JPH02167884A - 単結晶育成装置 - Google Patents
単結晶育成装置Info
- Publication number
- JPH02167884A JPH02167884A JP32197488A JP32197488A JPH02167884A JP H02167884 A JPH02167884 A JP H02167884A JP 32197488 A JP32197488 A JP 32197488A JP 32197488 A JP32197488 A JP 32197488A JP H02167884 A JPH02167884 A JP H02167884A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- pulling
- bearing
- revolving shaft
- weight sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 4
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はチョコラルスキー法による単結晶育成装置にお
ける引上回転軸の軸支機構の改善に関する。
ける引上回転軸の軸支機構の改善に関する。
チョコラルスキー法による単結晶育成方法は、原料をル
ツボ中で熔融し、引上軸の先端に取付けた種単結晶を該
融液に接触させ、引上軸を回転しながら徐々に引上げて
種結晶下に単結晶を大きく成長させるというものであり
、種々の材料の単結晶育成に多用されている。
ツボ中で熔融し、引上軸の先端に取付けた種単結晶を該
融液に接触させ、引上軸を回転しながら徐々に引上げて
種結晶下に単結晶を大きく成長させるというものであり
、種々の材料の単結晶育成に多用されている。
近年このような単結晶育成において、゛歩留り向上のた
めにＲＬ結晶の直径を所望の寸法に制御する必要から、
重量センサーを用いる自動的育成方法が一般的になりつ
つある。この重量センサーはルツボ中の原料の減少量を
測定するように用いても良いが、多くの場合引上回転軸
に取付けて直接育成結晶の重量を検出して単位時間当り
の重量増加量を測定するようにしている。この重量セン
サーからの信号は直接予め設定された重量プログラムと
比較したり、直径に換算して予め設定された形状プログ
ラムと比較し、その差をルツボ加熱手段にフィードバン
クして重量又は形状を制？ＪＩＩ′ノーるのである。
めにＲＬ結晶の直径を所望の寸法に制御する必要から、
重量センサーを用いる自動的育成方法が一般的になりつ
つある。この重量センサーはルツボ中の原料の減少量を
測定するように用いても良いが、多くの場合引上回転軸
に取付けて直接育成結晶の重量を検出して単位時間当り
の重量増加量を測定するようにしている。この重量セン
サーからの信号は直接予め設定された重量プログラムと
比較したり、直径に換算して予め設定された形状プログ
ラムと比較し、その差をルツボ加熱手段にフィードバン
クして重量又は形状を制？ＪＩＩ′ノーるのである。
ところで重量センサーを引上回転軸に取付ける場合、引
上軸を通常の方法で軸支すると接触等により重量信号に
ノイズが入るため、引上軸を中間支持のない状態で回転
させており、このため引上軸のふらつきが避けられない
。又、大気中で育成゛可能な結晶であれば問題とならな
いが、雰囲気を調整しなければならない結晶の育成に当
たっては育成部を覆うチャンバーと引上軸のシールが不
完全とならざるを得ず、育威条（’Ｉ−が不安疋になる
原因の一つになっている。
上軸を通常の方法で軸支すると接触等により重量信号に
ノイズが入るため、引上軸を中間支持のない状態で回転
させており、このため引上軸のふらつきが避けられない
。又、大気中で育成゛可能な結晶であれば問題とならな
いが、雰囲気を調整しなければならない結晶の育成に当
たっては育成部を覆うチャンバーと引上軸のシールが不
完全とならざるを得ず、育威条（’Ｉ−が不安疋になる
原因の一つになっている。
〔発明が解決しようとする課題］
本発明の目的は、引上軸のふらつきを効果的に防止でき
、チャンバーと外気との遮断を完全にでき、にもかかわ
らず＋１１度の高い結晶重量の測定が可能な単結晶育成
装置を提供することにある。
、チャンバーと外気との遮断を完全にでき、にもかかわ
らず＋１１度の高い結晶重量の測定が可能な単結晶育成
装置を提供することにある。
上記目的を達成するため本発明は、引上回転軸を引上軸
と該引上軸を収容する中空回転軸からなる２重構造とし
、該中空回転軸上部に重量センサーを取付け、該重量セ
ンサーに引上軸を吊り下げ、引上軸は中空回転軸内に設
けたリニアボールベアリングで支承するようにし、該中
空回転軸が垂結晶育成部を覆うチャンバー内に貫入する
