JPH02135787A - 光励起固体レーザー - Google Patents

光励起固体レーザー

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JPH02135787A JP63289842A JP28984288A JPH02135787A JP H02135787 A JPH02135787 A JP H02135787A JP 63289842 A JP63289842 A JP 63289842A JP 28984288 A JP28984288 A JP 28984288A JP H02135787 A JPH02135787 A JP H02135787A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】
この発明は光励起固体レーザーに関する。
【従来の技術】
光励起の固体レーザーとし、ては、励起光源として、キ
セノンランプやクリプトンランプを用いたものの他に、
近年、半導体レーザーを利用するものがある。 励起光源として半導体レーザーを用いる場合、半導体レ
ーザーの波長純度が、ランプ光源の波長純度に対して非
常に高いので、半導体レーザーの発振波長をレーザー媒
質の吸収波長と一致させることにより、固体レーザーを
効率よく励起することが可能である。 更に、半導体レーザーを励起光源とする場合、ランプ励
起と比較して、励起密度を高くすることができ、より効
率を向上させることができる。 一方、上記のような、キセノンランプやクリプトンラン
プを利用したランプ励起の固体レーザーの場合、高出力
化のために、スラブレーザーとすることがよく知られて
いる。 このスラブレーザーにおいては、レーザー媒質中をレー
ザーがジグザグに伝搬するので、小さなレーザー媒質で
大きなゲインを得て、大出力化することができる。 半導体励起固体レーザーについては、例えば米国特許3
624545号、同4710940号、特開昭62−1
89783、同63−27079、同63−27080
、同60−140889号或いはI EEEジャーナル
1988年6月第24巻第6号などに開示されている。
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術のうち、小型固体レーザーとしては、特開
昭62−189783、同63−27079、同63−
27080の各号があるが、これらは、1個の半導体レ
ーザー(以下LDという)で励起するものであるために
、固体レーザー媒質が飽和するまでの励起光を注入でき
ないという問題点がある。 高出力LDを利用して、より強い励起光を注入できれば
より高出力が得られるのであるが、高出力LDは高価で
あり、しかも短寿命であるなどの欠点がある。 最近、固体レーザー媒質自体に共振器鏡コーティングを
行い、小型化を図ったLD励起の固体レーザー等が報告
されているが、いずれも上記欠点を有する。 複数のLDにより励起するものとして、上記米国特許第
3624545及び4710940の各号がある。 これらは複数のLDで固体レーザー媒質を励起するもの
であり、大出力が得られるが、レーザー媒質自体も大き
くなり、やはりレーザー媒質が飽和するまで励起光を注
入することができないという問題点がある。更に、均一
に励起することが困難であり、且つ、レーザー媒質自体
が大きいので、レーザー媒質内に熱分布の不均一を生じ
、レーザー発振が不安定なものとなってしまうという問
題点がある。 又、ランプ励起の固体半導体で、高出力化のなめに、前
述の如くスラブレーザーとしたものは、レーザー媒質自
体に共振器鏡をコーティングすることができないので、
外部共振器鏡を必要とし、装置が大型ととなると共に、
ミラー調整も困難であるという問題点がある。 レーザー媒質自体に共振器鏡をコーティングした例とし
て、前述のIEEE1988年第24@第6号があり、
工夫すれば、複数のLD″Il−励起することも可能で
あるが、これはリングレーザ−であり、リング共振器の
