JPH02137765A - 透明な酸窒化アルミニウム複合焼結体の製造方法 - Google Patents
透明な酸窒化アルミニウム複合焼結体の製造方法Info
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- JPH02137765A JPH02137765A JP63290679A JP29067988A JPH02137765A JP H02137765 A JPH02137765 A JP H02137765A JP 63290679 A JP63290679 A JP 63290679A JP 29067988 A JP29067988 A JP 29067988A JP H02137765 A JPH02137765 A JP H02137765A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、透明な酸窒化アルミニウム複合焼結体の製造
方法に関する。
方法に関する。
酸窒化アルミニウムは高温強度、耐熱衝撃性に優れてい
るばかりでなく、立方晶に属するため光光学異方性を持
たず、焼結多結晶体においても光散乱のない透明体を得
ることができる。その之め。
るばかりでなく、立方晶に属するため光光学異方性を持
たず、焼結多結晶体においても光散乱のない透明体を得
ることができる。その之め。
近年、可視、赤外の領域における耐熱性窓材料としての
期待が高まっている。
期待が高まっている。
従来、透明な酸窒化アルミニウム焼結体は２例えば特開
昭６０−１９１０６１号公報に示されているように、酸
化アルミニウム粉末と窒化アルミニウム粉末を混合し、
焼成するこさによって単一相の酸窒化アルミニウムとし
く仮焼工程）、この合成材料を粉砕、粉末とした後成形
を行い、再び焼結する工程を経ることにより製造されて
きた。
昭６０−１９１０６１号公報に示されているように、酸
化アルミニウム粉末と窒化アルミニウム粉末を混合し、
焼成するこさによって単一相の酸窒化アルミニウムとし
く仮焼工程）、この合成材料を粉砕、粉末とした後成形
を行い、再び焼結する工程を経ることにより製造されて
きた。
又１例えば特開昭５８−７４５７７号公報に示されてい
るように、酸窒化アルミニウム焼結体に透光性を付与す
るＫは十分な結晶粒の成長が必要であり、単一相の酸窒
化アルミニウム粉末を粒成長させる際の焼結温度は１９
００〜２０００℃と高く、焼結時間は、２０時間以上に
及ぶものである。
るように、酸窒化アルミニウム焼結体に透光性を付与す
るＫは十分な結晶粒の成長が必要であり、単一相の酸窒
化アルミニウム粉末を粒成長させる際の焼結温度は１９
００〜２０００℃と高く、焼結時間は、２０時間以上に
及ぶものである。
従来の焼結体の製造方法は、仮焼工程を経るため、原料
粉末への不純物混入の機会が多くなシ。
粉末への不純物混入の機会が多くなシ。
焼結体の透光性を損なう要因となる。又、透光性を付与
するには、上記のように、高温かつ長時間を必要とする
という課題があった。
するには、上記のように、高温かつ長時間を必要とする
という課題があった。
本発明はかかる課題を解決するためになされたもので、
従来より低温、短時間で透光性に優れた透明な酸窒化ア
ルミニウム複合焼結体の製造方法を得ることを目的とす
る。
従来より低温、短時間で透光性に優れた透明な酸窒化ア
ルミニウム複合焼結体の製造方法を得ることを目的とす
る。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の透明な酸窒化アルミニウム複合焼結体の製造方
法は、酸化アルミニウム粉末８６．５〜９３．４重量％
および窒化アルミニウム粉末６．６〜１３．５重量％を
混合し、１７５０〜１９００℃で１〜１０時間焼結して
、少なくともＡＡ２５０ｚｙＮｓ相およびＡ／１１０１
５Ｎ 相を構成マトリックスとして形成するものである
。
法は、酸化アルミニウム粉末８６．５〜９３．４重量％
および窒化アルミニウム粉末６．６〜１３．５重量％を
混合し、１７５０〜１９００℃で１〜１０時間焼結して
