JPH02194024A - 重合体ヒドリドクロロシラザン類、その製造方法、それから製造できる窒化珪素含有セラミック物質並びに該物質の製造方法 - Google Patents

重合体ヒドリドクロロシラザン類、その製造方法、それから製造できる窒化珪素含有セラミック物質並びに該物質の製造方法

Info

Publication number
JPH02194024A
JPH02194024A JP1310832A JP31083289A JPH02194024A JP H02194024 A JPH02194024 A JP H02194024A JP 1310832 A JP1310832 A JP 1310832A JP 31083289 A JP31083289 A JP 31083289A JP H02194024 A JPH02194024 A JP H02194024A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
group
chlorosilanes
alkenyl group
reacted
alkenyl
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1310832A
Other languages
English (en)
Inventor
Tilo Vaahs
チロ・バース
Thomas Gerdau
トーマス・ゲルダウ
Hans-Jerg Kleiner
ハンス‐イエルク・クライネル
Marcellus Peuckert
マルセルス・ポイケルト
Martin Brueck
マルティン・ブリュック
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hoechst AG
Original Assignee
Hoechst AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hoechst AG filed Critical Hoechst AG
Publication of JPH02194024A publication Critical patent/JPH02194024A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
    • C04B35/589—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride obtained from Si-containing polymer precursors or organosilicon monomers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G77/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule
    • C08G77/60—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule in which all the silicon atoms are connected by linkages other than oxygen atoms
    • C08G77/62—Nitrogen atoms

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Silicon Polymers (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)
  • Inorganic Fibers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【発明の利用分野］ 本発明は、新規の重合体ヒドリドクロロシラザン類、そ
の製造方法、それを窒化珪素含有セラミック物質を形成
する為に加工することおよび該セラミック物質自体に関
する。
［従来技術］ 窒化珪素含有セラミック物質を形成する為にポリシラザ
ン類を熱分解することは既に文献に開示されている（Ｒ
，Ｒ，Ｗｉｌｌｓ　ｅｔ　ａｌ、、　ＣｅｒａｍｉｃＢ
ｕｌｌｅｔｉｎ、　ｖｏｌ、　６２　（１９８３）　９
０４−９１５）。
ポリシラザン類は、一般に、出発物質としてクロロシラ
ン類を用いそしてこれをアンモニア、第一アミンまたは
第二アミンと反応させて製造される（米国特許第４．５
４０．８０３号明細書、同第４．５４３．３４４号、同
第４，５９５．７７５号、同第４．３９７．８２８号、
同第４．４８２．６６９号明細書）、米国特許第４．４
８２，６６９号明細書によれば、式Ｒ５１ＨＣｊ！　、
で表されるジクロロヒドリド−オルガノシランをＮＨｓ
　と反応させて、オリゴヒドリド−オルガノシラザン！
１（ＲＳｉＨＮＨ）−を得、これを次いで水素の排除下
に例えばＫＮによって縮合してポリシラザン類が得られ
る。
［発明が解決しようとする課題１ 本発明は、ポリヒドリドシラザン類の為の新規の出発物
質、即ち重合体ヒドリドクロロシラザン類を提供するこ
とである。
公開されたヨーロッパ特許出願第０．２６６．９１８号
明細書には既に、中でも、式（ＣｈＳｉＨＮＨ）１％の
オリゴヒドリド−オルガノシラザン類を式Ｒ３１Ｃｊ！
ｓで表されるクロロシラン類と、不活性で実質的に無水
の媒体中で反応させてプレセラミック重合体を得、次い
でこれを直接的に熱分解するかまたはＮＨ３で処理した
後に熱分解してセラミック物質を形成することが開示さ
れている。