場合、往復光路を形成するレーザーとは異なる。 又、特開昭60−140889号には、単結晶ファイバ
ーレーザーが提案されているが、これは高価で、且つ加
工が困難であると共に励起光を効率良くレーザー媒質に
注入するのが困難である。 この発明は上記従来の問題点に鑑みてなされたものであ
って、小型で大出力を得ることができ、且つ安価で信顆
性高く、長寿命である光励起固体レーザーを提供するこ
とを目的とする。
【課題を解決するための手段】
この発明は、固体レーザー媒質をプリズム形状として光
励起固体レーザーを構成し、上記目的を達成するもので
ある。 又、前記プリズム形状を、コーナーキューブ形状とする
ことにより上記目的を達成するものである。 更に、前記プリズム形状を、直角プリズム形状とするこ
とにより上記目的を達成するものである。 更に又、前記プリズム形状の固体レーザー媒質の複数の
端面からの励起光の入射を可能として、上記目的を達成
するものである。 又、前記励起光を、半導体レーザー光として上記目的を
達成するものである。 更に又、前記プリズム形状の固体レーザー媒質の端面が
共振器鏡又は出力鏡として作用するように、該端面の少
なくとも一部に、少なくとも1種類のコーティングを施
して上記目的を達成するものである。 又、前記プリズム形状の固体レーザー媒質の端面に光フ
ァイバーの光入出力端を接続して上記目的を一達成する
ものである。 ス、前記光ファイバーを出力光取出用光ファイバーとし
て上記目的を達成するものである。 又、前記光ファイバーを励起光注入用光ファイバーとし
て上記目的を達成するものである。 又、前記固体レーザー媒質のレーザー光出力端面に、非
線形結晶を結合して上記目的を達成するものである。 又、前記非線形結晶を、SHG結晶、THG結晶、F 
HG結晶及びパラメトリック結晶のうちの少なくとも一
種として上記目的を達成するものである。 又、前記非線形結晶を、KTP、β−BaB2O4 、
KNb O3又はMi)OドープL!Nt)Osとして
上記目的を達成したものである。 又、前記非線形結晶を、導波路状に形成して上記目的を
達成するものである。
【作用】
この発明においては、固体レーザー媒質が、コーナーキ
ューブ形状或いは直角プリズム形状を含むプリズム形−
状とされているので、レーザー媒質内の発振光路長を長
く取って、ゲインを高くすることができる。又、コーナ
ーキューブの先端3面、直角プリズムの場合の先端2面
は、コーティングを施すことなく内部全反射を得ること
ができる。 更に、この先端3面(2面)からも励起光を注入できる
ので、高出力化を図ることができる。 又、固体レーザー媒質はプリズム形状であって、スラブ
レーザーのような特殊形状ではなく、光学素子としてよ
く用いられる形状であるので、レーザー媒質自体に容易
に、且つ低コストで加工、研磨をすることができる。
【実施例】
以下本発明の実施例を図面を参照して説明する。 第1図に示される第1実施例は、コーナーキューブプリ
ズム形状の固体レーザー媒質10及び励起光源としてL
D12を用いたものである。 コーナーキューブプリズムは、第2図に示されるように
、円柱の一端を、3面が互いに直交する端面10B〜1
0Dとしたもので、他端である円形端面10Aから入射
した光は、3つの端面10B〜10Dで順次反射された
後に円形端面がら射出される光路をとるようにされてい
る。 この実施例において、LD12から射出された励起光は
、レンズ14を介して固体レーザー媒質10の円形端面
10Aから入射させ、円形端面と反対側の3つの端面1
0B〜10Dで全反射させた後、共振器鏡16と出力鏡
18との間で反射を繰り返し、レーザー発振を起こさせ
るものである。 共振により発生した固体レーザー光は、出力鏡18を経
て、レーザー光取出用反射鏡2Oがら光路の側方に出力
光22として取出される。ここで、前記共振器鏡16及
びレーザー光取出用反射fi2Oは、LD!2の波長光
は透過させ、固体レーザー媒質10の波長光は全反射さ
せるように構成されている。 又、出力鏡18はLD12の波長光は透過させ、固体レ
