JPH02151063A - 半導体集積回路の静電保護装置 - Google Patents
半導体集積回路の静電保護装置Info
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- JPH02151063A JPH02151063A JP30533988A JP30533988A JPH02151063A JP H02151063 A JPH02151063 A JP H02151063A JP 30533988 A JP30533988 A JP 30533988A JP 30533988 A JP30533988 A JP 30533988A JP H02151063 A JPH02151063 A JP H02151063A
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- bonding pads
- diode
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- electrostatic protection
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- 230000001681 protective effect Effects 0.000 title abstract description 9
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 abstract description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 4
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 3
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Landscapes
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、半導体集積回路装置の静電保護装置に関し、
特に、同一の保護用回路素子に複数個のボンディングパ
ッドを接続せしめた静電保護装置に関する。
特に、同一の保護用回路素子に複数個のボンディングパ
ッドを接続せしめた静電保護装置に関する。
[従来の技術]
従来、この種の静電保護装置は、第6図に示すように、
一つのボンディングパッドに一つの静電保護回路を設け
るものであった。同図に示すように、入力用ボンディン
グパッド11は、N導電型ポリシリコン抵抗12、N導
電型拡散抵抗13を介して保護すべき内部回路へと導か
れているが、その途中において拡散抵抗13は、ダイオ
ードD11を介して接地されている。このダイオードD
llは、抵抗13とこの抵抗がその中に形成されたPウ
ェルとの間に形成されたダイオードである。
一つのボンディングパッドに一つの静電保護回路を設け
るものであった。同図に示すように、入力用ボンディン
グパッド11は、N導電型ポリシリコン抵抗12、N導
電型拡散抵抗13を介して保護すべき内部回路へと導か
れているが、その途中において拡散抵抗13は、ダイオ
ードD11を介して接地されている。このダイオードD
llは、抵抗13とこの抵抗がその中に形成されたPウ
ェルとの間に形成されたダイオードである。
[発明が解決しようとする問題点〕
上述した従来の静電保護装置は、保護すべき内部回路が
接続されたボンディングパッド毎に、該パッドと保護す
べき内部回路との間に設けられるものであったので、次
の問題点を有するものであった。
接続されたボンディングパッド毎に、該パッドと保護す
べき内部回路との間に設けられるものであったので、次
の問題点を有するものであった。
■ 一つの静電保護回路には一つのボンディングパッド
が接続されるのみであったので、設けるべき静電保護回
路の数が多くなり、その占有面積が増大する。
が接続されるのみであったので、設けるべき静電保護回
路の数が多くなり、その占有面積が増大する。
■ ボンディングパッドと内部回路との間に保護抵抗が
介在しているので信号が減衰しノイズマージンが減少す
る。
介在しているので信号が減衰しノイズマージンが減少す
る。
■ 保護抵抗とその浮遊容量によって信号の伝達遅延時
間が増大する。
間が増大する。
■ 保護抵抗による電力消費によって発熱が増加する。
[問題点を解決するための手段]
本発明の静電保護装置は、1乃至複数個の保護用回路素
子を有し、該回路素子の少なくとも1つには少なくとも
2つのボンディングパッドが、それぞれそのボンディン
グパッドに異常電圧が印加されたときに導通することの
できる回路素子を介して接続されたものである。そして
、保護対象である内部回路は、静電保護回路を介するこ
となく直接ボンディングパッドに接続されている。
子を有し、該回路素子の少なくとも1つには少なくとも
2つのボンディングパッドが、それぞれそのボンディン
グパッドに異常電圧が印加されたときに導通することの
できる回路素子を介して接続されたものである。そして
、保護対象である内部回路は、静電保護回路を介するこ
となく直接ボンディングパッドに接続されている。
[実施例コ
次に、図面を参照して本発明の実施例について説明する
。
。
第1図は、本発明の一実施例を示す回路図である。同図
に示されるように、互いに異なる信号が印加されるボン
ディングパッド1.2は、それぞれ、ダイオードD1.
D2を介して保護用のMOSトランジスタ8のドレイン
に接続され、また、第3のダイオードD3のアノードに
接続される。
に示されるように、互いに異なる信号が印加されるボン
ディングパッド1.2は、それぞれ、ダイオードD1.
