縦断面図、
第6図は第5図の線vy−v+から見た断面図である。 1・・・・・・静圧気体軸受スピンドル、2・・・・・
・主軸、     2′・・・・・・大径部、3・・・
・・・ハウジング、   4・・・・・・主ハウジング
、5・・・・・・軸方向給気溝、 6・・・・・・軸受
スリーブ、7.7′、7#・・・・・・給気絞り孔、8
・・・・・・ジャーナル軸受、 10・・・・・・軸方向排気溝、 111.11t、113 12・・・・・・環状溝、 14・・・・・・ボルト。 9・・・・・・排気孔、 11・・・・・・給気導入口1 .11.・・・・・・分流、 13・・・・・・フランジ部、

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)工作機械等の回転軸に用いられる主軸と、静圧気
    体軸受としてこれを非接触で支持する少なくとも1つの
    軸受スリーブと、主軸と軸受スリーブの内面間に形成さ
    れる複数のジャーナル軸受面と、前記スリーブを収納す
    るハウジングとを備え、前記軸受スリーブは圧縮気体供
    給源からの圧縮給気を円周方向へ導く環状溝、この環状
    溝へ導通し軸受スリーブの外周面に設けられ各ジャーナ
    ル軸受面へ給気絞り孔を介して圧縮給気を導く少なくと
    も3以上の軸方向給気溝、及び各ジャーナル軸受面から
    の排気を外部へ導く少なくとも1以上の軸方向排気溝と
    から成り、前記軸方向給気溝及び排気溝に対してはそれ
    ぞれ適宜間隔で給気絞り孔、排気孔を複数個設けて成る
    静圧気体軸受スピンドル。
  2. (2)前記軸方向給気溝及び排気溝の列数を互に隣接し
    て対応する数段け、前記環状溝を前記軸受スリーブの一
    端に形成したことを特徴とする請求項1に記載の静圧気
    体軸受スピンドル。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09166143A (ja) * 1995-12-18 1997-06-24 Ntn Corp 静圧空気軸受スピンドル
CN108194507A (zh) * 2018-01-26 2018-06-22 中国计量大学 一种非均匀分布变节流孔直径径向气体轴承

Families Citing this family (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6439773B1 (en) * 1909-11-09 2002-08-27 Ntn Corporation Externally pressurized gas bearing spindle assembly
JPS5370201U (ja) * 1976-11-15 1978-06-13
US5380101A (en) * 1993-01-05 1995-01-10 Cheng-Chung; Chai Rotary transmission mechanism
US5283491A (en) * 1993-01-11 1994-02-01 Maxtor Corporation Air-bearing motor assembly for magnetic recording systems
JP3088593B2 (ja) * 1993-07-16 2000-09-18 光洋精工株式会社 静圧気体軸受
CZ289599B6 (cs) * 1994-11-29 2002-03-13 Gerhard Wanger Vřeteno pro loľisko mazané plynem rychle se otáčejícího nástroje
FR2734744B1 (fr) * 1995-05-31 1998-02-20 Ntn Toyo Bearing Co Ltd Broche de palier a air comprime en continu pour des machines de forage, des machines-outils de precision ou analogues
JPH1113764A (ja) * 1997-06-23 1999-01-22 Ntn Corp 静圧空気軸受
AU5305298A (en) * 1998-01-06 1999-07-26 Ulrich Raess Hydrostatic bearing for absorbing axial and radial forces
AU2001271884A1 (en) * 2000-07-10 2002-01-21 Bently Nevada Corporation A hydrostatic bearing for use in a turbocharger
US6746155B2 (en) * 2001-10-09 2004-06-08 Yen Sun Technology Corp. Bearing device
JP4146151B2 (ja) * 2002-04-11 2008-09-03 Ntn株式会社 静圧気体軸受及びこれを用いたスピンドル装置
US7918605B2 (en) * 2004-09-29 2011-04-05 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Gas journal bearing systems and related methods
US7220055B2 (en) * 2005-01-05 2007-05-22 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Air bearing having unitary housing
US8675464B2 (en) 2005-11-03 2014-03-18 Cinram Group, Inc. Dual sided optical storage media and method for making same
US7986611B1 (en) 2007-03-22 2011-07-26 Cinram International Inc. High-density optical recording media and method for making same
US7637713B1 (en) 2007-02-13 2009-12-29 Cinram International Inc. Apparatus and method for separating topmost disc-like object from a stack
CN102270595B (zh) * 2010-06-03 2014-01-15 北京中电科电子装备有限公司 旋转气浮系统
CN101894784B (zh) * 2010-06-10 2012-07-11 北京中电科电子装备有限公司 半导体专用设备晶片旋转台装置
US8529192B2 (en) * 2010-09-15 2013-09-10 Hamilton Sundstrand Corporation Thrust bearing shaft for thrust and journal air bearing cooling in a compressor
US8517665B2 (en) * 2010-12-21 2013-08-27 Hamilton Sundstrand Corporation Thrust bearing shaft for thrust and journal air bearing cooling in an air machine
CN102172877B (zh) * 2011-02-16 2012-12-19 东南大学 一种用于高精密和超薄化晶片的磨削装置
US9334898B2 (en) * 2012-07-16 2016-05-10 Solar Turbines Incorporated Lamination sleeve with an axial hydraulic fitting port
CN102840237B (zh) * 2012-07-27 2015-04-15 华中科技大学 一种可实现端面配油的液体静压轴承
US9422978B2 (en) * 2013-06-22 2016-08-23 Kla-Tencor Corporation Gas bearing assembly for an EUV light source
TWI612232B (zh) 2013-10-25 2018-01-21 財團法人工業技術研究院 液靜壓主軸軸向油腔裝置
CN104070190B (zh) * 2014-06-24 2017-05-10 杭州贝克机械有限公司 直进式静压伺服手动快速换刀动力主轴头及工作方法
US10215230B2 (en) * 2016-09-24 2019-02-26 Radiant Physics Inc. Pressurized gas bearings for rotating machinery
CN106334805B (zh) * 2016-10-19 2019-08-06 北京海普瑞森超精密技术有限公司 超声波主轴
US9970481B1 (en) * 2017-09-29 2018-05-15 Efc Systems, Inc. Rotary coating atomizer having vibration damping air bearings
JP6775276B2 (ja) * 2019-03-15 2020-10-28 株式会社ソディック 静圧流体軸受装置
CN110360223B (zh) * 2019-08-20 2024-03-19 中国科学院合肥物质科学研究院 一种气浮轴承

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5643542U (ja) * 1979-09-11 1981-04-20
JPS5929418U (ja) * 1982-08-20 1984-02-23 松下電器産業株式会社 空気軸受

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3395952A (en) * 1965-02-08 1968-08-06 Mecanorga S A Bearing and the like carrier means for movable members
US3454311A (en) * 1966-02-01 1969-07-08 Toyoda Machine Works Ltd Fluid bearing with a damping effect
JPS4833297B1 (ja) * 1970-04-21 1973-10-13

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5643542U (ja) * 1979-09-11 1981-04-20
JPS5929418U (ja) * 1982-08-20 1984-02-23 松下電器産業株式会社 空気軸受

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09166143A (ja) * 1995-12-18 1997-06-24 Ntn Corp 静圧空気軸受スピンドル
CN108194507A (zh) * 2018-01-26 2018-06-22 中国计量大学 一种非均匀分布变节流孔直径径向气体轴承

Also Published As

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US5073037A (en) 1991-12-17
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