ーザー光の波長では数%の光を透過させるように構成さ
れている。 この第1実施例においては、固体レーザー媒質10がコ
ーナーキューブプリズム形状とされているので、円形端
面10Aから入射した励起光が3つの端面10B〜10
Dで3回反射された後円形端面1. OAから射出され
、共振器鏡16で反射されて往復する構成であるので、
固体レーザー媒質10内の発振光路長が長く、ゲインを
高くすることができる。 ス、3つの端面10B〜・IOCはコーティングをしな
くても内部全反射とさせることができる。 次に第3図に示される本発明の第2実施例につき説明す
る。 この第2実施例は、前記第1実施例におけるコーナーキ
ューブプリズム形状の固体レーザー媒質10における端
面10B〜IODの各々からもLD12により直面に励
起光を注入するようにしたものである。 前記第1及び第2の実施例においては、円形端面10A
に、LD12、固体レーザー媒質10の波長でAR(A
nti Reflection ) :7−トを施す。 又、第2実施例の場合、LDからの励起光が端面108
〜IODから外部へ洩れる可能性があるので、端面10
B〜IOCの各々にLD波長用ARコートを施すとよい
。 この実施例の場合は、3つの端面10B〜10Dからも
レーザー光を励起光として注入することができるので、
高出力を得ることができる。 又、LD12は小型でよいので、低コスト、長寿命、小
型化を図ることができる。 次に第4図に示される本発明の第3実施例につき説明す
る。 この第3実施例は、LD12から射出された励起光を、
レンズ14及びグイクロックミラー21を介して固体レ
ーザー媒質10の円形端面10Aから入射させ、円形端
面と反対側の3つの端面10B〜IODで全反射させた
後、前記ダイクロツクミラー21でレンズ14の光軸と
直交する方向に反射させ、該反射光の光軸上にある全反
射共振器鏡17によって全反射させた後、再びダイクロ
ツクミラー21を経て円形端面10Aから固体レーザー
媒質10内に反射光を入射させ、3つの端面10B〜1
0Dで全反射させ、更にタイクロックミラー21で反射
させ、出力鏡19に導き、これによって、該出力@19
と前記全反射共振器鏡17との間で反射を繰返し、レー
ザー発振させるものである。 この第3実施例において、前記ダイクロツクミラー21
は45度の入射角で、LD12の波長光を透過させ、固
体レーザー媒質10の波長光を全反射するようにされて
いる。 又、全反射共振器鏡17は、固体レーザー蝋質10の波
長光を全反射するようにされている。 更に、前記出力鏡19は固体レーザー媒質1゜の波長光
を、数%の透過率で反射するように構成されている。 又、この第3実施例においては、前記第1実施例及び第
2実施例と同様に、円形端面10Aに、LD12、固体
レーザー媒質10の波長でARコートを施す。 この第3実施例においては、固体レーザー媒質10の共
振器内にダイクロツクミラー21を備えているので、レ
ーザー光取出し錘が不要となる。 又、全反射共振器鏡17及び出力鏡19の調整を、LD
12の出力光とは全く独立に行うことができる。 即ち、前記第1及び第2実施例では、共振器鏡16及び
出力鏡18を調整すると、LD12の出力光の光路が僅
かにずれる場合があるので、調整が容易ではないか、こ
の第3実施例ではそのようなことがない。 なお、以下の各実施例においても、この第3実施例のよ
うに、共振器内にダイクロツクミラーを配置した構成と
17てもよい。 次に第5図に示される本発明の第4実施例につき説明す
る。 この第4実施例は、第1実施例と同様の構成における励
起光の注入光軸11Aを、コーナーキューブ形状の固体
レーザー媒質10における中心光軸から平行に移動して
配置したものである。 共振器鏡16は励起光の注入光軸11A上に、又出力鏡
18は出力光の取出光軸11B上に各々配置されている
。 又、レーザー光取出用反射fi2Oは、出力光取出光軸
11B上に配置されている。更に、円形端面10Aは、
