JP3088593B2 - 静圧気体軸受 - Google Patents
静圧気体軸受Info
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- F16C32/0662—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
を支持する静圧気体軸受に関する。
図2に示すものがある。この静圧気体軸受は、略円筒形
状のハウジング21と、このハウジング21内に挿入さ
れたリング状の第1静圧軸受部22と、リング状のスペ
ーサ23と、リング状の第2静圧軸受部24とを有して
いる。上記第1静圧軸受部22とスペーサ23と第2静
圧軸受部24は、それぞれ、Oリング25,25とOリ
ング26とOリング27,27とを介して、上記ハウジ
ング21の内周面に対してラジアル方向に支持されてい
る。また、上記ハウジング21の図中左端には内周縁部
28が形成されており、この内周縁部28の内周面が、
回転軸30が挿入される貫通孔31を形成している。一
方、上記ハウジング21の図中右端の開口部32には、
蓋33が嵌合されている。上記蓋33に設けられた押さ
え用の円環状の突起33aは、上記第2静圧軸受部24
を軸方向に支持して、軸受部22,24とスペーサ23
を軸方向に支持する。
の貫通孔31から、軸受部22の貫通孔22aとスペー
サ23の貫通孔23aと軸受部24の貫通孔24aに、
回転軸30が挿入される。そして、上記軸受部22の吹
出口22bおよび上記軸受部24の吹出口24bから加
圧流体を吹き出さして、上記回転軸30をラジアル方向
に支持する。
静圧気体軸受は、図2に示すように、ハウジング21が
歪んでいて、ハウジング21の開口部32の外周の端面
38が、ハウジング21の中心軸に対して直角でない場
合、上記蓋33が上記中心軸に対して直角な方向から傾
く。すると、第2静圧軸受部24の図中下側の部分に対
する軸方向クリアランスが過大になり、図2に示すよう
に、第2静圧軸受部24が傾いて、軸受部24の軸芯が
上記中心軸に対して傾き、この結果、上記軸受部24
は、回転軸30に対して適切なラジアル隙間を得ること
ができないという問題がある。また、隣接するスペーサ
23との間に隙間が生じ、この隙間から気密漏れが発生
して、軸受能力が損なわれるという問題もある。
に、シム等を用いて組付け調整しているが、軸受部の組
付け工数が増大するという問題がある。
歪んでいても、軸芯に対する軸受部の直角度を損なうこ
となく、軸受部を簡単に組みつけることができる静圧気
体軸受を提供することにある。
め、請求項1の発明の静圧気体軸受は、有底円筒形状に
形成され、底部に回転軸が通る孔を有するハウジング
と、上記ハウジング内に挿入される複数の円筒形状の静
圧軸受部と、上記ハウジングの内周面と上記各静圧軸受
部の外周面との間に挿入されて上記静圧軸受部をラジア
ル方向に支持する環状弾性部材と、上記ハウジングの反
底部側端部に取り付けられて上記静圧軸受部を軸方向に
支持するカバー部とを備える静圧気体軸受において、上
記各静圧軸受部の相対向する軸方向端面が、各静圧軸受
部の中心軸に対して直角に形成され、上記カバー部は、
弾性部材を介して上記各静圧軸受部を軸方向に押圧し
て、上記静圧軸受部の端面を互いに密着させるととも
に、上記底部とこの底部と対向する静圧軸受部の対向面
とは一部でのみ接触するようにして、各静圧軸受部の中
心軸が一致した状態でハウジング内に組み込まれている
ことを特徴としている。
有底円筒形状に形成され、底部に回転軸が通る孔を有す
るハウジングと、上記ハウジング内に挿入される複数の
円筒形状の静圧軸受部と、上記ハウジングの内周面と上
記各静圧軸受部の外周面との間に挿入されて上記静圧軸
受部をラジアル方向に支持する環状弾性部材と、上記ハ
ウジングの反底部側端部に取り付けられて上記静圧軸受
部を軸方向に支持するカバー部とを備える静圧気体軸受
において、上記ハウジング内に挿入され、上記静圧軸受
部の軸方向端面に対向する軸方向端面が、中心軸に対し
て直角に形成されたスペーサを有し、上記各静圧軸受部
の相対向する軸方向端面が、各静圧軸受部の中心軸に対
して直角に形成され、上記カバー部は、弾性部材を介し
て上記各静圧軸受部を軸方向に押圧して、上記静圧軸受
部の端面とスペーサの端面とを互いに密着させるととも
に、上記底部とこの底部と対向する静圧軸受部の対向面
とは一部でのみ接触するようにして、静圧軸受部とスペ
ーサの中心軸が一致した状態でハウジング内に組み込ま
れていることを特徴としている。
