JPH02172025A - 光学式走査装置 - Google Patents
光学式走査装置Info
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- JPH02172025A JPH02172025A JP1285111A JP28511189A JPH02172025A JP H02172025 A JPH02172025 A JP H02172025A JP 1285111 A JP1285111 A JP 1285111A JP 28511189 A JP28511189 A JP 28511189A JP H02172025 A JPH02172025 A JP H02172025A
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
-
- G—PHYSICS
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
- G11B7/1381—Non-lens elements for altering the properties of the beam, e.g. knife edges, slits, filters or stops
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- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
- G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B7/0908—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for focusing only
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- G11B7/094—Methods and circuits for servo offset compensation
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は、放射反射性情報面を光学的に走査する光学式
走査装置であって、走査ビームを発生するダイオードレ
ーザと、走査ビームを情報面に走査スポットとして集束
すると共に、走査スポットを複合放射感知検出系に再結
像する対物レンズ系と、前記ダイオードレーザと対物レ
ズ系との間の放射光路中に配置され、情報面で反射した
放射ビームの一部を放射恩知検出系に向けて偏向すると
共に、偏向されたビームを、前記放射感知検出系の複数
の対応する検出器対上に形成される複数の対応する放射
スポットを構成する複数のサブビームに分割する複合回
折素子とを具え、１個の検出器対に関連する２個の検出
器間の分割線が、走査ビームの波長変化による再結像放
射スポットの変位が検出器信号にいかなる影響も及ぼさ
ないような向きに配置されている光学式走査装置に関す
るものである。
走査装置であって、走査ビームを発生するダイオードレ
ーザと、走査ビームを情報面に走査スポットとして集束
すると共に、走査スポットを複合放射感知検出系に再結
像する対物レンズ系と、前記ダイオードレーザと対物レ
ズ系との間の放射光路中に配置され、情報面で反射した
放射ビームの一部を放射恩知検出系に向けて偏向すると
共に、偏向されたビームを、前記放射感知検出系の複数
の対応する検出器対上に形成される複数の対応する放射
スポットを構成する複数のサブビームに分割する複合回
折素子とを具え、１個の検出器対に関連する２個の検出
器間の分割線が、走査ビームの波長変化による再結像放
射スポットの変位が検出器信号にいかなる影響も及ぼさ
ないような向きに配置されている光学式走査装置に関す
るものである。
（従来の技術）
二の型式の装置は光学式記録媒体に記録した情報を読取
り記録媒体に情報を書き込むのに極めて好適であり、例
えば米国特許筒４，６６５．３１０号公報から既知であ
る。この既知の装置においては、回折格子の形態をした
複合回折素子が、２個の個別の素子を必要とするような
２個の機能を果たしている。第１に、この回折格子によ
り、情報面で反射し対物レンズ系を通過した放射光を、
反射した放射光の光路中に検出系を配置できるようにダ
イオードレーザから放射した放射光の光路から回折させ
ている。第２には、回折格子によって反射ビームを、フ
ォーカシングエラー信号すなわち対物レンズの焦平面と
情報面との間の変位の大きさ及び方向に関する情報を具
える信号を発生させるために必要な２個のサブビームに
分割している。個別の検出器対を各サブビームと関連さ
せ、同一検出器対の出力信号間の差を情報面に対する走
査ビームの合焦度の目安としている。
り記録媒体に情報を書き込むのに極めて好適であり、例
えば米国特許筒４，６６５．３１０号公報から既知であ
る。この既知の装置においては、回折格子の形態をした
複合回折素子が、２個の個別の素子を必要とするような
２個の機能を果たしている。第１に、この回折格子によ
り、情報面で反射し対物レンズ系を通過した放射光を、
反射した放射光の光路中に検出系を配置できるようにダ
イオードレーザから放射した放射光の光路から回折させ
ている。第２には、回折格子によって反射ビームを、フ
ォーカシングエラー信号すなわち対物レンズの焦平面と
情報面との間の変位の大きさ及び方向に関する情報を具
える信号を発生させるために必要な２個のサブビームに
分割している。個別の検出器対を各サブビームと関連さ
せ、同一検出器対の出力信号間の差を情報面に対する走
査ビームの合焦度の目安としている。
情報は記録媒体中に情報トラックに沿って配置されてい
る。２個のサブ格子間の境界線がトラッ夕方向に平行な
場合、走査すべき情報トラックの中心線と走査スポット
との間の変位の大きさ及び方向に関する情報は、各検出
器の出力信号の和をそれぞれ決定しこれら和信号を互い
に減算することにより得られる。
る。２個のサブ格子間の境界線がトラッ夕方向に平行な
場合、走査すべき情報トラックの中心線と走査スポット
との間の変位の大きさ及び方向に関する情報は、各検出
器の出力信号の和をそれぞれ決定しこれら和信号を互い
に減算することにより得られる。
所望のビーム分割を行なうため、米国特許第４゜６６５
．３１０号による装置の回折格子は同一の格子周期を有
する２個のサブ格子を具え、第１のサブ格子の格子細条
は第１の角度で延在し、第２のサブ格子の格子細条は第
１の角度に等しく２個のサブ格子の境界線に対して反対
方向の第２の角度で延在している。回折格子は入射ビー
ムを格子ラインの方向と直交する面内に回折するから、
一方のサブ格子に入射したビーム部分は第２のサブビー
ムに入射したビーム部分とは異なる方向に回折されるこ
とになる。
．３１０号による装置の回折格子は同一の格子周期を有
する２個のサブ格子を具え、第１のサブ格子の格子細条
は第１の角度で延在し、第２のサブ格子の格子細条は第
１の角度に等しく２個のサブ格子の境界線に対して反対
方向の第２の角度で延在している。回折格子は入射ビー
ムを格子ラインの方向と直交する面内に回折するから、
一方のサブ格子に入射したビーム部分は第２のサブビー
ムに入射したビーム部分とは異なる方向に回折されるこ
とになる。
米国特許第４，６６５，３１０号に記載されているよう
に、この特許公報に開示されている回折格子の設計は、
以前に提案された複合回折格子に基いている。この回折
格子は２個のサブ格子を具え、一方のサブ格子の格子細
条は他方のサブ格子の格子細条と同一方向に延在し、２
個のサブ格子の格子周期は互いに相異している。入射ビ
ームが回折格子によって回折される角度は格子周期に依
存するので、一方のサブ格子に入射するビーム部分は他
方のサブ格子に入射するビーム部分とは異なる角度で回
折される。
に、この特許公報に開示されている回折格子の設計は、
以前に提案された複合回折格子に基いている。この回折
格子は２個のサブ格子を具え、一方のサブ格子の格子細
条は他方のサブ格子の格子細条と同一方向に延在し、２
個のサブ格子の格子周期は互いに相異している。入射ビ
ームが回折格子によって回折される角度は格子周期に依
存するので、一方のサブ格子に入射するビーム部分は他