部分でラジアルベアリングとスラストベアリングを組合
せた軸受で支承するようにした点に特徴がある。
と該引上軸を収容する中空回転軸からなる２重構造とし
、該中空回転軸上部に重量センサーを取付け、該重量セ
ンサーに引上軸を吊り下げ、引上軸は中空回転軸内に設
けたリニアボールベアリングで支承するようにし、該中
空回転軸が垂結晶育成部を覆うチャンバー内に貫入する
部分でラジアルベアリングとスラストベアリングを組合
せた軸受で支承するようにした点に特徴がある。
第１図は本発明の単結晶育成装置の要部を（概念的に示
す図で、一部を切欠いて且つ局部的に断面図で示しであ
る。チャンバー１内には図示しないルツボ、ルツボ加熱
手段及びルツボ保温手段等が収容されており、該チャン
バー１に貫入された引上回転軸２は図示しない支社に設
けられた駆動機構により昇降するステージ３に設けられ
、同様に該ステージ３に設けられた電動機付減速機４と
駆動ギア５及び６を介して連結されている。
す図で、一部を切欠いて且つ局部的に断面図で示しであ
る。チャンバー１内には図示しないルツボ、ルツボ加熱
手段及びルツボ保温手段等が収容されており、該チャン
バー１に貫入された引上回転軸２は図示しない支社に設
けられた駆動機構により昇降するステージ３に設けられ
、同様に該ステージ３に設けられた電動機付減速機４と
駆動ギア５及び６を介して連結されている。
上記引上回転軸２は内部が中空の回転軸７と該中空回転
軸７内に収容された引上軸８との２重購造となっており
、該中空回転軸７の上蓋９に重量センサーｌＯが取付け
られ、該重量センサー１０に上記引上軸８が吊り下げら
れ、引上軸８は中空回転軸７内に設けたリニアボールベ
アリング１１ａ。
軸７内に収容された引上軸８との２重購造となっており
、該中空回転軸７の上蓋９に重量センサーｌＯが取付け
られ、該重量センサー１０に上記引上軸８が吊り下げら
れ、引上軸８は中空回転軸７内に設けたリニアボールベ
アリング１１ａ。
１１ｂ、ｌｌｃで支承されている。そしてこの引上回転
軸２はステージ軸受１２を介してステージ３に取付けら
れ、−万引上回転軸２がチャンバー１に貫入する部分は
スラストベアリング１３とラジアルベアリング１４とを
組合わせた軸受１５で支承されている。
軸２はステージ軸受１２を介してステージ３に取付けら
れ、−万引上回転軸２がチャンバー１に貫入する部分は
スラストベアリング１３とラジアルベアリング１４とを
組合わせた軸受１５で支承されている。
上記のような構造によると引上軸８はリニアボールヘア
リングｌｌａ、ｌｌｂ、ｌｌｃで支承され且つ組合せ１
袖受■５でガイドされた中空回転軸７に保温されてチャ
ンバーｌ内へ貫入するので、ふらつきを効果的に防止で
きる。しかも引上軸８は中空回転軸７に対して静止して
おり、−上記リニアポールベアリング１１の作動方向が
単結晶荷重の方向と一致しているため単結晶荷重を抵抗
なく忠実に型組センサー１０へ伝えることができる。
リングｌｌａ、ｌｌｂ、ｌｌｃで支承され且つ組合せ１
袖受■５でガイドされた中空回転軸７に保温されてチャ
ンバーｌ内へ貫入するので、ふらつきを効果的に防止で
きる。しかも引上軸８は中空回転軸７に対して静止して
おり、−上記リニアポールベアリング１１の作動方向が
単結晶荷重の方向と一致しているため単結晶荷重を抵抗
なく忠実に型組センサー１０へ伝えることができる。
このようにして本発明の装置は引上軸のふらつきを防止
し、にもかかわらず精度の高い結晶重量の測定が可ｊｉ
ヒとなるのであるが、この構造はまたチャンバーと外気
との遮断を完全にするためにも好適である。そのような
目的のためには引上回転軸２の上部を密封カバー１６で
覆うと共にステージシール１７とチャンバーロシール１
８を設けるのみで良い。また密封カバー１６にチャンバ
ー１内に用いるガスと同しガスを導入口１９から流入し
、圧力をチャンバーｌの内圧と等しくすれば中空回転軸
７内をガスが移動することも防止できる。
し、にもかかわらず精度の高い結晶重量の測定が可ｊｉ
ヒとなるのであるが、この構造はまたチャンバーと外気
との遮断を完全にするためにも好適である。そのような
目的のためには引上回転軸２の上部を密封カバー１６で
覆うと共にステージシール１７とチャンバーロシール１
８を設けるのみで良い。また密封カバー１６にチャンバ
ー１内に用いるガスと同しガスを導入口１９から流入し
、圧力をチャンバーｌの内圧と等しくすれば中空回転軸
７内をガスが移動することも防止できる。
重量センサー１０の電気信号は信号線２ｏ、スリップリ
ング２１、スリップリング信号線２２及びコネクター２
３を介して図示しないデータ処理装置、コンピュータ等
に入力され、フィードハック信号がとり出される。
ング２１、スリップリング信号線２２及びコネクター２
