JPH02137278A - 電歪効果素子 - Google Patents
電歪効果素子Info
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- JPH02137278A JPH02137278A JP63291298A JP29129888A JPH02137278A JP H02137278 A JPH02137278 A JP H02137278A JP 63291298 A JP63291298 A JP 63291298A JP 29129888 A JP29129888 A JP 29129888A JP H02137278 A JPH02137278 A JP H02137278A
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- Pending
Links
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Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は圧電アクチュエータに用いられる電歪効果素子
の構造に関し、特に外部電極の構造に関する。
の構造に関し、特に外部電極の構造に関する。
従来の積層型の電歪効果素子は、第３図に示すように、
銀−パラジウム合金を用いた内部電極導体ｌ１ｂ１〜ｂ
ｎ＋１を形成した圧電セラミック部材Ａ１．Ａ２ 、
ａ１〜ａｆｉが積層された積層焼結体と、このｍｓ焼結
体の側面に露出した内部電極導体層ｂ１〜ｂｎ→１の端
面に交互に一層おきに形成されたガラス絶縁層１１〜Ｉ
ｎ＋１と、内部電極導体層ｂ１〜ｂ ｎ＋、ｔ ＠電
気的に接続するために、ガラス絶縁層１１〜Ｉ ｎ＋１
上に形成された銀ペーストよりなる外部電極５および６
から構成されている。
銀−パラジウム合金を用いた内部電極導体ｌ１ｂ１〜ｂ
ｎ＋１を形成した圧電セラミック部材Ａ１．Ａ２ 、
ａ１〜ａｆｉが積層された積層焼結体と、このｍｓ焼結
体の側面に露出した内部電極導体層ｂ１〜ｂｎ→１の端
面に交互に一層おきに形成されたガラス絶縁層１１〜Ｉ
ｎ＋１と、内部電極導体層ｂ１〜ｂ ｎ＋、ｔ ＠電
気的に接続するために、ガラス絶縁層１１〜Ｉ ｎ＋１
上に形成された銀ペーストよりなる外部電極５および６
から構成されている。
上述した従来の電歪効果素子は、導電性銀ペース１〜を
中頃・焼成して外部電極を形成しているので、湿度雰囲
気中において直流電圧を印加した場合、銀が絶縁体中で
マイグレーシコンを起こし、ある時間経過した後には、
絶縁劣化に至るという欠点があり、このため、特に直流
印加時における耐湿特性に問題があるという欠点がある
。
中頃・焼成して外部電極を形成しているので、湿度雰囲
気中において直流電圧を印加した場合、銀が絶縁体中で
マイグレーシコンを起こし、ある時間経過した後には、
絶縁劣化に至るという欠点があり、このため、特に直流
印加時における耐湿特性に問題があるという欠点がある
。
本発明の電歪効果素子は、外部電極が低マイグレージコ
ン性の導電膜からなる。
ン性の導電膜からなる。
（作用）
外部電極の材料として、アルミニウム、ニッケル、り［
１ムなとの低マイグレーション性の金属を用いることに
より、湿度雰囲気中において直流電圧を印加した場合で
も、マイグレーションが起こりにくく、耐湿特性が数段
良くなる。これにより、４０℃、９０〜９５％ＲＨの条
件で、直流電圧１５０ｖを印加する耐湿評価において、
従来より３倍以上信頼性が高まった。
１ムなとの低マイグレーション性の金属を用いることに
より、湿度雰囲気中において直流電圧を印加した場合で
も、マイグレーションが起こりにくく、耐湿特性が数段
良くなる。これにより、４０℃、９０〜９５％ＲＨの条
件で、直流電圧１５０ｖを印加する耐湿評価において、
従来より３倍以上信頼性が高まった。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図は本発明の電歪効果素子の第１の実施例の斜視図
である。
である。
この電歪効果素子は、２つの厚い圧電セラミック部材Ａ
１およびＡ２の間に薄い圧電セラミック部材ａ１〜ａｎ
と銀−パラジウム内部電極導体層ｂ１〜ｔ）Ｈ（１とを
交互に重ね合わせた積層焼結体と、ガラス絶ＲＷｉ１１
〜Ｉ ｎ＋ｔを下地として銀−パラジウム内部電極導体
１ｉＩｂ１〜ｂ ｎ＋１の奇数番目および偶数番目をそ
れぞ机積層焼結体の側面上で共通接続して２つのくし歯
形内部電極を構成せしめるニッケルの蒸着膜からなる外
部電極１，２を含む。
１およびＡ２の間に薄い圧電セラミック部材ａ１〜ａｎ
と銀−パラジウム内部電極導体層ｂ１〜ｔ）Ｈ（１とを
交互に重ね合わせた積層焼結体と、ガラス絶ＲＷｉ１１
〜Ｉ ｎ＋ｔを下地として銀−パラジウム内部電極導体
１ｉＩｂ１〜ｂ ｎ＋１の奇数番目および偶数番目をそ
れぞ机積層焼結体の側面上で共通接続して２つのくし歯
形内部電極を構成せしめるニッケルの蒸着膜からなる外
部電極１，２を含む。
次に、本実施例の電歪効果素子の製造方法を説明する。
まず、ベロアスカイト型結晶構造をもつ多成分固溶体セ
ラミックの粉体（例えば、Ｐｂ（７ｒ、 Ｔｔ ） Ｏ
ｓ ）に有機バインダー（例えば、ポリビニル・ブチラ
ール樹脂）の粉末を混合してグリーンシートを作り、こ
の上に銀−パラジウムペーストを印刷塗布した＠６０〜
８０層積層して高温焼結（例えば、１０００℃以上）を
行なうことによって積層焼結体を形成する。次に、この
ＦＡ層焼結体の対向する側面に露出した内部電極導体層
ｂ１．ｂ２ 、ｂ３ 。
ラミックの粉体（例えば、Ｐｂ（７ｒ、 Ｔｔ ） Ｏ
ｓ ）に有機バインダー（例えば、ポリビニル・ブチラ
ール樹脂）の粉末を混合してグリーンシートを作り、こ
の上に銀−パラジウムペーストを印刷塗布した＠６０〜
８０層積層して高温焼結（例えば、１０００℃以上）を
行なうことによって積層焼結体を形成する。次に、この
ＦＡ層焼結体の対向する側面に露出した内部電極導体層
ｂ１．ｂ２ 、ｂ３ 。
・・・、ｂｎｒｌの端面に、電気泳動法によるガラス粉
末の塗布および焼結によりガラス絶縁ｍｌ＋、Ｉ２゜・
・・１Ｉｎ４１を形成する。続いて、ガラス絶縁層１１
１２、・・・、Ｉｎ＋１が形成された対向する側面のま
ず一方の而に露出した内部電極導体層ｂｉ 、 ｂ３
。
末の塗布および焼結によりガラス絶縁ｍｌ＋、Ｉ２゜・
・・１Ｉｎ４１を形成する。続いて、ガラス絶縁層１１
１２、・・・、Ｉｎ＋１が形成された対向する側面のま
ず一方の而に露出した内部電極導体層ｂｉ 、 ｂ３
。
・、ｂｎとガラス絶縁層１２ 、 Ｉａ 、 ・・・
、 Ｉｎ−１゜Ｉ ｎ＋＋と圧電セラミック部材Ａｔ
、Ａ２およびａｌ・・・、ａｎが露出するように他の
面をマスキングした後、ニッケルを蒸着して外部電極１
を形成する。
、 Ｉｎ−１゜Ｉ ｎ＋＋と圧電セラミック部材Ａｔ
、Ａ２およびａｌ・・・、ａｎが露出するように他の
面をマスキングした後、ニッケルを蒸着して外部電極１
を形成する。
同様にして対向するもう一方の面に外部電極２を形成す
る。
る。
第２図は本発明の電歪効果素子の第２の実施例の斜視図
である。
である。
本実施例が第１の実施例と異なるのは、外部電極として
、導電材料としてニッケルを含む硬化型の導電ペースト
を用いている点である。製造方法で異なるのは、外部電
極の形成方法であるので、この点について示す。第１の
実施例と同様にしてガラス絶縁層１１ １２．・・・
Ｉ ｎ＋＋を形成した積層焼結体のうち、ガラス絶縁
１１１１１．Ｉ２．・・・Ｉ ｎ＋１を形成した対向す
る側面の一方の面に、ニッケルを含む硬化型の導電ペー
ストをスクリーン印刷し、１８０℃−３０分の条件で硬
化させて外部電極３を形成し、続いて、もう一方の面に
同様にして導電ペーストをスクリーン印刷・焼成して外
部電極４を形成する。
、導電材料としてニッケルを含む硬化型の導電ペースト
を用いている点である。製造方法で異なるのは、外部電
極の形成方法であるので、この点について示す。第１の
実施例と同様にしてガラス絶縁層１１ １２．・・・
Ｉ ｎ＋＋を形成した積層焼結体のうち、ガラス絶縁
１１１１１．Ｉ２．・・・Ｉ ｎ＋１を形成した対向す
る側面の一方の面に、ニッケルを含む硬化型の導電ペー
ストをスクリーン印刷し、１８０℃−３０分の条件で硬
化させて外部電極３を形成し、続いて、もう一方の面に
同様にして導電ペーストをスクリーン印刷・焼成して外
部電極４を形成する。
以上の実施例では、外部電極として、ニック°ルの蒸着
膜およびニッケルの硬化型の導電ペーストを用いた場合
について述べたが、アルミニウム。
膜およびニッケルの硬化型の導電ペーストを用いた場合
について述べたが、アルミニウム。
クロムの蒸＠膜、ニッケル、クロムのメツキ膜、アルミ
ニウム、クロムを導電材料として含む硬化型のｌ？ｆｉ
ペーストおよびニッケル、アルミニウムの厚膜ペースト
のいずれを用いた場合にも同様の効果が得られる。
ニウム、クロムを導電材料として含む硬化型のｌ？ｆｉ
ペーストおよびニッケル、アルミニウムの厚膜ペースト
のいずれを用いた場合にも同様の効果が得られる。
（発明の効果）
以上説明したように本発明は、外部電極として低マイグ
レーション性の′４Ｉｌｆ膜を用いることにより、湿度
雰囲気中において直流電圧を印加した場合でも、導電体
の絶縁体中へのマイグレーションが抑えられ、絶縁体の
絶縁抵抗の劣化を防止できる効果がある。
レーション性の′４Ｉｌｆ膜を用いることにより、湿度
雰囲気中において直流電圧を印加した場合でも、導電体
の絶縁体中へのマイグレーションが抑えられ、絶縁体の
絶縁抵抗の劣化を防止できる効果がある。
第１図は本発明の電歪効果素子の第１の実施例の斜視図
、第２図は本発明の電歪効果素子の第２の実施例の斜視
図、第３図は電歪効果素子の従来例の斜視図である。 Ａ＋ 、Ａ２ 、ａ１〜ａｎ・・・内部セラミック部材
、ｂ１〜ｂｎ÷１・・・内部電極導体層、１１〜Ｉ ｎ
＋１・・・ガラス絶縁層、１．２．３．４・・・外部電
極。
、第２図は本発明の電歪効果素子の第２の実施例の斜視
図、第３図は電歪効果素子の従来例の斜視図である。 Ａ＋ 、Ａ２ 、ａ１〜ａｎ・・・内部セラミック部材
、ｂ１〜ｂｎ÷１・・・内部電極導体層、１１〜Ｉ ｎ
＋１・・・ガラス絶縁層、１．２．３．４・・・外部電
極。
Claims (1)
- １．シート状の圧電セラミック部材と内部電極導体とが
交互に重ね合わされた積層焼結体と、前記積層焼結体の
対向する側面にそれぞれ露出する内部電極導体の一方の
端面を各側面において一層おきに絶縁する絶縁層と、内
部電極導体の露出する他方の端面を電気的に接続して２
つのくし歯形電極を構成せしめる１対の外部電極とを含
む電歪効果素子において、 前記外部電極が低マイグレーション性の導電膜からなる
ことを特徴とする電歪効果素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63291298A JPH02137278A (ja) | 1988-11-17 | 1988-11-17 | 電歪効果素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63291298A JPH02137278A (ja) | 1988-11-17 | 1988-11-17 | 電歪効果素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02137278A true JPH02137278A (ja) | 1990-05-25 |
Family
ID=17767077
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63291298A Pending JPH02137278A (ja) | 1988-11-17 | 1988-11-17 | 電歪効果素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02137278A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6262571A (ja) * | 1985-09-12 | 1987-03-19 | Nec Corp | 電歪効果素子 |
| JPS6380585A (ja) * | 1986-09-24 | 1988-04-11 | Nec Corp | 電歪効果素子 |
-
1988
- 1988-11-17 JP JP63291298A patent/JPH02137278A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6262571A (ja) * | 1985-09-12 | 1987-03-19 | Nec Corp | 電歪効果素子 |
| JPS6380585A (ja) * | 1986-09-24 | 1988-04-11 | Nec Corp | 電歪効果素子 |
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