方のサブ格子に入射するビーム部分とは異なる角度で回
折される。
（発明が解決しようとする課題）
上記回折格子を具える走査装置について満足し得る実験
結果が得られている。しかしながら、回折格子を用いる
場合走査ビームの波長変化によってフォーカシングエラ
ー信号が変化するおそれがあることが見い出されている
。この変化分はフォーカシング信号の許容公差範囲内の
ものであるが、他の変化分に対して極めて余裕が小さな
ものとなってしまう。フォーカシングエラー信号以外の
ずれは、例えば組み立て誤差、光学素子の相互間のずれ
、電子処理回路のオフセットによって発生する可能性が
ある。
結果が得られている。しかしながら、回折格子を用いる
場合走査ビームの波長変化によってフォーカシングエラ
ー信号が変化するおそれがあることが見い出されている
。この変化分はフォーカシング信号の許容公差範囲内の
ものであるが、他の変化分に対して極めて余裕が小さな
ものとなってしまう。フォーカシングエラー信号以外の
ずれは、例えば組み立て誤差、光学素子の相互間のずれ
、電子処理回路のオフセットによって発生する可能性が
ある。
広く知られているように、実際によく使用されているダ
イオードレーザから放出される放射ビームの波長λは例
えば温度変化によって変化する。
イオードレーザから放出される放射ビームの波長λは例
えば温度変化によって変化する。
さらに、同一の製造過程を用いても別々に製造されたダ
イオードレーザの波長は互いに変化するおそれがある。
イオードレーザの波長は互いに変化するおそれがある。
走査ビームの波長変化によってサブビームがサブ格子に
よって回折される角度が変化し、この結果検出器対上の
放射スポットの位置が変化してしまう。
よって回折される角度が変化し、この結果検出器対上の
放射スポットの位置が変化してしまう。
位置の変化がフォーカシングエラー信号に影響を及ぼす
のを防止するため、波長変化による放射スポットの変位
が各検出器対の分割線に沿って生ずるように分割線を配
置することが提案されている。
のを防止するため、波長変化による放射スポットの変位
が各検出器対の分割線に沿って生ずるように分割線を配
置することが提案されている。
米国特許第４，６６５．３１０号に記載されている装置
においては、分割線を有効に利用している。すなわち、
複合回折格子にビームが入射したとき、分割線は関連す
る回折格子の格子線と直交する方向に延在している。検
出器対が対物レンズ系の光軸の一方の側であって光軸と
直交しダイオードレーザの放射放出面と一致し又は平行
な面内に位置する場合、検出器対の分割線は、２組の検
出器対の中心とダイオードレーザの放射放出面とを結ぶ
ラインに対して等しい大きさで反対向きの角度（＋ψ、
−ψ）を以て延在している。このような構成は、サブ格
子が異なる格子周期を有し２個のサブ格子の格子細条の
方向が等しい回折格子を具える装置にも適用することが
できる。
においては、分割線を有効に利用している。すなわち、
複合回折格子にビームが入射したとき、分割線は関連す
る回折格子の格子線と直交する方向に延在している。検
出器対が対物レンズ系の光軸の一方の側であって光軸と
直交しダイオードレーザの放射放出面と一致し又は平行
な面内に位置する場合、検出器対の分割線は、２組の検
出器対の中心とダイオードレーザの放射放出面とを結ぶ
ラインに対して等しい大きさで反対向きの角度（＋ψ、
−ψ）を以て延在している。このような構成は、サブ格
子が異なる格子周期を有し２個のサブ格子の格子細条の
方向が等しい回折格子を具える装置にも適用することが
できる。
分割線を斜めに形成した複合検出器を用いる場合、２組
検出器対の中心とダイオードレーザの放射放出面の中心
との間の境界線に沿って測定した距離は高精度に調整す
る必要がある。
検出器対の中心とダイオードレーザの放射放出面の中心
との間の境界線に沿って測定した距離は高精度に調整す
る必要がある。
本発明の目的は、冒頭部で述べた型式の走査装置におい
て、波長変化が正しく補正されると共に、光学系の位置
及びパラメータに対して広い許容公差が得られる走査装
置を提供するものである。
て、波長変化が正しく補正されると共に、光学系の位置
及びパラメータに対して広い許容公差が得られる走査装
置を提供するものである。
（発明の概要）
本発明による光学式走査装置は０、前記検出器対の分割
線を前記レーザダイオードの放射放出面の中心と複合放
射感知検出系の中心とを結ぶラインにほぼ平行にしたこ
とを特徴とする特 本発明は光学式走査装置に関する新規な設計概念に基く
ものである。従来の走査装置では、はじめに複合検出器
以外の構成素子の位置及びパラメータに関する形態を選
択し、その後複合検出器の形態、特に分割線の角度を波
長変化が補正されるように設定していた。これに対して
、本発明による走査装置では、はじめに所定の形態の複
合検出器を設定し、走査装置を一旦組み立てる。この場
合、検出器は波長変化及び位置精度について最良の状態
にする。その後、他のパラメータ特に種々の光学素子の
位置について、複合検出器によってもたらされる広い公
差を利用して走査装置を組み上げる。
線を前記レーザダイオードの放射放出面の中心と複合放
射感知検出系の中心とを結ぶラインにほぼ平行にしたこ
とを特徴とする特 本発明は光学式走査装置に関する新規な設計概念に基く
ものである。従来の走査装置では、はじめに複合検出器
以外の構成素子の位置及びパラメータに関する形態を選
択し、その後複合検出器の形態、特に分割線の角度を波
長変化が補正されるように設定していた。これに対して
、本発明による走査装置では、はじめに所定の形態の複
合検出器を設定し、走査装置を一旦組み立てる。この場
合、検出器は波長変化及び位置精度について最良の状態
にする。その後、他のパラメータ特に種々の光学素子の
位置について、複合検出器によってもたらされる広い公
差を利用して走査装置を組み上げる。
本発明は、回折素子が複数のサブ格子を具える回折格子
で構成される走査装置に利用することができる。
で構成される走査装置に利用することができる。
サブ格子は直線状の格子細条及び一定の格子周期を有す
ることができる。
ることができる。
一方、本発明による走査装置は、格子周期が変化すると
共に格子細条が湾曲したサブ格子を具えることもできる
。
共に格子細条が湾曲したサブ格子を具えることもできる
。
格子周期が変化する回折格子を用いる場合、フォトダイ
オードの形態をした検出器に対するダイオードレーザの
位置決め精度について厳格な要件を課す必要がなくなる
。この作用効果は、対物レンズ系の光軸に沿って測った
装置の高さを低くする必要がある場合特に重要となる。
オードの形態をした検出器に対するダイオードレーザの
位置決め精度について厳格な要件を課す必要がなくなる
。この作用効果は、対物レンズ系の光軸に沿って測った
装置の高さを低くする必要がある場合特に重要となる。
さらに、湾曲した格子細条を有する回折格子を用いる場
合、複合回折格子の曲率を適切に適合させることにより
、直線状の格子細条を有する回折格子を用いる場合に発
生するコマ収差や非点収差のような結像収差を補正する
ことができる。
合、複合回折格子の曲率を適切に適合させることにより
、直線状の格子細条を有する回折格子を用いる場合に発
生するコマ収差や非点収差のような結像収差を補正する
ことができる。
本発明による光学式走査装置の好適実施例は、２個のサ
ブ格子が同一の平均格子周期を有し、第１のサブ回折格
子の格子細条の延在方向が、２個のサブ格子の境界線に
対して第１の角度をなし、第２のサブ回折格子の格子細
条の延在方向が上記境界線に対して反対向きの第２の角
度をなし、前記検出器対を、前記境界線の延在方向と直
交する方向に並置したことを特徴とする。
ブ格子が同一の平均格子周期を有し、第１のサブ回折格
子の格子細条の延在方向が、２個のサブ格子の境界線に
対して第１の角度をなし、第２のサブ回折格子の格子細
条の延在方向が上記境界線に対して反対向きの第２の角
度をなし、前記検出器対を、前記境界線の延在方向と直
交する方向に並置したことを特徴とする。
本発明による光学式走査装置の第２実施例は、一方のサ
ブ回折格子の格子細条の延在方向を他方のサブ回折格子
の格子細条の延在方向と同一のものとし、２個のサブ回
