JPH0219464A - 成膜装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は１例えば真空雰囲気中でワーク表面に薄膜を堆
積させる成膜装置に関する。

（従来の技術） 従来、真空蒸着法、スパッタリング法或はＣｖｌ）法等
により真空雰囲気中でワーク表面に４嗅を形成する装置
としては、バッチ式蒸着装置ａ或はロード・ロック式蒸
着装置が知られている。

バッチ式蒸着装置ｎは、第１Ｉ図に示すように。

蒸着室１旧に多数個（通常１００〜４００個）のワーク
　１０３が取付けられたホルダー１０２を取り入れ、こ
の室内を高真空に排気して該室内のルツボ１０９内に設
けられた蒸着材１０４を蒸発させてこのＲｇｉをワーク
　＋０３の表面に堆積させるようにしている。

この装置には、蒸着室１旧にｍ１０７が設けられており
、−回の蒸着処理が終ｒするたびにこの扉からホルダー
の取出し及び取入れを行い、又その度に真空度簿の条件
設定を行うようにしている。

なお１図中１０８は、蒸着室１旧の気密性を保持するた
めこの蒸着室１０１と扉１０７の間に設けられた真空シ
ールであり、　１０６は蒸着室ｌ１内を真空雰囲気にす
るための排気用バルブであり、　１０５は蒸着材１０４
から蒸発する蒸発流である。

又、ロード・ロック式蒸着装置は、第１２図に示すよう
に、蒸着室１璽暑とロード・ロック室１２９とをゲート
弁１１６を介して連設し、蒸着室１１１を常に真空雰囲
気に保つようにしたものである。即ち、ロード・ロック
室１２９の下方に設けられた扉１１８を開閉機構１１９
により開け、ここから多数個のワーク　＋１４が取付け
られたホルダー１１２をロード・ロック室！２９に入れ
、次いでａ１１８を閉じて該ロード・ロック室を高真空
に排出してからゲート弁＋１６を開けてホルダー１１２
をロード・ロック室　１２９から蒸着室Ｉｌ＋に移し、
しかる後る２ぼ１１３内の蒸着材ＩＩ５を蒸発させてこ
の薄膜をワーク　１１４の表面に付着させている。図中
１２４は蒸着材１２５から蒸発する蒸発流である。

なお、第１２図において、　１２０はロード・ロック室
　１２９について設けられた排気用バルブであり、１２
１は蒸着室１１１について設けられた排気用バルブであ
る。　１１７はロード・ロック室＋２９の」−方に設け
られた上下動可能なホルダー把持機構であり、１１５は
蒸着室Ｉ１１の上方に設けられたホルダー把持機構であ
る。

］−述した従来の真空蒸着装置は、いずれも蒸着が終了
する毎にホルダーを蒸着室から取り出して該ホルダーに
取付けられたワークを取り外すようにしている。そして
、このワークが取り外されたホルダーに次の新たなワー
クを取付け、このホルダーを蒸着室に収容した後、−に
記と同様に蒸着を行うようにしている。

（発明が解決しようとする課題） ところが、従来、上述したようなワークをホルダーから
取外したり取付けたりする作業やホルダーを蒸着室に取
入れたり取出したりする作業はいずれも手作業で行われ
ているため、！個のホルダーに通常１００〜４００個の
ワークが取付けられているような場合、前工程と後丁程
の間に大暖の仕掛り品が発生するという欠点がある。

このような欠点から、さらに次のような問題点か生じて
いる。

（１）　ｌ述したように、π１玉程と後］−程の間に大
頃の仕掛り品か発生すると、この仕掛り品を管理するの
に莫大な費用を要してしまう。

（２）蒸着が終了したワークを取り出すのにホルダーご
と外部へ取り出すため、この際ホルダー表面に１１３０
蒸気等の不要なガス分子を多量に吸着し、−回の蒸着処
理ごとに真空雰囲気の維持に努めなければならない。