、少なくともＡＡ２５０ｚｙＮｓ相およびＡ／１１０１
５Ｎ 相を構成マトリックスとして形成するものである
。
又１本発明の別の発明の透明な酸窒化アルミニウム複合
焼結体の製造方法は、水酸化アルミニウム粉末９０．７
〜９５．６重量％および窒化アルミニウム粉末４．４〜
９．３重量％を混合し、１７５０〜１９００℃で１〜１
０時間焼結して、少なくともＡｌ２３０２７Ｎ５相およ
びＡ／１１０ｔｓＮ 相を構成マトリックスとして形成
するものである。
焼結体の製造方法は、水酸化アルミニウム粉末９０．７
〜９５．６重量％および窒化アルミニウム粉末４．４〜
９．３重量％を混合し、１７５０〜１９００℃で１〜１
０時間焼結して、少なくともＡｌ２３０２７Ｎ５相およ
びＡ／１１０ｔｓＮ 相を構成マトリックスとして形成
するものである。
本発明におけるＡＪ？１１０１５ Ｎ相はＡｌ２！５Ｏ
２７ＮＳ相に比べて低温で液相を生じる九め、この相の
存在が焼結の促進、低温化を引き起し、透光性を付与す
るに必要な理論密度の９８％以上の微密体となる。
２７ＮＳ相に比べて低温で液相を生じる九め、この相の
存在が焼結の促進、低温化を引き起し、透光性を付与す
るに必要な理論密度の９８％以上の微密体となる。
本発明において、酸化アルミニウム粉末８６．５〜９３
．４重ｉｔ％、望ましくは８１Ｌ５〜９２５重量％およ
び窒化アルミニウム粉末をＬ６〜１３．５重ｔ％、望ま
しくは７．５〜１１．５重量％混合する。
．４重ｉｔ％、望ましくは８１Ｌ５〜９２５重量％およ
び窒化アルミニウム粉末をＬ６〜１３．５重ｔ％、望ま
しくは７．５〜１１．５重量％混合する。
上記範囲内の混合により、焼結体中にＡＪ？１１０１５
Ｎ相が生じ、上記作用によシ所期目的を達成することが
できる。なお、上記混合割合は、単一相の酸窒化アルミ
ニウムの製造において通常作られる化合物であるＡ７２
３０２７Ｎ５酸窒化アルミニウムのＡｌ２Ｏ３とＡＩＮ
のモル比率９：５に比べ酸化アルミニウム粉末が過剰に
混合されることになる。この粉末を造粒、整粒した後、
゛例えば金型プレス法等により成形を行い、該成形体を
焼結炉中にセットし焼結を行なう。ホットプレスを行う
場合は、ホットプレス用カーボンダイスに該成形体を組
み込んだ後ホントプレス炉にセットする。
Ｎ相が生じ、上記作用によシ所期目的を達成することが
できる。なお、上記混合割合は、単一相の酸窒化アルミ
ニウムの製造において通常作られる化合物であるＡ７２
３０２７Ｎ５酸窒化アルミニウムのＡｌ２Ｏ３とＡＩＮ
のモル比率９：５に比べ酸化アルミニウム粉末が過剰に
混合されることになる。この粉末を造粒、整粒した後、
゛例えば金型プレス法等により成形を行い、該成形体を
焼結炉中にセットし焼結を行なう。ホットプレスを行う
場合は、ホットプレス用カーボンダイスに該成形体を組
み込んだ後ホントプレス炉にセットする。
上記成形体は例えば窒素中ＩＴ５０〜１９００℃で１〜
１Ｇ時間望ましくは１〜６時間焼結を行う。又、さらに
１００ｋｌＦｆ／ｉ以上、望ましくは２００ｋｌＦｆ／
ｄ以上の加圧によりホットプレスを行なうことは気孔の
除去と縮小化、焼結体が緻密化し、透明度が良（なり望
ましい。なお、１７５０℃以下では焼結体の透明性が低
下し、１９００℃以上では試料粉末が融解指充分な焼結
体が得られない。又１時間以下の焼結では透明が生じる
に充分な焼結体が得られず、１０時間以上の焼結ではＡ
ＪｊｊＯｊ５Ｎ 相が無くなり所期目的を達成すること
ができない。
１Ｇ時間望ましくは１〜６時間焼結を行う。又、さらに
１００ｋｌＦｆ／ｉ以上、望ましくは２００ｋｌＦｆ／
ｄ以上の加圧によりホットプレスを行なうことは気孔の
除去と縮小化、焼結体が緻密化し、透明度が良（なり望
ましい。なお、１７５０℃以下では焼結体の透明性が低
下し、１９００℃以上では試料粉末が融解指充分な焼結
体が得られない。又１時間以下の焼結では透明が生じる
に充分な焼結体が得られず、１０時間以上の焼結ではＡ
ＪｊｊＯｊ５Ｎ 相が無くなり所期目的を達成すること
ができない。
本発明の別の発明において、水酸化アルミニウム粉末９