折格子の平均格子周期を互いに相異させ、前記検出器対
をサブ回折格子間の境界線に平行な方向に並置し、検出
器対の分割線を前記接続ライン上に位置させたことを特
徴とする。
ブ回折格子の格子細条の延在方向を他方のサブ回折格子
の格子細条の延在方向と同一のものとし、２個のサブ回
折格子の平均格子周期を互いに相異させ、前記検出器対
をサブ回折格子間の境界線に平行な方向に並置し、検出
器対の分割線を前記接続ライン上に位置させたことを特
徴とする。
この実施例は完全なものではないが、走査ビームの波長
の変化を広い範囲に亘って補正でき、この補正範囲は現
在の状況において十分なものである。完全な補正を行な
う場合、検出器対の分割線を前記接続線に対して互いに
等しく０．１°程度反対向きに傾斜させる必要がある。
の変化を広い範囲に亘って補正でき、この補正範囲は現
在の状況において十分なものである。完全な補正を行な
う場合、検出器対の分割線を前記接続線に対して互いに
等しく０．１°程度反対向きに傾斜させる必要がある。
この程度の傾斜は、検出器対の分割線が接続線にほぼ平
行であると考えられる範囲内にあるものと考えられる。
行であると考えられる範囲内にあるものと考えられる。
本発明による光学式走査装置の第３実施例は、第１のサ
ブ回折格子の格子細条が第１の角度で延在し、第２のサ
ブ回折格子の格子細条が、サブ回折格子間の境界線に対
して反対向きの第２の角度で延在し、２個のサブ回折格
子の平均格子周期が互いに相異し、検出器対が、前記境
界線に平行な方向及び境界線と直交する方向の両方にお
いて互いに異なる位置を占めることを特徴とする。
ブ回折格子の格子細条が第１の角度で延在し、第２のサ
ブ回折格子の格子細条が、サブ回折格子間の境界線に対
して反対向きの第２の角度で延在し、２個のサブ回折格
子の平均格子周期が互いに相異し、検出器対が、前記境
界線に平行な方向及び境界線と直交する方向の両方にお
いて互いに異なる位置を占めることを特徴とする。
（実施例）
第１図において、放射光を反射する情報面２を具える光
学式記録媒体１をその接線方向断面として示す。この第
１図は情報面２内に位置するトラック３を示す。このト
ラックは情報区域３ａと中間区域３ｂとを交互に有して
いる。情報区域３ａは、例えば中間区域３ｂとは異なる
高さに位置させることができる。情報面２をダイオード
レーザ４から放射したビームｂによって走査する。この
ビームは、単レンズ６として線図的に示す対物レンズ系
６により情報面内で微小スポット■に集束する。対物レ
ンズ系６は、第１図に示すようにコリメータレンズを一
体的に組み込むこともできる。或いは、独立したコリメ
ータレンズを対物レンズ系の前面に配置することもでき
る。記録媒体ｌは光軸００′に平行な軸８を中心にして
回転し、従ってトラッり３は走査され読取ビームは１へ
ラックに含まれる情報によって変調されることになる。
学式記録媒体１をその接線方向断面として示す。この第
１図は情報面２内に位置するトラック３を示す。このト
ラックは情報区域３ａと中間区域３ｂとを交互に有して
いる。情報区域３ａは、例えば中間区域３ｂとは異なる
高さに位置させることができる。情報面２をダイオード
レーザ４から放射したビームｂによって走査する。この
ビームは、単レンズ６として線図的に示す対物レンズ系
６により情報面内で微小スポット■に集束する。対物レ
ンズ系６は、第１図に示すようにコリメータレンズを一
体的に組み込むこともできる。或いは、独立したコリメ
ータレンズを対物レンズ系の前面に配置することもでき
る。記録媒体ｌは光軸００′に平行な軸８を中心にして
回転し、従ってトラッり３は走査され読取ビームは１へ
ラックに含まれる情報によって変調されることになる。
記録媒体ｌを回転させ読取ヘッドを径方向に移動するこ
とにより情報面全体が読取られる。読取ヘッドは光源４
、対物レンズ系６及び検出系１０を具えている。
とにより情報面全体が読取られる。読取ヘッドは光源４
、対物レンズ系６及び検出系１０を具えている。
情報面で反射され変調されたビームを検出するため、反
射ビームを記録媒体に向けて入射する入射ビームと分離
する必要がある。このため、本走査装置はビーム分離素
子を具える。
射ビームを記録媒体に向けて入射する入射ビームと分離
する必要がある。このため、本走査装置はビーム分離素
子を具える。
例えば１μｍ程度の微小情報細部を有する情報構造体を
読み取るため、大きな開口数の対物レンズ系が必要にな
る。一方間口数の大きい対物レンズ系の焦点深度は浅い
ものである。情報面２と対物レンズ系６との間の変位は
焦点深度よりも大きくなるおそれがあるため、この変位
を検出し検出した変位に応じてフォーカシング補正する
必要がある。この目的を達成するため、本走査装置は反
射ビームを２本のサブビームにｌｉするヒームスブリツ
タと２＆ｌＩの検出器対を設け、第１の検出器対に第１
のサブビームを入射させ、第２の検出器対には第２のサ
ブビームを入射させる。これら検出器の出力信号を信号
処理してフォーカスサーボ信号を形成する。
読み取るため、大きな開口数の対物レンズ系が必要にな
る。一方間口数の大きい対物レンズ系の焦点深度は浅い
ものである。情報面２と対物レンズ系６との間の変位は
焦点深度よりも大きくなるおそれがあるため、この変位
を検出し検出した変位に応じてフォーカシング補正する
必要がある。この目的を達成するため、本走査装置は反
射ビームを２本のサブビームにｌｉするヒームスブリツ
タと２＆ｌＩの検出器対を設け、第１の検出器対に第１
のサブビームを入射させ、第２の検出器対には第２のサ
ブビームを入射させる。これら検出器の出力信号を信号
処理してフォーカスサーボ信号を形成する。
１９８０年１２月１５日に発行された雑誌゛′ノイエス
アウス デル テクニク゛°に記載されている文献“″
オプティシェ フォクス フェルプラクジョン゛で述べ
られているように、ビーム分離及びビーム分割は単一の
素子すなわち透明回折格子で行なうことができる。この
回折格子は、情報面２で反射され対物レンズ系６を通過
するビームを非回折零次サブビーム、複数の１次サブビ
ーム及び高次のサブビームに分離する。これらサブビー
ムのうちの１個のビーム、好ましくは１次サブビームを
放射感知検出系１０に入射させフォーカシングエラー信
号を発生させるために用いる。格子パラメータ、特に格
子溝の幅と格子溝間の中間区域の幅との比並びに格子溝
の深さ及び形状を適切に選択して、放射光の最大量を検
出系１０に入射させる。
アウス デル テクニク゛°に記載されている文献“″
オプティシェ フォクス フェルプラクジョン゛で述べ
られているように、ビーム分離及びビーム分割は単一の
素子すなわち透明回折格子で行なうことができる。この
回折格子は、情報面２で反射され対物レンズ系６を通過
するビームを非回折零次サブビーム、複数の１次サブビ
ーム及び高次のサブビームに分離する。これらサブビー
ムのうちの１個のビーム、好ましくは１次サブビームを
放射感知検出系１０に入射させフォーカシングエラー信
号を発生させるために用いる。格子パラメータ、特に格
子溝の幅と格子溝間の中間区域の幅との比並びに格子溝
の深さ及び形状を適切に選択して、放射光の最大量を検
出系１０に入射させる。
第２図は本発明による放射感知検出系１０及び関連する
回折格子を斜視的上面図として示す。ビームｂは、回折
格子９の領域においてその断面として示す。この回折格
子９はライン１１により互いに分離された２個のサブ格
子１２及び１３を有している。
回折格子を斜視的上面図として示す。ビームｂは、回折
格子９の領域においてその断面として示す。この回折格
子９はライン１１により互いに分離された２個のサブ格
子１２及び１３を有している。
サブ格子の格子細条を符号１４及び１５でそれぞれ示す
。これらの格子細条を中間細条１６及び１７により分離
する。本例において、サブ格子は同一の格子周期を有し
ている。しかし、サブ格子１２の好ましくは湾曲した格
子細条１４は境界線１１に対して第１の角度を以て延在
し、−力筒２のサブ格子１３の湾曲した格子細条１５は
好ましくは第１の角度と等しい角度であって境界線１１
に対して反対向きの角度で延在する。サブビームの大部
分は、上記格子細条の延在方向と直交する方向に回折さ
れる。格子細条の延在方向が相異するため、サブビーム
