JPH0217916A - 液体ベシクルを含有する汚染ガスの濾過方法とその装置 - Google Patents

液体ベシクルを含有する汚染ガスの濾過方法とその装置

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JPH0217916A
JPH0217916A JP1117610A JP11761089A JPH0217916A JP H0217916 A JPH0217916 A JP H0217916A JP 1117610 A JP1117610 A JP 1117610A JP 11761089 A JP11761089 A JP 11761089A JP H0217916 A JPH0217916 A JP H0217916A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は液体ベシクル含有汚染ガス濾過方法並びにその
ための装置に関する。
し含まれている液体ベシクルによるものである。
液体ベシクル、即ちミストは液体ベシクルを構成してい
る液体(単数又は複数)蒸気でガス相(又はキャリヤー
ガス)が飽和されている過飽和状態から生ずる。
液体が水である場合キャリヤーガスは湿性空気といわれ
る。
キャリヤーガスに懸濁している粒子はエーロゾルとよば
れる。
本発明は汚染物質の存在がp退部材に人の接近を阻む様
な工業分野において特別な注意を要することな(応用で
きる。
本発明は特に核環境において価値がある。
懸濁粒子、即ちエーロゾルに汚染されたガス精製問題は
空気リフトによる液体輸送回路において、特に真空下で
操作するときに特におこる。
従来技術 上記回路は図1にあられされる。そのパイプlは液体3
を入れている槽2から分離槽4に液体をあげるに使われ
る。
液体3はガスから分けられパイプ5によって出される。
液を上昇させる空気はバイブロから吹込まれる。
送られる液体からの駆動空気分離は分離槽においてエー
ロゾルをり(る。
パイプ7をへて出るエーロゾルのキャリヤーガスは蒸気
飽和空気より成る。エーロゾル粒子は移送液体の組成を
もつ活性液体ベシクルである。上記液体は一般に汚染塩
類な含む水溶液である。
図1で示されている古典的精製法においてエーロゾルは
多量の液体ベシクル(最高80%程度まで)をおさえる
又は捕集するミスト除去機8(ここでは平行梯子として
示された)をとおった後濾過機9を流れる。濾過機は微
小ベシクル(約7μ以下)および(又は)固体粒子の両
方であるエーロゾル内の残留油性分の隔壁として作用す
る。汚染粒子は濾過機内の濾過媒質によって捕捉される
この装置全体は生物学的又は放射線学的防護壁1oによ
って外部から隔離された小室内におかれておりへの室へ
の接近は禁止されている。真空回路11が濾過機の先に
おかれており、それは保守容易のため反対に接近可能域
にある。
したがって濾過機を出るガス12は作業員接近域に適当
な活性を絶対にもつ必要がある。
乾燥ガス濾過に十分有効な濾過媒質は従来から知られて
いる。しかし濾過されるガスが液体ベシクルを含む場合
効率の相当量の損失が認められている。エーロゾル濾過
においてこの濾過媒質は次第に濡れ温点までKもなる。
汚染ガスの精製度は入るガス体中にある活性射出る同じ
ガス体の残留活性の比に相当する脱汚染ファクターFD
で測定される。濾過機が濡れた場合FDはlに近づき汚
染に関する濾過機の隔壁役目は無効となる。
この現象は時として特に送られる溶液が熱いときは全(
速く(約10時間後)あられれ、一般にも約100時間
後にあられれる。濾過様の寿命が通常約少な(も3ケ月
であるのに比べてこれは余りにも早すぎる。
したがって濾過材料をしばしば交換する必要があり、多
少それは経費がかかり、放射性物質および(又は)汚染
物質取扱操作数を倍加し処理廃物量を増加する。
ここでF遇されるガス湿度とガス中の液体ベシクル(ミ
ス)):lを低下してこの問題を解決しようとする試み
がなされて来た。
種々の解決法が試験されている。第1の方法はミスト除
去機を性能のよいミスト除去機(材料、設計概念その他
)と変える方法である。第2方法としてエーロゾルの露
