JPH02162323A - 表示装置用電極板及びその製造方法 - Google Patents
表示装置用電極板及びその製造方法Info
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- JPH02162323A JPH02162323A JP31794288A JP31794288A JPH02162323A JP H02162323 A JPH02162323 A JP H02162323A JP 31794288 A JP31794288 A JP 31794288A JP 31794288 A JP31794288 A JP 31794288A JP H02162323 A JPH02162323 A JP H02162323A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、カラー液晶デイスプレィや、液晶を用いた表
示や入力装置用の表示装置用電極板及びその製造方法に
関する。
示や入力装置用の表示装置用電極板及びその製造方法に
関する。
〈従来技術〉
大画面、高密度表示デイスプレィとしてホメオトロピッ
ク、強誘電液晶や、Ｓ Ｔ Ｎと呼ばれる複屈折を利用
した液−晶デイスプレイが注目を浴びている。これら、
液晶デイスプレィをカラー化する場合に、透明電極をカ
ラーフィルター上に形成した表示装置用電極板が用いら
れる。このカラーフィルターの要求仕様のひとつに、表
面の平坦性（例えば±０．１μｍ以内）がある。
ク、強誘電液晶や、Ｓ Ｔ Ｎと呼ばれる複屈折を利用
した液−晶デイスプレイが注目を浴びている。これら、
液晶デイスプレィをカラー化する場合に、透明電極をカ
ラーフィルター上に形成した表示装置用電極板が用いら
れる。このカラーフィルターの要求仕様のひとつに、表
面の平坦性（例えば±０．１μｍ以内）がある。
平坦性を得るために染色方式、印刷方式、電着方式など
を形成したカラーフィルター上に、オーバーコート層と
呼ぶ有機樹脂層や無機酸化物層あるいはこれらの複合層
を積層する技術は公知である。また、別な要求仕様とし
て、表示装置用電極板の端子部の透明電極との信軌性の
高い電気的接続を得るため、端子部の有機樹脂膜を除去
した構成、つまりカラーフィルター上のみオーバーコー
ト層を形成する構成がある。本発明者は、この要求仕様
に対し特開昭６１−２３３７２０で示したフォトリソグ
ラフィの手法でパタニング可能なグリユーカゼイン、ゼ
ラチン等の樹脂にてオーバーコート層をカラーフィルタ
ー上に形成する技術を示した。
を形成したカラーフィルター上に、オーバーコート層と
呼ぶ有機樹脂層や無機酸化物層あるいはこれらの複合層
を積層する技術は公知である。また、別な要求仕様とし
て、表示装置用電極板の端子部の透明電極との信軌性の
高い電気的接続を得るため、端子部の有機樹脂膜を除去
した構成、つまりカラーフィルター上のみオーバーコー
ト層を形成する構成がある。本発明者は、この要求仕様
に対し特開昭６１−２３３７２０で示したフォトリソグ
ラフィの手法でパタニング可能なグリユーカゼイン、ゼ
ラチン等の樹脂にてオーバーコート層をカラーフィルタ
ー上に形成する技術を示した。
オーバーコート層をペプチド樹脂以外のアクリルウレタ
ンアクリレート樹脂、シリコン、ポリイミド等で形成す
る技術も公知である。
ンアクリレート樹脂、シリコン、ポリイミド等で形成す
る技術も公知である。
〈発明が解決しようとする課題〉
特開昭６１−２３３７２０の技術では、平坦性の点で±
０．１５μｍ〜±０．２ μｍが実用レヘルであり、Ｓ
ＴＮ液晶やホメオトロピック液晶で高いコントラストや
均一な表示を維持しつつ高デユーティ−での駆動に必要
な±０．１ μｍ以内の平坦性を得るには無理な点があ
った。
０．１５μｍ〜±０．２ μｍが実用レヘルであり、Ｓ
ＴＮ液晶やホメオトロピック液晶で高いコントラストや
均一な表示を維持しつつ高デユーティ−での駆動に必要
な±０．１ μｍ以内の平坦性を得るには無理な点があ
った。
また、カゼイン、グリユーやゼラチンなどポリペプチド
樹脂のオーバーコート層ではアルカリや酸に弱く、該オ