［発明の構成１ 本発明は、一般式（Ｒ’５ｉＨＮＨ）−（式中、ｎは約
３〜約１２である。）で表されるオリゴヒドリド−オル
ガノシラザン類をクロロシラン類Ｒ”５ｉＨＣ１□　、
　Ｒ３５ｉＣ１ｚ　　、　Ｃ１□Ｒ’５Ｉ−ＣＨｌＧＨ
ｚ−ＳｉＲ’Ｃ１，またはＣ１３Ｓｉ−ＣＨＣ１３Ｓｉ
−ＣＨ’Ｃ１ｇの少なくとも一種類と３０°Ｃ〜３００
℃で反応させ、上記各式中の多基が互いに無関係に以下
の意味を持つ： Ｒ１はＣ，−Ｃ＆アルキル基またはＣ：〜Ｃ６アルケニ
ル基であり、 Ｈｌは、Ｒ”５ｉＨＣｂを単独でオリゴシラザン類と反
応させる場合には、Ｃ８〜Ｃ，アルケニル基であり、ま
たは Ｒ２は、Ｒ”ＳｉＨＣｌｇを他のクロロシラン類との混
合物としてオルガノシラザン類と反応させる場合には、
０１〜Ｃ，アルキル基またはＣｔ〜Ｃ，アルケニル基で
あり、そして Ｒ″、Ｒ４およびＲ１はＣ８〜Ｃ＆アルキル基またはＣ
！〜Ｃｈアルケニル基であり、 そしてＲ３５ｉＣ１３は少なくとも一種類の（Ｒ”、Ｒ
４またはＲ３を含む）他のクロロシラン類との混合物と
してのみ使用されることを特徴とする、重合体ヒドリド
クロロシラザン類を製造する方法に関する０反応は、ク
ロロシラン類Ｒ”５ｉＨＣｈ、ＣｈＲ’５ｉ−ＣＨｚＣ
Ｈｚ−３ｉＲ’Ｃ１ｇまたはＣＩ、５ｉ−ＣＨ，ＣＨｚ
−ＳｉＲ’ＣＩ　！　　の少なくとも一種類を用いて実
施するのが有利である。
容易に揮発する副生成物、例えばＲ３５ｉＣ１３および
Ｒ’５ｉＨ１ＣＩ、並びに若干の水素が反応の際に生じ
る。不可避的に得られるこれらのクロロシラン類は蒸留
によって分離することができる。
式Ｒ’ＳｉＨＣ１ｇのクロロシラン類は本発明の方法の
準備段階で再使用することができる。即ち、オリゴヒド
リド−オルガノシラザン類（以下、“オリゴシラザン類
”とも称する）の製造において出発物質として用いるこ
とができる。この準備段階では、ジクロロヒドリド−オ
ルガノシラン　Ｒ’５ｉＨＣｂ　（式中、Ｒ″は上で定
義した通り）を米国特許第４．４８２．６６９号明細書
（該米国特許明細書の特に第４．５．７．８欄参照）に
記載されている如き溶剤中でＮＨ３と反応させる。
この反応は（Ｒ’５ｉＨＮＨ）、　（ｎ−約３〜約１２
）の線状−および環状オリゴヒドリド−オルガノシラザ
ン類の混合物を一般にもたらす。
オリゴシラザン類またはクロロシラン類の基Ｒ１〜Ｒ５
は、同一でも異なっていてもよ（，１〜３個の炭素原子
“を有しているのが好ましい。
１２ｆ＝　Ｈ１＝　Ｈ４−ａｓがＣＨ３でそしてＲ１が
０６またはビニル基である場合が特にを利である。上記
反応での反応成分のモル比□即ちクロロシラン：オリゴ
シラザンのＲ’５ｉＨＮＨ単位−は　約０．１：１〜１
．５＝１　、特に０．３：１〜ｌ：ｌであるのが有利で
ある。
反応成分を互いに有利に反応させる為には、オリゴシラ
ザン類を最初に導入し、これにクロロシラン類を添加す
る０反応が発熱反応であるので、反応成分を一緒に導入
する場合には、温度を最初に３０〜５０℃に維持するの
が有利である。
次いでこの反応混合物を１００〜３００℃、好ましくは
１２０〜２５０℃の温度に加熱する。
副生成物として生じる若干の低沸点成分、例えばＲ５１
ＨＣ１ｚ　、Ｒ５１ｌｈＣ１、Ｒ５１Ｃ１コ、ＨＣＩ　
、Ｈ，およびＮＨ，（但し、ＲはＲＩＳｆｉｔまたはＲ
３と同義である）が反応の間に漏れ出る０反応が完結し
た時に、残りの低沸点成分を反応容器から一般に減圧に
よって除く。
反応の間に生じるＮＨ４Ｃｌの大部分は反応の過程で反
応混合物から昇華排除される。あるいは残留するＮＨ４
Ｃｌは本発明に従って製造される重合体ヒドリドクロロ
シラザンから不活性有機溶剤、例えばｎ−ヘキサン、ト
ルエンまたはエーテルにて抽出することによって分離す
ることができる。
反応時間は加熱速度および反応温度に依存している。５
〜７時間の反応時間で一般に十分である。
反応は溶剤の不存在下に実施するのが有利であるが、有
機溶剤中で実施することもできる。
適する溶剤は、反応成分に対して不活性の挙動を示し且
つ十分に高い沸点を有しているもの、例えば飽和の脂肪
族炭化水素または芳香族炭化水素、例えばれ−デカン、
デカリン、キシレンまたはトルエン；塩素化炭化水素、
例えばクロロベンゼン；またはエーテル類、例えばジベ
ンジル−エーテルまたはジエチレングリコール−ジエチ
ルエーテルがある。生じたＮＨ４Ｃｌを溶解しない溶剤
を用いる場合には、ＮＨ４Ｃｌを濾過によって分離する
ことができる０次いで、減圧下に溶剤を蒸発させること
によって本発明の重合体ヒドリドクロロシラザン類を得
ることができる。
場合によっては、この方法は減圧下にまたは１〜１０気
圧の範囲の圧力で実施してもよい。
この方法は連続的に実施することもできる。
製造される新規の重合体ヒドリドクロロシラザン類は、
式 １式中、窒素原子の遊離原子価はＨ原子またはシリル基
Ｒ”　５ｉＸＮ＜　（Ｘ＝Ｈ，Ｃ１！　、　Ｎ＜、Ｃｔ
ｈＣＨｇＳｉ”）で飽和されている。ｌ で表すことのできる分子構造を有している。
上記式中の基は以下の意味を持つ： ｌｉｔがＣ３〜Ｃ，アルキル基またはＣ２〜Ｃ，アルケ
ニル基であり、 Ｒ”Ｌｔ−ｓ　ｄ＝−ｅ＝−ｆ−０の場合にはＣｔ　〜
Ｃ＆アルケニル基はＣ２〜Ｃ６アルケニル基である。
ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅおよびｆは個々の構造単位のモル分
率であり、合計すると１の値となる。
Ｒ１，、、Ｒ５およびＲ１１ハ、Ｒ’＝　Ｒ”−Ｒ’□
　Ｒ’＝ＣＨ２＋してＲ３・ＣＨｓまたはビニル基であ
る場合が特に有利である。
重合体ヒドリドクロロシラザン類は格子構造を有してい
