JPH02178991A - グリーンシート印刷装置 - Google Patents

グリーンシート印刷装置

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Publication number
JPH02178991A
JPH02178991A JP33321988A JP33321988A JPH02178991A JP H02178991 A JPH02178991 A JP H02178991A JP 33321988 A JP33321988 A JP 33321988A JP 33321988 A JP33321988 A JP 33321988A JP H02178991 A JPH02178991 A JP H02178991A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
suction
suction holes
green sheet
conductor
holes
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP33321988A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshikatsu Sakurai
桜井 芳勝
Yukio Okada
幸雄 岡田
Seiji Yamaguchi
盛司 山口
Kozo Takada
耕造 高田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP33321988A priority Critical patent/JPH02178991A/ja
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  • Screen Printers (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、多層セラミック基板を形成するグリーンシー
トに内層回路パターンを印刷すると共に、層間を導通さ
せるためのヴィアホールの導体を印刷するために使用す
るグリーンシート印刷装置に関するものである。
従来の技術 2ベーノ 従来、この種のグリーンシート印刷装置としては、第4
図および第5図に示す構成のものが知られている。第4
図は従来のグリーンシート印刷装置を示す全体の断面図
、第6図は第4図のV−V矢視図である。
第4図および第6図に示すように吸引用ステージ61は
吸引ボックス52の上部開放側に吸引フレート53が固
定されている。吸引ボックス52には吸引孔64が形成
され、吸弓1プレート53にはグリーンシー)Gのヴィ
アホールgに対し、ヴィアホールgより大径の吸引孔5
5が形成され、吸引孔54には吸引装置(図示省略)が
連通されている。吸引ボックス52の外周部上には印刷
搬送用フレーム56が位置決めビン57と位置決め孔5
8の嵌合により位置決めされて支持され、印刷搬送用フ
レーム56上には肉薄のフレーム59が位置決めピン6
0と位置決め孔61の嵌合により位置決めされて支持さ
れている。フレーム69にはグリーンシートGの周縁部
が接着される。吸引プレート53の上方には印刷メツシ
ー版62が配置され、31\−7 この印刷メツシー版62はグリーンシートGのヴィアホ
ールgに対応するメツシー目63と導体ノくターン形成
用の溝孔(図示省略)を有している。
印刷メツシー版62の上方にはスキージ64が上下動可
能に、かつ水平方向に移動可能に設けられ、このスキー
ジ64より印刷メツシュ版62に導体ペーストPが吐出
される。
次に上記従来例の動作について説明する。
吸引装置の駆動により吸引用ステージ51の吸引孔64
.56から吸引しながら、スキージ64を第4図に示す
矢印方向に移動させ、導体ペース)Pを印刷メツシー版
62上に吐出させることにより、グリーンシー)G上に
溝孔より導体ペーストによる導体パターン(図示省略)
を形成すると共に、導体ペーストPを上記吸引孔54.
55により吸引して第6図の要部拡大図で示すようにグ
リーンシートGのヴィアホールgにグリーンシート層間
を導通させる導体P1を形成することができる。
発明が解決しようとする課題 ヴィアホールgに形成した導体P1は吸引側において、
第6図に示すように回り込み部P1aを有する形状が正
常であるが、吸引力が不足すると、P11〕で示す導体
不足を生じ、また、吸引力が強ずぎると、PICで示す
ように吸引プレート63に導体ペーストが付着し、第7
図にPldで示すようにヒケが生じ、正常な導体形状を
確実に得ることができない。これを解決するにはグリー
ンシー)Gの両面から導体ペース)Pを印刷しなければ
ならず、製造工程が多くなり、作業性が悪い。また、第
7図に示すように導体ペース)Pが吸引プレート63の
吸引孔56に詰まってしすうため、連続印刷が困難であ
る。
本発明は、このような従来の問題を解決するものであり
、グリーンシートのヴィアホールに層間導通用の導体を
正常な形状で確実に印刷することができ、また、製造工
程が増えるのを防止して作業性の向」二を図ることがで
きると共に、印刷作業を連続的に行うことができ、量産
に適するようにしたグリーンシート印刷装置を提供する
ことを目的とするものである。
51\−/ 課題を解決するための手段 本発明は、上記目的を達成するために、グリーンシート
のヴィアホールに対する吸引孔を有する吸引用ステージ
と、この吸引用ステージ上に走行可能に設けられたろ紙
と、上記吸引用ステージの吸引孔および上記グリーンシ
ートのヴィアホールに対応する吸引孔を複数組有し、こ
の複数組の吸引孔を選択的に使用し得るように上記ろ紙
上に移動可能に設けられたプラスチック製フィルムを備
えたものである。
作用 したがって、本発明によれば、吸引ステージの吸引孔よ
りろ紙とプラスチック製フィルムの吸引孔を介して導体
ペーストを吸引することにより、乱流を発生させること
ができるので、グリーンシートのヴィアホールの吸引側
周縁に回り込み部を有する理想的な形状を有する導体を
印刷することができ、また、上記ろ紙を介して導体ペー
ストを吸引し、しかも、このろ紙を走行可能に構成して
いるので、印刷作業の度に常に新しい部分を使用6ペー
ジ することができるので、吸引用ステージの吸引孔が詰ま
るのを防止することができ、また、上記プラスチック製
フィルムは複数組の吸引孔を用意して印刷作業の度に交
換して使用し、この間、使用していない組の吸引孔が導
体ペーストで詰まらないように除去作業を行うことがで
き、常に除去作業済みの吸引孔を使用することができる
実施例 以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明
する。
第1図ないし第3図は本発明の一実施例におけるグリー
ンシート印刷装置を示し、第1図は全体の断面図、第2