ー部が取り付けられるハウジングの軸方向の端面がハウ
ジングの中心軸に対して直角ではなく、上記カバー部が
上記中心軸に対して直角でない場合に、上記カバー部に
最も近い静圧軸受部と上記カバー部との間の隙間が不均
一になる。
とカバー部との間に介在して、上記静圧軸受部を軸方向
に押圧する。上記弾性部材は、広い隙間においては弱く
圧縮され狭い隙間においては強く圧縮されて、上記静圧
軸受部の軸方向端面に対向する全面が上記静圧軸受部に
当接する。そして、上記静圧軸受部は、上記弾性部材に
よって付勢されて隣接する静圧軸受部もしくはスペーサ
に密着させられる。すると、上記各静圧軸受部の軸方向
に相対向する端面は、各静圧軸受部の中心軸に対して直
角に形成されているから、各静圧軸受部の中心軸は一致
する。なお、ハウジング底部とこの底部に対向する静圧
軸受部の対向面とが一部でのみ接触しているから、各静
圧軸受部がハウジングおよびカバー部の変形の影響を受
けないようにして、ハウジングおよびカバー部の変形
を、弾性部材の変形で吸収して各静圧軸受部(およびス
ペーサ)の中心軸を一致させることができる。
よれば、ハウジングが歪んでいても、弾性部材によっ
て、不均一な隙間が吸収され、各静圧軸受部の中心軸を
一致させて組み付けることができる。
説明する。
の断面を示す。この実施例は、円筒形の内周面1aを有
するハウジング1と、このハウジング1に挿入された第
1の静圧軸受部2と、スペーサ3と、第2の静圧軸受部
5と、蓋6とを有している。
9に輪状の縁部7が設けられている。この縁部7の内周
面7aが貫通孔8を形成している。
圧軸受部5には、径方向の吹出孔10および吹出孔11
が形成されている。また、上記静圧軸受部2および5
は、外周面に形成された溝12および溝13に、Oリン
グ14および15が嵌合され、このOリング14,15
によってハウジング1の内周面1aに対して径方向に支
持されている。また、上記スペーサ3は、外周面に形成
された溝19に嵌合されたOリング20によってハウジ
ング1の内周面1aに対して径方向に支持されている。
b,2cは、その軸受孔2aの中心軸に対して直角に形
成されている。また、上記スペーサ3の軸方向の両端の
面3b,3cは、その貫通孔3aの中心軸に対して直角
の形成されている。また、上記静圧軸受部5の軸方向の
両端の面5b,5cは、その軸受孔5aの中心軸に対し
て直角に形成されている。
方向の他方の端部17に取り付けられ、Oリング16を
介して上記静圧軸受部5を軸方向に支持している。
圧軸受部2の軸受孔2a及びスペーサ3の貫通孔3aお
よび静圧軸受部5の軸受孔5aに回転軸18が挿入され
る。上記回転軸18は、上記静圧軸受部2の吹出孔10
および上記静圧軸受部5の吹出孔11から径方向に吹き
出される加圧流体によって、径方向に支持される。
ように、ハウジング1が歪んでいる場合に、ハウジング
1の端部17に取り付けた蓋6がハウジング1の中心軸
に対して直角な方向に対して傾斜する。そして、上記蓋
6と静圧軸受部5との間の隙間が不均一になる。
上記静圧軸受部5との間にあって、上記隙間が狭いとこ
ろでは強く圧縮され、上記隙間が広いところでは弱く圧
縮されて、静圧軸受部5に対向する全面が静圧軸受部5
に当接する。したがって、この静圧軸受部5の端面5b
は、Oリング16によって付勢されて隣接するスペーサ
3の端面3cに密着させられる。その結果、上記静圧軸
受部5は、静圧軸受部2およびスペーサ3と中心軸が一
致する。
ング1が歪んでいても、ハウジング1に収納する静圧軸
受部2,5の軸受孔2a,5aとスペーサ3の貫通孔3
aの中心軸が一致するように、静圧軸受部2,5とスペ
ーサ3をハウジング1に組み込むことができる。なお、
図1に示すように、静圧軸受部2の端面2bとハウジン
グ1の縁部7の内側の面とは、全面的に密着しておら
ず、一部分のみで接触しているから、各静圧軸受部2,
5とスペーサ3が、ハウジング1や蓋6の歪の影響を受
けないようにすることができる。
の加工精度を高める必要がなく、かつ、組付け調整治具
を必要とすることなく、静圧軸受部2,5とスペーサ3
を同芯に組み付けることができる。したがって、この実
施例によれば、安価で組み立てが簡単な静圧気体軸受を
実現することができる。さらに、静圧軸受部2,5とス
ペーサ3は、それぞれOリング14,15,20を介して
ハウジング1に取り付けられているので、静圧軸受部
2,5とスペーサ3の中心軸とハウジング1の中心軸と
を一致させることもできる。
向の端部17だけにOリング16と蓋6を設けたが、も
う一方の端部9にも、縁部7に替えて、貫通孔が形成さ