ーバーコート層上の透明電極のパタニングプロセスでの
収率が低下する。
樹脂のオーバーコート層ではアルカリや酸に弱く、該オ
ーバーコート層上の透明電極のパタニングプロセスでの
収率が低下する。
また、耐薬品性のあるオーバーコート用樹脂として、ア
クリルやウレタンアクリレート樹脂があるが、これは耐
熱性が低く、液晶プロセスでの熱処理でシワやフクレ、
クランク発生を生じ易く実用技術とはなっていない。シ
リコン樹脂やポリイミド樹脂は耐薬品性や耐熱性に優れ
ているが、般にフォトリソグラフィの方法でパタニング
形成しにクク、かつ高価である為、オーバーコート層と
して使用できない。また、これらの樹脂は前記必要特性
を満足しながら十分な平坦化を同時に達成することはき
わめて困難であった。
クリルやウレタンアクリレート樹脂があるが、これは耐
熱性が低く、液晶プロセスでの熱処理でシワやフクレ、
クランク発生を生じ易く実用技術とはなっていない。シ
リコン樹脂やポリイミド樹脂は耐薬品性や耐熱性に優れ
ているが、般にフォトリソグラフィの方法でパタニング
形成しにクク、かつ高価である為、オーバーコート層と
して使用できない。また、これらの樹脂は前記必要特性
を満足しながら十分な平坦化を同時に達成することはき
わめて困難であった。
本発明は、上述の問題点に対して、表面の平坦性という
要求と、端子部の透明電極との信頬性の高い電気的接続
を得るため、端子部の有機樹脂膜を除去した構成、つま
りカラーフィルター上のみオーバーコート層を形成する
構成という要求を両立させる事が望まれていた。
要求と、端子部の透明電極との信頬性の高い電気的接続
を得るため、端子部の有機樹脂膜を除去した構成、つま
りカラーフィルター上のみオーバーコート層を形成する
構成という要求を両立させる事が望まれていた。
く課題を解決するための手段〉
本発明は、透明な基板にポリペプチド樹脂のカラーフィ
ルターと有機樹脂２層のオーバーコート層と、透明電極
とをこの順で積層した表示装置用電極板、及び透明電極
上にさらに金属薄膜を積層した表示装置用電極板、加え
てこれら透明電極や金属薄膜上にさらに有機樹脂のトッ
プコート層を積層した表示装置用電極板、及びこれら表
示装置用電極板の製造方法である。
ルターと有機樹脂２層のオーバーコート層と、透明電極
とをこの順で積層した表示装置用電極板、及び透明電極
上にさらに金属薄膜を積層した表示装置用電極板、加え
てこれら透明電極や金属薄膜上にさらに有機樹脂のトッ
プコート層を積層した表示装置用電極板、及びこれら表
示装置用電極板の製造方法である。
本発明の第１の樹脂を構成するポリペプチド樹脂は、カ
ゼイン、グリユー、ゼラチンを含むものである。フォト
リソグラフィの手法により、パタニングの必要がある場
合には、重クロム酸アクモニウム等を加え、感光性付与
した上で塗布、乾燥、露光、現像、硬膜といった工程で
形成できる。
ゼイン、グリユー、ゼラチンを含むものである。フォト
リソグラフィの手法により、パタニングの必要がある場
合には、重クロム酸アクモニウム等を加え、感光性付与
した上で塗布、乾燥、露光、現像、硬膜といった工程で
形成できる。
第２の樹脂はノボラック型エポキシ樹脂とは限らないが
、この場合、例えばノボラック型エポキシ樹脂の骨格に
感光基としてアクリロイル基を付加し、あるいは水溶性
付与のためのカルボキシル基を加える事で、フォトリソ
グラフィの手法でパタニング形成できる。
、この場合、例えばノボラック型エポキシ樹脂の骨格に
感光基としてアクリロイル基を付加し、あるいは水溶性
付与のためのカルボキシル基を加える事で、フォトリソ
グラフィの手法でパタニング形成できる。
また、第１の樹脂層及び第２の樹脂層の膜厚は限定しな
いが、各々２００人〜５μｍの範囲が実用的であるが、
無論、目的に応じて膜厚を変えても良い。本発明に採用
可能なノボラック型エポキシ樹脂はフェノールノボラッ
ク型エポキシ樹脂と、クリゾールノボラック型エポキシ
樹脂いずれでも良い。本発明に採用し得るカラーフィル
ターは、染色法によるもの、印刷によるもの、電着によ
るものなど、その形成方法、材料を制限するものでない
が、ポリペプチド樹脂である必要はある。
