JPH02184501A - ハロゲン化シラン化合物を含有する担体ガスからガス状の汚染性化合物、とくにドープ成分化合物を除去する方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、少なくとも痕跡量の、ガス状もしくは蒸気状
のハロゲン化シラン化合物ならびに要すればハロゲン化
水素を含有する担体ガス、とくに水素から、ガス状の汚
染性化合物、とくにドープ成分化合物を除去するための
方法に関する。

気相分離法、たとえはシーメンス（Ｓｉｅｍｅｎｓ）法
による、高温のケイ素担持体上での、もしくは流動圧内
に分散されたケイ素粒子上での揮発性ケイ素化合物の分
解などの、気相分離法による多結晶性超純ケイ素の製造
に関連する多くの工程、ケイ素層のエピタキシャル（配
向成長法）的分離、あるいは四塩化ケイ素の水素含有シ
ランへの変換においては、関連する反応は、原則として
定量的には進行しない。その際に最終生産物として取得
されるガス混合体は、新しく生成したガス状生成物と共
に、多かれ少なかれ、大きな割合で、出発物質テらびに
使用された担体ガス、一般には水素またはたとえばアル
ゴンなどの希ガスを含有する。

廃棄されるべき資源を可能な限りの細かな配慮で利用し
つくし、また、廃棄物の発生を避けるためだけにでも、
少なくとも、これらガス混合物中の個々の成分を再利用
することがきわめて望ましい。

しかしながら、多くの場合、そのような再利用は、好ま
しくない分配平衡のために気相中の汚染性化合物、とく
にドープ成分化合物の富化と結びついていて、妨げられ
ている。このことは、たとえばリンもしくはヒ素のハロ
ゲン化合物またはとくに水素化合物などの周期律表中第
ＶＡ族元素の揮発性化合物の形態をとって現れることの
あるｎ−ドープ性の不純物についてまず第一に当てはま
ることではあるが、しかし、揮発性のホウ素化合物また
はアルミニウム化合物をベースとするｐドープ性の不純
物についても通用する。もちろん、富化効果はとくにそ
のようなガスの場合に不都合なことには目立っておこる
のであり、これはしばしば引き続いてまたは循環的に生
ずるのであって、本質的には担体ガスとして、また反応
物としては実質的により低い程度にしか作用しない水素
または担体ガスとしていずれにせよ不活性なアルゴン等
の希ガスなどと同様である。場合により伴なわれてくる
そのような担体ガス中の他の汚染性不純物の例は、たと
えばグラファイトがその発生源であろうと問題視される
ことがあるエチレンなどの炭化水素またはジクロロエタ
ンなどのハロゲン化炭化水素、ならびにたとえば特定の
条件の下に鋼から遊離されることがある塩化鉄または塩
化チタンなどの揮発性金属ハロゲン化物である。

したがって、これらの担体ガスの再利用のためには、そ
のような揮発性の汚染性化合物とくにドープ成分化合物
を可能なかぎり完全に除去することが不可欠である。し
かし、担体ガスが原則として少なくとも痕跡量であり、
しかし多くはその著しく大きな部分がハロゲン化シラン
ならびにしばしばそれに加えてさらにハロゲン化水素す
なわち酸性成分を含有し、その高反応性のために分離が
鋭敏に妨害されることがあるという事実により困難にさ
れている。シランの精製を事実上目的としている西ドイ
ツ特許出願公開第２７５５８２４号ならびにこれに対応
する米国特許第４０９９９３６号にもとづく工程におい
ては、この成分は、したがって、複雑な工程中で、低温
における活性炭への連続的吸着をともなう蒸留過程を通
じてはじめて吸収されるのであり、このことは、その際
、ヒ化水素およびリン化水素が同じくきわめて低い温度
において多孔性ケイ酸マグネシウムに捕捉されるのに先
立つものである。西ドイツ特許公告第１０９５７９６号
ならびに対応する米国特許第２９７１６０７号にもとづ
く工程もまたシランのみを対象とするものであり、ゼオ
ライｌ−ＡまたはＸを使用し、０°Ｃ以下の温度ならび
に大気圧以下の圧力の下においてヒ素、リンおよびホウ
素の揮発性化合物のシランからの除去が行なわれる。

