CN102270595B - 旋转气浮系统 - Google Patents
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Abstract
一种旋转气浮系统,其包括节流器I、节流器II、压坏、调整圈、轴承压圈、传动环、电机、轴和旋转底座;电机带动轴运转,随之带动传动环转动,气体从旋转底座的下端进入,从节流器II出来,在气压的推动下,传动环升起来,与旋转底座脱离,使之实现近似无摩擦旋转,以及在240度范围内的准确定位,同理,气体从轴承压圈的上端进入,从节流器I出来,使传动环下降而减速。该机构具有结构紧凑,安装简单,应用方便,调整可靠的特点,可以广泛应用于半导体专用设备的旋转气浮系统。
Description
技术领域
本发明涉及一种气浮系统,特别是一种应用于半导体专用设备的旋转气浮系统。
背景技术
半导体专用设备在对晶片进行加工的过程中,由于加工工艺的要求,工作台需要通过气浮系统实现240度范围内旋转的准确定位。在现代化的生产设备中,常见的旋转定位系统通常是:直接通过电机带动轴,旋转一定角度,实现旋转定位。这种装置在实际应用中存在一定的不足,可靠性低,结构较为复杂,运转不稳定,无法实现精准定位,还存在难于控制的问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种可靠性高、运转稳定,能实现精准定位的半导体专用设备的旋转气浮系统。
为实现上述目的,本发明采用如下技术方案:气浮系统包括电机、和电机相连接的轴、设置在电机上端的旋转底座、设置在轴上的压环、通过销与压环相连接的传动环、通过调整圈与压环固定连接的轴承压圈、设置在轴承压圈内的节流器I以及设置在旋转底座上的节流器II。
本发明的有益效果是:所述节流器II压入旋转底座,通气后,气体从旋转底座的下端进入,经过节流器的II小孔出来,在气压的推动下,传动环升起来,与旋转底座相脱离,在电机的带动下,进行近似无摩擦旋转,以及在240度范围内的准确定位。
上述传动环浮起时,通过销与传动环连接在一起的压环也向上浮动。
上述节流器I压入轴承压圈,通气后,气体从轴承压圈的上端进入,经过节流器I的小孔出来,在气压的推动下,传动环下降,与旋转底座接触,从而使传动环回复原位,实现了传递工位的要求。
本发明应用于对晶片进行加工的半导体专用设备,是一种结构简单实用、使用方便,结构可靠的旋转气浮系统。本发明为半导体专用设备间歇性回转工作台提供了一种高精度,高刚度,低摩擦,运行平稳的精密结构。由于采用了气浮技术,使得传动环的抬升过程平稳,摩擦系数小,低速无爬行现象,极大地提高旋转精度,定位精度,实现了正确传递工位的要求。传递工位完成后,传动环下降到原始位置,提高了连接刚度,是工作更加平稳,显著提高加工进度。该装置整体结构紧凑,安装简单,结构可靠,运行平稳,定位精准,不但提高了工作效率,还有极强的实用性,和经济性。不仅可以用于超薄硅片的加工,还可以用于非超薄硅片的加工生产,可以极大的实现现代化晶片加工工艺的要求。
附图说明
图1是本发明的结构示意图;
图2是本发明的立体结构示意图;
图3是本发明的通气示意图。
在附图中:1节流器I、2压环、3调整圈、4轴承压圈、5节流器II、6传动环、7电机、8轴、9旋转底座、10销。
具体实施方式
如图1和图2所示,本发明包括电机7、和电机7相连接的轴8、设置在电机7上端的旋转底座9、设置在轴8上的压环2、通过销8与压环2相连接的传动环6、通过调整圈3与压环2固定连接的轴承压圈4、设置在轴承压圈4内的节流器I 1以及设置在旋转底座9上的节流器II 5。
节流器I 1压入轴承压圈4,轴承压圈4通过螺钉和调整圈3与压环2固定在一起,压环2固定在轴8上,压环2与传动环6通过销10连接,节流器II 5压入旋转底座9;如图3所示,通气后,电机7带动轴8运转,随之带动传动环6转动,使之实现近似无摩擦旋转,以及在240度范围内的准确定位。
上述传动环6浮起时,通过销8与传动环6连接在一起的压环2也向上浮动。
上述节流器I 1压入轴承压圈4,如图3所示,通气后,气体从轴承压圈4的上端进入,经过节流器I 1的小孔出来,在气压的推动下,传动环6下降,与旋转底座9接触,从而使传动环6回复原位,实现了传递工位的要求。
本发明结构简单实用、使用方便,结构可靠。由于采用了气浮技术,使该装置整体结构紧凑,安装简单,结构可靠,运行平稳,定位精准,可以极好的实现晶片加工工艺的要求。
Claims (1)
1.旋转气浮系统,其特征是其包括电机(7)、和电机(7)相连接的轴(8)、设置在电机(7)上端的旋转底座(9)、设置在轴(8)上的压环(2)、通过销(10)与压环(2)相连接的传动环(6)、通过调整圈(3)与压环(2)固定连接的轴承压圈(4)、设置在轴承压圈(4)内的节流器I(1)以及设置在旋转底座(9)上的节流器II(5);
所述节流器II(5)通气后,气体从所述旋转底座(9)的下端进入,经过所述节流器II(5)的小孔出来,通过气压推动所述传动环(6)起升;
所述节流器I(1)通气后,气体从所述轴承压圈(4)的上端进入,经过所述节流器I(1)的小孔出来,通过气压推动所述传动环(6)下降。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201010190833.0A CN102270595B (zh) | 2010-06-03 | 2010-06-03 | 旋转气浮系统 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201010190833.0A CN102270595B (zh) | 2010-06-03 | 2010-06-03 | 旋转气浮系统 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102270595A CN102270595A (zh) | 2011-12-07 |
CN102270595B true CN102270595B (zh) | 2014-01-15 |
Family
ID=45052837
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201010190833.0A Expired - Fee Related CN102270595B (zh) | 2010-06-03 | 2010-06-03 | 旋转气浮系统 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102270595B (zh) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105415146B (zh) * | 2015-12-01 | 2019-06-11 | 北京中电科电子装备有限公司 | 一种分度回转工作台及分度回转工作台系统 |
CN105397632B (zh) * | 2015-12-28 | 2018-09-11 | 北京中电科电子装备有限公司 | 一种气浮式旋转工作台工位切换的控制方法及装置 |
CN111421412B (zh) * | 2020-05-20 | 2022-03-04 | 清华大学 | 一种磨削工作台和晶圆减薄设备 |
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US5073037A (en) * | 1989-01-20 | 1991-12-17 | Ntn Corporation | Spindle assembly |
CN101422872A (zh) * | 2007-10-30 | 2009-05-06 | 昆明市凯跃机电塑料有限责任公司 | 一种气浮式机械抛光方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4887492B2 (ja) * | 2006-05-30 | 2012-02-29 | 国立大学法人静岡大学 | 非接触支持装置 |
-
2010
- 2010-06-03 CN CN201010190833.0A patent/CN102270595B/zh not_active Expired - Fee Related
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Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JP特开2007-321811A 2007.12.13 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102270595A (zh) | 2011-12-07 |
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Legal Events
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C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
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