いが、各々２００人〜５μｍの範囲が実用的であるが、
無論、目的に応じて膜厚を変えても良い。本発明に採用
可能なノボラック型エポキシ樹脂はフェノールノボラッ
ク型エポキシ樹脂と、クリゾールノボラック型エポキシ
樹脂いずれでも良い。本発明に採用し得るカラーフィル
ターは、染色法によるもの、印刷によるもの、電着によ
るものなど、その形成方法、材料を制限するものでない
が、ポリペプチド樹脂である必要はある。
なお、本発明において、ノボランク型エポキシ樹脂は、
アルカリ現像型あるいは溶剤現像型どちらでも良い。ま
た、金属薄膜やトップコート層はこれを省いた構成であ
っても良い。
アルカリ現像型あるいは溶剤現像型どちらでも良い。ま
た、金属薄膜やトップコート層はこれを省いた構成であ
っても良い。
また、金属薄膜を積層する構成もあるが、この金属薄膜
は導電性の良い材料、半田との濡れの良い材料、など、
目的により種々の金属、合金層が採用できる。
は導電性の良い材料、半田との濡れの良い材料、など、
目的により種々の金属、合金層が採用できる。
また、下地との十分な付着力、膜として応力緩和などを
考慮した多層構成でも良い。形成方法も、蒸着やスパッ
タの他、めっき、印刷等の方法で形成しても良い。
考慮した多層構成でも良い。形成方法も、蒸着やスパッ
タの他、めっき、印刷等の方法で形成しても良い。
また、トップコート層は必須ではないが、電気的接続を
確保するため、端子部を露出させることが必要で、フォ
トリソグラフィや印刷でパタニング形成できることが望
ましく、この意味で有機材料もしくはアルコキシドのよ
うな有機金属化合物を用いることが簡便である。しかし
、ＳｉＯ□、ＺｒＯ□、ＰｂＯ等の酸化物をメタルマス
クを用いてスパッタリングや蒸着等により形成しても良
いが、アルカリ現像できるノボラック型エポキシ樹脂が
最適である。
確保するため、端子部を露出させることが必要で、フォ
トリソグラフィや印刷でパタニング形成できることが望
ましく、この意味で有機材料もしくはアルコキシドのよ
うな有機金属化合物を用いることが簡便である。しかし
、ＳｉＯ□、ＺｒＯ□、ＰｂＯ等の酸化物をメタルマス
クを用いてスパッタリングや蒸着等により形成しても良
いが、アルカリ現像できるノボラック型エポキシ樹脂が
最適である。
〈作用〉
本発明は、ポリペプチド樹脂と他の異なる有機樹脂の２
層構成としたことにより、±０．０８μｍ〜±０．０５
μｍの高い平坦化効果が得られる。
層構成としたことにより、±０．０８μｍ〜±０．０５
μｍの高い平坦化効果が得られる。
この理由の一つとしては、ポリペプチド樹脂と他の異な
る有機樹脂の２層構成としたので平坦化が二回行われる
のと同しなので、その分平坦化が高くなる。二つめとし
て、下地層のポリペプチド樹脂からなるカラーフィルタ
ーとそれと接するポリペプチド樹脂からなる第１のオー
バーコート層がほぼ同し材料の為、密着力に問題が無い
。
る有機樹脂の２層構成としたので平坦化が二回行われる
のと同しなので、その分平坦化が高くなる。二つめとし
て、下地層のポリペプチド樹脂からなるカラーフィルタ
ーとそれと接するポリペプチド樹脂からなる第１のオー
バーコート層がほぼ同し材料の為、密着力に問題が無い
。
加えて、第２の樹脂層がフォトリソグラフィでパタニン
グ可能なノボラック型エポキシ樹脂の場合、不必要なオ
ーバーコート層をパタニング除去できる。従って、電気
的接続を行う端子部分を透明電極を直接にガラスの基板
上に形成でき、接続部の信転性を格段に向上できる。
グ可能なノボラック型エポキシ樹脂の場合、不必要なオ
ーバーコート層をパタニング除去できる。従って、電気
的接続を行う端子部分を透明電極を直接にガラスの基板
上に形成でき、接続部の信転性を格段に向上できる。
また、透明電極や金属薄膜が段差の少ない構成となり、
断線や抵抗値の低下の発生が減る。
断線や抵抗値の低下の発生が減る。
〈実施例〉
第１図は、本発明による液晶表示装置用電極板の模式断
面図である。厚さ１ ｍｍのフロートガラス（基板）で
ある透明な基板（１）に、レリーフ染色法による緑（Ｇ
）、赤（Ｒ）、青（Ｂ）と順次３色のカラーフィルター
（６）を厚み１．８ μｍと、厚み０゜９μｍのゼラチ