る０モル分率す、　ｃ　、　ｄ　、　ｅおよびｆは、オ
ルガノシラザン類（Ｒ’Ｈ５ｉ−ＮＨ）−との反応で用
いられるクロロシラン類に依存して正の値またはＯの値
を取る。もしくＲ’Ｈ５ｉ−Ｎ）Ｉ）−をＲ”ＨＳｉＣ
ｌｇとＣ１１Ｒ’Ｓｉ−ＣＨｌＣＨｇ−５ｉＲ’Ｃ１ｔ
との混合物と反応させる場合には、ｄ−ｆ＝０であり、
即ちａ、ｂ、、ｃおよびｅが正の値を取る。
従って、本発明は更に、式（Ｉ） Ｃ６アルケニル基であり、そして Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５およびＲ＊はＣ１〜Ｃｈアルキル基ま
た１式中、窒素原子の遊離原子価はＨ原子またはシリル
基Ｒ”　５ｔＸＮ＜　（Ｘ＝Ｈ，、Ｃｊ！　ＳＮ＜、Ｃ
ＨｚＣＨｚＳｉ’−）で飽和されており、式中の多基は
互いに無関係に以下の意味を持つ、即ち 「はＣ，−Ｃ，アルキル基またはＣ２〜Ｃ，アルケニル
基であり、 Ｒ１は、ｄ＝ｅ＝ｆ・０の場合にはＣ２〜Ｃ＆アルケニ
ル基であり、または １ｇは、指数ｄ、ｅまたはｆの少なくとも一つが０でな
い場合にはＣ３〜Ｃ，アルキル基またはＣｔ〜Ｃ，アル
ケニル基であり、そして Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５および「はＣＩ−Ｃｂアルキル基また
は０８〜Ｃ，アルケニル基であり、 そしてｄ≠０で同時にｂ＝ｃ−ｅ＝ｆ＝ｏの場合は排除
される。１ で表される重合体ヒドリドクロロシラザン類に関する。
要するに指数ａｗｆは、上で詳細に説明しました通り、
Ｏの値を取り得る。ａｗｆの実際の値は’ＨＮＭＲスペ
クトルの積分によっておよび元素分析により決めること
ができる。−般に、ａは０．１〜０．９でそしてす、ｃ
、ｄおよびｅはＯ〜０．６であり、その際ａ＋ｂ　＋ｃ
　＋ｄ＋ｅ＋ｆ＝１である。有利な重合体ヒドリドクロ
ｏシラザン類は、ａが０．７〜０．９、特に０．７５〜
０．８５であるものである。ｂＳｃ、、ｄ％ｅおよびｆ
の有利な値は０．０１〜０．３、特に０．０１〜０．２
である。これらの値は上記の分析法によってチエツクす
ることができる。”　％　ｂ　ＳＣｓ　ｄ　％　ｅおよ
びｆの上記の有利な値は、（重合体クロロシラザン類を
ポリシラザン類に転化した後に）熱分解最終生成物とし
て繊維を製造すべき場合に、特に有効であった。
本発明は更に、一般式（Ｒ’５ｉＨＮＨ）、　　（式中
、ｎは約３〜約１２である。）で表されるオリゴシラザ
ン類をクロロシラン類Ｒ雪５ｉＨＣ１ｚ　、Ｒ’５ｉＣ
Ｉ３、ＣＩＪ’５１−ＣＨｇＣＨｇ−５ｉＲ’ＣＩ□ま
たはＣ１３Ｓｉ−ＣＨ２ＣＨ２−ＳｔＲＳＣｌｔの少な
くとも一種類と３０°Ｃ〜３００℃で反応させ、但し上
記各式中の多基が互いに無関係に以下の意味を持つ： Ｒ１はＣ５〜Ｃ６アルキル基またはＣ２〜Ｃ，アルケニ
ル基であり、 Ｒ１は、Ｒ”５ｉＨＣ１□を単独でオリゴシラザン類と
反応させる場合には、Ｃｔ　””　Ｃｈアルケニル基で
あり、または Ｒ１は、Ｒ”ＳｉＨＣｌｇを他のクロロシラン類と混合
物としてオルガノシラザン類と反応させる場合には、Ｃ
Ｉ〜Ｃ＆アルキル基またはＣ２〜Ｃ，アルケニル基であ
り、そして Ｒ３，Ｒ４およびＲ５はＣ１〜Ｃ６アルキル基またはＣ
１〜Ｃ６アルケニル基であり、 そしてＲ３５ｘＣ１＝は少なくとも一種類の（Ｒ２、Ｒ
４またはＲ５を含有する）他のクロロシラン類との混合
物としてのみ使用されることを特徴とする、重合体ヒド
リドクロロシラザン類に関する。この反応は、好ましく
はＲ”５ｉＨＣ１ｘ　、Ｒ３５ｘＣ１＝、Ｃ１，Ｒ’５
ｉ−ＣＨｌＣＨｌ−５ｉＲ’Ｃ１ｇまたはＣ１５Ｓｉ−
ＣＨｚＣＨｚ−ＳｉＲ’ＣＩ、の少なくとも一種類のク
ロロシラザン類を用いて実施するのが有利である。
Ｒ１〜ＢＳは好ましくは１〜３個の炭素原子を持つ。１
ｔｌ＝　Ｒ１，Ｒ４５Ｒ１がＣＩ、でありそしてＲ３が
Ｃ１ｌ。
またはビニル基であるのが特に有利である。
反応において得られる更に容易に揮発するクロロシラン
類のＲ’ＳｉＨ冨ＣＩおよびＲ’ＳｉＨＣ１ｇを分離し
そして分離されたＲ３５ｘＣ１＝を出発物質（Ｒ’５ｉ
Ｈ−ＮＨ）、を製造する為に再使用するのが好ましい。
新規の重合体ヒドリドクロロシラザン類はアンモニアと
の反応によってポリヒドリドシラザン類に転化され得（
アンモニア分解）そしてこれは再び、熱分解によって窒
化珪素含有セラミック物質に転化され得る。
アンモニア分解は、有機溶剤中で実施するのが有利であ
るけれども、液状のＮＨ，中でも実施することができる
。適する溶剤は、重合体ヒドリドクロロシラザン類に対
して不活性の挙動を示すあらゆるものである。特に有利
な溶剤は、副生成物として得られる塩化アンモニウムを
僅かにしか溶解せず且つ該塩化アンモニウムを容易に分
離できるもの、例えばエーテル類、脂肪族−および芳香
族炭化水素および塩素化炭化水素がある。アンモニア分
解において反応成分は如何−なる順序でも反応容器に供
給することができるが、一般には重合体ヒドリドクロロ
シラザン類を溶液状態で最初に導入し特に気体状アンモ
ニアを通すかまたは液体アンモニアを添加するのが有利
である１本発明の重合体ヒドリドクロロシラザン類が適
当な溶剤中で製造された場合には、Ｎｎ４ｃ１を予め分
離せずにその溶剤中でアンモニア分解を実施してもよい
。アンモニア分解は、反応が完結し且つ最終生成物が出
来るだけ塩素を含まないこをと保証する為に、過剰のＮ
Ｈ３を用いて実施するのが有利である。化学量論量の二
倍でこの目的にとって一般に十分である。
反応は一般に約−５０〜＋１００″Ｃ１好ましくは一２
０〜＋３０°Ｃ１なかでも室温（氷での冷却を用いる場