図はスキージ、印刷メツシュ版およびグリーンシートを
除去した平面図、第3図は印刷動作説明用の要部拡大断
面図である。
第1図および第2図に示すように吸引用ステージ1は吸
引ボックス2の上部開放側に吸引プレート3が固定され
ている。吸引ボックス2には吸引孔4が形成され、吸引
プレート3にはグリーンシードGのヴィアホールgに対
応し、ヴィアホール7 ・\−/ gより大径の吸引孔6が形成され、吸引孔4には吸引装
置(図示省略)が連通されている。吸引フレート3上に
は吸引孔5を閉塞するようにろ紙6が走行可能に設けら
れ、ろ紙6は供給ローラ7に巻き取られており、この供
給ローラ7と巻き取りローラ8の回転により吸引プレー
ト3上で矢印入方向に走行する。吸引プレート3上に位
置するろ紙6土にプラスチック、例えばポリエステルか
らなるフィルム(ルミラーフィルム:商品名)9がろ紙
60走行方向と直交方向Bに移動可能に設けられている
。ポリエステルフィルム9にはその両側に吸引プレート
3の吸引孔5とグリーンシートGのウィアホールgに対
応し、吸引孔5より小径でヴィアホールgより大径の吸
引孔1oが2組形成されている。ポリエステルフィルム
9はシリンダ、若しくはモータ等を用いた駆動装置(図
示省略)によりろ紙60走行方向と直交方向(第2図の
矢印B方向)に往復動され、2組の吸引孔10が交互選
択的にろ紙6上に位置される。グリーンシートGは周縁
部が肉薄のフレーム11に接着され、フレーム11が搬
送位置決め部12に位置決めされて支持され、グリーン
シー)Gがポリエステルフィルム9の上方に配置されて
いる。グリーンシー)Gの上方には印刷メツシー版13
が配置され、この印刷メッシュ板13はグリーンシート
Gのヴィアホールgに対応するメツシー目14と導体パ
ターン形成用の溝孔(図示省略)を有している。印刷メ
ツシー版13の上方にはスキージ15が上下動可能に、
かつ水平方向に移動可能に設けられ、このスキージ15
より印刷メツシー版13に導体ペーストPが吐出される
次に上記実施例の動作について説明する。
まず、グリーンシートGを搬送位置決め部12に対して
正確に位置決めすると共に、ポリエステルフィルム9の
一方の組の吸引孔10が吸引用ステージ1の吸引孔5と
グリーンシートGのヴィアホールgに対応するように正
確に位置決めする。
そして吸引装置の駆動により吸引用ステージ1の吸引孔
4.6から吸引しながら、スキージ15を第1図の矢印
方向に移動させ、導体ペース)Pを9ベー/ 印刷メツシー版13上に吐出させることにより、第3図
に示すようにグリーンシートG上に溝孔より導体ペース
トによる導体パターンP2を形成させろと共に、導体ペ
ース)Pをろ紙6およびルミラーフィルム9の吸引孔1
Qを介する吸引力により吸引する。これにより、グリー
ンシートGのヴィアホールgにグリーンシート層間を導
通させる導体P1を形成することができる。このとき、
回りステージ1の吸引孔6、ろ紙6、ポリエステルフィ
ルム9の吸引孔10を組み合わせることにより、第3図
に示すようにストレートな吸収方向ではなく、乱流fを
発生させることができ、これによりグリーンシートGの
ヴィアホールgの吸引側周縁に回り込み部P1aを有す
る理想的な形状に形成することができる。また、ろ紙6
に余分の導体ペーストPを吸収させることにより吸引用
ステージ1の吸引孔5が詰まるのを防止することができ
る。
つ゛イアホールgに導体P1を形成した後、グリーンシ
ートGを交換するが、このとき、ろ紙6を上記のように
矢印入方向に走行させ、ろ紙6の新し1oベージ い部分を吸引用ステージ1上に位置させると共に、ポリ
エステルフィルム9を上記のように矢印B方向に移動さ
せ、他方の組の吸引孔10をろ紙6とグリーンシー)G
の間に位置させる。そして、上記と同様に吸引装置によ
り吸引することによりヴィアホールgにグリーンシート
層間を導通させる導体P】を形成すると共に、導体パタ
ーンP2を形成することができる。この間、ポリエステ
ルフィルム9において使用していない吸引孔10に詰ま
った導体ペース)Pの除去作業を行う。以下、上記と同
様の動作を繰返して行うことにより順次グリーンシー)
Gのヴィアホールgに導体P1を形成することができる
そして、上記実施例のようにグリーンシートGのヴィア
ホールgに導体P1を印刷する作業を行う度に、ろ紙6
を走行させて常に新しい部分を導体ペース)Pの吸引作
業に用いることができ、したがって、吸引用ステージ1
の吸引孔5が導体ペーストPにより詰まるのを防止する
ことができ、また、2組の吸引孔10を有するポリエス
テルフ11 ・\−フ ィルム9を交互に使用するので、導体ペーストPの吸引
作業中に使用していない組の吸引孔10に付着した導体
ペーストPの除去作業を行うことができ、吸引孔1oに
導体ベース)Pが詰まるのを防止することができる。し
たがって、量産化インライン自動印刷が可能になる。
発明の効果 以上述べたように本発明によれば、吸引ステージの吸引
孔よりろ紙とプラスチック製フィルムの吸引孔を介して
導体ペーストを吸引することにより、乱流を発生させる
ことができるので、グリーンシートのヴィアホールの吸
引側1mに回り込み部を有する理想的な形状を有する導
体を確実に印刷することができる。また、上記ろ紙を介
して導体ペーストを吸引し、しかも、このろ紙を走行可
能に構成しているので、印刷作業の度に常に新しい部分
を使用することができるので、吸引用ステージの吸引孔
が詰まるのを防止することができ、また、上記プラスチ
ック製フィルムを複数組の吸引孔を用意して印刷作業の
度に交換して使用し、この間、使用していない組の吸引
孔が導体ペーストで詰まらないように除去作業を行うこ
とができ、常に除去作業済みの吸引孔を使用することが
でき、したがって、製造工程が増えるのを防止して作業
性の向上を図ることができると共に、印刷作業を連続的
に行うことができ、量産化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図ないし第3図は本発明の一実施例におけるグリー
ンシート印刷装置を示し、第1図は全体の断面図、第2
図はスキージ、印刷メツシー版およびグリーンシートを
除去した平面図、第3図は印刷動作説明用の要部拡大断
面図、第4図ないし第7図は従来のグリーンシート印刷
装置を示し、第4図は全体の断面図、第5図はそのV−
V矢視図、第6図は印刷動作説明用の要部拡大断面図、
第7図は印刷動作の継続による導体ペーストの吸引用ス
テージの目詰まり状態の断面図である。 1 ・・吸引用ステージ、4.6・・・吸引孔、6・・
ろ紙、9・・ポリエステルフィルム(プラスチック製1
3 /\−2・ フィルム)、1o・・・吸引孔、13・・・印刷メツシ
ー版、16 ・スキージ、G・・・グリーンシート、g
・・・ヴィアホール、P・・導体ペースト。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか1名昧