０．Ｔ〜９５．６重量％、望ましくは９２．３〜９５重
量％および窒化アルミニウム粉末を４．４〜９．３重量
％、望ましくは９２．３〜９５重量％混合する。上記範
囲内の混合によシ、焼結体中にｕ１１ｏ１５Ｎ 相が生
じ、上記作用により所期目的を達成することができる。
０．Ｔ〜９５．６重量％、望ましくは９２．３〜９５重
量％および窒化アルミニウム粉末を４．４〜９．３重量
％、望ましくは９２．３〜９５重量％混合する。上記範
囲内の混合によシ、焼結体中にｕ１１ｏ１５Ｎ 相が生
じ、上記作用により所期目的を達成することができる。
水酸化アルミニウムは加熱によって容易に酸化アルミニ
ウムとなるが上記の混合比は単一相の酸窒化アルミニウ
ムとして通常合成されるＡｌ ２５０２７ Ｎ ５酸窒
化アルミニウムのｕ２０５とＡＪＮのモル比率９：５に
比べ水酸化アルミニウム粉末が過剰に混合されることに
なる。また、水酸化アルミニウム粉末と窒化アルミニウ
ム粉末の平均粒径は３μｍ以下が望ましく、１５μｍ以
下の場合はさらに望ましい。水酸化アルミニウムは加熱
による脱水によって活性化された酸化アルミニウムとな
り、比較的速やかに酸窒化アルミニウムへの反応は進行
するが、粉末の粒径が大きいと焼結体中に未反応部分が
残存する恐れがある。
ウムとなるが上記の混合比は単一相の酸窒化アルミニウ
ムとして通常合成されるＡｌ ２５０２７ Ｎ ５酸窒
化アルミニウムのｕ２０５とＡＪＮのモル比率９：５に
比べ水酸化アルミニウム粉末が過剰に混合されることに
なる。また、水酸化アルミニウム粉末と窒化アルミニウ
ム粉末の平均粒径は３μｍ以下が望ましく、１５μｍ以
下の場合はさらに望ましい。水酸化アルミニウムは加熱
による脱水によって活性化された酸化アルミニウムとな
り、比較的速やかに酸窒化アルミニウムへの反応は進行
するが、粉末の粒径が大きいと焼結体中に未反応部分が
残存する恐れがある。
上記の混合粉末を造粒、整粒した後１例えば金型プレス
法等により、上記本発明と同様の焼結条件で焼結を行な
う。
法等により、上記本発明と同様の焼結条件で焼結を行な
う。
以上の様にして得られた本発明の実施例による酸窒化ア
ルミニウム複合焼結体を走査電子顕微焼により微構造の
観察を行うと、結晶粒径１０〜２００μｍの十分な粒成
長と緻密化が起っている。
ルミニウム複合焼結体を走査電子顕微焼により微構造の
観察を行うと、結晶粒径１０〜２００μｍの十分な粒成
長と緻密化が起っている。
またＸ線回折と透過電子顕微鏡による電子線回折からは
、少な（ともＡｊ ２３０２７ Ｎ ５酸窒化アルミニ
ウム（！： Ａｌ１１０１５Ｎ 酸窒化アルミニウムの
２相が構成マトリックスとなっていることがわかる。Ｍ
１１０１５Ｎ相は、 Ａｌ２３０２７Ｎ５相に比べて
低温で液相を生じるため、この相の存在が焼結の促進、
低温化を引き起し、透光性を付与するに必要な理論密度
の９８％以上の緻密体となる。
、少な（ともＡｊ ２３０２７ Ｎ ５酸窒化アルミニ
ウム（！： Ａｌ１１０１５Ｎ 酸窒化アルミニウムの
２相が構成マトリックスとなっていることがわかる。Ｍ
１１０１５Ｎ相は、 Ａｌ２３０２７Ｎ５相に比べて
低温で液相を生じるため、この相の存在が焼結の促進、
低温化を引き起し、透光性を付与するに必要な理論密度
の９８％以上の緻密体となる。
以下実施例により本発明を具体的に説明する。
実施例１
純度９９．９％以上で平均粒径がＯ，ＯＳμｍのγ−型
酸酸化アルミニウム粉末９Ｑ、９重量％と純度９７％以
上で平均粒径が０．７μｍの窒化アルミニウム粉末９．
１重量％をポリエチレン製ポットに入れ。
酸酸化アルミニウム粉末９Ｑ、９重量％と純度９７％以
上で平均粒径が０．７μｍの窒化アルミニウム粉末９．
１重量％をポリエチレン製ポットに入れ。
エタノール中で、純度９９，７％以上のアルミナボール
を用いてボールミル混合を行う。混合した粉末を乾燥し
之のち造粒し、金型プレス法にて成形を行う。該成形体
をホットプレス用カーボンダイスにセットし、１８３０
℃３時間、４００ｋｇｆ／ｄの加圧でホットプレスする
ことにより１本発明の一実施例による透明な酸窒化アル