３を介して図示しないデータ処理装置、コンピュータ等
に入力され、フィードハック信号がとり出される。
以上述べたように本発明によれば引上軸のふらつきが完
全に抑制され、チャンバーと外気との遮断も完全に行う
ことができ、それにもかかわらず精度の高い結晶重量の
測定ができるという、極めて優れた効果を奏する。
全に抑制され、チャンバーと外気との遮断も完全に行う
ことができ、それにもかかわらず精度の高い結晶重量の
測定ができるという、極めて優れた効果を奏する。
第１図は本発明の！ｊ′Ｌ結晶育成装置の要部を概念的
に示す図であるあ。 ｌ・・・チャンバー ３・・・ステージ、７・・・中空
回転１１山、８・・・弓Ｉ上重山、１０・・・重置セン
ザー １１・・・リニアボールヘアリング、１３・・・
スラストベアリンング、１４・・・ラジアルベアリング
。 特許出１９Ｊ１人 住友金属鉱山株式会社
に示す図であるあ。 ｌ・・・チャンバー ３・・・ステージ、７・・・中空
回転１１山、８・・・弓Ｉ上重山、１０・・・重置セン
ザー １１・・・リニアボールヘアリング、１３・・・
スラストベアリンング、１４・・・ラジアルベアリング
。 特許出１９Ｊ１人 住友金属鉱山株式会社
Claims (1)
- （１）引上回転軸に重量センサーが取り付けられた重量
検出型自動単結晶育成装置において、引上回転軸が引上
軸と該引上軸を収納する中空回転軸からなる２重構造と
され、該中空回転軸上部に重量センサーが取付けられ、
該重量センサーに引上軸が吊り下げられ、引上軸は中空
回転軸内に設けられたリニアボールベアリングで支承さ
れ、該中空回転軸は単結晶育成部を覆うチャンバー内に
貫入する部分でラジアルベアリングとスラストベアリン
グを組合わせた軸受で支承されていることを特徴とする
単結晶育成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32197488A JPH02167884A (ja) | 1988-12-22 | 1988-12-22 | 単結晶育成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32197488A JPH02167884A (ja) | 1988-12-22 | 1988-12-22 | 単結晶育成装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02167884A true JPH02167884A (ja) | 1990-06-28 |
| JPH0585516B2 JPH0585516B2 (ja) | 1993-12-07 |
Family
ID=18138507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32197488A Granted JPH02167884A (ja) | 1988-12-22 | 1988-12-22 | 単結晶育成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02167884A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0632694A (ja) * | 1992-04-16 | 1994-02-08 | Shin Seiki:Kk | 結晶育成装置 |
| CN102534760A (zh) * | 2011-12-28 | 2012-07-04 | 苏州优晶光电科技有限公司 | 用于监测晶体生长的装置 |
| CN111826708A (zh) * | 2019-08-21 | 2020-10-27 | 眉山博雅新材料有限公司 | 上提拉真空炉 |
-
1988
- 1988-12-22 JP JP32197488A patent/JPH02167884A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0632694A (ja) * | 1992-04-16 | 1994-02-08 | Shin Seiki:Kk | 結晶育成装置 |
| CN102534760A (zh) * | 2011-12-28 | 2012-07-04 | 苏州优晶光电科技有限公司 | 用于监测晶体生长的装置 |
| CN111826708A (zh) * | 2019-08-21 | 2020-10-27 | 眉山博雅新材料有限公司 | 上提拉真空炉 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0585516B2 (ja) | 1993-12-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |