JPH02159389A - 自公転ホルダ、及びこれを備えたイオンビーム加工機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、自公転ホルダ、及びこれを備えたイオンビー
ム加工機に関する。

〔従来の技術〕

従来、特開昭５３−２３８４３号公報、又は特開昭６１
−１８１３２号公報に記載の様に、エツチングの均一加
工を目的に、試料ホルダに駆動機構を設は回転させ均一
パターンを得ていた。

通常、イオンビーム加工機（イオンミリング装置、イオ
ンミキシング装置、イオンビームスパッタ装置等）では
、１ヶ以上の試料を同時に処理するイオンビーム加工機
においても、試料を自転さすとともに、試料間を公転さ
す駆動機構を有する自公転ホルダが均一加工の為にもち
いられていた。

さらに、試料を低温処理する為、試料下部まで冷却水を
流し直接水冷する試料ホルダも開発された。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記二つの要求を同時に満足する直接水冷を有する自公
転ホルダは、構造が複雑となり、メンテナンスが悪いと
いう問題があった。第２図（ａ）。

（ｂ）は、その概略図を示したものである。該図に示す
如く、試料１は、矢印で示す自転２をしながら公転３を
行うが、使用しているＯリングやＸリングが摩耗した等
でメンテナンスする場合、全体をはずさねばならなかっ
た。

本発明は上述の点に鑑み成されたもので、その目的とす
るところは、メンテナンスする場合であっても、全体を
取り外すことなく簡単に行えメンテナンス性が良い自公
転ホルダを提供するにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために１本発明は自転部をブロック
化し、本体部に外周方向より取りつけるようにしたもの
である。

〔作用〕

自転部をブロック化し、本体部に外周方向より取りつけ
構造とすることにより、容易にホルダ部が取りはずせ、
メンテナンス性が向上する。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図（ａ）、（ｂ）により
説明する。

該図において、自公転ホルダ本体７はモータ７ａを有し
、モータ７ａを回転することにより、本体回転部７ｂ、
及び本体回転部７ｂにネジ６ａ等により固定された自転
ブロック６が公転３をする。さらに、自転ブロック６が
公転３をすることにより、自公転部にもうけられた歯車
６ｂと１本体７で回転しない部分にもうけられた歯車７
ｃにより試料１を保持する自転部６ｃが自転２をおこな
う。

なお、冷却水５は本体７にもうけられたプール７ｄより
、冷却水５を自転ブロックに導入するノズル８を通し、
自転部６ｃに導入され、試料１を直接水冷をする。

上記の通り、ノズル８は冷却水５を自転部６Ｃに導入し
、かつ、公転３により回転する本体回転部７ｂと自転ブ
ロック６を固定し、自転ブロック６を公転させる働きを
有する。

本実施例によれば、自転ブロック６は、ネジ６ａをはず
すことにより容易に自公転ホルダ７より取りはずすこと
ができ、メンテナンス性が向上する。

なお、プール７ｄは、自公転ブロック６に均一に冷却水
５を供給し、かつ、イオンビーム４により試料１に当た
らず、本体回転部７ｂに直接入射され高温になるのを防
止する働きを有するが、これが問題にならなければ必要
でない。

また、自公転ブロック６にネジ６ｄに取付けられたカバ
ー６８は、歯車６ｂ、７ｃに付着物を防止するものであ
るが、これが問題にならなければ必要でない。

なお１本実施例においては、試料１を３枚同時に処理可
能な自公転ホルダに関してのみ記載したがこれに限るも
のではない。２枚以上の試料を同時に処理する。２枚以
上の自転ブロック６を有するものであればよく、本体７
に外周方向より自転ブロック６を取りつける構造であれ
ば良い。

また、冷却水５の導入に関して述べたが、これに限るも
のではない。たとえば、冷却ガスであってもよく、また
、逆に加熱の必要があれば、高温水、油導自転ブロック
６に気体、液体を導入するすべてのものに適応できる。

さらに気体、液体を導入しない場合も考えられ、この場
合は、ロードロック方式として、自転ブロック６ごと移
動さすことが可能となる。なおこの場合は、ネジ６ａを
、キー等に変更する必要がある。

また１本実施例は、モータ７ａに関してのみ記載したが
、これに限るものではない、モータ７ａを、自公転ホル
ダ７の外に出すことも可能であり。

また、ハンドル等により外部より手動で回転さすことも
できる。つまり１回転力を与えるものであれば良い。

〔発明の効果〕

本発明によれば、自転ブロックが容易にはずせるため、
メンチ性が向上することができる。また。

自転ブロックと、本体回転部との接続にノズルをもちい
ることにより、よりメンチ性が向上する。

更に、本体回転部にプールをもうけることにより、試料
に当たらず本体に当たるイオンビームによる本体の温度
上昇が防止できる。また、自転ブロックにカバーをつけ
ることにより、歯車の付着物を防止できる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は本発明のイオンビーム加工機の一実施例
を示す平面図、第１図（ｂ）はそれを−部所面して示す
正面図、第２図（ａ）は従来のイオンビーム加工機を示
す平面図、第２図（ｂ）はそれを一部所面して示す正面
図である。 １・・・試料、２・・・自転、３・・・公転、４・・・
イオンビーム、５・・・冷却水、６・・・自転ブロック
、７・・・自公転ホルダ、７ａ・・・モータ、８・・・
ノズル。 （ｂ） ノ　て１し

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、イオンビームが照射され、該イオンビームにより加
   工される少なくとも２個の試料を自公転させる自公転ホ
   ルダにおいて、前記自転部をブロック化し、自公転ホル
   ダ本体部の外周方向よりつける構造としたことを特徴と
   する自公転ホルダ。 ２、前記ブロック化された自転部と、前記自公転ホルダ
   本体部とをノズルにより接続したことを特徴とする請求
   項１記載の自公転ホルダ。 ３、前記ブロック化された自転部に、該自転部と自公転
   ホルダ本体部とが歯合う歯車部を覆うカバーを設けたこ
   とを特徴とする請求項１記載の自公転ホルダ。 ４、前記自公転ホルダ本体部に、プールをとりつけたこ
   とを特徴とする請求項１記載の自公転ホルダ。 ５、自転部がブロック化され、これが自公転ホルダ本体
   部を外周方向から取り付ける構造とした自公転ホルダを
   備えていることを特徴とするイオンビーム加工機。