JPH02174277A - 磁気センサ及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は外部磁界の変化を検出する磁気センサ及びその
製造方法に関する。

（従来の技術） 従来、強磁性薄膜層を基板上に所定のパターンで形成し
、外部磁界の作用により該強磁性ＨｎＱ層の磁気抵抗が
変化することを利用して、回転体等の変位検出を行う磁
気センサが知られている。

第３図は、このような従来の磁気センサの外観斜視図で
おる。

同図に示す磁気センサ１は、ガラス製の基板２と、この
基板２上に、フォトエツヂレグ法により形成された磁気
抵抗効果を発揮するＮｉＣ０等の強磁性薄膜層からなる
感磁部３と、この感磁部３の接続部に固着された３本の
リード端子４と、基板２上に形成された感磁部３を含み
、さらにリード端子４の固着部分を含む全体を、単一の
樹脂層５で被覆したものである。

この樹脂層５の形成は、第４図に示すようにして行う。

すなわち、上型６と、下型７との当接面にそれぞれ対応
する凹部Ｂａ、　８ｂを形成し、両金型６゜７が当接状
態の際に空間８ができるようにする。

そしてこの空間８内に、表面に感磁部３等を形成された
基板２を配置し、樹脂注入孔７ａから樹脂を注入して加
熱加圧するトランスファー成形により、全体を被覆する
ようにしていた。

（発明が解決しようとする課題） ところで、このような磁気センサによって回転体等の回
転変位を検出させる場合には、検出感度の増大を図る上
で、回転体近傍に近接又は密着させて磁気センサを配置
することが必要である。

従って、前述した樹脂層５は、磁気センサの要となる感
磁部３を回転体との接触等による傷等から保護する上で
必要となる。

ところが、感磁部３表面に被覆される樹脂層の厚みを大
きく設定した際には、磁気センサを回転体近傍又は密着
させて配置した場合にも、感磁部３と回転体表面の距離
が大ぎく離間し、検出感度の低下を招くという問題があ
った。

これを防止するには、感磁部３を被覆する樹脂層の厚み
を例えば１０μｍ以下程度に薄く形成すればよいが、上
述した従来のトランスファー成形による樹脂層の形成方
法で番よ、その厚みを５０μｍ以下に設定することはき
わめて困難であり、１０μｍの樹脂層を形成させた際に
はピンホール等が発生し、これを避けることかできない
という問題があった。

そこで発明は、感磁部表面の保護層を薄く形成できると
ともに、外部磁界の検出感度の向上図った磁気センサ及
びその製造方法の提供を目的とする。

［発明の構成コ （課題を解決するための手段） 上記目的を達成するための磁気センサの構成は、前述し
た磁気センサにおいて、感磁部表面を被覆する第一の保
護層と、感磁部を除く部分を被覆する第二の保護層とを
備えたものとしている。

また、感磁部表面を被覆する第一の樹脂被覆層と、感磁
部を除く部分を被覆する第二の樹脂被覆層とを備えたも
のとしてもよい。

上記目的を達成するための磁気センサの製造方法は、基
板上に形成された外部磁界の変化を検出する感磁部表面
に、第一の保護層を形成する工程と、この第一の保護層
を除く部分を被覆して、第二の保ＩＩＩを形成する工程
とを備えたものとしている。

（作　用） 上記構成を供えた磁気センサ及びその製造方法では、感
磁部表面と、この感磁部を除く部分をそれぞれ別の保護
層で保護するようにしているので、感磁部表面の保護層
を所望の薄さに設定できるようにしている。

（実施例） 以下、本発明について図面を参照して説明する。

第１図（ａ）は一実施例としての磁気センサを示す外観
斜視図、同図（ｂ）はそのＢＢ断面図である。

第１図（ａ）、（ｂ）に示す磁気センサ９は、ガラス製
の基板１５と、この基板１５上に形成され、外部磁界の
変化を検出する感磁部１６とを備えており、前記感磁部
１６表面は第一の保護層１１により被覆され、感磁部１
６を除く部分は第二の保護層により被覆されている。ま
た、基板１５の図示裏面には３本のリード端子１２乃至
１４が互いに平行に固着され、前記感磁部１６とこのリ
ード端子１２乃至１４とは導通接続されている。

前記基板１５は、図示表面の中央部分を上方に突出させ
た形状を有し、この突出部分の上面１５ａに感磁部１６
が形成されている。

前記感磁部１６は、従来例の場合とほぼ同様に、基板１
５の図示表面にフォトエツチングの方法によって形成さ
れたもので、同図に示すパターンの磁気抵抗効果を発揮
する例えば膜厚数十μｍ程度のＮｉＣｏ等の強磁性薄膜
層からなる２つの感磁部１６ａ、１６ｂを有し、ざらに
、従来例と同様な電極部１７乃至１９を設けた構成とし
でいる。

前記各リード端子１２乃至１４はそれぞれ板状体からな
るもので、接続片２０乃至２２及びＡｕ（金）からなる
接続線２３乃至２５を介して電極部１７乃至１９と導通
接続されている。

前記第一の保護層１１は、基板１５の上面１５ａの表面
だけ、すなわち感磁部１６が形成された部分だけを被覆
するもので、本実施例では後述する製造工程により、厚
みが約１０μｍ以下のエポキシ樹脂の樹脂層から形成さ
れている。尚、保護層としては上記材質の他、シリコン
樹脂等を用いてもよい。