（３）ワークの両面に蒸着を行う場合には、通常片面の
蒸着を終了した後、−ｌホルダーごと蒸着室から取り出
し、各ワークの蒸着面を反転させ、次いでこのホルダー
を再び蒸着室に収容する必要がある。このため、これら
の作業を手作業により行うには、−・工程ごとの手間が
甚だしく厄介になり、これに要する人件費も膨大なもの
となる。

く４）上述したような問題を解消するために。

回の蒸着で多くのワークの成膜を行うようにするとホル
ダーが大型化し、従って蒸着装置全体も大型化せざるを
得す、これにともない真空排気に長時間を要し、排気系
も人容頃のものが必要となる、 なお、ワークを保持するホルダーを真空容器中から大気
中に取り出すことなくワークの成膜を行うようにした真
空成膜装置としては特開昭６２−２５３７６８号公報に
開示されたものがある。

この装置は、上記した真空容器中の真空を維持するため
の構成として、ワーク交換帯域と称する蒸着処理の終了
したワークを新たなワークに交換するための帯域を構成
し、ホルダー（この部材においては回転搬送？Ｌ＋４に
相当する）を真空容器中からワーク交換帯域に移送する
際にはこの帯域を真空雰囲気に保持しておき、ワークを
新たなものに交換する際にこの帯域を大気にさらし、次
いで内びこの帯域を真空に排気してからホルダーを真空
容器中に移送するようにしている。

ところか、このような装置によれば、−個のワークを交
換するごとに上記したワーク交換帯域の雰囲気を変える
必要があるため、大＋３のワークを処理するときには極
めて手間のかかる作業を必要とする。

本発明者等は１士、述のような問題点を解決すべく、ホ
ルダーを蒸着室から取り出すことなくワークの両面に対
する蒸着処理を連続的に行なうことにより、仕掛り品の
発生を最小限に抑え、９ａ造作業の簡素化及び製造コス
トの低減化を図ることができる真空成膜装置について既
に提案しである。

本発明は、このような成膜装置に関するものである。

上記の成膜装置においては、ワークを成膜するに際し、
取入れ口から搬送されたワークは一μホルダーに移し替
えられ、このホルダーに保持された状態で成膜処理を打
なうようにしている。

本発明は、上記のような成膜装置において。

ワークをホルダーに移し替える際にはこのワークを所定
位置に正確に移し替え、ワークをホルダーから取出す際
にはこの動作を確実に行うことにより、搬送時のワーク
の損傷を防止し貝つ所定位置への１Ｆ確なセツティング
により高精度な成膜を行なうことができる手段を提供し
ようとするものである。

（課題を解決するための手段） １−記のような発明の課題を達成するために、本発明の
成膜装置Ｊ！は、ワーク表面に成膜を施す成膜装置にお
いて、前記ワークを保持するホルダーと、ＩＦＩ記ワー
クを前記ホルダーに搬入し又はｄ；１記ワークを前記ホ
ルダーから搬出する搬送手段と。

前記搬送手段からｔｒｒＩ記ワークを受け取り又はｊｉ
ｉｌ記ワークを前記搬送手段に受け渡す受け部材とを有
し、この受け部材を介して前記搬送手段によりｎ；１記
ワークを前記ホルダーに搬入し又は前記ホルダーから搬
出することを特徴とする。

（作　用） 上記のように構成されたものにおいては、ワークをホル
ダーに移し替える際には、搬送１段により搬入されたワ
ークを受け部材を用いて受取り。

しかる後この受け部材により該ワークをホルダーに移し
替える。又、ワークをホルダーから取出す際には、受け
部材を用いてホルダーからワークを取出し、しかる後こ
のワークを搬送手段により次］−程に搬出することがで
きる。