ミニウム複合焼結体を製造した。
を用いてボールミル混合を行う。混合した粉末を乾燥し
之のち造粒し、金型プレス法にて成形を行う。該成形体
をホットプレス用カーボンダイスにセットし、１８３０
℃３時間、４００ｋｇｆ／ｄの加圧でホットプレスする
ことにより１本発明の一実施例による透明な酸窒化アル
ミニウム複合焼結体を製造した。
実施例２
実施例１において、粉末成形体をホットプレス用カーボ
ンダイスにセットし、１７５０℃、１時間、 ２００
ｋｇｆ／ｃ！ｌの加圧でホントプレスする以外は実施例
１と同様にして本発明の他の実施例による透明な酸窒化
アルミニウム複合焼結体を製造した。
ンダイスにセットし、１７５０℃、１時間、 ２００
ｋｇｆ／ｃ！ｌの加圧でホントプレスする以外は実施例
１と同様にして本発明の他の実施例による透明な酸窒化
アルミニウム複合焼結体を製造した。
実施例３
実施例１において、γ−型酸酸化アルミニウム粉末８１
２重量％窒化アルミニウム粉末ｓ１．８重量％を用いる
他は実施例１と同様にして２本発明のさらに他の実施例
による透明な酸窒化アルミニウム複合焼結体を製造した
。
２重量％窒化アルミニウム粉末ｓ１．８重量％を用いる
他は実施例１と同様にして２本発明のさらに他の実施例
による透明な酸窒化アルミニウム複合焼結体を製造した
。
実施例４
純度９９％以上の水畷化アルミニウム粉末９３．８重量
％と純度９７％以上の窒化アルミニウム粉末６．２重量
％をポリエチレン製ポットに入れ、エタノール中で純度
９９．５％以上のアルミナボールを用いてボールミル混
合を行う。上記の水酸化アルミニウム粉末と窒化アルミ
ニウム粉末の平均粒径は、島津製作所遠心沈降式粒度分
布測定装置によシ測定を行うと、それぞれ１．０μｍと
０．７μｍである。
％と純度９７％以上の窒化アルミニウム粉末６．２重量
％をポリエチレン製ポットに入れ、エタノール中で純度
９９．５％以上のアルミナボールを用いてボールミル混
合を行う。上記の水酸化アルミニウム粉末と窒化アルミ
ニウム粉末の平均粒径は、島津製作所遠心沈降式粒度分
布測定装置によシ測定を行うと、それぞれ１．０μｍと
０．７μｍである。
混合した粉末を乾燥したのち造粒し、金型プレス法にて
成形を行う。醸成形体をホットプレス用カーボンダイス
にセットし、窒素中１８００℃１時間、２３０に９／ｉ
の加圧でホットプレスすることにより２本発明の別の発
明の一実施例による透明な酸窒化アルミニウム複合焼結
体を製造した。
成形を行う。醸成形体をホットプレス用カーボンダイス
にセットし、窒素中１８００℃１時間、２３０に９／ｉ
の加圧でホットプレスすることにより２本発明の別の発
明の一実施例による透明な酸窒化アルミニウム複合焼結
体を製造した。
比較例１
実施列１で用いたのと同じｒ−型酸化アルミニウム粉末
８Ｓ、３重景％と窒化アルミニウム粉末１４７重量％を
、実施例１と同様の方法で混合。
８Ｓ、３重景％と窒化アルミニウム粉末１４７重量％を
、実施例１と同様の方法で混合。
成形する。該成形体をホットプレス用カーボンダイスに
セットし、１１１３０℃３時間、４００ｋｇｆ／Ｃ！！
の加圧でホントプレスすることにより、酸窒化アルミニ
ウム焼結体を製造した。
セットし、１１１３０℃３時間、４００ｋｇｆ／Ｃ！！
の加圧でホントプレスすることにより、酸窒化アルミニ
ウム焼結体を製造した。
比較例２
純度９９．９％以上の酸化アルミニウム粉末８５．３重
量％と実施例１で用いたのと同じ窒化アルミニウム粉末
１４．７重量％を、実施例と同様の方法で混合、成形す
る。該成形体をホットプレス用カーボンダイスにセット
し、実施例４と同じ条件でホットプレスすることにより
、酸窒化アルミニウム焼結体を製造した。
量％と実施例１で用いたのと同じ窒化アルミニウム粉末
１４．７重量％を、実施例と同様の方法で混合、成形す
る。該成形体をホットプレス用カーボンダイスにセット
し、実施例４と同じ条件でホットプレスすることにより
、酸窒化アルミニウム焼結体を製造した。
しかして１本実施例１〜４及び比較例１，２で得た焼結
体を、Ｘ線回折実験により回折ピークを求めた。その結