合）で実施する。しかしながら室温より上、例えば用い
る溶剤の沸点でまたは室温より下、例えば液体Ｎｌｈを
用いる場合には一３３°Ｃで反応を実施することも可能
である。
アンモニア分解が完結した時に、過剰のＮＨ。
を除きそして得られる塩化アンモニウムを濾去する。収
量は、上記の有機溶剤の一種類にて沈澱物を洗浄するこ
とによって向上し得る。減圧下に溶剤を蒸発させた後に
、ポリヒドリドシラザン類が白色の粉末として直接的に
得られる。
ポリヒドリドシラザン類は上記有機溶剤に溶解するので
、このものを表面を被覆する為にまたは繊維を製造する
為に用いることができる。
ポリヒドリドシラザン類は不活性の窒素−またはアルゴ
ン雰囲気において８００〜１２００’ｃの温度で熱分解
して実質的にＳｔ、　　ＮおよびＣより成りそして痕跡
量のＨおよび０を含有し得るち密な非晶質材料を形成す
ることができる。１２００°Ｃ以上の熱分解温度、例え
ば１２００〜１４００℃の範囲の温度において、結晶質
相としてα−５ｉ３Ｎ、を含有する部分的に非晶質の微
細結晶質セラミック材料が形成される。
熱分解の前に上記ポリヒドリドシラザン類を種々の方法
で成形して三次元成形体を形成することができることが
特に有益である。
一つの重要な成形法は、トルエン、Ｔ）ＩＰまたはヘキ
サン等の溶剤中にポリヒドリドシラザンを溶解した高い
粘度の溶液から繊維を引出すことのできる、繊維引出し
成形（ｆｉｂｅｒ　ｄｒａｗｉｎｇ）である。この繊維
は、直径８０〜１５０μ■の紡糸口金により有利に引出
し成形される。続いての延伸によりフィラメントを細く
する。それによって直径２〜２０μ麟、特に５〜１５μ
ｍの非常に強いフィラメントが熱分解後に形成される。
引き続いて熱分解することによって製造される繊維は、
繊維強化アルミニウム、アルミニウム合金およびセラミ
ック成分における機械的強化マトリックスとして使用さ
れる。
ポリヒドリドシラザン類を加工することができるその他
の重要な方法は、金属、特にスチール上にち密で、強固
に接着する非晶質或いは微細結晶質セラミック被膜を形
成するものである。
この被膜は、トルエン、ＴＩ（Ｆまたはヘキサン等の有
機溶剤にポリヒドリドシラザンを溶解した溶液として塗
布される。非晶質或いは微細結晶層への熱分解による転
化は、三次元成形体に関して上述した方法で不活性ガス
雰囲気で８００〜１２００℃または１２００〜１４００
℃の同一温度範囲で生じる。
その優れた接着力、高い硬度および表面特性のために、
このセラミック被膜は、機械的なまたは化学的な負荷を
受ける機械要素の表面を改善するのに特に好適である。
上記のポリヒドリドシラザン類は、不活性ガス中の代わ
りにＮＨ３雰囲気中でも７０〜９０％の同等に高いセラ
ミック収率で熱分解することができる。この場合、実質
的に炭素不含の無色透明の材料が得られる。熱分解が１
０００℃或いはそれ以上でＮＨ３中で行われた場合、炭
素含有量は、０．５重量％未満である。熱分解温度によ
り、熱分解生成物は、実質的に純粋な非晶質窒化珪素（
１２００℃以下で熱分解）または結晶質５ｉＪｎ（１２
００℃以上、特に１３００℃以上で熱分解）より成る。
ＮＨ３中での熱分解は上記の成形法によって製造された
全ての成形体、即ち粉体、繊維および被膜からの成形体
に適用することができる。
それ故に、本発明は更に、式またはその製造方法によっ
て特徴付けられる上述の重合体クロロシラザン類を一５
０〜＋ｌＯＯ℃でアンモニアと反応させそして生じたポ
リシラザンを不活性の窒素−またはアルゴン雰囲気にお
いてまたはアンモニア雰囲気において８００〜１４００
°Ｃで熱分解することを特徴とする、窒化珪素含有セラ
ミック物質の製造方法にも関する。
しかしながら、重合体クロロシラザン類の窒化珪素含有
セラミック物質への転化は、中間体として形成されたポ
リシラザン類を単離せずに実施するのが有利である。こ
の場合には、重合体クロロシラザン類は気体状アンモニ
アと反応させそして生じた反応混合物をアンモニア雰囲
気で熱分解するのが有利である。
従って、本発明はまた、式またはその製造方法によって
特徴付けられる上述の重合体クロロシラザン類をθ〜＋
３００℃でアンモニアと反応させそしてその反応生成物
をＮｕｓ雰囲気において８００〜１４００℃で熱分解す
ることを特徴とする、窒化珪素含有セラミック物質の製
造方法にも関する。
この場合□即ち、中間体として生じたポリシラザン類を
単離しない場合□には、勿論、成形を既に重合体クロロ
シラザン類段階で行わなければならない。即ち、繊維、
被覆物または成形体をか−る重合体クロロシラザン類か
ら製造し、次いでＮＨ３と反応させそして熱分解する。
［実施例１ １呈上±二上 オリゴヒドリドメチルシラザン１１４　（ＣＩ＋５ｉＨ
ＮＨ）　−の製造 １００ｍ　ｊ！　（０，９７ｓｏ　１　）のメチルジク
ロロシラザンを８００＋７！の無水Ｔ）ＩＦに溶解し、
次いでアンモニアを３時間通す（流速：　０．５１２７
分）。反応温度を水浴で冷却することによって２０〜２
５°Ｃに維持する０反応を室温で１時間攪拌することに
よって完結し、次いで塩化アンモニアをアルゴン雰囲気
で分離除去する。沈澱物を各３６０ｄのＴＨＦで二回洗
浄しそして一緒にしたＴＨＦ溶液を減圧下に濃縮して透
明で易流動性の （Ｃ）ｌｓＳｉＨＮＨ）、１油状物を得る（収量４４．
５　ｇ・理論値の７８χ）。
裏施拠」 オリゴシラザン（ＣＨｉＳｉＨＮＨ）　ｎをビニルトリ
クロロシラン（ＣＨｔ、Ｃ１１ＳｉＣ１りとメチルジク
ロロシラン（Ｃ１ｈＳｉｌｌＣ１ｔ）との混合物と反応
させ、次いで熱分解してＳｉ３Ｎ４含有物質を得る。