このように、受け部材を介してワークをホルダーに移し
替えたり、ホルダーから取り出したりすることにより、
より安全且つ確実なワークの移送を可能としている。

（実施例） 以ド５本発明の実施例について図面を参照しながら説明
する。

第１図は、本発明のワーク受け部の一実施例を示す断面
図である。

第２図は、第１図のＡで示す部分の拡大断面図である。

第３図は、第２図のＢ方向から見た要部平面図である。

第４図は、第１図に示すワーク受け部の他の実施例を示
す断面図である。

第５図は、第４図のＣで示す部分の拡大断面図である。

第６図は、第５図のＤ方向から見た要部平面図である。

第７図は、第１図に示すワーク受け部を用いた真空成膜
装置の概略断面図である。

第８図は、第７図のＥ−Ｅ線に沿う概略断面図である。

第９図（ａ）〜（ｄ）は、ワークを取入れ口から蒸ｎ室
内に移送する動作について説明するロードロツタ室周辺
についての断面図である。

第１０図は、本発明の適用例を示す図である。

以′トに示す真空成膜装置は、溶融ガラスから加熱及び
加圧成形されて光学素子形状に加工されたワークの表面
に薄膜を堆積する装置として構成しである。

先ず、第７図を用いてロードロック室４ａ及びそのｖＲ
辺の構成について説明する。

前、［程たるプレス成形工程から蒸着室ｌのワーク取入
れ口２２ａに移送されたワーク２７はこの取入れ口に設
けられたロードロック室４ａから蒸着室１内に入れられ
、所定の蒸着処理工程を経た後、蒸着室ｌのワーク取出
しｒｌ　２２　ｂに設けられたロードロック室４ｂから
出て次工程に搬送される。

ロードロック室４ａには、］−ト機機構８により−Ｆ？
−動する搬送テーブル６ａが設けられている。

このテーブルの上端部にはワーク２７を載ｉＦｔできる
ａｊｄ台が設けられている。

又、ロードロック室４ａの蒸着室監内−Ｌ方には１下機
構５８の駆動により一ヒト動してロードロック室４ａの
−Ｅ側開口部を開閉するカバー３８が設けられ、搬送テ
ーブル６ａのＦ方には該搬送テーブル６ａが上下動する
ことによりロードロック室のド側開ロ部を開閉するカバ
ー２０ａが付設されている。

搬送テーブル６ａが最上昇位置に移動すると。

ロードロック室４ａの下側開口部が閉塞され搬送テーブ
ル６ａの上端部は蒸着室内に露出する（第９図（ｄ））
。又、搬送テーブル６ａが最下降位置まで移動すると、
この搬送テーブルの上端部がロードロック室４ａ外のワ
ーク取入れ口２２ａまで干降せしめられる（第９図（ａ
））。４０．４１はカバー３ａ、２０ａの人々に設けら
れたロードロック室４ａ内の気密性を保持する真空シー
ルである。

ロードロツタ室４ａには排気用バルブ１６ａ及びこれに
連結された排気系とリーク用バルブＩ８８およびこれに
連結されたリーク系が設けられ、該ロードロック室内の
排気及び常圧復帰を行うようにしている。

又、搬送テーブル６ａ内にはヒーター８ａが設けられ、
この搬送デーブルトのワーク２７が少なくとも２００〜
３００℃の蒸着温度に適する領域に保持されている。

ここで、」―述のような構成により取入れ［１２２ａま
て搬送されたワーク２７を蒸着室１内に移送する動作に
ついて第９図（ａ）〜（ｄ）を参照しながら説明する。

搬送デープル６ａが最下降位置にあるとき、カバー３８
はロードロック室４ａのＬ側聞］二１部を閉塞した状態
にある。このとき、リーク用バルブ１８ａを開け、排気
用バルブ１６ａを閉じておく。