ン層（２）と厚み０．８ μｍのフェノールノボラック
型エポキシ樹脂層（３）の２層構成であるオーバーコー
ト層と、１４００人のｒＴＯと呼ばれる透明電極（４）
と、蒸着によるクロム２００人／アルミニウム１５００
人／クロム４００人の３層の金属薄膜（５）を順に積層
したものである。金属薄膜（５）の上にはカラーフィル
ター（６）をほぼ覆うように１０００人厚みでフェノー
ルノボラック型エポキシ樹脂のトップコート層（７）を
積層しである。
面図である。厚さ１ ｍｍのフロートガラス（基板）で
ある透明な基板（１）に、レリーフ染色法による緑（Ｇ
）、赤（Ｒ）、青（Ｂ）と順次３色のカラーフィルター
（６）を厚み１．８ μｍと、厚み０゜９μｍのゼラチ
ン層（２）と厚み０．８ μｍのフェノールノボラック
型エポキシ樹脂層（３）の２層構成であるオーバーコー
ト層と、１４００人のｒＴＯと呼ばれる透明電極（４）
と、蒸着によるクロム２００人／アルミニウム１５００
人／クロム４００人の３層の金属薄膜（５）を順に積層
したものである。金属薄膜（５）の上にはカラーフィル
ター（６）をほぼ覆うように１０００人厚みでフェノー
ルノボラック型エポキシ樹脂のトップコート層（７）を
積層しである。
以上の構成において、透明電極と金属薄膜は連続成膜後
、クロム→アルミニウム→クロム→ＩＴＯと順に湿式の
エツチングにより選択的に各々パタニングしたものであ
る。オーバーコート層と、トップコート層はいずれもフ
ェノールノボラック型エポキシ樹脂と無水ジカルボン酸
の反応物（アクリロイル基を付加して感光性をもたしで
ある）のオリゴマーを塗布→乾燥→霞光→現像→硬膜し
てパタニングしたものである。
、クロム→アルミニウム→クロム→ＩＴＯと順に湿式の
エツチングにより選択的に各々パタニングしたものであ
る。オーバーコート層と、トップコート層はいずれもフ
ェノールノボラック型エポキシ樹脂と無水ジカルボン酸
の反応物（アクリロイル基を付加して感光性をもたしで
ある）のオリゴマーを塗布→乾燥→霞光→現像→硬膜し
てパタニングしたものである。
〈発明の効果〉
本発明のオーバーコート層を２層構成により、±０．０
８〜±０．０５μｍの高い平坦性を得ることが可能であ
る。加えて、本発明は、耐熱性があり、かつ、フォトリ
ソグラフィでパタニング可能なノボラック型エポキシ樹
脂を用いるため、不必要なオーバーコート層をパタニン
グ除去できる。従って、電気的接続を行う端子部分を透
明電極を直接にガラスの基板上に形成でき、接続部の信
頼性を格段に向上できた。
８〜±０．０５μｍの高い平坦性を得ることが可能であ
る。加えて、本発明は、耐熱性があり、かつ、フォトリ
ソグラフィでパタニング可能なノボラック型エポキシ樹
脂を用いるため、不必要なオーバーコート層をパタニン
グ除去できる。従って、電気的接続を行う端子部分を透
明電極を直接にガラスの基板上に形成でき、接続部の信
頼性を格段に向上できた。
さらに、カラーフィルター、透明電極や金属薄膜を覆う
形でトップコート層を形成し得るため、液晶パネルの寿
命や信頬性の大幅な向上を得ることができた。
形でトップコート層を形成し得るため、液晶パネルの寿
命や信頬性の大幅な向上を得ることができた。
第１図は、本発明による表示装置用電極板の模式断面図
である。 １・・・・・・透明な基板 ２・・・・・・ゼラチン層 ３・・・・・・エポキシ樹脂層 ４・・・・・・透明電極 ６・・・・・・カラーフィルター ７・・・・・・トップコート層 凸版印刷株式会社 代表者 鈴木和夫
である。 １・・・・・・透明な基板 ２・・・・・・ゼラチン層 ３・・・・・・エポキシ樹脂層 ４・・・・・・透明電極 ６・・・・・・カラーフィルター ７・・・・・・トップコート層 凸版印刷株式会社 代表者 鈴木和夫
Claims (7)
- （１）透明な基板に、順にポリペプチド樹脂を主成分と
するカラーフィルターと、ポリペプチド樹脂の第１の樹
脂層と第２の樹脂層から成るオーバーコート層と、透明
電極により、構成された表示装置用電極板。 - （２）透明な基板に、順にポリペプチド樹脂を主成分と
するカラーフィルターと、ポリペプチド樹脂の第１の樹