D2を介して保護用のMOSトランジスタ8のドレイン
に接続され、また、第3のダイオードD3のアノードに
接続される。
MOSトランジスタ8のゲートは抵抗Rを介して接地さ
れ、そのソースは接地されている。また、ダイオードD
3のカソードは電源VCCに接続されている。それぞれ
のボンディングパッド1.2には保護さるべき内部回路
が直接接続されている。
れ、そのソースは接地されている。また、ダイオードD
3のカソードは電源VCCに接続されている。それぞれ
のボンディングパッド1.2には保護さるべき内部回路
が直接接続されている。
第1図の回路を集積化した集積回路の平面図を第2図に
示す。それぞれ別の内部回路に接続されたボンディング
パッド1.2は、Pウェル3内に形成されたN型拡散層
4.5と接続されている。
示す。それぞれ別の内部回路に接続されたボンディング
パッド1.2は、Pウェル3内に形成されたN型拡散層
4.5と接続されている。
N型拡散層4.5に挟まれたウェル内には高濃度P型拡
散層6が形成されており、この領域は、NチャネルMO
Sトランジスタ8のドレイン領域と接続されている。P
型拡散層6とN型拡散層4.5とによってダイオードD
、、D2が形成されるが1、これらのダイオードの逆方
向耐圧は8〜15Vになるように、これら各拡散層の不
純物濃度はコントロールされている。Pウェル3とN型
基体との間にはダイオードD3が形成され、そして、N
型基体は、ラッチアップ防止用のガートバンドであるN
型拡散層9を介して電源VCCに接続されている。また
、MOSトランジスタ8のソース領域は電源V55に接
続され、ゲート電極は、200Ωの抵抗値をもつポリシ
リコン抵抗7を介して電源V55に接続されている。
散層6が形成されており、この領域は、NチャネルMO
Sトランジスタ8のドレイン領域と接続されている。P
型拡散層6とN型拡散層4.5とによってダイオードD
、、D2が形成されるが1、これらのダイオードの逆方
向耐圧は8〜15Vになるように、これら各拡散層の不
純物濃度はコントロールされている。Pウェル3とN型
基体との間にはダイオードD3が形成され、そして、N
型基体は、ラッチアップ防止用のガートバンドであるN
型拡散層9を介して電源VCCに接続されている。また
、MOSトランジスタ8のソース領域は電源V55に接
続され、ゲート電極は、200Ωの抵抗値をもつポリシ
リコン抵抗7を介して電源V55に接続されている。
このように構成することにより、本実施例装置は、ボン
ディングパッドに高電界のサージが印加された場合でも
ダイオードD1、D2が8〜15V以上の電圧によって
ブレークダウンし、次いでMOSトランジスタ8が導通
してダイオードとの接続点を一定電位にクランプするの
で、保護すべき回路が20V前後のゲート耐圧をもつ入
力ゲートである場合に十分な保護機能をもつ、また、通
常の回路動作時においては電源Vccの電圧を7V以上
とすることがないので、ダイオードD、 、D2はブレ
ークダウンを起こさず、相異なる機能をもつボンディン
グパッド間には相互干渉が発生しない。
ディングパッドに高電界のサージが印加された場合でも
ダイオードD1、D2が8〜15V以上の電圧によって
ブレークダウンし、次いでMOSトランジスタ8が導通
してダイオードとの接続点を一定電位にクランプするの
で、保護すべき回路が20V前後のゲート耐圧をもつ入
力ゲートである場合に十分な保護機能をもつ、また、通
常の回路動作時においては電源Vccの電圧を7V以上
とすることがないので、ダイオードD、 、D2はブレ
ークダウンを起こさず、相異なる機能をもつボンディン
グパッド間には相互干渉が発生しない。
なお、ダイオードDI、D2のブレークダウン電圧をよ
り低くおさえるのであればMOS)ランジスタ8の導通
開始の電圧をより高く設定すればよい。
り低くおさえるのであればMOS)ランジスタ8の導通
開始の電圧をより高く設定すればよい。
いずれにしても、この回路においてはダイオードとMO
S)ランジスタとのブレークダウン電圧の和は、保護す
べき回路を破壊する電圧よりも十分小さく設定されなけ
ればならない。
S)ランジスタとのブレークダウン電圧の和は、保護す
べき回路を破壊する電圧よりも十分小さく設定されなけ
ればならない。
次に、第3図を参照して本発明の他の実施例について説
明する。この実施例では、ボンディングパッドが1個追
加されており、合計3つのボンディングパッドに対し、
1つの静電保護回路素子で間に合わせている。
明する。この実施例では、ボンディングパッドが1個追
加されており、合計3つのボンディングパッドに対し、
1つの静電保護回路素子で間に合わせている。
この実施例では、ボンディングパッド1.2およびダイ
オードDI 、D2の他に新たにボンディングパッド1
0とダイオードD4が追加されているので、レイアウト
パターン面積は、先の実施例よりもさらに減少できる。
オードDI 、D2の他に新たにボンディングパッド1
0とダイオードD4が追加されているので、レイアウト
パターン面積は、先の実施例よりもさらに減少できる。
なお、ボンディングパッドの数が増えるにつれて、静電
気放出能力を高めるべく、NチャネルMO8)ランジス
タのパターンサイズが増大するが、従来の構成に比較す
れば、そのパターンサイズの増大の程度はごくわずかで
ある。
気放出能力を高めるべく、NチャネルMO8)ランジス
タのパターンサイズが増大するが、従来の構成に比較す
れば、そのパターンサイズの増大の程度はごくわずかで
ある。
第4図は、本発明のさらに他の実施例を示す回路図であ
る。この実施例では、ボンディングパッド1.2とダイ
オードDl、D2との間に抵抗R1、R2が介在してい
る。この実施例によれば、サージが印加された場合のM
OS)ランジスタの破壊を抑止することができる。
る。この実施例では、ボンディングパッド1.2とダイ
オードDl、D2との間に抵抗R1、R2が介在してい
る。この実施例によれば、サージが印加された場合のM