この際、前■、稈から取入れ口２２ａまで搬送されたワ
ーク２７をテーブル６ａヒに例えばオートハンドにより
一個だけａＶｌする。このとき、ロードロック室４ａ内
は取入れ口２２ａと同様の大気ＩＴ状態にある。（第９
図（ａ）） 次いで、リーク用バルブ１８ａを閉じ、排気用バルブ１
６ａも閉じたままにして、搬送テーブル６ａを最上昇位
置まで移動する。このとき、カバー２０ａによりロード
ロック室４ａの下側開口部は閉塞され、該ロードロック
室内は七Ｆ開口部とも閉塞された状態になる。（第９図
（ｂ））そこで、リーク用バルブ＋８ａは閉じたままて
、排気用バルブ１６ａを開けてロードロツタ室４ａ内を
所定の真空状態１０−２〜］　０−３　Ｔｏｒｒ程度の
真空雰囲気に排気する。〈第９図（Ｃ））しかる後、リ
ーク用バルブ１８ａは閉じたままで、排気用バルブ１６
ａも閉じ、ロードロツタ室４ａ十方のカバー３８を上方
に移動し、該ロードロツタ室内を蒸着室１に対して開放
する。（第９図（ｄ）） このような動作により、ワ〜り２７は蒸着室１内の真空
雰囲気を破ることなく該蒸着室内に移送される。

次に、蒸着室ｌ内の構成について説明する。

第７図に示すように、蒸着室１は、排気用バルブ３０及
びこれに連結された排気系により高真空に排気され、該
蒸着室内は約１０−”Ｉ”　ｏｒｒの真空雰囲気に維持
されている。

この蒸着室ｌ内には、不図示の制御装置に接続されたモ
ータにより回転移動する移送アーム機構１３が設けられ
ている。この移送アーム機構ｌ：３は、該移送アーム機
構の回転軸を中心に例えば四方！１コ径方向に伸張し先
端に切欠孔１３ｂを有する移送アーム１３ａを有してい
る。

又、移送アーム機横１３先端の切欠孔１３ｂの直下であ
って１゛記ワーク取入れ口２２ａ側及びワーク取出し口
２２ｂ側の夫々には、位置割り出し機構を４１するブツ
シャ−１２ａ、１２ｂが上記移送アーム！３ａ先端の切
欠孔１３ｂについて挿通ｕＩ能に１：下動するよう配置
されている。

取入れｒ１２２ａ側のロードロック室４ａと移送アーム
機構１３との間及び取出し口２２ｂのロードロック室４
ｂとの間の夫々には、蒸着室１に方から昇降可能及び水
平方向に回転ｏｆ能なワーク搬送機構９ａ、９ｂが設け
られている。

各ワーク搬送機構９ａ、９ｂは、先端がカギツメ状の開
閉可能なハンド８２（第１図参照）でワーク２７を把持
できるように構成されている。

取入れＬｌ　２２　ａ側のワーク搬送機構９ａは、ロー
ドロック室４ａにて最り界位置まで移動した搬送テーブ
ル６ａヒのワーク２７を把持した後、ト記ブツシャー１
２ａ側のＬ方まで回転する。

ホルダーＩＯは、図示のように、穴孔１３　ｂ　ｌ−に
載置可能とされている。このホルダーには１例えば１０
１１程度のワーク２７を配置し、且つこのワークの下方
面が露出するようにワーク装置用の開口部１０ａが該ホ
ルダーの同心円−ヒに等間隔で配設されている。

このような構成により、移送アーム機構１３のいずれか
のアーム部材ｌ　：３ａが取入れ口２２２１側に設けら
れたブツシャ−１２ａ側まで回転したとき、該移送アー
ム機構は一μ停市し、次いでブツシャ−１２ａがアーム
部材＋３ａ先端の切欠孔１３　ｂ内をＬ昇すると、該切
欠孔上のホルダー１０がこのブツシャ−で保持された状
態となる。

ブツシャ−１２ａの割り出し機構は、上記のようにブツ
シャ−＋２ａに保持されたホルダーを隣り合う開［１部
１０ａの間隔だけ順次回転移動するよう作動する。

なお、ブツシャ−１２ａ、＋２ｂの夫々のヒｈ゛にはＬ
ト機Ｆａ１４ｂにより士降してホルダー１０にａ１斤さ
れた各ワーク２７を保持するホルダーカバー１１が設け
られている。このホルダーカバーは、Ｆ降接ホルダー１
０ににＪＩ！置された状態となった後に、１下機構１４
ｂから離脱することができる。