点を低下しその粒子を膨張させるため、ミスト除去機の
生産性を改善するため除去機の前に凝縮冷却機をおいて
エーロゾルをそれにとおすことも提案された。第3の方
法は単独で又は第2方法と共に用いられ、ミスト除去機
を出たエーロゾルは、濾過前に加熱装置中で液体ベシク
ルを蒸発させガスを過熱する様対流により加熱される。
次いでガス相は濾過機をとおりそのガス相は濾過媒質に
よって保持されている固体汚染粒子を負担させられる。
不幸なことに排出ラインにおける装置の置換又は追加が
常に可能ではなく、このための適当なスペースが常にあ
るとは限らない。更にこの様な操作は浄化、装置の停止
および用心を要するが、これは経費がかかる。
他の欠点はこれらの追加装置が生物学的および(又は)
放射線学的防護壁によって外界か遮断された小室中に設
置される必要がある。人の小室への接近禁止により装置
の清浄化と保守がむつかしく費用がかかる。更にその存
在は小室のためにより大容積を必要とし、小室のより強
力連続換気を要しまた生物学的および(又は)放射線学
的防護壁のより大きな規模を要し、これらは更に経費を
増加する。
したがって人の接近し難い小室に追加設備を要せず、人
の接近可能範囲から容易に保守できかつ設備容積を増す
ことのない経費面でも効率よい解決法が求められている
また現存設備の性能を改良するか新要求に対応するかい
づれかにより現存設備に実施し易い解決法が求められて
いる。
発明の概要 この目的のため本出願の発明は汚染ガスの効果的精製方
法および核工業の特殊要求に適合する上記方法実施の為
の装置を提案している。
特に本出願人は液体ベシクル(即ちエーロゾル)をもっ
た汚染ガスを上記エーロゾルが入る中央中空部局りにあ
る、上記中空部内に設けられた輻射熱源によってエーロ
ゾルの露点以上に熱せられた濾過媒質にとおしてF遇す
る方法を発見したのである。
核環境内、特に真空回路内で使5濾過機における濾過材
料はF遇されるエーロゾルが上記中空部に入った後濾過
媒質を横切る様連続して配置されている。
もちろん入る汚染されたエーロゾルは中央中空部にのみ
向けられ清浄排出ガスは汚染エーロゾルと接触すること
な(排出される様な手段がとられている。
一般に中空部は断面円形の円筒形をしているが、楕円形
、6角形等の他の断面形のものも可能である。
濾過媒質は濾過される特定汚染エーロゾルに適したもの
で経験者によって一般にえらばれたものである。本発明
は普通の加熱に耐える限り固体放射能粒子を保持しうる
どんな濾過媒質にも使用できる。核分野で平常使われる
材料は焼結金属(例えばスティンレス鋼)、セラミック
ス、繊維状物質、セルロース、繊維被覆紙等がある。本
発明は高効率又は適当効率濾過機並びに超高効率濾過機
に応用できる。
濾過媒質はエーロゾルをとおす有孔囲い内の濾過機内に
配置でき又は媒質は囲い使用を阻むに十分な機械的強度
をもつ。
ガスが通過する濾過媒質カム又は媒質と有孔囲いを含め
ての濾過根部分を@濾過本体”という。
本発明によれば輻射源はP:i4機内上記中央中空部中
にあり、濾過媒質がエーロゾルの露点以上の温度に熱せ
られる様に直接輻射又はこの熱を濾過媒質に伝達する伝
導性有孔囲いを熱する熱輻射のいづれかにより濾過媒質
を加熱する。
媒質と接触する液体ベシクルは蒸発し媒質中に同相汚染
物を残す。濾過機から出るものは液体ペククルの液体蒸
気を含んだガス相であり、液相が水ならば正に湿ガスで
ある。
濾過媒質の示す温度と上記媒質厚さをとおすガス流速は
上記媒質中の蒸気の再凝縮を防ぐに十分である。
輻射加熱は濾過媒質上に温度自体の分散現象によって均
一温度をえるに役立つが熱吸収は熱源と受けとる側の温
度差−第4パワーにあげられる−に比例する。
更に透熱的ガス(例えば空気)の場合輻射熱は先づ液体
ベシクルによって吸収されそれを蒸発するに使われるが
、ガスは殆んど全く熱せられない。
輻射源によって与えられた熱エネルギーは露点をあげ液
体を蒸発させるに最も効果的に使われる。
輻射源とその配置の選択は使用濾過媒質、その厚さ、濾
過様方法により決定される。
七〇濾過媒質は使用熱に耐える必要がある。焼結金属媒
質を使うならばサーモウェル状又はグローブ指形シース