OS)ランジスタの破壊を抑止することができる。
第5図は、本発明のさらにもう一つの実施例を示す回路
図である。この実施例では、ボンディングパッド間の相
互干渉を防止する回路素子としてMOS)ランジスタ8
a、8bを用いており、また、静電保護用回路素子とし
てダイオードD5を用いている。
図である。この実施例では、ボンディングパッド間の相
互干渉を防止する回路素子としてMOS)ランジスタ8
a、8bを用いており、また、静電保護用回路素子とし
てダイオードD5を用いている。
[発明の効果コ
以上説明したように、本発明は、単一の静電保護回路と
複数個の入力用等のボンディングパッドとの間に、それ
ぞれ異常電圧発生時に導通することのできる回路素子を
接続し、かつ、ボンディングパッドには、直接内部回路
を接続するものであるので、本発明によれば、次の効果
を奏することができる。
複数個の入力用等のボンディングパッドとの間に、それ
ぞれ異常電圧発生時に導通することのできる回路素子を
接続し、かつ、ボンディングパッドには、直接内部回路
を接続するものであるので、本発明によれば、次の効果
を奏することができる。
■ 複数のボンディングパッドが1つの静電保護用回路
を共有することによって、静電保護用回路の占有面積を
低減せしめることができ、チップサイズの縮小が可能と
なる。
を共有することによって、静電保護用回路の占有面積を
低減せしめることができ、チップサイズの縮小が可能と
なる。
■ ボンディングパッドどうしは、通常動作状態では導
通することのない素子を2つ介して接続されるので、通
常動作時においてボンディングパッド間で干渉が生じる
ことはない。
通することのない素子を2つ介して接続されるので、通
常動作時においてボンディングパッド間で干渉が生じる
ことはない。
■ 信号は、静電保護回路を経由することなく、ボンデ
ィングパッドから直接内部回路に伝達、されるので、信
号に減衰、遅れが生じることがない。
ィングパッドから直接内部回路に伝達、されるので、信
号に減衰、遅れが生じることがない。
■ 保護用回路の抵抗によって電力が消費されることが
ないので、チップの発熱が抑制される。
ないので、チップの発熱が抑制される。
第1因は、本発明の一実施例を示す回路図、第2因は、
第1図の実施例の集積回路上の平面図、第3図乃至第5
図は、それぞれ、本発明の他の実施例を示す回路図、第
6図は、従来例を示す回路図である。 1.2.10.11・・−・・ボンディングパッド、3
・−・−・・Pウェル、 4.5.9・・・・・・N型
拡散層、6−・・−・・高濃度P型拡散層、 7.12
・・・・・・ポリシリコン抵抗、 8.8a、8b・・
・・・・MOS)ランジスタ、 13・・・・・・N型
拡散抵抗。 第3図
第1図の実施例の集積回路上の平面図、第3図乃至第5
図は、それぞれ、本発明の他の実施例を示す回路図、第
6図は、従来例を示す回路図である。 1.2.10.11・・−・・ボンディングパッド、3
・−・−・・Pウェル、 4.5.9・・・・・・N型
拡散層、6−・・−・・高濃度P型拡散層、 7.12
・・・・・・ポリシリコン抵抗、 8.8a、8b・・
・・・・MOS)ランジスタ、 13・・・・・・N型
拡散抵抗。 第3図
Claims (1)
- 少なくとも2つのボンディングパッドが、それぞれその
パッドに異常電圧が印加されたときに導通することので
きる回路素子を介して同一の静電保護用回路素子に接続
されていることを特徴とする半導体集積回路の静電保護
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63305339A JPH07109870B2 (ja) | 1988-12-02 | 1988-12-02 | 半導体集積回路の静電保護装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63305339A JPH07109870B2 (ja) | 1988-12-02 | 1988-12-02 | 半導体集積回路の静電保護装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02151063A true JPH02151063A (ja) | 1990-06-11 |
JPH07109870B2 JPH07109870B2 (ja) | 1995-11-22 |
Family
ID=17943924
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63305339A Expired - Lifetime JPH07109870B2 (ja) | 1988-12-02 | 1988-12-02 | 半導体集積回路の静電保護装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07109870B2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6143468A (ja) * | 1984-08-07 | 1986-03-03 | Mitsubishi Electric Corp | 保護回路 |
-
1988
- 1988-12-02 JP JP63305339A patent/JPH07109870B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6143468A (ja) * | 1984-08-07 | 1986-03-03 | Mitsubishi Electric Corp | 保護回路 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07109870B2 (ja) | 1995-11-22 |
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