れた蓋を取り付け、この蓋と軸受部2との間にOリング
を介在させるようにしてもよい。また、この実施例で
は、静圧軸受部2と5の間に、スペーサ3を介在させた
が、スペーサ3に替えて、静圧軸受部を備えてもよい。
この場合、隣り合う静圧軸受部の端面が互いに密着す
る。また、蓋6の中央部にも貫通孔を設け、回転軸18
を延長してこの貫通孔から突出させて、ハウジング1の
両側から回転軸18が出るように構成してもよい。
明の静圧気体軸受は、ハウジングの円筒形の孔に複数の
円筒形状の静圧軸受部が挿入され、この静圧軸受部の相
対向する軸方向端面が、各静圧軸受部の中心軸に対して
直角に形成され、ハウジングの軸方向の端部に取り付け
られたカバー部が、弾性部材を介して上記各静圧軸受部
を軸方向に押圧して、その端面を互いに密着させている
ものである。
に対向する軸方向端面が中心軸に対して直角になってい
るスペーサを有したものである。
ジングの歪みによって、上記カバー部と上記静圧軸受部
との間の軸方向の隙間が不均一になった場合でも、上記
各静圧軸受部は、圧縮された上記弾性部材によって付勢
されて隣接する静圧軸受部もしくはスペーサに密着させ
られる。なお、ハウジング底部とこの底部に対向する静
圧軸受部の対向面とが一部でのみ接触しているから、各
静圧軸受部がハウジングおよびカバー部の変形の影響を
受けないようにして、ハウジングおよびカバー部の変形
を、弾性部材の変形で吸収して各静圧軸受部(およびス
ペーサ)の中心軸を一致させることができる。従って、
上記発明によれば、ハウジングの加工精度を高める必要
がなく、かつ、組付け調整治具を必要とすることなく、
各静圧軸受部を同芯に組み付けることができる。したが
って、上記発明によれば、安価で組み立てが簡単な静圧
気体軸受を実現することができる。
ある。
…軸受孔、3…スペーサ、3a…貫通孔、5…静圧軸受
部、5a…軸受孔、6…蓋、7…縁取り部、8…貫通
孔、10,11…吹出孔、12,13,19…溝、1
4,15,16,20…Oリング。
Claims (2)
- 【請求項1】 有底円筒形状に形成され、底部に回転軸
が通る孔を有するハウジングと、上記ハウジング内に挿
入される複数の円筒形状の静圧軸受部と、上記ハウジン
グの内周面と上記各静圧軸受部の外周面との間に挿入さ
れて上記静圧軸受部をラジアル方向に支持する環状弾性
部材と、上記ハウジングの反底部側端部に取り付けられ
て上記静圧軸受部を軸方向に支持するカバー部とを備え
る静圧気体軸受において、 上記各静圧軸受部の相対向する軸方向端面が、各静圧軸
受部の中心軸に対して直角に形成され、 上記カバー部は、弾性部材を介して上記各静圧軸受部を
軸方向に押圧して、上記静圧軸受部の端面を互いに密着
させるとともに、上記底部とこの底部と対向する静圧軸
受部の対向面とは一部でのみ接触するようにして、各静
圧軸受部の中心軸が一致した状態でハウジング内に組み
込まれていることを特徴とする静圧気体軸受。 - 【請求項2】 有底円筒形状に形成され、底部に回転軸
が通る孔を有するハウジングと、上記ハウジング内に挿
入される複数の円筒形状の静圧軸受部と、上記ハウジン
グの内周面と上記各静圧軸受部の外周面との間に挿入さ
れて上記静圧軸受部をラジアル方向に支持する環状弾性
部材と、上記ハウジングの反底部側端部に取り付けられ
て上記静圧軸受部を軸方向に支持するカバー部とを備え
る静圧気体軸受において、 上記ハウジング内に挿入され、上記静圧軸受部の軸方向
端面に対向する軸方向端面が、中心軸に対して直角に形
成されたスペーサを有し、 上記各静圧軸受部の相対向する軸方向端面が、各静圧軸
受部の中心軸に対して直角に形成され、 上記カバー部は、弾性部材を介して上記各静圧軸受部を
軸方向に押圧して、上記静圧軸受部の端面とスペーサの
端面とを互いに密着させるとともに、上記底部とこの底
部と対向する静圧軸受部の対向面とは一部でのみ接触す
るようにして、静圧軸受部とスペーサの中心軸が一致し
た状態でハウジング内に組み込まれていることを特徴と
する静圧気体軸受。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP05176524A JP3088593B2 (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | 静圧気体軸受 |