に入れた電気抵抗体によって加熱できる。しかし紙媒質
を使うときは赤外線ランプがそれに役立つであろう、そ
の使用は濾過機にえらんだ使用法により適当することも
しないこともある。故に核環境と立入禁止区域において
ランプ使用はランプパルプ中こわれ易いガラスのあるた
め不適当である。
濾過機各部(濾過媒質カム(Csm)容器と他の部)の
到達温度はこれらの成分の機械的性質と適合しなければ
ならナイ。エラストーマ−シールは最も問題がある。こ
れらは80℃以上100℃位の温度において殆んど適当
するシーリング確保ができない。しかし熱架橋(伝導に
よる熱移動〕を避けるため又は源泉配置に注意を払うこ
とができる。
従来技術とちがって濾過機に入るガス中の液体ベシクル
量は重要ではない。本発明による方法はミスト除去機で
液−ガス分離後も除去機のないと同様使用できる。後者
の場合は特にやりがいがある;即ちこの方法はミスト除
去機をもたない現存設備に適用できるのである。
本発明はどんなガスでも、特に空気および濾過機内の普
通温度で危険な程不安定でない限りどんなエーロゾル(
水、溶媒、酸又は他のベシクル)にも応用できる。故に
この理由のためトリブチルホスフェート〔引火点146
℃〕の様な燃焼性有機溶媒は除外される。
濾過されるエーロゾルはまた(不溶性)固体粒子を汚染
でもそうでなぐても含んでい又もよい。これらは本発明
の応用を妨げるものではな(、濾過機においてとられる
ガスは種々の圧力で循還される。笑際濾過媒質をとおす
ことのみが必要で、媒質への出入圧力差は例えば濾過機
下流に設置した真空装置により装置を減圧下にお(こと
により又は供給ガス加圧により保たれる。これはガス相
濾過の一般方法である。
本発明はまた本発明の方法実施のための現在濾過機に適
合する、即ち適合させつる装置を提供する。
正に本発明は汚染性液体ベシクルを含むガスの有効濾過
ができる、壁に適当な開口があけである生物学的および
(又は)放射線学的防護囲い内に入れである濾過機であ
って、次の各部: (1)  ガス流入口とガスがとおって出る周辺出口お
よび上記生物学的および(又は)放射線学的防護壁にと
りつける部材をもつハウジング; (2]  上記ハウジング中に着脱し易(つけられ許遇
されるガス流が流れる中央中空部の周りにある濾過本体
よ9成)両端に各1枚の板をもちその1枚は中空部高さ
にガス入口がある濾過部品および上記濾過部品とハウジ
ング入口の間のシーリング部材; (3J  生物学的および(又は)放射線学的防@壁中
の開口をふさぎまたそれをとった時濾過部に接近できる
着脱できる生物学的および(又は)放射線学的防護プラ
グより成り、上記濾過部品の生物学的および(又は)放
射線学的防護プラグに最も近い板は濾過部品の中央中空
部のグローブ指形シースをつ(る金属壁より成シ、加熱
用部材はシースと1線にプラグ中に設けられた管孔のた
め上記シース中に配置され、したがって上記加熱部材は
外から濾過部品からとりはずすことができ、コアはそれ
自体の生物学的および(又は)放射線学的防護部材をも
っている様な濾過機である。
付図面簡単な説明 ある図2について今や詳述する。この図は普通真空型エ
ヤリ7ト方式に使われる様な垂直に上方に取出しうる濾
過機を示している。濾過機のこの垂直配置はPiA機を
とり扱い易くするが、本発明の方法実施に必要な特徴で
はない。
汚染物保留の基礎となる戸適材はイオン化性および(又
は)汚染性放射線が透過できずしたがって外界を防護し
ている囲いを区切っている生物学的および(又は)放射
線学的防護壁内におかれる。この壁は特定型放射線を遮
断する様設計されている。
図2に示されている濾過機は肩l4をもつ開口がある生
物学的および(又は)放射線学的防護スラブl3の下に
置かれ、上記肩l4にはハウジングl5の肩l6が上に
組合わされる。
したがってハウジング15はスラブから吊下げられる。
生物学的および(又は)放射線学的防@壁内にノ・ウジ
ングを設ける他の方法および手段は本発明の範囲内で考
えられるであろ5゜ 濾過部品17を入れたハウジング15は一般に金属壁で
つ(られる。それには開口3ケ所あり、1ケ所はスラブ
の開口をとおり接近できる処から入れられる濾過部品通