LD光及び固体レザー光の波長でARコートを施すとよ
い。 この第4実施例においても、第1実施例と同様に、固体
レーザー媒質10内で発振光路長を長く取ることができ
、ゲインを高くすることができる。 次に第6図及び第7図に示される本発明の第5実施例に
ついて説明する。 この第5実施例は、前記第1実施例における、固体レー
ザー媒質10の円形端面10Aの半部にLD12の波長
光を透過し、且つ固体レーザー媒質10における波長光
を全反射、即ち共振器全反射鏡の作用をする共振器全反
射鏡コーティング24を施したものである。 又この実施例において、LD12からの励起光は、共振
器全反射鏡コーティング24が施された円形端面10A
の、図において下半部を通って固体レーザー媒質10に
注入される。又、円形端面10Aの共振器全反射鏡コー
ティング24部分から注入された励起光は、該共振器全
反射鏡コーティング24を共振器の全反射鏡として固体
レーザー媒質10内で共振し、しかる後、円形端面10
Aの図において上半部から出力光として取出される。 なお、円形端面10Aの上半部には固体レーザー光の波
長でのARコート25Aを施すとよい。 この実施例は第1実施例と比較して、全反射共振鏡を省
略することができるという利点がある。 次に、第8図及び第9図に示される本発明の第6実施例
につき説明する。 この第6実施例は、前記第1実施例における円形端面1
0Aの上半部に、固体レーザー媒質10の波長を数%透
過させる、即ち、出力鏡の作用をする出力鏡コーティン
グ26を施したものである。 この第6実施例の場合は、第1実施例と比較して、出力
鏡を省略することができる。 なお、円形端面10Aの図において下半部は、LD12
及び固体レーザー媒質10の波長でのARコート25B
を施すとよい。 次に、第10図及び第11図に示される本発明の第7実
施例につき説明する。 この第7実施例は、前記第1実施例における円形端面1
0Aの上手部に、前、記第6実施例におけると同様の出
力鏡コーティング26を施すと共に、第5実施例におけ
ると同様の共振器全反射鏡コーティング24を、円形断
面10Aの下半部に施したものである。 即ち、円形端面10Aの下半部は、LD12の励起光を
透過させ、固体レーザー媒質10の出力光を全反射させ
る共振器全反射鏡としてのコーティングが設けられ、ス
、円形端面10Aの上手部には、固体レーザー媒質10
の出力光の数%を透過させる共振器全反射鏡コーティン
グ24が施されるので、前者が共振器反射鏡として、又
、後者が出力鏡としてそれぞれ作用することになる。 従って、この第7実施例においては、共振器鏡及び出力
鏡共に省略することができ、且つ、これらの調整が一切
不要となる大きな利点がある。 次に、第12図に示される本発明の第8実施例につき説
明する。 この第8実施例は、前記第10図及び第11図に示され
る第7実施例と同様に円形端面10Aの上手部に出力鏡
コーティング26を、下半部に共振器全反射鏡コーティ
ング24を施し、それぞれ出力鏡及び共振器鏡として機
能するようにし、且つ、レンズ14が円形端面10Aの
上半部から射出される出力光22を遮らないように図に
おいて下方に移動したものである。 従って、この第8実施例においては、レーザー光取出用
反射鏡をも用いることなく、出力光を取出すことができ
る。 次に、第13図及び第14図に示される本発明の第9実
施例につき説明する。 この第9実施例は、固体レーザー媒質10の円形端面1
0Aにおける、図において上半部には、LD12の励起
光を全反射し、且つ固体レーザー媒質10の出力光を数
%透過させるコーティング28を施すと共に、下半部に
は、固体レーザー媒質10の出力光及びLD12の励起
光を共に全反射させる全反射共振器鏡コーティング30
を施したものである。 この第9実施例においては、円形端面10Aからの励起
光の入射は行わず、端面10B〜IODから各々LD1
2によって励起光を入射させるものである。 この第9実施例においては、3つの端面10B〜IOD
から入射されたLD12からの励起光を、固体レーザー