発明における課題は、ガス状の汚染性かつとくにドープ
成分化合物を、少なくとも痕跡量のハロゲン化シランな
らびに場合によってはハロゲン化水素したがって酸性成
分を含有する担体ガスから除去するための方法を提供す
ることであった。このことは、ガス和からの元素状超純
ケイ素の分離またはそのための中間体の製造に際して行
なわれることと同様である。さらに、この工程を単純化
し、取扱いが容易な条件の下においてかつ化学薬品の消
費量を僅少にして実施し得るようにすることも課題であ
った。

この課題は、担体ガスをＭ、／、１．０・Ａｚｚｏｉ・
ｘｓｉＯ，・ｙＨ，Ｏの組成を持つゼオライトと接触さ
せることを特徴とする方法をとることにより解決された
。この式において、Ｍはメンデレーエフの元素周期律表
の第ＩＡ族または第１ｒＡ族に属する元素、水素もしく
はＮ　Ｈａであり、ｎはこれら元素の価数に相当し、モ
ル比ｘ＝ｓｉＯｘ／Ａ　ｌ　ｚ　Ｏ３は最低限２であり
、ｙの値はＯに近い数である。

ゼオライト、もしくはしばしばその別名とされる分子あ
るいは、古くから知られていて市場で入手可能のもので
ある。このものは、一部は天然の堆積に由来し、一部は
合成的製造法を通じて入手される。これらは、−船釣に
ケイ酸塩（多くはアルカリーならびにアルカリ土類アル
モシリケート）であって、酸素ブリッジにより結合され
たテトラヘドロン（四面配位体）の構造からなり、互に
均等な大きさの開孔ならびに細管により接続された均質
空欠部を持つ空間配置をとっている。ゼオライトは、た
とえばエックス線試験において回折像によって区分され
かつ特徴づけられる。重要な特徴としては、そのほか、
空孔幅ならびにＳｉｎ、／Ａｆ２０．モル比があり、こ
れによりたとえば合成ゼオライトは種々の品種（たとえ
ばＡ−、ＸＹ−ＺＳＭ形）に区分される。ゼオライトに
ついての詳細な解説として、Ｌ　、　　Ｐ　ｕｐｐｒに
よる論説「ゼオライト−その性質と工業的応用」、Ｃｈ
ｅｍｉｅ　ｕｎｓ、Ｚｅｉｔ　２０巻（１９８６）１１
７〜１２７ページ、ならびにここに引用された文献があ
る。

本発明において用いられるゼオライトは、好ましくはメ
ンデレーエフ元素周期律表中の第ＩＡ族または第ＨＡ族
である元素Ｍをナトリウム、カリウム、マグネシウムお
よびカルシウムとするゼオライトであり、とくに、ナト
リウムおよび／またはカルシウムに富む形態の、または
これら両元素に富む混合形態のゼオライトである。Ｍを
水素またはアンモニウムとするゼオライトは、妨害性カ
チオンの除去をとくに入念に注意することを要する場合
に用いれば有利である。この場合、水素は、脱水による
除去が可能な水として物理的に結合されて存在するので
はなく、構造中において化学的に強固に結合された形態
で存在するものである。

上記の式’ｙＨｚＯＪにより示されているゼオライト中
の物理的結合水の含有量を可能な限り低くすること、す
なわちゼロに接近させるか、理想的にはまったくゼロに
等しくするということは重要である。したがって、ゼオ
ライトはその無水形態のものが用いられ、その場合、約
０．１重量％の残存水含有量は、許容され得る最大値で
あることが判明している。その際、無水形態に製造され
たゼオライトを使用することも可能である。しかし、原
則的には、本来含水状態で存在していたゼオライトを脱
水して使用に供することも可能である。

この脱水は、たとえば１００ないし４００°Ｃ１とくに
２００ないし４００　’Ｃで長時間加熱するなどの温度
操作により達成することができ、それに対して補足的に
または代替的に減圧処理を適用することによっても遂行
され得る。このように、無水状態に誘導されたゼオライ
トあるいはあらかじめ無水として提供されたゼオライト
は、しばしばきわめて攻撃的なものである処理条件の下
においてとくに安定でかつ効果的であることが示されて
いる。無水性はたとえば重量測定法によって検査するこ
とができ、その場合高温度においてゼオライトを通過せ
しめられる乾燥不活性ガス流、たとえば窒素ガス流の水
分吸収量（たとえば、間接的にはこれに作用せしめられ
る乾燥剤の重量増加）が測定される。ゼオライトは、増
加がもはや認められなくなったときに無水であるとみな
すことができる。