５４．６ｇ　（０，９３ｗｏｎ）の（ＣＨｓＳｉＨ−Ｎ
Ｈ）−を１５０ｔａｌの蒸留トルエンに溶解し、８８．
８ｇ　（０，５５ｍ。
ｆＨ７０＋＋ｌｌ１）のビニルトリクロロシランおよび
５．６ｇ　（０，０５ｍｏｌ！；　５　　ａ＋ｊりのメ
チルジクｏ。
シランを攪拌下に添加する。次いでこの混合物を３時間
還流して、白色の沈澱を得る。
次に全部の揮発性成分を留去し、圧力をゆっくりＱ、１
ｍｂａｒに下げそして温度をゆっくり２２０°Ｃに高め
る。これらの成分は要するにＣＨａＳｉＨＣｌｇおよび
ＣＩ３Ｃｌ３５ｉＨを４：ｌの比で含有している（Ｃ１
１ＳｉＣ１ｇまたはＣＪｚＳｉＨｚＣｌを含まない）。
二の条件のもとでは、元から生じた白色の沈澱物が昇華
し、２０℃で透明な固体に成る４３　ｇの透明な無色の
溶融物が残留する。
’ＨＮＭＲデータ： ５ｉＣＩｈ：δ＝０．０〜０．９ｐｐｍ　（ｂｒ）　、
強度１５ＮＨ：δ＝１．０−１．８ｐｐｍ　（ｂｒ）　
、強度４ＳｉＨ：δ＝４．４〜５．２ｐｐｍ　（ｂｒ）
　、強度３Ｓｉ−ビニル：δ＝５．５〜６．３ｐｐ＋ｗ
　（ｂｒ）　、強度８元素分析（重！Ｉχ）： 測定値：５ｉ３６．２χ　Ｎ　１７．７χ　Ｃ１１４，
７χＣ２５，３χ　Ｈ５，３χ　００．３χ計算値：５
ｉ４０．９χ　Ｎ　１４．３χ　Ｃ１１５，６χＣ２２
，８χ　Ｈ６，４χ 構造二式（１）においてａ−０，７、ｂ＝０．０２、ｄ
＝０．３、ｂ＝ｅ＝ｆ＝　０、Ｒ’＝ＣＩ！　、Ｒ３＝
ビニル基続く熱分解でのセラミック収率はＮ２中で８４
χでそしてＡｒ中で８５χであった。
１隻■」 オリゴシラザン（ＣＨｉＳｉＨＮＨ）、１をメチルジク
ロロシラン（ＣＨｓＳｉＨＣｌ意）とビニルトリクロロ
シラン（ＣＩ！・ＣＨ３１Ｃｈ）との混合物と反応させ
、次いで熱分解して５ｉｓＮａ含有物質を得る。
３０ｇ　（０，５１ａｎｏｎりの（ＣＩｈＳｉＨ−ＮＨ
）−を１００　ｃａｌの蒸留トルエンに溶解し、１７．
２ｇ　（０，１５ｍ。
１：　１５．５　ｍｌ　のＣＨｓＳｉＨＣｂおよび２４
．２ｇ（０，１５閤ｏ　ｊ！；　１９．１　ｔａ１）の
ビニルトリクロロシランを攪拌下に添加する０次いで最
初は透明のこの溶液を３時間還流して、白色の沈澱を得
る。
次に全部の揮発性成分を留去し、圧力をゆっくりＱ、１
ｍｂａｒに下げそして温度をゆっくり２２０°Ｃに高め
る。この条件のもとで、ＣＨｓＳｉＨＣｌ　ｚおよびＣ
Ｈ３５ｉＨｚＣ１が２：１の比で存在する。ビニルジク
ロロシランおよびビニルクロロシランは検出できなかっ
た。
この条件のもとでは、白色の沈澱物が昇華し、２０℃で
透明な固体に成る２４．２ｇの透明な無色の溶融物が残
留する。
’ＨＮＭＲデータ： ５ｉＣＨ，：δ＝０．０〜０．９ｐｐｍ　（ｂｒ）　、
強度１８ＮＨ：δ＝１．０〜１．８ｐｐｎ＋　（ｂｒ）
　、強度３．１ＳｉＨ：δ＝４．４〜５．２ｐｐｏ＋　
（ｂｒ）　、強度３．７Ｓｉ−ビニル：δ−５，５〜６
．３ｐｐｍ　（ｂｒ）　、強度４．９元素分析（重量％
）： 測定値：　　Ｓｉ　３９．６χ　Ｎ　１７．４χ　Ｃ１
１２，７χＣ２０，６χ　Ｈ６，２χ　００．６χ計算
値：５ｉ４２．５χ　Ｎ　１５．７χ　Ｃ１１４，０χ
Ｃ２１，５χ　Ｈ６，３χ 構造：式（１）においてａ＝０．４６　、ｂ＝０．２８
、ｃ＝０．０８、ｄ＝０．１８、ｅ＝ｆ−０、Ｒ’＝Ｒ
”＝　ＣＨ，、Ｒ２＝ビニル基 続く熱分解でのセラミック収率はＮ２中で８２χでそし
てＡｒ中で７８χであった。
１隻■」 オリゴシラザン（ＣＨａＳｉＨＮＨ）−をメチルジクロ
ロシランとメチルトリクロロシランとの混合物と反応さ
せ、次いで熱分解して５ｉｓＮａ含有物質を得る。
操作は実施例２に記載されたものに相当するが出発物質
が以下のものである点で相違する２３１ｇ　（０，５３
＠ｏ７りの（ＣＨｓＳｉＨＮＨ）−１８，４ｇ　　（０
，１６ｍｏｊり　　のＣｔｌｓＳｉＨＣＬｚ２３．９ｇ
　（０，１６ｍｏ１）のＣＨ３５ｉＣ１３縮合体はメチ
ルジクロロシランとメチルトリクロロシランとを１：１
の比で含有する。２１ｇの無色透明で脆弱な物質が得ら
れる。
凰ＨＮＭＲデータ： ５ｉＣＨｓ：δ＝Ｏ，Ｏ〜０．９ｐｐｓ＋　（ｂｒ）　
、強度１８ＮＨ：δ＝１．０〜２．０ｐｐｍ　（ｂｒ）
　、強度１．８ＳｉＨ：δ＝４．４〜５．２ｐｐｍ　（
ｂｒ）　、強度２元素分析（重量％）： 測定値：５ｉ３９．３χ　Ｎ　１６．３χ　Ｃ１１９，
８χＣ１８χ　Ｈ６，１χ 計算値：５ｉ４２．７χ　Ｎ　１７．１χ　Ｃ１２１，
６χＣＩ８．３χ 構造：式（Ｉ）においてａ＝０．２、ｂ＝０．４、ｄ＝
０．４、ｃ＝ｅ＝ｆ−０、Ｒ１＝Ｒ”＝　ＣＨｓ、Ｒ”
＝　ＣＨ３：続く熱分解でのセラミック収率はＮ！中で
６２χでそしてＡｒ中で６６χであった。
裏旌炭］ オリゴシラザン（ＣＨｓＳｉＨＮＨ）−を１，２−ビス
−（メチルジクロロシリル）エタン（Ｃ１ｚＣＩｈＳｉ
−ＣＨｚＣＨｘ−３ｉＣＴｏＣ１ｇ）と反応させ、次い
で熱分解してＳｉ３Ｎ、含有物質を得る。
操作は実施例１に記載されたものに相当するが出発物質
が以下のものである点で相違する２４５ｇ　（０，７６
ｓｏｊりの（ＣＨ３１Ｃｈ−ＮＨ）−７０ｇ　　（０，
２７ｍｏｊり　　のＣ１，ＣＢ、５ｉ−ＣＨｔＣＨ，−
５ｉＣＨ，ＣＩ。
３５．５ｇの黄色味を帯びた透明な物質が得られる。
’ＨＮＭＲデータ： ５ｉＣＨ３およびＳｉ−Ｃ）ＩｚＣＨｇ−３ｔ：　　δ
＝０．０〜０．９ｐｐｍ（ｂｒ）　、強度１９ ＮＨ：δ＝０．９〜１．３ｐｐｍ　（ｂｒ）　、強度０
．３ＳｉＨ：δ＝４．５〜５．１ｐｐ１ｍ　（ｂｒ）　
、強度１．１元素分析（重量％）： 測定値：５ｉ３５．１χ　Ｎ　１３．３χ　Ｃ１１７，