前記第二の保護＠１０は、前記感磁部１６が形成されて
いる上面１５ａを除く部分を被覆するもので、本実施例
では後述するトランスファー成型により約５０μｍ程度
の厚みのエポキシ樹脂の樹脂層から形成されている。

尚、この第二の保ｆｆ＠１０は、本実施例では前記第一
の保護＠１１と同一の材質のものを用いたが、本発明で
は第一の保護層１１と第二の保護層１０とは別に形成で
きるので、前記第一の保護層１１と別の材質を用いるこ
とも可能である。これにより、目的に応じまた被覆する
部分に応じて最適な保護層を形成できる。

以上の構成を供えた磁気センサの製造方法について、第
２図（ａ）乃至（ｄ＞を参照して説明する。

まず、同図（ａ）に示すように、基板１５の上面１５ａ
上に感磁部１６を延在形成し、該基板１５の裏面に３本
のリード端子１２乃至１４を固着する。

そして、感磁部１６の電極部１７乃至１９に接続片２０
乃至２２をそれぞれ導通接続した後、前述した接続線２
３乃至２５を介して電極部１７乃至１９とリード端子１
２乃至１４とを導通接続し、これによりリード端子１２
乃至１４と感磁部１６とを導通接続する。

次に、上記基板１５の上面１５ａに第一の保護層１１を
第２図（Ｃ）に示すように形成する。

この第一の保護＠１１の形成は、本実施例ではエポキシ
樹脂をスクリーン印刷により上面１５ａに塗布している
。従って、従来のようなトランスファー成型では不可能
であった１０μｍ以下程度の薄さとした保護層を形成可
能としている。尚、この第一の保護層１１の形成方法は
上記スクリーン印刷の他、スプレーによって各種樹脂を
吹き付けるようにしてもよい。この場合にも同様の薄さ
の保護層を形成できる。尚、第２図（ｂ）は第１の保護
層１１を形成した半完成の磁気センサ９′を示す。

次に、第二の保護層１０を形成する。

本実施例ではこの第二の保護層１０をトランファー成型
によって形成している。

すなわち、第２図（Ｃ）に示す上型２６ａと下型２６ｂ
からなる金型２６の各対向面に２６ｃ。

２６ｄで示す凹部を形成し、上記半完成の磁気センサ９
′のリード端子１２乃至１４を一端部で挾持させるよう
にして、凹部２６ｃ、２６ｄによって形成される空間２
６ｆ内で支持する。

この時、第一の保護層１１の上面１１ａと、上型２６ａ
の凹部２６Ｃの上面２６ｅとが密着するようにする。こ
れは、空間２６ｆ内に注入される樹脂が第一の保護層１
１の上面１１ａに被覆しないようにするためである。こ
れにより、第２の保：ａ層も第一の保護層とは異なる厚
みに形成できる。

以上のようにして注入孔２７がら空間２６ｆ内にエポキ
シ樹脂を注入し、加圧加熱する。

このようにして第２図（ｄ）に示すような磁気センサ９
が完成する。

以上のような磁気センサ９によれば、第一の保護層１１
だけを任意の方法により形成できるので、その厚みを薄
り設定することが可能となる。しがも、従来のようなト
ランスファー成型により保護層を形成する場合に生じて
いたピンホール等の欠陥も生じない。

この結果、外部磁界の検出感度を向上させることができ
、例えば外周にＮ、Ｓの磁極を付した回転体（図示しな
い）の回転変位を正確、がっ、感度良く検出することが
できる。

尚、本発明は、上述した実施例に限定されるものではな
く、その要旨の範囲内で種々の変形が可能であることを
付記する。

［発明の効果コ 以上詳述した本発明によれば、感磁部表面の保護層を薄
く形成できるとともに、外部磁界の検出感度の向上を図
った磁気センサ及びその製造方法の提供ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は本発明の一実施例を示す磁気センサの斜
視図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＢＢ断面図、第２図（
ａ）乃至（ｄ）は第１図に示す磁気センサの製造工程を
示す説明図、第３図は従来の磁気センサの説明図、第４
図は第３図に示す磁気センサの製造工程を示す説明図で
ある。 １０・・・第二の保護層（第一の樹脂被覆層）、１１・
・・第一の保護層（第一の樹脂被覆層）、１５・・・基
板、１６・・・感磁部。 （Ｇ） 第 図 （ｂ） 第 図 （ｄ） 第 図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板と、この基板上に形成され、外部磁界の変化
   を検出する感磁部とを備えた磁気センサにおいて、感磁
   部表面を被覆する第一の保護層と、感磁部を除く部分を
   被覆する第二の保護層とを備えたことを特徴とする磁気
   センサ。
2. （２）基板と、この基板上に形成され、外部磁界の変化
   を検出する感磁部とを備えた磁気センサにおいて、感磁
   部表面を被覆する第一の樹脂被覆層と、感磁部を除く部
   分を被覆する第二の樹脂被覆層とを備えたことを特徴と
   する磁気センサ。
3. （３）基板上に形成された外部磁界の変化を検出する感
   磁部表面に、第一の保護層を形成する工程と、この第一
   の保護層を除く部分を被覆して、第二の保護層を形成す
   る工程とを備えたことを特徴とする磁気センサの製造方
   法。