JPH02175630A - 医療用ガラス製品内表面の金属酸化物処理によるアルカリ等の溶出防止法 - Google Patents
医療用ガラス製品内表面の金属酸化物処理によるアルカリ等の溶出防止法Info
- Publication number
- JPH02175630A JPH02175630A JP33007388A JP33007388A JPH02175630A JP H02175630 A JPH02175630 A JP H02175630A JP 33007388 A JP33007388 A JP 33007388A JP 33007388 A JP33007388 A JP 33007388A JP H02175630 A JPH02175630 A JP H02175630A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ampule
- alkali
- carrier gas
- treating
- silica film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 14
- 239000003513 alkali Substances 0.000 title abstract description 5
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 title abstract 3
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 33
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 title description 4
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 title description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 34
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims abstract description 17
- 239000003595 mist Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000010828 elution Methods 0.000 claims description 8
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims description 3
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 abstract description 20
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 20
- 239000003708 ampul Substances 0.000 abstract description 15
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 10
- 238000012546 transfer Methods 0.000 abstract description 8
- 125000001181 organosilyl group Chemical group [SiH3]* 0.000 abstract description 5
- 239000008246 gaseous mixture Substances 0.000 abstract 3
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 abstract 1
- 150000002513 isocyanates Chemical class 0.000 abstract 1
- 238000009210 therapy by ultrasound Methods 0.000 abstract 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 22
- 239000010408 film Substances 0.000 description 19
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 19
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 18
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 12
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 10
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 9
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 238000000889 atomisation Methods 0.000 description 4
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 4
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 4
- -1 silicon halides Chemical class 0.000 description 4
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 4