ｂ、及びｂ２はＸＺ面内で異なる角度で回折する。すな
わち、検出器面ＸＹ面内において、放射スポットν１及
びν２はＸ方向に互いに変位する。第２図等において、
符号Ｘ、Ｙ及びＺは、原点Ｏがダイオードレーザの放射
光放出面の中心と一層する座標系の座標軸である。
。これらの格子細条を中間細条１６及び１７により分離
する。本例において、サブ格子は同一の格子周期を有し
ている。しかし、サブ格子１２の好ましくは湾曲した格
子細条１４は境界線１１に対して第１の角度を以て延在
し、−力筒２のサブ格子１３の湾曲した格子細条１５は
好ましくは第１の角度と等しい角度であって境界線１１
に対して反対向きの角度で延在する。サブビームの大部
分は、上記格子細条の延在方向と直交する方向に回折さ
れる。格子細条の延在方向が相異するため、サブビーム
ｂ、及びｂ２はＸＺ面内で異なる角度で回折する。すな
わち、検出器面ＸＹ面内において、放射スポットν１及
びν２はＸ方向に互いに変位する。第２図等において、
符号Ｘ、Ｙ及びＺは、原点Ｏがダイオードレーザの放射
光放出面の中心と一層する座標系の座標軸である。
放射感知検出系は分割綿２２及び２３によって分割され
たフォトダイオード１８．１９及び２０．２１で構成し
、これらフォトダイオードはサブビームｂ１及びｂ２の
各々とそれぞれ協働する。これら検出器を適切に配置し
、情報面２上のビームｂが正しいフォーカシング状態に
ある場合サブビームｂ、及びｂ２によって形成される放
射スボッ）ｖ＋及びＶ！の強度分布が検出器１８．１９
及び２０．２１に対して互いに対称になるように構成す
る。フォーカシングエラーが発生した場合、第３ａ図及
び第３ｂ図に示すように放射スポットν１及びＶ！は非
対称の程度が一層大きくなる。この第３ａ図及び第３ｂ
図は既知の複合検出器を示し、この検出器において、分
割線２２及び２３が、原点０と複合検出器１０の中心と
の間の接続線ＣＬに対してそれぞれ角度十ψ及び−ψを
以て延在し、この接続線は第２図及び第３図における検
出器対１８、１９と２０．２１との間の分割線２４と一
層する。第３ａ図はビームの焦点が情報面２の前側面内
にある状態を示し、−力筒３ｂ図はビームｂが情報面の
後側面内にある状態を示す。
たフォトダイオード１８．１９及び２０．２１で構成し
、これらフォトダイオードはサブビームｂ１及びｂ２の
各々とそれぞれ協働する。これら検出器を適切に配置し
、情報面２上のビームｂが正しいフォーカシング状態に
ある場合サブビームｂ、及びｂ２によって形成される放
射スボッ）ｖ＋及びＶ！の強度分布が検出器１８．１９
及び２０．２１に対して互いに対称になるように構成す
る。フォーカシングエラーが発生した場合、第３ａ図及
び第３ｂ図に示すように放射スポットν１及びＶ！は非
対称の程度が一層大きくなる。この第３ａ図及び第３ｂ
図は既知の複合検出器を示し、この検出器において、分
割線２２及び２３が、原点０と複合検出器１０の中心と
の間の接続線ＣＬに対してそれぞれ角度十ψ及び−ψを
以て延在し、この接続線は第２図及び第３図における検
出器対１８、１９と２０．２１との間の分割線２４と一
層する。第３ａ図はビームの焦点が情報面２の前側面内
にある状態を示し、−力筒３ｂ図はビームｂが情報面の
後側面内にある状態を示す。
検出器１８．１９．２０及び２１の出力信号を５ｉ１１
．５１９Ｓ２゜及びＳＫ＋でそれぞれ示すと、フォーカ
シングエラー信号Ｓ、は次式で与えられる。
．５１９Ｓ２゜及びＳＫ＋でそれぞれ示すと、フォーカ
シングエラー信号Ｓ、は次式で与えられる。
Ｓ ｔ ” Ｓ ＋ ｓ ＋ Ｓ Ｉ ９ ＋Ｓ ｚ
ｏ ＋ Ｓ ｔ ＋２個のサブ格子１２及び１３の境界
線１１が読取られるトラック３の方向に平行に延在する
場合、検出器の出力信号からトラッキングエラー信号Ｓ
、も発生させることができる。このトラッキングエラー
信号Ｓｒは次式で与えられる。
ｏ ＋ Ｓ ｔ ＋２個のサブ格子１２及び１３の境界
線１１が読取られるトラック３の方向に平行に延在する
場合、検出器の出力信号からトラッキングエラー信号Ｓ
、も発生させることができる。このトラッキングエラー
信号Ｓｒは次式で与えられる。
れ＝ （Ｓｌｌｌ＋５１９） （Ｓ２゜＋Ｓｔ＋）複
合格子の形態及び走査ビームの波長を互いに適切に適合
させ、走査ビームの集束する面が情報面２と一致する場
合サブビームｂ１及びｂ２がフォトダイオード１８．１
９．２０及び２１の分割線上に集束するように適合させ
る。この場合、放射スポットＶ。
合格子の形態及び走査ビームの波長を互いに適切に適合
させ、走査ビームの集束する面が情報面２と一致する場
合サブビームｂ１及びｂ２がフォトダイオード１８．１
９．２０及び２１の分割線上に集束するように適合させ
る。この場合、放射スポットＶ。
及びｖ２の大きさが最小になると共に、各スポットの強
度分布が関連する検出器対に対して対称になる。
度分布が関連する検出器対に対して対称になる。
走査ビームの波長が変化すると、サブビームがサブ格子
によって回折される角度が変化する。すなわち、各サブ
ビームについてサブビームの主光線が関連するフォトダ
イオード対に入射する位置が変位する。この主光線の変
位がフォーカシングエラー信号に影響を及ぼさないよう
にするため、既知の走査装置ではこの変位が検出器対の
分割線２２及び２３に沿って生ずるように構成している
。以前に提案された実施例においては、第３ａ図及び第
３ｂ図に示すように分割線２２及び２３は、Ｍ点と０点
との間を結ぶ接続線に対して光軸ＯＯ′において互いに
交差するような角度子ψ及び−ψを以てそれぞれ延在す
る。図面を明瞭なものとするため、図面上角度ψを拡大
して示す。複合検出器面がダイオード４の放射光放出面
（ＸＹ）と−敗すれば、これらの分割線は０点で互いに
交差する。
によって回折される角度が変化する。すなわち、各サブ
ビームについてサブビームの主光線が関連するフォトダ
イオード対に入射する位置が変位する。この主光線の変
位がフォーカシングエラー信号に影響を及ぼさないよう
にするため、既知の走査装置ではこの変位が検出器対の
分割線２２及び２３に沿って生ずるように構成している
。以前に提案された実施例においては、第３ａ図及び第
３ｂ図に示すように分割線２２及び２３は、Ｍ点と０点
との間を結ぶ接続線に対して光軸ＯＯ′において互いに
交差するような角度子ψ及び−ψを以てそれぞれ延在す
る。図面を明瞭なものとするため、図面上角度ψを拡大
して示す。複合検出器面がダイオード４の放射光放出面
（ＸＹ）と−敗すれば、これらの分割線は０点で互いに
交差する。
分割線が接続線ＣＬに対して角度ψで延在する場合、Ｙ
方向における複合検出器の位置を正確に調整する必要が
ある。点Ｍと点Ｏとの間の距離が変化すると、放射スボ
ッ）Ｌ及びｖ２に対する分割線の位置も変化してしまい
、この変化によってフォーカシングエラー信号が影響を
受けることになる。
方向における複合検出器の位置を正確に調整する必要が
ある。点Ｍと点Ｏとの間の距離が変化すると、放射スボ
ッ）Ｌ及びｖ２に対する分割線の位置も変化してしまい
、この変化によってフォーカシングエラー信号が影響を
受けることになる。
湾曲した格子細条を具える複合回折格子９を用いる場合
、放射スポットｖ１及びｖ２の位置はこの複合回折格子
を変位させることにより補正することができるが、この
補正は制限された範囲に亘ってだけしか行なうことがで
きないのが実情である。
、放射スポットｖ１及びｖ２の位置はこの複合回折格子
を変位させることにより補正することができるが、この
補正は制限された範囲に亘ってだけしか行なうことがで
きないのが実情である。
さらに、斜めに延在する分割線を具える複合検出器１０
を用いる場合、例えば不所望な反射によって装置内で発
生するおそれのある迷光が種々の検出器信号に異なる態
様で影響を及ぼすおそれがあり、この結果取り出したフ
ォーカシングエラー信号が迷光によ）て影響を受けてし
まう。この迷光ビームは、例えば第３ａ図に破線で示す
円弧ＳＬで図示されるように複合検出器１０の左側の部
分に実際に入射する。検出器の円弧ＳＬ内に位置する部
分は検出器毎に大きさが異なるので、検出器の出力信号
に対する迷光の影響は検出器毎に相違してしまう。
を用いる場合、例えば不所望な反射によって装置内で発
生するおそれのある迷光が種々の検出器信号に異なる態
