IT1088820B - Processo di purificazione di clorosilani impiegabili nella preparazione di silicio per elettronica - Google Patents

Processo di purificazione di clorosilani impiegabili nella preparazione di silicio per elettronica

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Moreno Morici
Vittorio Trapani
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    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/08—Compounds containing halogen
    • C01B33/107—Halogenated silanes
    • C01B33/10778—Purification
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