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000006482 condensation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 238000002309 gasification Methods 0.000 description 1
- 230000036541 health Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000013532 laser treatment Methods 0.000 description 1
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229940127554 medical product Drugs 0.000 description 1
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 238000006864 oxidative decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000011002 quantification Methods 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 1
- 238000010792 warming Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
防止法、特に改良されたCVD法でシリカ膜を形成して
処理する方法に関するものである。
プレー法、スピンナー法等で代表される液相処理法、C
VD、PVDで代表される気相法等が広〈実施されてい
る。各方法は酸化物の種類、処理される基材や期待する
酸化膜の物性により選択して実施されている。
相処理法とは別に、先年より例えば特開昭48−377
86号公報や特公昭55−15545号公報で開示され
ている様な超音波霧化方式による薄膜形成法も盛んに利
用されて来ている。
超音波を作用させて微細な粒径の霧滴とし、これをキャ
リヤーガスに同伴させて移送し、基体表面に接触させて
、その表面で分解を行わせ薄膜を形成するものである。
業が出来るので健康的にも又作業環境的にも好ましい。
殊不活性ガス雰囲気下などの限定された作業条件でなく
ても作業が出来る点で優れた方法であると考えられる。
れている。使用する周波数により生成する霧滴の粒径分
布は変化し、例えば周波数3 M cの場合、生成した
霧化物の体積比で2〜3ミクロンが50%、1.5〜2
ミクロンが27%と言う状態の霧滴を得ることが出来る
。
される被膜の状態に著しい影響を与える事が知られてい
る。
を形成する時ケイ素ハロゲン化物やアルコキシドを単体
又はアルコール等の溶液として使用して処理出来る。使
用する発振子の周波数の問題もあるが、従来から使用さ
れている方式では、形成される霧滴粒径の問題もあり形
成されたSiO2膜はピンホールが存在し、医療品用途
例えば薬液を入れるアンプル、バイアルビンの内面コー
ティングでは満足の行く性能を待った5102膜を得る
事は出来ない状態であった。
波方式でなく CVD方式を選択する必要かある。CV
D法でSiO2膜形成処理を行う時にはSiH4等のシ
ランガスを出発材料として使う場合には、SiH4等は
常温でガス状であるので、原料を加熱しなくても適用で
きるが、この化合物は大気中で酸化分解をうけ易いので
特殊条件の雰囲気が必要であり、作業の実施には著しい
制約が加わる。ケイ素ハロゲン化物やケイ素アルコキシ
ドを用いる時は通常の不活性ガス、N2て安全に取扱え
るものであるが、常温では液体であるので、CVDにか
ける為には加熱ガス化して作業をしなければならない。
形成を行う時には作業の前準備と作業中、その化合物の
所定の蒸気圧を維持する為に沸点又はそれに近い温度に
化合物を維持する必要がある。
合物を高温に保持しつづけると、−船釣に縮合反応等の
分解反応が進行し変質してしまい、作業を維持しにくく
なると言う問題が従来のCVD法にはあった。
物薄膜特にシリカ膜にあるこれらの問題を解決する事が
要望されていた。
波方式やCVD方式が適用し易い方式である。しかし、
特別にち密な膜を形成しようとする時には、従来の超音
波方式では目的が達成されない。又、CVD方式では加
熱による化合物の変質が発生し品く、形成された膜の品
質にも影響が出やすく、その上作業の連続性、安全性に
も問題があった。
2255)超音波方式を用いて薄膜を形成する方法、特
に加水分解性金属化合物を用いて医療用ガラス製品に適
用出来るシリカ膜を形成する方法の研゛究を行った。
と言う特性とCVD法の形成膜の品質特性の両方の特徴
を相乗的に発揮し同時に各方法が有している欠点が排除
された新しいCVD法で医療用に適用出来る機能を持っ
た膜を形成する方法を開発し、本発明に至った。
をキャリヤーガスで移送し、基体処理に使用していた。
のではなく、CVD方式の原料化合物供給体として使用
する。CVD工程では超音波方式で室温では霧化された
化合物は加熱されてガス化されキャリヤーガスとの混合
気体とされる。この混合気体で処理すると化合物は単分
子レベルの形で供給されるので基体表面に形成される膜
も従来法と異なり単分子レベルで均質なシリカ膜となり
本発明の目的に有効である事が見いだされたのである。
イソシアネート霧滴をキャリヤーガスで移送し、次工程
でこのシリルテトラソイシアネート霧滴がガス化される
のに必要な温度に加熱してガス化する。更にこの化合物
ガスとキャリヤーガス混合気体を処理する医療用ガラス
製品の内表面に接触させてシリカ膜を形成するという改
良された処理法を提案するものである。
面について説明する。
を霧滴化し、これをキャリヤーガスで移送する発生部分
(A)と、移送されて来たキャリヤーガスとシリルテト
ライソシアネートの混合物をガス化させる加熱部分(B
)と混合気体を移送して医療用ガラスの処理をする処理
部分(C)からなり、特に処理部分(C)には、例えば
生産ラインで連続的な処理をしたい時には断続吐出する
部分と所定部分に塗布する部分及び試料を移動させる部
分が含まれる。勿論、非連続的な方法で処理はできる。
のタンク1の底部には所望周波数の超音波を発振する超
音波発振子2、側面には窒素ガス等のキャリヤーガスの
導入口3、天面4には加熱部分に通ずる開口5が設けら
れている。更に天面には下方に延びてタンク1内に収容
される液体6の温度を検知する温度センサー7、底部に
はフロー!・スイッチ8が設けられている。
一定高さの円筒9とその周囲のヒーター10と保温材1
1からなっている。その円筒9は蓋部12を有しそこに
は温度計13が設けられ、又円筒9の上方側部には開口
14が設けられ次の処理部分Cに通ずる処理移送管15
が取着けられている。
ニット16に固定されたエアシリンダー17部を経て接
続金具18に接続される。前記ユニット16は台19上
に水平方向に摺動自在に取着けられ、又前記エアシリン
ダー17は垂直方向に摺動自在に取着けられている。更
に前記接続金具18には処理されるべきアンプル20に
進入しつる吐出針21が取着けられている。
付ローラー23によって所定位置に送られ前記吐出針2
1の進入を受入れるようになっている。
テトライソシアネート5は超音波発振子2から発振する
超音波によって無数の霧滴となる。
れた霧滴は開口5から上昇して加熱部分Bに至り、ヒー
ター]0によって加熱されてガス化する。ガス化された
前記シリルテトライソシアネート化合物は同伴してきた
キャリヤーガスとの混合気体となって処理部分Cの処理
移送管15に送られる。
進入するようエアシリンダーユニット16を図において
左方に摺動せしめ、上記混合気体を処理移送管15から
吐出針21を経てアンプル20内部へ送入する。一定量
送入後エアシリンダ−17は下方へ摺動して処理移送管
15を押圧してその混合気体の送入を遮断する。
ル20内部に送られてその表面に接触して分解し、そこ
にシリカ薄膜を形成し、かくしてアンプル20のガラス
生地からのアルカリ等の溶出防止を図ることができるの
である。
温されたキャリヤーガスを使用する事も出来るが、本発
明の目的ではキャリヤーガスは室温が良く加温はしない
方が良い。これは化合物並びに発振子の昇温を避ける為
である。化合物、発振子が昇温すると霧化機能に変化が
生じ好ましくない。従って、発生部分(A)は通常空冷
しながら作業する事が多い。発振子はこの目的の為には
1〜数Me通常1〜3Mc程度の周波数のものを用いる
と発生する霧滴粒子か粗大になるのでガス化し難くなる
傾向がある。
性ガスを用いる。
。通常はステンレス、ガラス等から選ばれたものが使用
される。そしてこの部分からの伝熱で発生部分(A)が
昇温しない様にする必要かある。
は使用する化合物と希望する作業速度に対応して選ばれ
、特に限定はされない。−船釣には次の処理部分(C)
で化合物との混合気体の凝集が起らない事が望ましい。
圧での圧力が100 mm11g以上を示す温度に設定
される事が多い。
下を受は品い時には保温又は加温をする事が望ましい。
シリカ膜の場合には高温の方が焼結が進行するので、可
能な限り高温の方が良い。従って処理後はアニーリング
工程を含めて500〜650℃で2〜3分の加熱を行う
事が望ましい。
どの処理も可能である。
む発生部分のタンクにシリルテトライソシアネートを2
00cc入れ、窒素ガスを0,21/minの流量で導
入口より吹き込む。1.6〜1、.8Mcの周波数の超
音波を発振し、これにより発生した霧滴をキャリヤーガ
スで移送し開口を通して加熱部分に送り、ここで加熱し
てガス化させる。加熱部分の温度は250℃に設定しガ
ス化を計った。
ーガス同伴体を医療用アンプルの移動速度に同調して断
続的に吐出制御するエアーシリンダーとアンプルの内部
に吐出する同調可動する管で平均温度150℃のアンプ
ルに1.6秒間吹き込み処理した。この吐出量は計算上
0.002g] 1 であった。処理物はアニーリング炉で630℃2分間処
理し透明な処理物を得た。
をした上オートクレーブで121℃、1時間処理した。
あり、同様に処理した未処理物よりも著しくNa溶出防
止効果が良好であり形成されたSiO2膜のち密性、均
質性、密着性が良好で有ることが確認された。
れた。
淡いヘイズが発生し、アルカリ溶出防止効果も劣ってい
た。溶出量0.03〜0.2ppmであった。
るシリルテトライソシアネートが、従来法の如く作業塾
備及び作業中継続してその蒸気圧を得るのに必要な高温
度に晒されるのではない。
ャリヤーガスに分散された化合物が移送され、2次工程
でその分散物だけが加熱されてガス化し、化合物ガスと
キャリヤーガスの混合気体となる。この混合気体を医療
用ガラス製品表面に接触させてシリカ膜を形成してアル
カリ等の溶出を防止するものである。
す説明図である。 A・・・発生部分、B・・・加熱部分、C・・・処理部
分、1・・・液槽タンク、2・・・超音波発振子、3・
・・ガス導入口、5・・・開口、10・・・ヒーター、
11・・・保温祠、処理移送管、 17・・・エア シリンダー 20・・アンプル、 21・・・吐出針。
Claims (1)
- シリルテトライソシアネートを超音波発振子でミスト化
しキャリヤーに分散させ、この分散物をガス化し、医療
用ガラス製品内表面に接触させ加熱処理しシリカ膜を形
成してガラス製品生地からのアルカリ等の溶出物を防止
する方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33007388A JP2815595B2 (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | 医療用ガラス製品内表面の金属酸化物処理によるアルカリ等の溶出防止法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33007388A JP2815595B2 (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | 医療用ガラス製品内表面の金属酸化物処理によるアルカリ等の溶出防止法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02175630A true JPH02175630A (ja) | 1990-07-06 |