様で影響を及ぼすおそれがあり、この結果取り出したフ
ォーカシングエラー信号が迷光によ）て影響を受けてし
まう。この迷光ビームは、例えば第３ａ図に破線で示す
円弧ＳＬで図示されるように複合検出器１０の左側の部
分に実際に入射する。検出器の円弧ＳＬ内に位置する部
分は検出器毎に大きさが異なるので、検出器の出力信号
に対する迷光の影響は検出器毎に相違してしまう。
さらに、検出器対１８．１９及び２０．２１の分割線が
検出器の大きさが相違するように形成されている場合、
フォーカシングエラーの関数としてフォーカシングエラ
ー信号の変化を表わす曲線において合焦状態に対応する
第１の零が発生するばかりでな（、合焦状態に対応しな
い第２の零も生ずるおそれがある。従って、走査装置の
フォーカスサーボ系が走査ビームの焦点を情報面２の前
側又は後側に調整する危険性がある。
検出器の大きさが相違するように形成されている場合、
フォーカシングエラーの関数としてフォーカシングエラ
ー信号の変化を表わす曲線において合焦状態に対応する
第１の零が発生するばかりでな（、合焦状態に対応しな
い第２の零も生ずるおそれがある。従って、走査装置の
フォーカスサーボ系が走査ビームの焦点を情報面２の前
側又は後側に調整する危険性がある。
本発明においては、第２図及び第４図に示す検出器形態
を用いる。
を用いる。
第４図の複合検出器１０において、角度ψはほぼ零にす
る。すなわち、分割線２２及び２３を互いに平行にする
と共に分割線２４及び接続線ＣＬに対しても平行にする
。この結果、点Ｍと点Ｏとの間の距離ＹＬについてあま
り厳格な要件を課す必要がなくなる。さらに、複合検出
器１０のＹ軸に対する傾きについてもあまり影響を受け
ないことになる。
る。すなわち、分割線２２及び２３を互いに平行にする
と共に分割線２４及び接続線ＣＬに対しても平行にする
。この結果、点Ｍと点Ｏとの間の距離ＹＬについてあま
り厳格な要件を課す必要がなくなる。さらに、複合検出
器１０のＹ軸に対する傾きについてもあまり影響を受け
ないことになる。
第４図において、符号Ｗは複合検出器の全幅を示し符号
Ｓは検出器面における放射スポットＶ＋とり２との間の
見掛上の距離を示す。見掛上の距離Ｓは、走査ビームが
情報面２上に鋭く集束した場合に放射スポットｖＩ及び
ｖ２によって占められる位置間の距離である。２組の検
出器対１８．１９と２０．２１とは互いに対向して配置
でき、或いは第４図及び第２図にそれぞれ示すように間
隔を以て配置することもできる。複合検出器１０の設計
において以下の考えが適用される。
Ｓは検出器面における放射スポットＶ＋とり２との間の
見掛上の距離を示す。見掛上の距離Ｓは、走査ビームが
情報面２上に鋭く集束した場合に放射スポットｖＩ及び
ｖ２によって占められる位置間の距離である。２組の検
出器対１８．１９と２０．２１とは互いに対向して配置
でき、或いは第４図及び第２図にそれぞれ示すように間
隔を以て配置することもできる。複合検出器１０の設計
において以下の考えが適用される。
最良の検出器信号を得るため、各検出器を同一の大きさ
とすることが望ましい。検出器対を互いに対向して配置
する場合、Ｗ＝２５となる。Ｗ及びＳの値は種々の検討
の結果に基いて定められる。
とすることが望ましい。検出器対を互いに対向して配置
する場合、Ｗ＝２５となる。Ｗ及びＳの値は種々の検討
の結果に基いて定められる。
検出器の幅はできるだけ小さくして複合検出器に入射す
る迷光の量を最小にする必要がある。またＷは、フォー
カシングエラー検出系が最大の検出範囲が得られるよう
にできるだけ大きくする必要がある。Ｓの値は小さすぎ
ないようにする必要がある。けだし、放射スポットｖＩ
とｖ２との間で干渉現象が生ずるおそれがあるためであ
る。実際には、これらの放射スポットは点状にシャープ
に規定されたスポットであるが、その強度は中心部から
外縁部に向けて弱くなっている。他方において、Ｓの値
は大きすぎてはならない。けだし、例えば回折格子９の
ような光学素子の例えばＸ及びＹ方向の変位によって収
差が発生し、フォーカシングエラー信号曲線の零付近の
傾きがより小さくなるおそれがある。
る迷光の量を最小にする必要がある。またＷは、フォー
カシングエラー検出系が最大の検出範囲が得られるよう
にできるだけ大きくする必要がある。Ｓの値は小さすぎ
ないようにする必要がある。けだし、放射スポットｖＩ
とｖ２との間で干渉現象が生ずるおそれがあるためであ
る。実際には、これらの放射スポットは点状にシャープ
に規定されたスポットであるが、その強度は中心部から
外縁部に向けて弱くなっている。他方において、Ｓの値
は大きすぎてはならない。けだし、例えば回折格子９の
ような光学素子の例えばＸ及びＹ方向の変位によって収
差が発生し、フォーカシングエラー信号曲線の零付近の
傾きがより小さくなるおそれがある。
平行な分割線を有する複合検出器を用いる場合以下の利
点がある。すなわち、必要な精度を以て容易に製造でき
、特に傾斜した分割線を有する検出器と比べて距離Ｓに
ついて高精度なものとすることができる。
点がある。すなわち、必要な精度を以て容易に製造でき
、特に傾斜した分割線を有する検出器と比べて距離Ｓに
ついて高精度なものとすることができる。
第５図はψ＝０に選択した場合のパラメータを示し、パ
ラメータを適切に選択することにより所望の最良の状態
を得ることができる。第５図において、ダイオードレー
ザ４の放射放出面の中心はＸＹＺ座標系の原点に位置す
るものと考える。Ｙ。
ラメータを適切に選択することにより所望の最良の状態
を得ることができる。第５図において、ダイオードレー
ザ４の放射放出面の中心はＸＹＺ座標系の原点に位置す
るものと考える。Ｙ。
及びＺ４は、検出器の中心Ｍと原点０との間のＹ及びＺ
方向の距離である。原理的に、これらの距離は自由に選
択できる。実際にはレーザダイオードとフォトダイオー
ドとの組み合せが広く用いられ、これらの素子は１個の
ブロック上に装着されるので、Ｙ、及びＺ、の選択には
制約が課せられる。好ましくは、回折格子９をＸ軸及び
Ｙ軸に沿って変位させると共にＺ軸を中心にして回転さ
せ、この回折格子により放射スポットＶＩ及びｖ２が複
合検出器１０上で所望の位置を占めることができる。
方向の距離である。原理的に、これらの距離は自由に選
択できる。実際にはレーザダイオードとフォトダイオー
ドとの組み合せが広く用いられ、これらの素子は１個の
ブロック上に装着されるので、Ｙ、及びＺ、の選択には
制約が課せられる。好ましくは、回折格子９をＸ軸及び
Ｙ軸に沿って変位させると共にＺ軸を中心にして回転さ
せ、この回折格子により放射スポットＶＩ及びｖ２が複
合検出器１０上で所望の位置を占めることができる。
第６図は本発明による走査装置の第２実施例を示す。２
個のサブ格子１２及び１３の好適に湾曲した格子細条の
主方向は境界線１１に向けてそれぞれ同一の角度を以て
延在し、一方２個のサブ格子の平均格子周期は互いに相
異している。従って、サブビームｂ２がＹＺ面内で回折
される角度は、サブビームｂ、の回折角とは相異してい
る。従って、放射スポットν１及びｖ２は検出器のｘＹ
面内のＹ方向において互いに変位する。
個のサブ格子１２及び１３の好適に湾曲した格子細条の
主方向は境界線１１に向けてそれぞれ同一の角度を以て
延在し、一方２個のサブ格子の平均格子周期は互いに相
異している。従って、サブビームｂ２がＹＺ面内で回折
される角度は、サブビームｂ、の回折角とは相異してい
る。従って、放射スポットν１及びｖ２は検出器のｘＹ
面内のＹ方向において互いに変位する。
動作に関して、第６図に示す走査装置は第２図に示す走
査装置と類似しているから、その説明は省略する。
査装置と類似しているから、その説明は省略する。
第６図の検出器の分割線２２及び２３が互いに平行な場
合（ψ＝０）、本発明で提案されているようにフォーカ
シングエラー信号は、実際に受は入れることができる範
囲において走査ビームの波長変化に依存しない。この波
長依存性をさらに減少させることを望む場合、第７図に
示すように分割線２２及び２３を、点Ｍと原点０とを結
ぶ接続線ＣＬに対して０．１゜程度の微小角ψ１を以て
位置させることができる。この角度ψ１は極めて微小な
角度であるから、この程度の角度は本発明の範囲内のも
のである。