路であり他の2ケ所はガス入口18と出口19に対応す
る。図2に示されている様な2ケ所はガス管に接続する
突出管を成している。
濾過部品17は中空部21をもつ濾過機本体20、濾過
機本体の両端にあり、中空部を閉じている板22と23
および濾過部品をハウジングに固定している部材の各部
より成る。
図2の実施態様におい″’CFil!機本体2oは円形
断面をもつ中心中空部21を成す環状円筒形である。し
かし中空部は断面が楕円形、角形その他の形でもよい。
濾過機本体は一定厚さをもつ。
図2の実施態様において濾過機本体は有孔支持囲い使用
を要しない十分な機械的強度をもつ焼結金属よp成る単
なる濾過媒質それ自体である。この濾過媒質支持囲いが
必要ならば、それはちがった断面をもつ2個の同心円筒
壁より成り上記2壁の間に濾過媒質をつめまた上記壁は
ガス通過のため有孔板とする。
図2の底板22はハウジングへのガス入口工8に面して
あり、濾過部品の中空部にガスを流入させる開口24が
ある。例えばエラストマー〇環の様なシーリング部材2
5がハウジングの管部分と板の開口の間に入れである。
図2において濾過機はハウジングから吊下げられる。こ
のため濾過本体の円筒と同軸の円筒金属部26が生物学
的防護壁に近い板、即ち上部板23についており、上記
円筒金属部は7ランジ27で終り、その肩はハウジング
の相対する肩28上にとどまる。
上記取付は法は便利であるが、ハウジングと濾過様の他
の取付は方法も可能である。
7ランジ27とハウジングの間にシーリング部材があり
、好ましい実施態様においてこの部材はプラグ重量によ
る圧縮シール(図示されていない)である。
図2による垂直濾過部品はハウジング内でプラグによっ
て位置に保たれ、その重量は7ランジ27とハウジング
肩28上にとどまる。
一般に濾過部品を位置につける他の手段は例えば濾過様
の位置(垂直、水平、傾斜)に関係な(遠隔数はずしで
きる固定具を使用できる。
ガス入018をとおりハウジングに入るガスは濾過部品
17の開口24をとおり中空部21に直接入った後濾過
本体20を横切ってハウジングと濾過部品の間の空間3
0に流入しハウジングの横出口19をとおって出る。
濾過部品は人の近づける領域(生物学的および(又は)
放射線学的囲い外)タンクから生物学的および(又は)
放射線学的防護壁13内に挿入されたプラグ29までの
ハウジングに出し入れ出来る。プラグは壁と同質のもの
でできていてもよ(又はちがっていてもよい。
プラグは入れた場合壁13と共に生物学的および(又は
)放射線学的防護の継続性を確保する。プラグと濾過部
品の取扱いは適当な移動覆い(フランス特許第2,56
0.710号記載の様な完全生物防護を確保する)内か
ら操作できる。
シール27平面と濾過部品の上部面23(生物学的およ
び(又は)放射線学的防@壁に面している)の上にある
ハウジング各部の特に濾過部品建設又は修理運転中汚染
のないことを確保するため、上記部品はその7ランジ2
7の高さでプラグと例えば溶接によって固定される。
この特徴は絶体必要なものではない。
プラグ取はずしは濾過部品に近づかせる。プラグと濾過
部品が側部分としてつくられると、濾過部品は挿入され
グリップ部材によって修正される。プラグと濾過部品が
互いに固定されると、プラグ堰はすしは濾過部品も外に
出し、他のプラグと濾過部品組合せ品が挿入され又は部
品のみが交換されるがプラグは同じままである様な方法
がとられる。
本明細誉記載のr過機自体は知られている。汚染液体ベ
シクルを含んでいるガスの外部装置を変更せず人の接近
範囲から容易に保守できる簡単な手段によりr遇する問
題解決のため、本発明は濾過部品の中空部中グローブ指
形シース(以後単に1シース“という)内に加熱部材を
おき、また生物学的および(又は)放射線学的防護プラ
グ中に連動する覆いの必要なくプラグおよび(又は)濾
過部品と関係な(それ自体の住換学的防護部材をもちま
た上記加熱部材を扱い5る管孔をつ(ることを提案して
いる。
本発明による方法を充足する輻射源は加熱部材32をも
つグローブ指形シース31より成る。図2の加熱部材は
電力供給リード線33をもつ電気抵抗体32であり、そ