貧アルミニウムゼオライト、すなわち、Ｓｉｎ。

／ＡＪ！！０３モル比が少なくとも２、とくに２．４な
いし１２０であるものの使用もまた有利であると認めら
れている。極限の場合、すなわちアルミニウム不合のゼ
オライトが用いられる場合には、この比率は無限大の値
をとることさえもあり得る。

この場合、精製されるべき担体ガスがゼオライトからの
アルミニウム、すなわち基本的にはドープ性不純物によ
る新しい汚染は最小限となる。

有効なゼオライトの空孔内径は４人と２０人の間であり
、とくに５人と１０人の間である。この範囲の空孔径の
場合には、担体ガス中に含有される汚染性化合物、とく
にドープ性化合物のゼオライトによるとくに効果的な結
合が確認されているが、それに対して、ガス相中に共存
するハロゲン化シランまたはハロゲン化水素によって、
それらがしばしば観測されるように結合から排除される
ということが少なくなる。原則的には、空孔内径はすで
にその製造業者の仕様書に見出し得るものである。必要
ならば、たとえばエックス線構造解析または既知標準試
料との回折像の比較により、これを分析的に確認し、あ
るいは検査することも行なわれる。

本方法での使用に原則的に適合するゼオライトの例は、
Ｘ形、Ｙ形またはたとえばゼオライトＺＳＭ５またはＺ
ＳＭＩ　１のようなペンタシル（ｐ　６ｎｔａｓｉｌ　
）形の合成ゼオライトである。天然産ゼオライトの適合
するものとして、たとえばチャバサアイト（Ｃｈａｂａ
ｓ　ｊ　ｔ）を挙げることができる。

−船釣にはゼオライトは粉末形態および粒状形態のいず
れかで使用に供される。

この方法は、混合ガスから汚染性化合物、とくにドープ
性化合物を除去する際の応用に適するものであり、ガス
相を経由する元素状超純ケイ素の製造、あるいはガス相
からのケイ素のエピタキシャル（配向成長的）分離、な
らびにこれらの反応のための中間体の製造においても同
様である。

この混合ガスは、希ガスあるいは、とくに、場合によっ
ては部分的に反応に関与することもあり得る水素、なら
びにハロゲン化シランおよび酸性成分としてのハロゲン
化水素の部分など、１種もしくは多種の担体ガスを含ん
でいる。このようなガス混合体に対する典型的な例は、
トリクロロシラン／水素混合物の高温担持物体たとえば
ケイ素またはグラファイト薄片からなるものの上での分
解によるケイ素の分離の場合などのガス混合物であって
、このガス混合物には、多くは７０ないし９９．９容量
％の割合で存在する水素のほかに未反応のトリクロロシ
ラン、反応に際して生成した四塩化ケイ素、場合によっ
ては高級塩化シランおよび塩化水素、ならびに揮発性の
汚染性化合物とくにドープ成分化合物の一定水準が含ま
れている。このガス混合物はあらかじめ調整された形で
使用に供される。すなわち、これらはあらかじめ処理段
階を経過せしめられ、そこではたとえば塩化シランは凍
結法もしくはその他たとえば吸着的分離過程を通じて痕
跡量まで、すなわち約０．１容量％まで水素から分離さ
れる。類似の事情の下にある一例として、いわゆるテト
ラ変換すなわち四塩化ケイ素／水素混合物の含水素シラ
ン化合物、とくにトリクロロシランへの転換に際して発
生するガス混合物があり、その主成分は、同じく、およ
そ７０ないし９９．９容量％の割合の水素である。他の
例は、ガス相からのエピタキシャル分離に際して使用さ
れるガス混合物であり、これは担体ガスとして大ていは
希ガスとくにアルゴンを含有し、それに加えてケイ素と
して遊離されるジクロロシランなどの塩化シランガスを
含有しており、あるいは流動床中に分散せしめられたケ
イ素粒子上へのケイ素の流動床沈積に際して用いられる
ガス混合物があり、その際には、通常、モノシラン、塩
素化シランまたは臭素化シランが揮発性ケイ素化合物と
して、担体ガスとしての水素またはアルゴンの他に用い
られる。単純化をはかるため、下記のような、この種適
合ガス混合物がさらに担体ガスとして示されるが、それ
らの詳しい組成については示されていない。

本方法に従い、ｎ−ドープ性のガス状または蒸気状の形
態で存在する不純物が調整された担体ガスから除去され
るのであるが、ｐ−ドープ性の作用についても同様であ
る。その例は、メンデレーエフの元素周期律表の第ＶＡ
族元素、中でもリンおよびヒ素の揮発性水素化合物、ハ
ロゲン化合物とくに塩素化合物であり、とくにはホスフ
ィンがある。第ｎ［Ａ族元素の揮発性化合物、たとえば
ｐ−ドープ性の作用をするハロゲン化アルミニウムなど
もまた、それにより分離され得る。同様に、本方法はエ
チレンまたはジクロロエタンを例とする炭化水素または
ハロゲン化炭化水素、あるいは塩化鉄または塩化チタン
がその実例とれさる揮発性金属ハロゲン化物などの、他
の汚染性ガス状化合物の分離に適している。

本方法においては、そのつど選択されたゼオライトが、
精製されるべきガスとのはげしい接触が可能となるよう
な形で提供される。これに適する方法としては、公知の
慣用的吸着法があり、この方法においては、ガス相に含
有されるガス状物質の固体吸収剤との結合が取扱われる
。ゼオライトは、好ましくはたとえばデユランガラス、
石英ガラスまたは耐食性ステンレス鋼で製作された吸着
管内に装入されて固定相とされ、その管内を精製される
べき担体ガスが通過せしめられ、そのガス出口には、た
とえば除塵フィルターなどの補助器具が付設されていて
もよい。基本的には、ガス流中にもまた、そのような吸
着管が多数連続的に接続されていてもよい。その他、ガ
ス流がゼオライトの固定床の上をかすめ過ぎるようにす
ることにも可能性がある。流動床の使用もまた除外され
るべきではない。

本方法における独特の利点は、容易に到達し得る温和な
温度の下で遂行され得ることである。好ましくは、調整
された担体ガスと接触せしめられる場合、提供されたゼ
オライトは室温、すなわち１５ないし２５°Ｃの温度範
囲に保持される。−船釣には０ないし５０°Ｃの温度範
囲が適切であると認められる。より低い温度においては
、好ましくない凝縮現象が先行することがあり、反対に
それよりも高い温度においては、ゼオライトの結合能力
の明かな低下が始まる。

適当な圧力は０．５ないし１０バールの範囲であり、好
ましくは工ないし２バールである。その上限は、基本的
には装置的な制限によってではあるが、場合によっては
生じることのある、ガス相中の個別の成分の液化傾向に
よって規定される。精製されるべき担体ガスを提供され
たゼオライトと接触せしめるための流速は、本質的には
同様に装置的実態に従って設定され、予備的試験におけ
る状況に従い目的に合せた確定が行なわれる。

本発明の利点として付加えるべき点は、汚染性化合物、
とくにドープ成分化合物に対する吸収能力を用いつくさ
れたゼオライトが、再生されて、担体ガスからそれらを
除去することに再利用され得るということである。とく
に有利なことには、この再生が、ゼオライトの温度を５
０ないし３００”Ｃ，好ましくは２００ないし３００°
Ｃに上昇させることによって遂行される。その際、再生
されるべきゼオライトを取り出して、専用の再生ステー
ション中で再調整を行なう。また、ゼオライトがたとえ
ば、加熱可能な吸着管中に装入されているのであれば、
その使用部位において再生を行なうことさえも同様に可
能である。その際には、再生の継続のために担体ガスの
供給が中断されるのであるが、この場合、とくに精緻な
本方法の変形法に従い、平行的に配置されたゼオライト
装入の吸着用装置を通じて担体ガス流が流され、そのゼ
オライトは、引続いて類似の方法で再生にかけることが
できる。このような方法で、担体ガスの仕上げ処理を連
続的に実施することができる。

ゼオライトの再生は、温度の上昇と同時に、圧力を作動
圧力よりも低い値、好ましくは０．１バ一ル未満に低下
させることによっても加速される。

原理的には、この圧力減少は温度上昇を伴うことなしに
でも実施することができ、実際、とくに、温度感受性の
ゼオライト、汚染性化合物ならびにドープ成分化合物が
存在していて、高温度におけるそれらの分解のためにゼ
オライトの再利用が困難になるような場合にはそのよう
になされる。同じくとくに温度感受性のゼオライトの場
合に適用可能な他の再生方法して、知られたものに不活
性ガス流中で実施される圧力負荷交番法（Ｄ　ｒｕｃｋ
ｌａｓｔｗｅｃｈｓｅｌｖｅｒｆａｈｒｅｎ　）がある
。