合（ψ＝０）、本発明で提案されているようにフォーカ
シングエラー信号は、実際に受は入れることができる範
囲において走査ビームの波長変化に依存しない。この波
長依存性をさらに減少させることを望む場合、第７図に
示すように分割線２２及び２３を、点Ｍと原点０とを結
ぶ接続線ＣＬに対して０．１゜程度の微小角ψ１を以て
位置させることができる。この角度ψ１は極めて微小な
角度であるから、この程度の角度は本発明の範囲内のも
のである。
回折格子の効率、すなわち所望の方向に回折された放射
光の量の回折格子に入射した全放射光に対する割合は特
に格子周期に依存するから、第２図に示す複合回折格子
は第６図又は第７図の回折格子よりも望ましいものとい
える。実際に第６図又は第７図のサブ格子の格子周期は
等しくないため、サブビームの強度は同一にならず、こ
の結果トラッキングエラー信号にオフセントが発生する
おそれがある。この種のオフセットは、第２図の回折格
子を用いる走査装置では発生しない。
光の量の回折格子に入射した全放射光に対する割合は特
に格子周期に依存するから、第２図に示す複合回折格子
は第６図又は第７図の回折格子よりも望ましいものとい
える。実際に第６図又は第７図のサブ格子の格子周期は
等しくないため、サブビームの強度は同一にならず、こ
の結果トラッキングエラー信号にオフセントが発生する
おそれがある。この種のオフセットは、第２図の回折格
子を用いる走査装置では発生しない。
第８図は本発明による走査装置の第３実施例を示す。同
様に回折格子９は２個のサブ格子１２及び１３を具える
。しかしながら、これら２個のサブ格了の格子周期及び
好適に湾曲した格子細条の主方向は互いに相異する。こ
の回折格子の作用は、第２の回折格子と第６図の回折格
子を結合したものと考えられる。従って、サブビームｂ
、は第８図の回折格子によってｘＺ面及びＹｚ面内でサ
ブビームｂ２とは異なる角度で回折される。複合検出器
１０の面ｚＹにおいて、放射スポットｖ、及びν２はＸ
方向及びＹ方向に互いに変位する。検出器対１８．１９
及び２０゜２１も同様にＸ方向及びＹ方向で互いに変位
して配置するのは勿論である。本発明によれば、分割線
２２及び２３は互いに平行であるが、この走査装置は走
査ビームｂの波長変化について満足し得る程度に補正さ
れる。
様に回折格子９は２個のサブ格子１２及び１３を具える
。しかしながら、これら２個のサブ格了の格子周期及び
好適に湾曲した格子細条の主方向は互いに相異する。こ
の回折格子の作用は、第２の回折格子と第６図の回折格
子を結合したものと考えられる。従って、サブビームｂ
、は第８図の回折格子によってｘＺ面及びＹｚ面内でサ
ブビームｂ２とは異なる角度で回折される。複合検出器
１０の面ｚＹにおいて、放射スポットｖ、及びν２はＸ
方向及びＹ方向に互いに変位する。検出器対１８．１９
及び２０゜２１も同様にＸ方向及びＹ方向で互いに変位
して配置するのは勿論である。本発明によれば、分割線
２２及び２３は互いに平行であるが、この走査装置は走
査ビームｂの波長変化について満足し得る程度に補正さ
れる。
回折素子を用いて情報面で反射されたビームとダイオー
ドレーザから放出されたビームとを分離すると共に反射
ビームを複数のサブビームに分割するいかなるフォーカ
シングエラー検出装置にも本発明を適用することができ
る。実際に、２個のサブ格子によって形成された２個の
サブビームはその大部分が有効に利用される。現状では
、２個以上のサブ格子を有する複合回折格子を用いて２
本以上のサブビームを形成することが望ましい。
ドレーザから放出されたビームとを分離すると共に反射
ビームを複数のサブビームに分割するいかなるフォーカ
シングエラー検出装置にも本発明を適用することができ
る。実際に、２個のサブ格子によって形成された２個の
サブビームはその大部分が有効に利用される。現状では
、２個以上のサブ格子を有する複合回折格子を用いて２
本以上のサブビームを形成することが望ましい。
これらサブビームと関連する検出器対の各々について本
発明による技術思想を適用することができる。サブ格子
は直線状の格子線を有するものとすることができ、並び
に一定の格子周期を有するものとすることができる。一
方、第２図、第６図及び第８図の実施例に示されるホロ
グラムと称せられている型式の回折格子を用いることも
できる。
発明による技術思想を適用することができる。サブ格子
は直線状の格子線を有するものとすることができ、並び
に一定の格子周期を有するものとすることができる。一
方、第２図、第６図及び第８図の実施例に示されるホロ
グラムと称せられている型式の回折格子を用いることも
できる。
これらのサブ格子は可変の格子周期を有し、この周期変
化は例えば平均格子周期の数パーセント程度とする。さ
らに、２個のサブ格子の格子細条は、第２図、第６図及
び第８図に示すように湾曲させる。従って、これらサブ
格子は可変レンズとして作用する。格子周期が変化する
ことにより、回折格子９を変位させることにより放射ス
ポットν１及びＶｔの位置を変化させることができる。
化は例えば平均格子周期の数パーセント程度とする。さ
らに、２個のサブ格子の格子細条は、第２図、第６図及
び第８図に示すように湾曲させる。従って、これらサブ
格子は可変レンズとして作用する。格子周期が変化する
ことにより、回折格子９を変位させることにより放射ス
ポットν１及びＶｔの位置を変化させることができる。
境界線１１と直交する方向の収差は、格子細条に曲率を
もたせることにより最小のものとすることができる。
もたせることにより最小のものとすることができる。
集積化されたレーザフォトダイオードユニットを用いる
場合、すなわちレーザダイオードとフォトダイオードと
が１個の支持部材に支持され互いに固定されてＺ方向に
固定された相互間距離を有する場合、放射スポットｖ＋
及びｖ２の位置が移動する可能性があることは特に重要
である。この相互間距離は製造公差によって支配され走
査装置に組み込んだ後はレーザダイオードに対してフォ
トダイオードをＺ方向に変位させることによって補正す
ることができない。
場合、すなわちレーザダイオードとフォトダイオードと
が１個の支持部材に支持され互いに固定されてＺ方向に
固定された相互間距離を有する場合、放射スポットｖ＋
及びｖ２の位置が移動する可能性があることは特に重要
である。この相互間距離は製造公差によって支配され走
査装置に組み込んだ後はレーザダイオードに対してフォ
トダイオードをＺ方向に変位させることによって補正す
ることができない。
第６図及び第８図の実施例において、サブ格子１２及び
１３の平均格子周期が相異することによってサブビーム
ｂ１及びｂｔがＹＺ面において回折される角度が相異す
るにもかかわらず、サブビームの焦点は１個のＸＹ面内
に位置する。すなわち、サブ格子の対応する部分の格子
細条の格子周期及び曲率を別々に変化させてもサブビー
ムの焦点は１個の×ｖ面内Ｇ４位置する。
１３の平均格子周期が相異することによってサブビーム
ｂ１及びｂｔがＹＺ面において回折される角度が相異す
るにもかかわらず、サブビームの焦点は１個のＸＹ面内
に位置する。すなわち、サブ格子の対応する部分の格子
細条の格子周期及び曲率を別々に変化させてもサブビー
ムの焦点は１個の×ｖ面内Ｇ４位置する。
直線状の格子細条を有する回折格子に比べて湾曲した格
子細条を有する回折格子が有する重要な利点は、直線状
の格子細条を有する回折格子を使用する場合に生ずるコ
マ収差や非点収差の発生を回避できることである。すな
わち、回折格子を製造する際上記収差を考慮すると共に
格子細条の曲率を上記収差に適合させることにより収差
の発生を回避することができる。
子細条を有する回折格子が有する重要な利点は、直線状
の格子細条を有する回折格子を使用する場合に生ずるコ
マ収差や非点収差の発生を回避できることである。すな
わち、回折格子を製造する際上記収差を考慮すると共に
格子細条の曲率を上記収差に適合させることにより収差
の発生を回避することができる。
上述した実施例においては読取装置に本発明を適用する
例を以て説明したが、記録中に書込ビームのフォーカシ
ング制御及びトラッキング制御をモニタする書込装置や
書込−読取装置にも適用することができる。本明細書で
説明したフォーカシングエラー検出装置は、情報面２の