れはシースから絶縁し機械的強度を与え℃いる熱伝導性
セメント34に埋め込まれている。
電気抵抗は生物学的および(又は)放射線学的防護囲い
外の電源に接続された電線33によって供給される。
実際シース31は生物学的防護壁に最も近いr過部品板
23上につけられており、濾過部品の中空部中r過媒質
の全長にわたりのびている指形金属壁より成る。
この実施態様の電気抵抗体はその熱をセメントに送りセ
メントは熱をシース壁にうりし順にν過本体に輻射する
伝導により移る熱低下のため輻射源と濾過部品間の熱的
架橋がよりいことは確実である。故にハウジングと濾過
部品間のシーリング部材(例えばエラストーマ−シール
)が保護される。
他の配置があってもよい。電気抵抗体は囲い外から供給
できる他の加熱手段(例えば赤外線灯)で置換でき、そ
の場合リード線はプラグをとおして配線される。一般に
輻射源は濾過媒質に望ましい温度、媒質と他の濾過成分
の許容温度および他の核運転東件に適する様えらばれる
シース中に入れられる加熱部材は漬浸(無汚染)に保た
れ、濾過部品よりも注意を要せず扱5ことができ、更に
濾過部品と関係ない。
濾過部品に入る濾過されるエーロゾルの分散と熱分散改
良のためシースの外壁上にフィンをつけることができる
必要ならば加熱部材の電力供給線をとおしまた特にプラ
グと無関係に上記部材と濾過部品を手なおしできる様シ
ースと同軸にそって生物学的防護壁に管孔35がつ(ら
れている。明らかにシースがついている濾過部品の板も
同様に管孔(シースの開口)がおいている。
管孔35はそれ自体生物学的および(又は)放射線学的
防護部材をもつ必要がある。
図2に示されているとおり、管孔35は生物学的防護グ
ラブ29中につ(られ、その直径は実質的にシース直径
と等しい。管孔の上部は付図には示されていない小リー
ドショットの充填物(囲い内)をもつ。加熱部材と電線
と充填物集合晶は板36(スラブ13と連続平面を成す
)を除去後接近できる位置から電線(図2の線)のつい
た加熱部材を単につかんで処理しそれを管孔中にすべり
込ませる。
本発明による装置は特許請求の方法の実施によって二一
ロゾル濾過問題を解決する。それは製造と保守が容易で
あり操業設備の改良を必要としない。濾過様保守に含ま
れる普通の操作は影響されない。濾過部品に達するため
加熱部材だけをとりはずす必要がある。
図2に示す上記装置は真空エヤリフトで試験しておく。
送られる液体はフルオレセイン10f/13の50℃水
溶液である。駆動空気流速は148ONl1時である。
ポンプで水柱6懸の真空を生じる。液中沈下は40%で
ある。
送液量は理論的に82517時である。
濾過機は図2に示されたものである。濾過媒質はニージ
ン社商標1ボラル”として発売されている3μ焼結ステ
インレス鋼である。
ミスト除去機における温度は44℃である。
濾過機における温度は O入口において 36.8℃、 O大気温   26,7℃ 0出口において 41℃、 0ハウジングにおいて 57.6℃ O抵抗体表面 492℃ O底シールにおいて 47.3℃ O上部シールにおいて64℃。
FDは273である。試験は55時間継続した。
かくてこの方法と簡単な装置によって、O液体ベシクル
存在において濾過機はその十分な効力を保つ; O濾過機手前にミスト除去機がなくとも完全にできる;
O低圧飽和ガスの含水量が高圧飽和ガスの含水量よりも
大きい様な減圧回路においてさえこの方法は応用できる
;O装置は非常に低置である; Oこの装置は水分をガスから加熱蒸発するよりも直接加
熱し濾過媒質を露点以上の温度に保つにエネルギーが少
な(てすむので空気加熱機よりも運転が経済的である;
O単に濾過部品中に空所をり(り(その空所は核環境に
使われる殆んどの濾過機にすでにある)プラグを入れそ
れを生物学的および(又は)放射線学的防護部材で密封
するだけで現在の濾過機のいづれよりも容易に再構成で
きる; 0活性環境における作用は必要としない;O濾過部品の
取扱いに何の複雑も加わらない;などの好ましい結果が
えられるのである。
【図面の簡単な説明】