媒質10の円形端面10Aと端面10B〜10D間によ
く閉じ込めることができ、固体レーザー光がコーティン
グ28部分から出力光として取出される。 従って、この第9実施例においても、共振器鏡、出力鏡
及びレーザー光取出用反射鏡の王者を省略することがで
きる。又、当然これらの位置調整も不要となる。 次に、第15図に示される本発明の第10実施例につき
説明する。 この第10実施例は、固体レーザー媒質10の円形端面
10Aには、LD12め励起光を全反射させると共に、
固体レーザー媒質10の出力光の数%を透過させる共振
器兼出力鏡コーティング32を全面に亘って施している
。励起光は前記第9実施例と同様に端面10B〜IOD
の各々からしD12により入射させる。 この第10実施例においては、端面10B〜10Dから
注入された励起光が固体レーザー媒質10内によく閉じ
込められ、固体レーザー媒質10を効率良く励起する固
体レーザー光は、端面10B〜10Dを介して、共振器
兼出力鏡コーティング32で反射共振をして、円形端面
1.OA全全面ら出力光22として取出される。 従って、この実施例においても、共振器鏡、出力鏡及び
レーザ光取出用反射鏡を省略することができる。 更に、この実施例においては、円形端面10Aに、異種
のコーティングを区分して施す必要がないので、製造が
容易である。 次に、第16図に示される本発明の第11実施例につき
説明する。 この第11実施例は、固体レーザー媒質10の円形端面
10Bに、小円形ビーム形状の出力鏡コーティング34
及び中心角的12O°の扇形状の共振器鏡コーティング
36を、施したものである。 この実施例においては、所望のビーム形状のレーザー光
を取出すことができるという利点がある。 又、当然、共振器鏡及び出力鏡更にレーザー光取出用反
射鏡を省略することができる。 ここで、出力鏡コーティング34を扇形、又、共振器鏡
コーティング36をビームスポット形状とするようにし
てもよい。 即ち、注入される励起光のビーム形状及び所望のレーザ
ー光取出ビーム形状に応じて、出力鏡コーティング及び
共振器鏡コーティングを施せばよい。 次に、第17図及び第18図に示される第12実施例に
ついて説明する。 この第12実施例は、固体レーザー媒質10の3つの端
面10B〜1. ODから各々LD12により励起光を
注入すると共に、円形端面10Aの図において下半部に
全反射共振器鏡コーティング30を施し、更に上手部に
は、3個の小円形状の出力鏡コーティング34を施した
ものである。 この実施例の場合、同時に多数の出力光を得ることがで
きるという利点がある。 次に、第19図及び第2O図に示される本発明の第13
実施例について説明する。 この第13実施例は、固体レーザー媒質10における3
つの端面10B〜IODの各々からL D12によって
励起光を注入すると共に、円形端面10A側に接続した
光ファイバー38からレーザー光を取出すようにしたも
のである。 ここで、この第13実施例において、光ファイバー38
は円形端面1OAの中心位置に接続されている。 この時、固体レーザー光出力鏡コーティングは、固体レ
ーザー媒質10の光ファイバー38との結合端面に施し
てもよいし、光ファイバー38のレーザー媒質10との
結合端面と異なる他端に施してもよい、後者の場合には
、レーザー媒質10と、光ファイバー38との結合部分
は、レーザー媒質10、光フアイバー38共に固体レー
ザー光のARココ−ィングが施しであることが望ましい
。 この第13実施例は、平坦、な円形端面10Aに単に光
ファイバー38を接続することによって構成できるので
、製造が容易であり且つ低コストで製造ができる。 次に、第21図及び第22図に示される本発明の第14
実施例につき説明する。 この第14実施例は、固体レーザー媒質10における円
形端面10Aに、中心角12O9の扇形状に全反射共振
器鏡コーティング30を施すと共に、全反射共振器鏡コ
ーティング30を施さない個所に光ファイバー38を接
続したものである。 この実施例においても、前記第13実施例と同様に、3
つの端面10B〜10DからLD12によって励起光が
注入される。 ここで、前記扇形状の全反射共振器鏡コーティング30
は、3つの端面10B〜IODのうちの1つを円形端面
10Aに投影した範囲内にあるように設けるものとする
。 従って、光ファイバー38を複数接続する場合は、第2
2図で2点鎖線で示されるように、他の端面の円形端面
10Aへの投影図形範囲内に設けるとよい。 この時、固体レーザー光出力鐘コーティングは、固体レ
ーザー媒質10の光ファイバー38との結合端面に施し
てもよいし、光ファイバー38のレーザー媒質10との
結合端面と異なる他端に施してもよい、後者の場合には
、レーザー媒質10と、光ファイバー38との結合部分
は、レーザー媒質10、光フアイバー38共に固体レー
ザー光のARココ−ィングが施しであることが望ましい
。 上記第13及び第14実施例では、光ファイバー38を
、出力光取出しのために固体レーザー媒質10に接続し
たものであるが、光ファイバー38は励起光注入用とし
て、レーザー媒質10に接続するようにしてもよい。 即ち、第23図に示される第15実施例では、固体レー
ザー媒質10における円形端面10Aに、励起光注入用
の2本の光ファイバー40を接続し、該円形端面10A
の他の部分から出力光を得るようにしたものである。 ここで、前記励起光注入用の光ファイバー40と固体レ
ーザー媒質10との結合端面、光ファイバー40の、レ
ーザー媒質10との結合端面と異なる他端のいずれかに
、全反射共振器鏡コーティングを施す、この場合、該全
反射共振器鏡コーティングは、励起光を良く透過するも
のとする。 又、前記円形端面10Aの、光ファイバー40と接続さ
れる以外の部分には、出力鏡コーティングを施す。 次に、第24図に示される本発明の第16実施例につき
説明する。 この第16実施例は、光ファイバー40を介して励起光
をレーザー媒質10に注入すると共に、レーザー媒質1
0からの出力光を光ファイバー38を介して取出すよう
にしたものである。 この第16実施例の場合は、より大出力の励起光を注入
することができるという利点がある。 なお、この第16実施例においても、固体レーザー光出
力鐘コーティングは、光ファイバー38のレーザー媒質
との結合端面又は他の端面に施してもよく、又、全反射
共振器鏡コーティング(励起光は透過するコーティング
)は、励起光注入用の光ファイバー40における、固体
レーザー媒質10との結合端面又はその反対側の端面の
どちらかに施せばよい。 次に、第25図に示される本発明の第17実施例につき
説明する。 この第17実施例は、前記レーザー媒質10における3
つの端面10B〜10Dの全部又は一部から、光ファイ
バー40を介して固体レーザー媒質10に励起光を注入
するようにしたものである。 又、固体レーザー媒質10における円形端面10Aには
、出力鏡コーティングを施す。 なお、この出力鏡コーティングに変えて、出力光を取出
すための光ファイバー38を接続するようにしてもよい
。 次に、第26図に示される本発明の第18実施例につい
て説明する。 この第18実施例は、固体レーザー媒質10の円形端面
10A、ffl!Iに非線形結晶の一種である第2高調
波発生結晶即ちSHG結晶42を、固体レーザー光出力
鏡用コーティング41を介して接続したものである。 この第18実施例においては、励起光は、固体レーザー
媒質10の3つの端面10B〜IODから各々LD12
によって注入される。 ここで、前記固体レーザー媒質10を、Nd:YAGと
した場合、SHG結晶42を通して得られる出力光は、
1.06μllと532 nnの2種類の波長となる。 波長532nlの光はS HG光である。 この実施例においては、小型の可視、紫外、赤外の各光
を得る固体レーザーを容易に構成できる。 又、ミラー調整の必要がないという利点がある。 次に、第27図に示される本発明の第19実施例につき
説明する。 この第19実施例は、前記第26図の第18実施例と同