４χＣ２５，２χ　Ｈ６，４χ 計算値：５ｉ３６．０χ　Ｎ　１３．９χ　Ｃ１２１，
１χＣ２２，６χ　Ｈ６，４χ

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １）一般式（Ｒ＾１ＳｉＨＮＨ）＿ｎ（式中、ｎは約３
    〜約１２である。）で表されるオリゴヒドリド−オルガ
    ノシラザン類をクロロシラン類Ｒ＾２ＳｉＨＣｌ＿２、
    Ｒ＾３ＳｉＣｌ＿３、Ｃｌ＿２Ｒ＾４Ｓｉ−ＣＨ＿２Ｃ
    Ｈ＿２−ＳｉＲ＾４Ｃｌ＿２またはＣｌ＿３Ｓｉ−ＣＨ
    ＿２ＣＨ＿２−ＳｉＲ＾５Ｃｌ＿２の少なくとも一種類
    と３０℃〜３００℃で反応させ、上記各式において各基
    が互いに無関係に以下の意味を持つ： Ｒ＾１はＣ＿１〜Ｃ＿６アルキル基またはＣ＿２〜Ｃ＿
    ６アルケニル基であり、 Ｒ＾２は、Ｒ＾２ＳｉＨＣｌ＿２を単独でオリゴシラザ
    ン類と反応させる場合には、Ｃ＿２〜Ｃ＿６アルケニル
    基であり、または Ｒ＾２は、Ｒ＾２ＳｉＨＣｌ＿２を他のクロロシラン類
    との混合物としてオルガノシラザン類と反応させる場合
    には、Ｃ＿１〜Ｃ＿６アルキル基またはＣ＿２〜Ｃ＿６
    アルケニル基であり、そして Ｒ＾３、Ｒ＾４およびＲ＾５はＣ＿１〜Ｃ＿６アルキル
    基またはＣ＿２〜Ｃ＿６アルケニル基であり、 そしてＲ＾３ＳｉＣｌ＿３は少なくとも一種類の（Ｒ＾
    ２、Ｒ＾４またはＲ＾５を含む）他のクロロシラン類と
    の混合物としてのみ使用されることを特徴とする、重合
    体ヒドリドクロロシラザン類の製造方法。 ２）ジクロロヒドリドシラザン類Ｒ＾１ＨＳｉＣｌ＿２
    とＮＨ＿３とを溶剤中で反応させることによって得られ
    るオリゴヒドリドオルガノシラザン類をクロロシラン類
    Ｒ＾２ＳｉＨＣｌ＿２、Ｒ＾３ＳｉＣｌ＿３、Ｃｌ＿２
    Ｒ＾４Ｓｉ−ＣＨ＿２ＣＨ＿２−ＳｉＲ＾４Ｃｌ＿２ま
    たはＣｌ＿３Ｓｉ−ＣＨ＿２ＣＨ＿２−ＳｉＲ＾５Ｃｌ
    ＿２の少なくとも一種類と３０℃〜３００℃で反応させ
    、上記各式中の各基が互いに無関係に以下の意味を持つ
    ： Ｒ＾１はＣ＿１〜Ｃ＿６アルキル基またはＣ＿２〜Ｃ＿
    ６アルケニル基であり、 Ｒ＾２は、Ｒ＾２ＳｉＨＣｌ＿２を単独でオリゴシラザ
    ン類と反応させる場合には、Ｃ＿２〜Ｃ＿６アルケニル
    基であり、または Ｒ＾２は、Ｒ＾２ＳｉＨＣｌ＿２を他のクロロシラン類
    との混合物としてオルガノシラザン類と反応させる場合
    には、Ｃ＿１〜Ｃ＿６アルキル基またはＣ＿２〜Ｃ＿６
    アルケニル基であり、そして Ｒ＾３、Ｒ＾４およびＲ＾５はＣ＿１〜Ｃ＿６アルキル
    基またはＣ＿２〜Ｃ＿６アルケニル基であり、 そしてＲ＾３ＳｉＣｌ＿３は少なくとも一種類の（Ｒ＾
    ２、Ｒ＾４またはＲ＾５を含む）他のクロロシラン類と
    の混合物としてのみ使用されることを特徴とする、重合
    体ヒドリドクロロシラザン類を製造する方法。 ３）Ｒ＾１〜Ｒ＾５がＣ＿１〜Ｃ＿３アルキル基または
    Ｃ＿２〜Ｃ＿３アルケニル基である請求項１または２記
    載の方法。 ４）Ｒ＾１＝Ｒ＾２＝Ｒ＾４＝Ｒ＾５がＣＨ＿３であり
    そしてＲ＾３がＣＨ＿３またはビニル基である請求項１
    または２記載の方法。 ５）クロロシラン類とオリゴヒドリドオルガノシラザン
    のＲ＾１ＳｉＨＮＨ単位とのモル比が０．２：１〜１．
    ５：１である請求項１〜４のいずれか一つに記載の方法
    。 ６）反応成分を一緒に導入する場合には、３０〜５０℃
    に温度を保ちそして次いでこの反応混合物を１００〜３
    ００℃の温度に加熱する請求項１〜５のいずれか一つに
    記載の方法。 ７）一般式（ I ） ▲数式、化学式、表等があります▼ ［式中、窒素原子の遊離原子価はＨ原子またはシリル基
    Ｒ＾＊ＳｉＸＮ＜（Ｘ＝Ｈ、Ｃｌ、Ｎ＜、ＣＨ＿２ＣＨ
    ＿２Ｓｉ←）で飽和されており、これらの各基は互いに
    無関係に以下の意味を持つ： Ｒ＾１はＣ＿１〜Ｃ＿６アルキル基またはＣ＿２〜Ｃ＿
    ６アルケニル基であり、 Ｒ＾２は、ｄ＝ｅ＝ｆ＝０の場合にはＣ＿２〜Ｃ＿６ア
    ルケニル基であり、または Ｒ＾２は、指数ｄ、ｅまたはｆの少なくとも一つが０で
    ある場合にはＣ＿１〜Ｃ＿６アルキル基またはＣ＿２〜
    Ｃ＿６アルケニル基であり、そして Ｒ＾３、Ｒ＾４、Ｒ＾５およびＲ＾＊はＣ＿１〜Ｃ＿６
    アルキル基またはＣ＿２〜Ｃ＿６アルケニル基であり、 ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅおよびｆは個々の構造単位のモル分
    率であり、 そしてｄ≠０で同時にｂ＝ｃ＝ｅ＝ｆ＝０の場合は排除
    される。］ で表される重合体ヒドリドクロロシラザン類。 ８）Ｒ＾１〜Ｒ＾５およびＲ＾＊がＣ＿１〜Ｃ＿３−ア
    ルキル基またはＣ＿２〜Ｃ＿３アルケニル基である請求
    項７に記載の重合体ヒドリドクロロシラザン。 ９）Ｒ＾１＝Ｒ＾２＝Ｒ＾４＝Ｃ＾５＝Ｒ＾＊＝ＣＨ＿
    ３でそしてＲ＾３＝ＣＨ＿３またはビニル基である請求
    項７に記載の重合体ヒドリドクロロシラザン。 １０）請求項１に記載の方法によって得ることのできる
    重合体ヒドリドクロロシラザン類。 １１）請求項７に記載の重合体クロロシラザン類を−５
    ０〜＋１００℃でアンモニアと反応させそして生じたポ
    リシラザンを不活性の窒素−またはアルゴン雰囲気にお
    いてまたはアンモニア雰囲気において８００〜１４００