果、実施例ではＡｊ？２５０２７Ｎ５酸窒化アルミニウ
ムとＡＪ１１０１５Ｎ 酸窒化アルミニウムの両方のピ
ークが見られるが、比較例では０２５０２７ Ｎ Ｓ酸
窒化アルミニウムのピークのみしか見られなかつた。
体を、Ｘ線回折実験により回折ピークを求めた。その結
果、実施例ではＡｊ？２５０２７Ｎ５酸窒化アルミニウ
ムとＡＪ１１０１５Ｎ 酸窒化アルミニウムの両方のピ
ークが見られるが、比較例では０２５０２７ Ｎ Ｓ酸
窒化アルミニウムのピークのみしか見られなかつた。
また、実施例１． ２． ４及び比較例１，２で得た焼
結体を、厚さ２順に加工し２両面を研磨したのち２日本
分光製赤外線分光光度計によす赤外域での透過率を測定
した。その結果を図面の波長による透過率変化を示す特
性図に示す。図において横軸は波長（μｍ）、縦軸は透
過率（％）を示し。
結体を、厚さ２順に加工し２両面を研磨したのち２日本
分光製赤外線分光光度計によす赤外域での透過率を測定
した。その結果を図面の波長による透過率変化を示す特
性図に示す。図において横軸は波長（μｍ）、縦軸は透
過率（％）を示し。
（１）は実施例１の特性、（２）は実施例２の特性、（
３）は実施例４の特性、ａυは比較例１の特性、σりは
比較例２の特性を示す。
３）は実施例４の特性、ａυは比較例１の特性、σりは
比較例２の特性を示す。
図面から解るように、実施例１，４は高い透過率を示し
、又実施例２は焼結温度が１７５０℃と低いにもかかわ
らず、比較例をややしのぐ透過率を示した。
、又実施例２は焼結温度が１７５０℃と低いにもかかわ
らず、比較例をややしのぐ透過率を示した。
上記実施例の焼結体を、アルキメデス法によシ密度の測
定を行った結果、どれも理論密度の９９％以上の緻密体
であった。
定を行った結果、どれも理論密度の９９％以上の緻密体
であった。
以上説明したとおり２本発明は酸化アルミニウム粉末８
６．５〜！１１４重量％および窒化アルミニウム粉末Ｌ
６〜１３．５重量％又は水酸化アルミニウム粉末ｓｏ、
ｙ〜９５．６重量％および窒化アルミニウム粉末４．４
〜９．３重量％を混合し、１７５０〜１９００℃で１〜
１０時間焼結して、少なくともＡｊ２５０２７Ｎ５相お
よびＡｌ１１ｊＯｊ５Ｎ 相を構成マトリックスとして
形成することにより、従来より低温。
６．５〜！１１４重量％および窒化アルミニウム粉末Ｌ
６〜１３．５重量％又は水酸化アルミニウム粉末ｓｏ、
ｙ〜９５．６重量％および窒化アルミニウム粉末４．４
〜９．３重量％を混合し、１７５０〜１９００℃で１〜
１０時間焼結して、少なくともＡｊ２５０２７Ｎ５相お
よびＡｌ１１ｊＯｊ５Ｎ 相を構成マトリックスとして
形成することにより、従来より低温。
短時間で透光性に優れた透明な酸窒化アルミニラ、複合
焼結体の製造方法を得ることができる。
焼結体の製造方法を得ることができる。
図面は２本発明の実施例と従来例を比較する焼結体の波
長による透過率変化を示す特性図である。 図において、（１）は実施例１の特性、（２）は実施例
２の特性、（３）は実施例４の特性、σＤは比較例１の
特性、 ａＳは比較例２の特性である。
長による透過率変化を示す特性図である。 図において、（１）は実施例１の特性、（２）は実施例
２の特性、（３）は実施例４の特性、σＤは比較例１の
特性、 ａＳは比較例２の特性である。
Claims (2)
- （１）酸化アルミニウム粉末８６．５〜９３．４重量％
および窒化アルミニウム粉末６．６〜１３．５重量％を
混合し，１７５０〜１９００℃で１〜１０時間焼結して
，少なくともＡｌ＿２＿３Ｏ＿２＿７Ｎ＿５相およびＡ
ｌ＿１＿１Ｏ＿１＿５Ｎ相を構成マトリックスとして形
成する透明な酸窒化アルミニウム複合焼結体の製造方法
。 - （２）水酸化アルミニウム粉末９０．７〜９５．６重量
％および窒化アルミニウム粉末４．４〜９．３重量％を
混合し，１７５０〜０９００℃で１〜１０時間焼結して
，少なくともＡｌ＿２＿３Ｏ＿２＿７Ｎ＿４＿５相およ
びＡｌ＿１＿１Ｏ＿１＿５Ｎ相を構成マトリックスとし