US08/275,247 US5415477A (en) | 1993-07-16 | 1994-07-15 | Hydrostatic gas bearing capable of easily assembling bearing units keeping perpendicularity of the bearing units |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP05176524A JP3088593B2 (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | 静圧気体軸受 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0735140A JPH0735140A (ja) | 1995-02-03 |
JP3088593B2 true JP3088593B2 (ja) | 2000-09-18 |
Family
ID=16015124
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP05176524A Expired - Lifetime JP3088593B2 (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | 静圧気体軸受 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5415477A (ja) |
JP (1) | JP3088593B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19608597B4 (de) * | 1994-11-29 | 2005-08-04 | Wanger, Gerhard, Dipl.-Ing. | Spindel zur aerostatischen Lagerung eines schnelldrehenden Werkzeugs |
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DE19915983A1 (de) * | 1999-04-09 | 2000-10-12 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe mit Gaslagerung |
CN106271935B (zh) * | 2015-06-26 | 2019-08-13 | 北京航天计量测试技术研究所 | 一种空气轴承止推端面与回转轴线垂直度的修研方法 |
JP6744029B2 (ja) * | 2018-02-09 | 2020-08-19 | Necプラットフォームズ株式会社 | 振動伝達抑制機構及び情報記録再生装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US3476447A (en) * | 1968-03-28 | 1969-11-04 | Westinghouse Electric Corp | Self-aligning hydrostatic bearing |
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JPH0726650B2 (ja) * | 1989-01-20 | 1995-03-29 | エヌティエヌ株式会社 | 静圧気体軸受スピンドル |
SE464370B (sv) * | 1989-07-27 | 1991-04-15 | Desart Ab | Foer en radiellt lagrad axel avsett axiallagringssystem |
-
1993
- 1993-07-16 JP JP05176524A patent/JP3088593B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-07-15 US US08/275,247 patent/US5415477A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0735140A (ja) | 1995-02-03 |
US5415477A (en) | 1995-05-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070714 Year of fee payment: 7 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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