又、ヒ述したホルダー１０の開［１部！　Ｏａ−ト方に
相当する位置にはワーク受け部材３１ａ、３１ｂが設け
られている。

このワーク受け部材について、第１図乃至第３図を参照
しながらより詳細に説明する。

−Ｌ述したように、第１図に小すワーク受け部材３１ａ
、３１ｂはアーム部材１３ａの先端に載置されたホルダ
ーの開口部ｌＯａのト方に相当する位置であって、図示
のように、取入れ口側及び取出し１−１側の双カニヶ所
に設けられている。これらのワーク受け部材３１ａ、３
１ｂは、夫々設けられた位置により後述するような異な
る機能を有するが、いずれも同様に構成され、同様の機
構により作動する。

第１図には、ワーク受け部材３１ａの全体構造と、開口
部１０ａ周辺のホルダー１０の一部と、そのＦ方のホル
ダーカバー１１の−・部と、ワーク搬送機構９ａ先端の
ハンド８２を示し、アーム部材１３ａは省略しである。

同図に示すように、ワーク受け部材３１ａは。

ワーク受け部７２を１端に有し、該ワーク受け部は蒸着
室壁７４に設けられた軸受け７３に摺動自在に上下動す
るブツシュロッド７５を介して−に）動アクチュエータ
７７に接続されている。ワーク受け部７２は、ホルダー
１０の開１１部１０ａを挿通できるように該開口部より
やや小径に形成されるとともに、ワーク２７の周辺のみ
を保持できるように、ブッシュロッド７５ト端部の受け
部材７２ａ外周を上りについて円環状に突出した形状（
第２図及び第３図参照）としである。

なお５図中８１は上下動アクチュエータ７７を蒸着室壁
７４に支持する支柱であり、７６はブツシュロッド７５
と上下動アクチュエータ７７を接続する継手であり、７
９は上記軸受け７３に設けられ、蒸着室ｌ内の真空雰囲
気８ｏを保持するための真空シールであり、７８は該真
空シールのシールケースである。又、第１図及び第２図
において、２点鎖線はワーク２７、ワーク受け部７２及
びハンド８２の移動した状態を示している。

このような構成により、搬送テーブル６ａ上に載置され
たワーク２７を移送アーム機構１３．ｈのホルダーｌＯ
に移送するには、まず、ワーク搬送機構９ａのハンド８
２により、ロードロック室４ａにて最上昇位置まで移動
した搬送テーブル６ａ十のワーク２７を把持する。

次いで、このワーク搬送機構９ａをプツシヤニ１２ａ側
に回転移動する。

方、移送アーム機構１３の移送アーム１３ａ１−にａ置
されたホルダー１０は、この移送アーム機構の回転によ
りブツシャ−１２ａ上まで移動する０次いで、このホル
ダー１０がブツシャ−Ｉ２ａのＬ昇により保持されると
、ブツシャ−の位置割り出し機構が作動してホルダー１
０の開［１部１０ａをに記ワーク搬送機構９８により移
送されたワーク２７の直下に移動する。しかる後、ワー
ク搬送機構９８を下降して開口部１０ａの近傍で停Ｕｔ
するとともにブツシュロッド７５を−Ｌ昇させてワーク
受け部３１　ａでハンド８２に把持されたワーク２７を
下方から支持し、しかる後ハンド８２を開放して該ハン
ドからワーク２７を離脱してワーク受け部３１ａで受け
取る１次いで、プッシュロヅド７５を下降してワーク２
７を開１１部１０ａヒに載置する。