JP2815595B2 JP2815595B2 (ja) | 1998-10-27 |
Family
ID=18228480
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33007388A Expired - Lifetime JP2815595B2 (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | 医療用ガラス製品内表面の金属酸化物処理によるアルカリ等の溶出防止法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2815595B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0437632A (ja) * | 1990-05-30 | 1992-02-07 | Nippon Glass Sangyo Kk | ガラスアンプルまたは管瓶の製造方法 |
EP0513690A2 (en) * | 1991-05-17 | 1992-11-19 | Asahi Glass Company Ltd. | Surface-treated substrate |
FR2697014A1 (fr) * | 1992-10-19 | 1994-04-22 | Souchon Neuvesel Verreries | Procédé de revêtement d'un substrat en matériau vitreux, par un film de silice. |
EP0624404A2 (en) * | 1993-05-14 | 1994-11-17 | Asahi Glass Company Ltd. | Surface-treated substrate and process for its production |
EP0811367A2 (de) * | 1996-06-05 | 1997-12-10 | Schott Glaswerke | Glasbehälter insbesondere zur Aufbewahrung pharmazeutischer oder diagnostischer Lösungen |
WO2009011112A1 (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-22 | Mitsubishi Tanabe Pharma Corporation | プロスタグランジンe1を含む安定な脂肪乳剤 |
JP2018048096A (ja) * | 2016-09-23 | 2018-03-29 | ニプロ株式会社 | 液体製剤、及び、パロノセトロンの安定性を向上する方法 |
WO2019230964A1 (ja) * | 2018-05-31 | 2019-12-05 | 富士フイルム株式会社 | 容器詰水中油型乳化組成物 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2014153544A (ru) | 2012-05-28 | 2016-07-20 | Намикос Корпорейшн | Стеклянный контейнер и способ его изготовления |
-
1988
- 1988-12-27 JP JP33007388A patent/JP2815595B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0437632A (ja) * | 1990-05-30 | 1992-02-07 | Nippon Glass Sangyo Kk | ガラスアンプルまたは管瓶の製造方法 |
EP0759413A1 (en) * | 1991-05-17 | 1997-02-26 | Asahi Glass Company Ltd. | Surface-treated substrate |
US5314731A (en) * | 1991-05-17 | 1994-05-24 | Asahi Glass Company Ltd. | Surface-treated substrate |
EP0513690A2 (en) * | 1991-05-17 | 1992-11-19 | Asahi Glass Company Ltd. | Surface-treated substrate |
FR2697014A1 (fr) * | 1992-10-19 | 1994-04-22 | Souchon Neuvesel Verreries | Procédé de revêtement d'un substrat en matériau vitreux, par un film de silice. |
EP0624404A2 (en) * | 1993-05-14 | 1994-11-17 | Asahi Glass Company Ltd. | Surface-treated substrate and process for its production |
EP0624404A3 (en) * | 1993-05-14 | 1995-02-22 | Asahi Glass Co Ltd | Surface treated substrate and process for its manufacture. |