特別な性質を利用するものではない。すなわち、情報面
２は単に反射性であれば十分である。従って、本発明は
、例えば顕微鏡装置のように極めて高精度なフォーカシ
ングが必要であってトラッキングエラー検出が重要でな
い種々の装置にも適用することができる。
例を以て説明したが、記録中に書込ビームのフォーカシ
ング制御及びトラッキング制御をモニタする書込装置や
書込−読取装置にも適用することができる。本明細書で
説明したフォーカシングエラー検出装置は、情報面２の
特別な性質を利用するものではない。すなわち、情報面
２は単に反射性であれば十分である。従って、本発明は
、例えば顕微鏡装置のように極めて高精度なフォーカシ
ングが必要であってトラッキングエラー検出が重要でな
い種々の装置にも適用することができる。
第１図は回折格子を具える読取装置の一例の構成を示す
線図、 第２図は本発明による検出系及び関連する回折格子の第
１実施例を示す線図的斜視図、第３ａ図及び第３ｂ図は
既知の検出系においてフォーカシングエラーが発生した
ときの放射スポットの変化を示す線図、 第４図は第２図に示す装置で用いた放射感知検出系の構
成を示す線図、 第５図は調整可能なパラメータを図示した光学式走査装
置の模式図、 第６図は検出系及び関連する回折格子の第２実施例を示
す線図、 第７図は第６図に示す検出系の変形例を示す線図、 第８図は検出系及び回折格子の第３実施例を示す線図で
ある。 １・・・記録媒体 ２・・・情報面 ４・・・ダイオードレーザ ６・・・対物レンズ系 ９・・・回折格子 ＩＯ・・・複合検出器 １１・・・境界線 １２、１３・・・サブ格子 （１８，１９）、（２０，２１）・検出器対２２、２３
・・・分割線
線図、 第２図は本発明による検出系及び関連する回折格子の第
１実施例を示す線図的斜視図、第３ａ図及び第３ｂ図は
既知の検出系においてフォーカシングエラーが発生した
ときの放射スポットの変化を示す線図、 第４図は第２図に示す装置で用いた放射感知検出系の構
成を示す線図、 第５図は調整可能なパラメータを図示した光学式走査装
置の模式図、 第６図は検出系及び関連する回折格子の第２実施例を示
す線図、 第７図は第６図に示す検出系の変形例を示す線図、 第８図は検出系及び回折格子の第３実施例を示す線図で
ある。 １・・・記録媒体 ２・・・情報面 ４・・・ダイオードレーザ ６・・・対物レンズ系 ９・・・回折格子 ＩＯ・・・複合検出器 １１・・・境界線 １２、１３・・・サブ格子 （１８，１９）、（２０，２１）・検出器対２２、２３
・・・分割線
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、放射反射性情報面を光学的に走査する光学式走査装
置であって、走査ビームを発生するダイオードレーザと
、走査ビームを情報面に走査スポットとして集束すると
共に、走査スポットを複合放射感知検出系に再結像する
対物レンズ系と、前記ダイオードレーザと対物レズ系と
の間の放射光路中に配置され、情報面で反射した放射ビ
ームの一部を放射感知検出系に向けて偏向すると共に、
偏向されたビームを、前記放射感知検出系の複数の対応
する検出器対上に形成される複数の対応する放射スポッ
トを構成する複数のサブビームに分割する複合回折素子
とを具え、１個の検出器対に関連する２個の検出器間の
分割線が、走査ビームの波長変化による再結像放射スポ
ットの変位が検出器信号にいかなる影響も及ぼさないよ
うな向きに配置されている光学式走査装置において、前
記検出器対の分割線を前記レーザダイオードの放射放出
面の中心と複合放射感知検出系の中心とを結ぶラインに
ほぼ平行にしたことを特徴とする光学式走査装置。 ２、前記回折素子を２個のサブ回折格子を具える回折格
子とした請求項１に記載の光学式走査装置において、前
記サブ回折格子の格子周期が変化し、その格子細条が湾
曲していることを特徴とする光学式走査装置。 ３、前記回折素子を２個のサブ回折格子を具える回折格
子とした請求項１又は２に記載の光学式走査装置におい
て、前記２個のサブ格子が同一の平均格子周期を有し、
第１のサブ回折格子の格子細条の延在方向が、２個のサ
ブ格子の境界線に対して第１の角度をなし、第２のサブ
回折格子の格子細条の延在方向が上記境界線に対して反
対向きの第２の角度をなし、前記検出器対を、前記境界
線の延在方向と直交する方向に並置したことを特徴とす
る光学式走査装置。 ４、前記回折素子を２個のサブ回折格子を具える回折格
子とした請求項１又は２に記載の光学式走査装置におい
て、一方のサブ回折格子の格子細条の延在方向を他方の
サブ回折格子の格子細条の延在方向と同一のものとし、
２個のサブ回折格子の平均格子周期を互いに相異させ、
前記検出器対をサブ回折格子間の境界線に平行な方向に
並置し、検出器対の分割線を前記接続ライン上に位置さ
せたことを特徴とする光学式走査装置。 ５、前記回折素子を２個のサブ回折格子を具える回折格
子とした請求項１又は２に記載の光学式走査装置におい
て、一方のサブ回折格子の格子細条が他方のサブ回折格
子の格子細条と同一方向に延在し、サブ回折格子の平均
格子周期が互いに相異し、前記検出器対をサブ回折格子
間の境界線に平行な方向に並置し、検出器対の分割線が
互いに等しい角度であって前記接続線に対して０．１゜
程度反対向きの角度で延在することを特徴とする光学式
走査装置。 ６、前記回折素子を２個のサブ回折格子を具える回折格
子とした請求項１又は２に記載の光学式走査装置におい
て、第１のサブ回折格子の格子細条が第１の角度で延在
し、第２のサブ回折格子の格子細条が、サブ回折格子間
の境界線に対して反対向きの第２の角度で延在し、２個
のサブ回折格子の平均格子周期が互いに相異し、検出器
対が、前記境界線に平行な方向及び境界線と直交する方
向の両方において互いに異なる位置を占めることを特徴
とする光学式走査装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL8802689 | 1988-11-03 | ||
| NL8802689A NL8802689A (nl) | 1988-11-03 | 1988-11-03 | Inrichting voor het met optische straling aftasten van een stralingsreflekterend oppervlak. |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02172025A true JPH02172025A (ja) | 1990-07-03 |
Family
ID=19853152
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1285111A Pending JPH02172025A (ja) | 1988-11-03 | 1989-11-02 | 光学式走査装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4908506A (ja) |
| EP (1) | EP0369510A1 (ja) |
| JP (1) | JPH02172025A (ja) |
| KR (1) | KR100238737B1 (ja) |
| CN (1) | CN1018302B (ja) |
| NL (1) | NL8802689A (ja) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2591302B2 (ja) * | 1990-09-26 | 1997-03-19 | 松下電器産業株式会社 | フォーカスエラー検出装置 |
| DE4330794C2 (de) * | 1992-09-10 | 1999-12-23 | Toshiba Kawasaki Kk | Optische Kopfvorrichtung zur Verwendung in einer optischen Aufzeichnungs- und Schreib/Lesevorrichtung |
| US5742572A (en) * | 1993-06-21 | 1998-04-21 | Fujitsu Limited | Optical information recording/reproducing apparatus which detects focal error |