て形成する透明な酸窒化アルミニウム複合焼結体の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63290679A JP2558849B2 (ja) | 1988-11-17 | 1988-11-17 | 透明な酸窒化アルミニウム複合焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63290679A JP2558849B2 (ja) | 1988-11-17 | 1988-11-17 | 透明な酸窒化アルミニウム複合焼結体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02137765A true JPH02137765A (ja) | 1990-05-28 |
| JP2558849B2 JP2558849B2 (ja) | 1996-11-27 |
Family
ID=17759090
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63290679A Expired - Lifetime JP2558849B2 (ja) | 1988-11-17 | 1988-11-17 | 透明な酸窒化アルミニウム複合焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2558849B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003072523A1 (fr) * | 2002-02-28 | 2003-09-04 | Pem Abrasifs-Refractaires | Grains abrasifs a base d'oxynitrure d'aluminium |
| JP2005175039A (ja) * | 2003-12-09 | 2005-06-30 | Kenichiro Miyahara | 発光素子搭載用基板及び発光素子 |
| JP2010180126A (ja) * | 2004-07-08 | 2010-08-19 | Ngk Insulators Ltd | 窒化アルミニウム単結晶の製造方法 |
| CN104446496A (zh) * | 2014-11-26 | 2015-03-25 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 一种AlON粉体的制备方法及由其制备的透明陶瓷 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101844916B (zh) * | 2009-03-26 | 2013-06-26 | 日本碍子株式会社 | 氧化铝烧结体、其制法和半导体制造装置部件 |
-
1988
- 1988-11-17 JP JP63290679A patent/JP2558849B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO2003072523A1 (fr) * | 2002-02-28 | 2003-09-04 | Pem Abrasifs-Refractaires | Grains abrasifs a base d'oxynitrure d'aluminium |
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| CN104446496A (zh) * | 2014-11-26 | 2015-03-25 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 一种AlON粉体的制备方法及由其制备的透明陶瓷 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2558849B2 (ja) | 1996-11-27 |
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