再生において分離されたリン化水素、ヒ化水素などの揮
発性ドープ成分化合物は、たとえば、苛性ソーダ中に導
入するなど、適当な試薬との反応により無害化される。

その他、これらをそれ自身同様に有用な化学薬品に捕捉
して濃縮し、ついでそれらをたとえばドープ成分として
更新利用し得るようにすることにも可能性がある。

再生されたゼオライトは、再び精製されるべき担体ガス
と接触せしめられ、それに含有される揮発性の汚染性化
合物、とくにドープ成分化合物と結合する能力を再び獲
得する。同様に、繰返し使用の後で再度再生にかけるこ
とができ、結局、はとんど無制限に再利用の可能性を示
すこととなる。

したがって、本方法における化学薬品使用の必要性はき
わめて小さい。ゼオライトの作動状態は、熱伝導検出器
または光イオン化検出器を用い、汚染性化合物、とくに
ドープ成分化合物の比率を担体ガスのゼオライトとの接
触の前後に比較することによって容易に追跡される。出
口側での含有量が許容限界値を超えて上昇したならば、
担体ガスのそれ以上の送入を中止した直後に再生を実施
する。各再生処理過程間の間隔は、ゼオライトの能力お
よび担体ガス中のドープ成分化合物および汚染性化合物
の含有量に応じて、また、場合によっては、予備試験に
よって見積ることができる。

本発明にもとづく方法は、僅少な装置面での支出、化学
薬品の少ない所要量およびゆるやかな条件の下において
、処理の困難な担体ガス組成物から揮発性の汚染性化合
物、とくにドープ成分化合物を除去することを可能にす
る。

下記の実施例は、本発明に対してさらに説明を加えるこ
とにおいて有用なものであり、制限の意図を持つものと
解されるべきではない。

実施例１ ステンレス鋼製吸着管（直径的２ｃｍ）に市販品粒状Ｘ
形ゼオライ）（Ｃａ冨富化、空孔径約８人、ｘ＝２．４
）約５００ｇを充填した。はじめに、ゼオライトを活性
化し、かつ完全に脱水するため、この管を約２時間、約
３７０°Ｃの温度に保持し、それと同時に軽い真空状態
（絶対圧約０．４バール）に置いた。

ついで、このように前処理された管を、精製されるべき
担体ガス流中に挿入した。このガスは水素からなってい
て、約１容量％の塩素化シラン（主としてほぼ等量の四
塩化ケイ素およびトリクロロシラン）、約１容量％の塩
化水素ならびに痕跡量（約１ｐｐｍ）のリン化水素を含
有していた。

ガス流は、吸着管の通過に際して、温度約２０°Ｃ１圧
力約２バールとされた。流速は約３ないし６β／分（標
準状態換算）とされた。

この条件は約１０時間継続され、その際、吸着管から離
れ去るガス流のリン含有量が、富化法（ケイ素層の分離
とそのリン含有量の定量）によって確定された。ここに
おいて、未処理担体ガス中のホスフィン含有量との対比
で、約５５％のホスフィン含有量減少があった。

約１０時間後、調整されるべき担体ガスの導入が停止さ
れ、代って純水素流が適用された。同時に、約１５°Ｃ
／分の上昇率で約２３０°Ｃまで温度が上昇せしめられ
、圧力が約０．０２バールに低下せしめられた。ここに
おいて、ゼオライトに結合されたホスフィンが再び遊離
せしめられ、水素流によって搬出された。この再生段階
は、約１．５時間後に終了した。ついで吸着管内のゼオ
ライトが再び担体ガス流中に挿入され、ホスフィンの除
去に使用された。

実施例２ デユラン（Ｄｕｒａｎ）ガラス製吸着管（直径的１．５
０１１、長さ約３０ｃｍ）内に、ペンタシル（Ｐｅｎｔ
ａｓｉｌ）ゼオライトＺＳＭＩＩ（空孔径的５．５人、
Ｘ＝１１０、ＭはＮａおよび痕跡量のＨ）の燗焼形のも
の約５ｇを充填した。管には、ガス入口に濾過板を取付
け、ガス出口は塵埃防止のために石英綿で塞いだ。温度
管理のための付加物として、内部温度計が組み込まれた
。