| US5673144A (en) * | 1994-09-14 | 1997-09-30 | International Business Machines, Corporation | Oblique viewing microscope system |
| IL115864A (en) * | 1995-11-02 | 1999-05-09 | Orbotech Ltd | Method and apparatus for delivering laser energy to an object |
| JPH09198706A (ja) * | 1996-01-22 | 1997-07-31 | Fujitsu Ltd | 光ディスク装置用光ピックアップのホログラム光学系 |
| US6185167B1 (en) | 1997-06-30 | 2001-02-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical head and information recording and reproduction apparatus |
| EP1046161A1 (en) * | 1998-09-21 | 2000-10-25 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Device for scanning an optical record carrier having at least two information layers |
| JP2000182253A (ja) * | 1998-12-15 | 2000-06-30 | Sony Corp | 情報記録再生装置 |
| JP2001043544A (ja) * | 1999-07-28 | 2001-02-16 | Nec Corp | 光ヘッド装置 |
| KR100618990B1 (ko) * | 2000-03-23 | 2006-09-04 | 삼성전자주식회사 | 광픽업용 시크방향 검출 신호 생성장치 |
| KR100750093B1 (ko) | 2000-10-12 | 2007-08-21 | 삼성전자주식회사 | 광픽업용 디포커스 에러신호 검출장치 및 방법 및 이를채용한 시크 방향 검출장치 및 방법 |
| JP2002288856A (ja) * | 2001-03-27 | 2002-10-04 | Sharp Corp | 光ピックアップ |
| JP3930784B2 (ja) * | 2001-09-17 | 2007-06-13 | シャープ株式会社 | 傾斜量検出装置 |
| CN111189417B (zh) * | 2020-01-15 | 2020-11-27 | 浙江大学 | 基于高频图案干涉的二进制光栅图像投影反光抑制方法 |
Citations (2)
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|---|---|---|---|---|
| JPS6356819A (ja) * | 1986-08-27 | 1988-03-11 | Nec Corp | 光ヘツド装置 |
| JPS63148429A (ja) * | 1986-12-12 | 1988-06-21 | Nec Corp | 光ヘツド装置 |
Family Cites Families (7)
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| JPS5696203A (en) * | 1979-12-27 | 1981-08-04 | Fujitsu Ltd | Detection device for optical position |
| NL8202058A (nl) * | 1982-05-19 | 1983-12-16 | Philips Nv | Opto-elektronisch fokusfout-detektiestelsel. |
| JPS60131648A (ja) * | 1983-12-19 | 1985-07-13 | Toshiba Corp | 光学ヘツド |
| US4733065A (en) * | 1984-06-27 | 1988-03-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical head device with diffraction grating for separating a light beam incident on an optical recording medium from a light beam reflected therefrom |
| NL8502835A (nl) * | 1985-10-17 | 1987-05-18 | Philips Nv | Inrichting voor het met optische straling aftasten van een informatievlak. |
| EP0228620B1 (en) * | 1985-12-10 | 1991-06-05 | Nec Corporation | Optical head comprising a diffraction grating for directing two or more diffracted beams to optical detectors |
| NL8701749A (nl) * | 1987-07-24 | 1989-02-16 | Philips Nv | Inrichting voor het met optische straling aftasten van een informatievlak. |
-
1988
- 1988-11-03 NL NL8802689A patent/NL8802689A/nl not_active Application Discontinuation
-
1989
- 1989-03-14 US US07/323,466 patent/US4908506A/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-10-30 EP EP89202734A patent/EP0369510A1/en not_active Ceased
- 1989-10-31 KR KR1019890015662A patent/KR100238737B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1989-10-31 CN CN89108354A patent/CN1018302B/zh not_active Expired
- 1989-11-02 JP JP1285111A patent/JPH02172025A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6356819A (ja) * | 1986-08-27 | 1988-03-11 | Nec Corp | 光ヘツド装置 |
| JPS63148429A (ja) * | 1986-12-12 | 1988-06-21 | Nec Corp | 光ヘツド装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1018302B (zh) | 1992-09-16 |
| KR900008458A (ko) | 1990-06-04 |
| EP0369510A1 (en) | 1990-05-23 |
| CN1042440A (zh) | 1990-05-23 |
| NL8802689A (nl) | 1990-06-01 |
| KR100238737B1 (ko) | 2000-02-01 |
| US4908506A (en) | 1990-03-13 |
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