脂層と第２の樹脂層から成るオーバーコート層と、透明
電極と、金属薄膜から成る表示装置用電極板。 - （３）透明な基板に、順にポリペプチド樹脂を主成分と
するカラーフィルターと、ポリペプチド樹脂の第１の樹
脂層と第２の樹脂層から成るオーバーコート層と、透明
電極と、金属薄膜とトップコート層から成る表示装置用
電極板。 - （４）透明な基板に、順にポリペプチド樹脂を主成分と
するカラーフィルターと、ポリペプチド樹脂の第１の樹
脂層とノボラック型エポキシ樹脂の第２の樹脂層から成
るオーバーコート層と、透明電極とにより構成された表
示装置用電極板。 - （５）透明な基板に、順にポリペプチド樹脂を主成分と
するカラーフィルターと、ポリペプチド樹脂の第１の樹
脂層と第２の樹脂層から成るオーバーコート層と、透明
電極と、ノボラック型エポキシ樹脂のトップコート層か
ら成る表示装置用電極板。 - （６）透明な基板上に、ポリペプチド樹脂を主成分とす
るカラーフィルターを形成する工程と、ポリペプチド樹
脂の第１の樹脂層を形成する工程と、ノボラック型エポ
キシ樹脂の第２の樹脂層を形成する工程と、透明電極を
形成する工程とからなる表示装置用電極板の製造方法。 - （７）透明な基板上に、ポリペプチド樹脂を主成分とす
るカラーフィルターを形成する工程と、ポリペプチド樹
脂の第１の樹脂層を形成する工程と、ノボラック型エポ
キシ樹脂の第２の樹脂層を形成する工程と、透明電極を
形成する工程と、トップコート層を形成する工程とから
なる表示装置用電極板の製造方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31794288A JPH02162323A (ja) | 1988-12-15 | 1988-12-15 | 表示装置用電極板及びその製造方法 |
| EP89101284A EP0326112B1 (en) | 1988-01-29 | 1989-01-25 | Electrode plate for display device and method for preparation thereof |
| US07/303,848 US5045418A (en) | 1988-01-29 | 1989-01-30 | Electrode plate for display device and method for preparation thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31794288A JPH02162323A (ja) | 1988-12-15 | 1988-12-15 | 表示装置用電極板及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02162323A true JPH02162323A (ja) | 1990-06-21 |
Family
ID=18093739
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31794288A Pending JPH02162323A (ja) | 1988-01-29 | 1988-12-15 | 表示装置用電極板及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02162323A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100254937B1 (ko) * | 1991-04-16 | 2000-05-01 | 핫토리 쥰이치 | 컬러전기 광학장치 |
-
1988
- 1988-12-15 JP JP31794288A patent/JPH02162323A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100254937B1 (ko) * | 1991-04-16 | 2000-05-01 | 핫토리 쥰이치 | 컬러전기 광학장치 |
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