EP0811367A3 (de) * | 1996-06-05 | 1997-12-17 | Schott Glaswerke | Glasbehälter insbesondere zur Aufbewahrung pharmazeutischer oder diagnostischer Lösungen |
EP0811367A2 (de) * | 1996-06-05 | 1997-12-10 | Schott Glaswerke | Glasbehälter insbesondere zur Aufbewahrung pharmazeutischer oder diagnostischer Lösungen |
US6537626B1 (en) | 1996-06-05 | 2003-03-25 | Schott Glaswerke | CVD-coated glass container |
WO2009011112A1 (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-22 | Mitsubishi Tanabe Pharma Corporation | プロスタグランジンe1を含む安定な脂肪乳剤 |
JP2014224131A (ja) * | 2007-07-13 | 2014-12-04 | 田辺三菱製薬株式会社 | プロスタグランジンe1を含む安定な脂肪乳剤 |
JP5890599B2 (ja) * | 2007-07-13 | 2016-03-22 | 田辺三菱製薬株式会社 | プロスタグランジンe1を含む安定な脂肪乳剤 |
JP2018048096A (ja) * | 2016-09-23 | 2018-03-29 | ニプロ株式会社 | 液体製剤、及び、パロノセトロンの安定性を向上する方法 |
WO2019230964A1 (ja) * | 2018-05-31 | 2019-12-05 | 富士フイルム株式会社 | 容器詰水中油型乳化組成物 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2815595B2 (ja) | 1998-10-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3078835B2 (ja) | 化学蒸着のための気化反応物の製造方法 | |
US6821341B2 (en) | Precursor for use in preparing layers on substrates | |
EP1148150B1 (en) | Method and apparatus for processing semiconductor substrates with hydroxyl radicals | |
CN1121511C (zh) | 控制气氛化学气相淀积的设备和方法 | |
JPH02175630A (ja) | 医療用ガラス製品内表面の金属酸化物処理によるアルカリ等の溶出防止法 | |
JP2002088486A (ja) | 高周波誘導熱プラズマ装置 | |
US6180190B1 (en) | Vapor source for chemical vapor deposition | |
EP0268756A2 (de) | Verfahren zur Herstellung von Disilan aus Monosilan | |
JP2723472B2 (ja) | 基体上に硼燐化シリカガラスを付着する装置および方法 | |
JPH0222106A (ja) | 金属酸化物薄膜の形成法 | |
JP3941325B2 (ja) | 多孔質膜形成方法及び多孔質膜形成装置 | |
US2890953A (en) | Continuous process for the manufacture of titanium metal | |
JP4285530B2 (ja) | 微小球体形成方法及び微小球体形成装置 | |
JP2671384B2 (ja) | 金属化合物の形成装置 | |
JP4219476B2 (ja) | 薄膜形成方法及び薄膜形成装置 | |
JPH04180566A (ja) | 薄膜形成装置 | |
JPH0733427A (ja) | 細孔構造を制御した球状シリカ微粉体の製造方法 | |
JPH04187592A (ja) | Cvd装置 | |
JPH07150361A (ja) | Ysz薄膜を用いたsoiデバイスの作製法 | |
JP2003138376A (ja) | エアロゾル熱分解法による薄膜形成方法 | |
TWI251840B (en) | Material for forming insulation film and film-forming method with the use of the material | |
JP2800686B2 (ja) | 高純度プラチナ膜の形成方法 | |
Tucić et al. | Synthesis of thin films by the pyrosol process | |
JPH0754151A (ja) | 薄膜の形成方法及びその形成装置 | |
JPH06183720A (ja) | 微細球状シリカの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070814 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070814 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080814 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090814 Year of fee payment: 11 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090814 Year of fee payment: 11 |