はじめに、吸着管内のゼオライトを活性化しかつ脱水す
るために真空化が行なわれ、かつ約６時間、約２３０°
Ｃに加熱した。その後２時間、乾燥水素での掃気を継続
した。終期においては、ガス流による湿分の導入はもは
や確認されなかった。

こうして、ゼオライトが無水状態に置かれたことが保証
された。

ここにおいて、吸着管内の温度が約２０°Ｃに調節され
、かつ、水素流の導入が開始された。この水素流には、
凍結法による塩素化シランの除去のために先行された処
理過程の後にガス相中に残存部分として溜まっていた、
約３０ｐｐｍのリン化水素ならびに痕跡量（約１ないし
１０ｐｐｍ）のトリクロロシランが付加的に含有されて
いた。流速は約１．５　ｄ／分に設定された。

吸着管を離れ去るガス流中のリン化水素の比率は、ガス
クロマトグラフを用いて管理された。これは装置の検出
限界であるｔｏｐｐｂよりも低いものであった。１２時
間後になってようやく水準の上昇が始まり、それにより
、ゼオライトの吸収能力が使いつくされたということが
知られた。

汚染水素ガスの送入が中止されたあと、再生を行なうた
めに、吸着管の温度が約１５０°Ｃに高められ、純水素
が導入された。これによりゼオライトに吸着されていた
リン化水素が速やかに再放出され、水素流により運び去
られた。１時間後には、ＰＨ，はもはや水素中に検出さ
れなかった。こうして処理は終了し、ゼオライトの再使
用のための準備が整った。

比較試験において、吸着管は、吸着過程において、他の
条件は等しくしておいて、約１００°Ｃの温度に保持さ
れた。この場合、吸着管を離れ去るガス流中のリン化水
素含有量の上昇は、９．６分後にすでに安定化した。

以下に好適な態様を例示する。

１、ゼオライトが、２．４ないし１２０の間から選ばれ
た数のＸで示されるモル比を有することを特徴とする特
許請求の範囲に記載された方法。

２、空孔の内径が４〜２０人であるゼオライトを使用す
ることを特徴とする特許請求の範囲もしくは零項１に記
載の方法。

３、ゼオライトが、０ないし５０°Ｃの温度で担体ガス
と接触せしめられることを特徴とする特許請求の範囲も
しくは本項１または２のいずれか１以上に記載された方
法。

４、ゼオライトが、０．５〜１０バールの圧力の下にお
いて担体ガスと接触せしめられることを特徴とする特許
請求の範囲もしくは零項１〜３のいずれか１以上に記載
された方法。

５、塩素化シラン含有担′体ガスが使用されることを特
徴とする特許請求の範囲もしくは零項１〜４のいずれか
１以上に記載された方法。

６６使用されるゼオライトが、ゼオライトＸ。

ゼオライトＹ、チャバサアイト（Ｃｈａｂａｓｉｔ）お
よびペンタシル（Ｐ　ｅｎｔａｓｉｌ）の群から選ばれ
たものであることを特徴とする特許請求の範囲もしくは
零項１〜６のいずれか１以上に記載された方法。

７、ゼオライトが、周期的に、担体ガスとの接触、再生
およびその後再度担体ガスとの接触に付されることを特
徴とする特許請求の範囲もしくは零項１〜７のいずれか
１以上に記載された方法。

８、ゼオライトが、温度上昇および／または圧力変化に
より再生されることを特徴とする零項７に記載された方
法。

９、ゼオライトが、５０ないし３００°Ｃまでの温度上
昇により再生されることを特徴とする零項８に記載され
た方法。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、担体ガスが、組成 Ｍ＿２＿／＿ｎＯ・Ａｌ＿２Ｏ＿３・ｘＳｉＯ＿２・ｙ
   Ｈ＿２Ｏ（ここにＭはメンデレーエフの元素周期律表中
   の第 I Ａ族もしくは第IIＡ族に属する元素、Ｈもしく
   はＮＨ＿４であり、ｎはこれら元素の原子価に相当する
   数であり、モル比 ｘ＝ＳｉＯ＿２／Ａｌ＿２Ｏ＿３ は少なくとも２であり、ｙの値は零に近い数である。） のゼオライトと接触せしめられることを特徴とする。 ガス状もしくは蒸気状のハロゲン化シラン化合物ならび
   に場合によってはハロゲン化水素を少なくとも痕跡量含
   有する担体ガス、とくに水素から、ガス状の汚染性化合
   物、とくにドープ成分化合物を除去するための方法。