そして、ブツシャ−１２ａを回転してＬ述のような動作
を反復することによりホルダー１０の各開口部１０ａに
ついて行なった後、ホルダーカバー１１をホルダーｌＯ
の−１−に保持せしめ、次いでこのホルダーカバＩＩ−
を−Ｌ下機横１４ａから離脱し、しかる後ブツシャ−１
２ａを下降する。

かくして、各間「１部１０ａについてワーク２７の保持
を終ｒしたホルダー１０が移送アーム１３ａＪに載置さ
れると、移送アーム機構１３は次の移送アームＩ　３　
ａトの空ホルダー１０にワーク２７を移送するため４分
の−・たけ回転する。この動作により、既にワーク２７
を保持したホルダーＩＯは後述する蒸着領域まで移送さ
れる。

次に、第８図を用いて蒸着源２．ホルダー把持機構１７
及びホルダー交換機構５＋について説明する。

１記移送アーム１３機構を中心とし上記ブツシャ−１２
ａとほぼ直交する一方の側に蒸着源２と、他方の側にホ
ルダー交換機構５１が設けられ、さらに蒸着源２側には
該蒸着源により蒸着されたワーク２７の片方の面を蒸着
するためにホルダ−１０全体を反転するホルダー反転機
構１７が設けられている。

蒸着源２中には蒸着材料４４が収容され、この上方に該
蒸着材料が蒸発飛散せしめられる（以下、この領域を蒸
着領域とする）。この蒸着源２には真空を破ることなく
蒸着材料４４を補給できる自動補給装置（不図示）が備
えられている。

そして、蒸着源２の上方外周及びその上方片側には防着
カバー５２ａ、５２ｂが設けられ、蒸着領域以外に蒸着
材料４４が飛散するのを防止している。

ホルダー把持機構１７は、ホルダーフィンガー１７ａを
有し、蒸着室１の側面からホルダー１０及びホルダーカ
バー１１を共に把持して回転できるように設けられてい
る。移送アーム機構１３が回転してホルダーｌＯが上記
蒸着領域に到達すると、移送アーム機構１３は該蒸着位
置で停止卜シ、このときホルダー把持機構１７がホルダ
ーカバー１１と共にホルダー１０の両側部を把持する。

次いで、移送アーム機構１３がト記蒸着位置より回避す
るよう回転移動せしめられた後、ホルダー１０に保持さ
れたワークのド側面に所定厚さだけの薄膜を蒸着させる
。さらに、このワークの片側面に対する蒸着が終ｒする
と、Ｌ記ホルダー把持機横１７を璽８０°同転させて反
対面に対する蒸着を行ない、かくしてワーク２７の両面
に対する薄膜形成を終ｒする。

ホルダー交換機構５１は、上記のような蒸着を繰り返し
行なってホルダー１０の６れがひどくなったときや、ワ
ークの形状を変更するときなどホルダーの取替えを要す
るときに用いる。このホルダー交換機構５１は、蒸着室
ｌの外側に設けられたホルダーカセット５４内に旧ホル
ダーを取出すとともに、該カセットに収納された新規な
ホルダーを蒸着内の移送アーム機構１３上に配置するよ
う構成されたものである。この新旧ホルダーの取替え時
には、ホルダーカセット５４の内部は真空雰囲気に維持
されるようにしであるため、ホルダー交換の際にも蒸着
室ｌの真空雰囲気はそのまま維持される。

次に、蒸着の終ｒしたワークを取出すｐ段について説明
する。

蒸着の終ｒしたホルダー１０は、−１−記蒸着領域から
移送アーム機構１３の回転移動により、取出し口２２ｂ
側に配設されたブツシャ−１２ｂ　、ｈまで移動せしめ
られる。

ブツシャ−１２ｂの近傍には該ブツシャ−Ｆに移送され
たホルダー１０内のワーク２７をＥ方に押しトげるだめ
のワーク受け部３１ｂが設けられている。このワーク受
け部３１ｂは、子連したようにワーク取入れ口側のワー
ク受け部３１ａと同様に構成されている。