    ℃で熱分解することを特徴とする、窒化珪素含有セラミ
    ック物質の製造方法。 １２）請求項１１に記載の方法によって得ることのでき
    る窒化珪素含有セラミック物質。 １３）請求項７に記載の重合体クロロシラザン類を０〜
    ３００℃でアンモニアと反応させそしてその反応生成物
    をＮＨ＿３雰囲気において８００〜１４００℃で熱分解
    することを特徴とする、窒化珪素含有セラミック物質の
    製造方法。 １４）請求項１３に記載の重合体クロロシラザン類を０
    〜３００℃でアンモニアと反応させそしてその反応生成
    物をＮＨ＿３雰囲気において８００〜１４００℃で熱分
    解することを特徴とする、窒化珪素含有セラミック物質
    の製造方法。
JP1310832A 1988-12-03 1989-12-01 重合体ヒドリドクロロシラザン類、その製造方法、それから製造できる窒化珪素含有セラミック物質並びに該物質の製造方法 Pending JPH02194024A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3840774.4 1988-12-03
DE3840774A DE3840774A1 (de) 1988-12-03 1988-12-03 Polymere hydridochlorsilazane, verfahren zu ihrer herstellung, aus ihnen herstellbare, siliziumnitrid enthaltende keramische materialien, sowie deren herstellung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH02194024A true JPH02194024A (ja) 1990-07-31

Family

ID=6368395

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1310832A Pending JPH02194024A (ja) 1988-12-03 1989-12-01 重合体ヒドリドクロロシラザン類、その製造方法、それから製造できる窒化珪素含有セラミック物質並びに該物質の製造方法

Country Status (5)

Country Link
EP (1) EP0375972B1 (ja)
JP (1) JPH02194024A (ja)
CN (1) CN1031275C (ja)
CA (1) CA2004399A1 (ja)
DE (2) DE3840774A1 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4002384A1 (de) * 1990-01-27 1991-08-01 Hoechst Ag (alpha),(omega)-chlorsilazane und verfahren zu ihrer herstellung
US7507849B2 (en) * 2007-06-22 2009-03-24 3M Innovative Properties Company Cyclic silazanes containing an oxamido ester group and methods of making these compounds

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4482669A (en) * 1984-01-19 1984-11-13 Massachusetts Institute Of Technology Preceramic organosilazane polymers
JPS62156135A (ja) * 1985-12-28 1987-07-11 Toa Nenryo Kogyo Kk ポリオルガノ（ヒドロ）シラザン
US4745205A (en) * 1986-11-03 1988-05-17 Dow Corning Corporation Novel preceramic polymers derived from cyclic silazanes and halogenated disilanes and a method for their preparation
US4742143A (en) * 1986-11-04 1988-05-03 Dow Corning Corporation Preceramic polymers derived from cyclic silazanes, and halosilanes and a method for their preparation
DE3733728A1 (de) * 1987-10-06 1989-04-20 Hoechst Ag Polymere hydridosilazane und verfahren zu ihrer herstellung sowie ihre verwendung
JP2507762B2 (ja) * 1987-10-31 1996-06-19 新技術事業団 メチルポリシラザンの製造法

Also Published As

Publication number Publication date
EP0375972A2 (de) 1990-07-04
DE3840774A1 (de) 1990-06-07
EP0375972A3 (de) 1991-01-16