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. グリーンシートのヴィアホールに対応する吸引孔を有す
    る吸引用ステージと、この吸引用ステージ上に走行可能
    に設けられたろ紙と、上記吸引用ステージの吸引孔およ
    び上記グリーンシートのヴィアホールに対応する吸引孔
    を複数組有し、この複数組の吸引孔を選択的に使用し得
    るように上記ろ紙上に移動可能に設けられたプラスチッ
    ク製フィルムを備えたグリーンシート印刷装置。
JP33321988A 1988-12-29 1988-12-29 グリーンシート印刷装置 Pending JPH02178991A (ja)

Priority Applications (1)

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JP33321988A JPH02178991A (ja) 1988-12-29 1988-12-29 グリーンシート印刷装置

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JPH02178991A true JPH02178991A (ja) 1990-07-11

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ID=18263648

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JP33321988A Pending JPH02178991A (ja) 1988-12-29 1988-12-29 グリーンシート印刷装置

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JP (1) JPH02178991A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102145574A (zh) * 2010-02-05 2011-08-10 株式会社日立工业设备技术 丝网印刷机以及印刷方法
JP2021185600A (ja) * 2016-08-05 2021-12-09 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials, Incorporated グリーンシートセラミック上へのメタライゼーション材料の、サブミクロン均一性を有する高精度スクリーン印刷

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102145574A (zh) * 2010-02-05 2011-08-10 株式会社日立工业设备技术 丝网印刷机以及印刷方法
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