ワーク受け部３１ｂを作動するには、まずブツシャ−１
２ｂのＦ方に設けられたホルダーカバー１１を上下動す
る上下機構１４ｂにより詠ホルダーカバーをヒ界する。

しかる後、ワーク受け部：’、　ｌ　ｂを一ト昇してホ
ルダー１０にａ置されたワーク２７を押し上げる。この
押し１げられたワークは搬送機構９ｂのハンド８２によ
り把持され、該搬送機構の回転移動により取出し［１側
に設けられたロードロック室４ｂの方向に移送される。

取出しｍｌ　２２　ｂ側のロードロック室４ｂ周辺にお
けるｔ側カバー３ｂ、Ｆ側カバー２０ｂ、上側カバー３
ｂのＬ下機構５ｂ、下側カバー２０ｂの土、ト機構７ｂ
等は取入れ口２２ａ側におけるものと同様の構成及び動
作を有している。従って、取出し口２２ｂ側のロードロ
ック室４ｂにおけるワーク２７の取出しは、上記ワーク
取入れ口２２ａ側に設けられたロードロック室４ａＧ：
ｓ５ける動作と逆の動作により析なうことができ、この
ロードロック室４ｂにおけるワークの取出しに際しても
蒸着室１内の真空雰囲気は維持される。

なお、ロードロック室４ｂ内に設けられたヒーター８ｂ
により、搬送テーブル６ｂｈのワーク２７の温度が１５
０〜２００℃の温度領域に保持されるように温度調整さ
れる。

第４図乃至第６図に、上述したワーク受け部３１ａ、３
１ｂの他の実施例について示しである。

第４図に示すように、この実施例のワーク受け部９１は
、複数の口ｆ撓性を有する受け部材９２を１一方に従っ
て円環状に開いた状ｆＪＩ　（第６図参照）で構成して
これを下端部で固定保持するとともに、この円環状に構
成された受け部材９２の内側「アクチュエータ９４によ
りトド動するカムロッド９３を設け、このカムロッドの
上下動により十記受け部材９２の上端部における円環形
状の直径が変化するようにしである。該ワーク受け部９
１は上記のワーク受け部３１ａ、３１ｂと同様、ワーク
２７を保持するよう構成しであるが１本実施例のワーク
受け部９１は、第５図に示すように、ワーク２７の大き
さに応じてカムロッド９３の上下゛動により受け部材９
２の上端部の直径を調整することができるという利点を
有する。その他の構成はｔ、記のワーク受け部３１ａ、
３１ｂと同様であり、受け部材９２全体をアクチュエー
タ９５により上下動し、上記のようにホルダー１０の開
口ｉ！！Ｓ１０　ａ内を挿通移動してワーク搬送機構９
８及び９ｂについてワーク２７の受取り及び受け渡しで
きるようにされている。

以りの真空成膜装置は、第１Ｏ図に示すように、溶融ガ
ラスを加熱及び加ｌＦ処理して例えばカメラレンズ等の
九７素了を成形するプレス成形Ｊ。

程の次工程として前記１−程により光学素子形状に成形
されたワーク２７の表面に薄膜を堆積するよう構成する
ことができる。

第１０図において、６１は溶融ガラスを装造するＬ程、
６２は上記溶融ガラスを最終成形品の形状に近似した形
状の予備成形品にプレス成形する工程、６３はこのＹ・
備成形品を高精度光学素子にプレス成形する工程、６４
は本実施例の真空成膜装置を示している。同図に示すよ
うに、溶融１程６１から供給された溶融ガラスは一個ず
つ順次プレス工程６２及び６３を通過して所望形状の光
学素子に成形された後、本装置内に搬送され、所定の成
膜処理を施した後、取出し口から搬出され、しかる擾、
次工程に移送される。この図からも理解されるように１
本実施例の真空成膜装置は光学素子の連続成形］、程の
成膜工程として適するものである。