CN1031275C (zh) 1996-03-13
CA2004399A1 (en) 1990-06-03
DE58907840D1 (de) 1994-07-14
EP0375972B1 (de) 1994-06-08
CN1043142A (zh) 1990-06-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR840001536B1 (ko) 폴리실란의 제조방법
EP0202170A1 (fr) Composition polysilazane pouvant réticuler en présence d'un métal ou d'un composé métallique catalysant la réaction d'hydrosilylation
US4472591A (en) Hydrosilyl-modified polycarbosilane precursors for silicon carbide
JPS6381122A (ja) 新規ポリチタノシラザン及びその製造方法
EP0209472B1 (fr) Procédé de traitement thermique d'un polysilazane contenant des groupes Si-N-H, Si-H et insaturés
JPH0725893B2 (ja) 窒化ほう素の先駆物質であるほう素と窒素を基にした重合体の合成法及びそれより得られる新規な物質
FR2584079A1 (fr) Procede de traitement par catalyse cationique d'un polysilazane comportant en moyenne au moins deux groupes sih par molecule
AU606177B2 (en) New polycarbosilane useful for the manufacture of ceramic products and articles based on silicon carbide
US4497787A (en) Branched polycarbosilanes and their use in the production of silicon carbide
JPH01129029A (ja) 重合体ヒドリドシラザン類およびその製造方法並びにその用途
US5008423A (en) Polymeric hydridochlorosilazanes and processes for their preparation
JPH02194024A (ja) 重合体ヒドリドクロロシラザン類、その製造方法、それから製造できる窒化珪素含有セラミック物質並びに該物質の製造方法
US6093840A (en) Silylalkylboranes, oligo or polyborocarbosilazanes and silicon carbonitride ceramics
JPH02194026A (ja) 塩素含有シラザン重合体、その製造方法、それから製造できる窒化珪素含有セラミック物質並びに該物質の製造方法
JPH05170914A (ja) 有機シラザン重合体およびそれらからのセラミツク物質の製造
US5196556A (en) Polysubstituted chlorine-containing silazane polymers, process for their preparation, ceramic materials containing silicon nitride which can be manufactured therefrom, and their manufacture
JPH06279587A (ja) 窒化ケイ素−アルミニウムセラミツクおよび先駆体化合物類、それらの製造およびそれらの使用
US5066734A (en) Polysilazane ceramic precursors and ceramic shaped articles produced by pyrolysis thereof
US5182411A (en) Polymeric chlorosilazanes, process for their preparation, ceramic materials containing silicon nitride which can be manufactured therefrom, and their manufacture
JPH0649766B2 (ja) 窒化ほう素の先駆体であるほう素と窒素を基にした重合体の製造法
JPH0251530A (ja) ポリシラザン、その製造方法、そのセラミック前駆体としての使用及び前記セラミックス
JPH02194023A (ja) 重合体エチレン架橋クロロシラザン、それらの製造方法、それらから製造されうる窒化ケイ素を含有するセラミック材料およびそれらの製造方法
JPH02199126A (ja) シラザン‐オリゴマ―およびその製造方法
JPS62108719A (ja) 窒化ケイ素の製造方法
US5189132A (en) Polymeric hydridochlorosilazanes, process for their preparation, ceramic materials containing silicon nitride which can be manufactured therefrom, and their manufacture