図1は従来の装置配置の概要図である。 番号 2   液槽 4   分離槽 8    ミスト除去機 9   濾過機 図2は、本発明の濾過装置図である。 番号15   ハウジング 17    濾過部品 20    濾過本体 21   中空部 18   人口 19   出口 29   プラグ 13   防護壁 32   加熱部材 31   シース 35   管孔 手 続 補 正 書 平成1年6月21日

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、エーロジルともいう液体ベシクル含有汚染ガスをエ
    ーロジルの入る中央中空部の周りにある濾過媒質をとお
    し濾過する方法において、上記濾過媒質を上記中央中空
    部内にある輻射源によりエーロジルの露点以上の温度に
    加熱することを特徴とする方法。 2、使用する濾過媒質が焼結金属より成る請求項1に記
    載の方法。 3、濾過媒質がセラミックである請求項1に記載の方法
    。 4、ガスが低圧において流通させられる請求項1、2又
    は3に記載の方法。 5、非常に高効率で濾過される請求項1から4までのい
    づれカリに記載の方法。 6、濾過前のガスがミスト除去機をとおる請求項1から
    5までのいづれか1に記載の方法。 7、濾過されるガスがエヤリフト利用液体移動装置から
    来る空気である請求項1から6までのいづれか1に記載
    の方法。 8、壁に適当な開口がつくられている生物学的および(
    又は)放射線学的防護囲い内におかれており、ガス流入
    口(18)とガスの周辺出口(19)をもちまた上記生
    物学的および(又は)放射線学的防護壁にとりつける部
    材をもつハウジング(15); 上記ハウジング(15)内に取はずし自在にあり、濾過
    されるガス流が通過する中央中空部の周りにある濾過本
    体(20)より成り両端に板をもちその一方は中空部に
    ガスの入る開口をもつ本来の濾過部品(17)および上
    記濾過部品とハウジング入口(18)の間のシーリング
    部材;および生物学的および(又は)放射線防護壁(1
    3)中の開口をふさいでいる取はずし自在の生物学的お
    よび(又は)放射線学的防護プラグ(29)であつてそ
    れを取はずせば濾過部品に接近できるプラグ(29) の各部より成る濾過装置において、生物学的および(又
    は)放射線学的防護プラグに最も近い上記濾過部品(1
    7)の板(23)は濾過部品の中央中空部(21)内の
    グローブ指形シース(31)を形成している金属壁より
    成り、加熱部材(34)はシース(31)と整列してプ
    ラグ(29)内につくられた管孔(35)のため上記シ
    ース内にあり、上記加熱部材は外から濾過部品と別に取
    はずし出来る、またコアはそれ自体の生物学的および(
    又は)放射線学的防護部材をもつ請求項1から7までの
    いづれか1に記載の方法実施用濾過装置。 9、加熱部材が電線により供給される電気抵抗体より成
    る請求項8に記載の濾過装置。 10、加熱部材が赤外線バルブより成る請求項8に記載
    の濾過装置。 11、濾過部品が生物学的防護スラブ(13)から吊下
    げられたハウジング(15)の肩(28)上にフランジ
    部分(27)によつて支えられ、上記濾過部品(17)
    と上記ハウジング(15)間の密封は生物学的防護プラ
    グ(29)の重量作用による圧縮シールによつてえられ
    かつ底板はガス流入口をもちまた上部板はシースをつけ
    ている請求項8、9および10のいづれか1に記載の濾
    過装置。 12、上記プラグ(29)が濾過部品(17)と固着し
    てつくられ両者が同時に挿入取出しできる請求項8から
    11までのいづれか1に記載の濾過装置。
JP1117610A 1988-05-13 1989-05-12 液体ベシクルを含有する汚染ガスの濾過方法とその装置 Expired - Lifetime JPH0710328B2 (ja)

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