なお、本発明の真空成膜装置は、成膜手段を特定のもの
に限定する必要はなく、多層成膜用の蒸着源を有する真
空蒸着装置として用いたり、スパッタ装置、ＣＶＤ装置
としても適用することができる。

（発明の効果） 以ヒ説明したように１本発明の成膜装置によれば、ワー
クをホルダーに移し替λたり、ホルダーから取り出した
りするのに、受け部材を介することにより、ワークをホ
ルダーに移し替える際にはこのワークを所定位置に正確
に移し替え、ワークをホルダーから取出す際にはこの動
作を確＝にに行うことができ、搬送時のワークの損傷を
防止し１つ所定位置への正確なセツティングにより高精
度な成膜を行なうことができる。

４、図面（７）　＠　Ｑｌ　ｔｔ説明 第１図は１本発明のワーク受け部の−・実施例を示す断
面図である。

第２図は、第１図のＡで示す部分の拡大断面図である、 第３図は、第２図の１３方向から見た要部゛４ε而図面
ある。

第４図は、第１図に小ずワーク受け部の他の実施例を示
す断面図である。

第５図は、第４図のＣで示す部分の拡大断面図である。

第６図は、第５図のＤ方向から見た要部′ｌ屯面図であ
る。

第７図は、第１図に示すワーク受け部を用いた真空成膜
装置６の概略断面図である。

第８図は、第７図のＥ−Ｅ線に沿う概略断面図である。

第９図（ａ）〜（ｄ）は、ワークを取入れ［１から蒸着
室内に移送する動作について説明するロードロツタ室周
辺についての断面図である。

第１０図は５本発明の適用例を示す図である。

第１１図及び第１２図は従来装置ｎを示し、第１１図は
バッチ式ａ着装置の概略断面図、第１２図はロード・ロ
ック式蒸着装置の概略断面図である。

・Ｓ４室 ・蒸着源 ３ｂ・・・上側カバー ４ｂ・・・ロードロツタ室 ６ｂ・・・搬送テーブル ・・ホルダー ・・ホルダーカバー １２ｂ・・・ブツシャ− ・移送アーム機構 ・ホルダー反転機構 ・・下側カバー ・・取入れ口 ・・取出し［Ｊ ・ワーク ・蒸着材料 ・ホルダー交換機構 ・ワーク受け部 ・ブツシュロッド ｌ　・　・ ２　・　・ ：３　　ａ　。

４ａ。

６　ａ、 １０　・ ■・ １２ａ。

１３・ ＋７・ ０ａ ２ａ ２ｂ ２７・ ４４・ ５１・ ７２・ ７５・ ７７　・ ８２　・ ９１　・ ９２　・ ９３　・ ９４　・ ９５　・ Ｌｔ用アクチコエータ ハンド ワーク受け部 受け部材 カムロット カムロッドの［十用アクチュエータ ワーク受け部の トド用アクチュエータ 代理人　弁理士　＋ｂ　”Ｆ穣平 第 図 第 図 第 広１ 第 図 り 第 閃

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）ワーク表面に成膜を施す成膜装置において、前記
   ワークを保持するホルダーと、前記ワークを前記ホルダ
   ーに搬入し又は前記ワークを前記ホルダーから搬出する
   搬送手段と、前記搬送手段から前記ワークを受け取り又
   は前記ワークを前記搬送手段に受け渡す受け部材とを有
   し、この受け部材を介して前記搬送手段により前記ワー
   クを前記ホルダーに搬入し又は前記ホルダーから搬出す
   ることを特徴とする成膜装置。
2. （２）前記ホルダーに前記ワークを受ける開口部を設け
   、前記受け部材は前記開口部を挿通移動して前記ワーク
   を前記ホルダーに受け渡すことを特徴とする請求項１記
   載の成膜装置。
3. （３）前記受け部材は前記ワークの大きさに合せて受け
   位置を調整する手段を有することを特徴とする請求項１
   記載の成膜装置。