様にSHG結晶42を用いるものであるが、該SHG結
晶42と固体レーザ媒質10の円形端面10Aとの間に
ARコート又はSHG光のみ全反射する全反射鏡コーテ
ィングを施したものである。 又、S HG結晶42の、固体レーザー媒質10と反対
側の端面には、固体レーザー光共振器鏡兼出力鏡用コー
ティング43Aと、SHG光透過コーティング43Bを
施す4 この場合、出力光は固体レーザー媒質10がYAGのと
き、波長が1.06μnと532nm(SHG光)とな
る。 又、SHG結晶42の、固体レーザー媒質10と反対側
の端面に、固体レーザー全反射鏡コーティングとS H
G光透過コーティングを施した場合は、固体レーザー媒
質10がYAGのとき、出力光はS )[G光である波
長532n11の光のみとなる。 次に、第28図に示される本発明の第2O実施例につい
て説明する。 この第2O実施例は、前記第26図及び第27図に示さ
れる実施例におけるSHG結晶42の、固体レーザー媒
質10と反対側の端面に第3高調波を発生するTHG結
晶44を接続したものである。 ここで、固体レーザー媒質10をYAGとした場合、S
HG結晶42と固体レーザー媒質10との間は、1.0
6μII光を透過し、532n1M(SHG )光を全
反射するコーティング41Gを施し、SHG結晶42と
T HG結晶44との間には、1゜06μm光及び53
21 (SHG)光を透過し、355nm(THG)光
を全反射するコーティング43Cを施し、更にT I−
f G結晶44におけるSHG結晶42と反対側の端面
に1.06μ慣光及び532n1m光を全反射し、35
5nn光を透過するコーティング45を方叙す。 この実施例においては、固体レーザー媒質10に、その
端面10B〜IODから注入されたLD12の励起光に
より、SHG結晶42において1゜06μl光及びSH
G光が発生し、これらの光によって、THG結晶44の
端面から、T )t G光が出力される。 次に第29図に示される本発明の第21実施例につき説
明する。 この第21実施例は、固体レーザー媒質10の円形端面
10A側に、SHG結晶42と、第4次高調波を発生さ
せるFHG結晶46をこの順で配置すると共に、円形端
面10A又はこれに対向するSHG結晶42の端面に、
1.06μl光を透過し、且つ532nlSHG)光を
全反射するコーティング41Cを施し、SHG結晶42
とFHG結晶46の対向する端面の一方に1.06μl
光及び266n11(FI−(G)光を全反射し、53
2nm (S HG )光を透過するコーティング43
Dを施し、更に、FHG結晶46の他方の端面にSHG
光を全反射し、FHG光を透過するコーティング45A
を施したものである。 この実施例においては、前記固体レーザー媒質10は、
前記実施例と同様にYAGとされている。 又、固体レーザー媒質10には、その端面10B〜IO
Cの各々からLD12光が励起光として注入される。 この実施例においては、端面10B〜IODがら注入さ
れた励起光によって発生した1、06μlのレーザー光
がSHG結晶42内に入り、ここで生じた1、06μl
光及びSMC光のうち、SMC光のみがFHG結晶46
に注入される。 FHG結晶46では、注入されたSMC光により生じた
レーザー光のうち、コーティング45Aを透過するFH
G光のみが出力光として取出される。 次に、第30図に示される本発明の第22実施例につい
て説明する。 この第22実施例は、YAGからなる固体レーザー媒質
10の円形端面10A側に、SHG結晶42及びパラメ
トリック結晶48をこの順で接続したものである。 前記円形端面10AとSHG結晶42の対向する端面の
一方には、1.06μl光を透過し、532nlSHG
)光を全反射するコーティングが施され、又、SHG結
晶42とパラメトリック結晶48の対向する端面の一方
には、1.06μm光及びパラメトリック光を全反射し
、SMC光を透過するコーティング43Eが施され、更
に、パラメトリック結晶48の他方の端面には、S I
−I G光を全反射し、パラメトリック光を透過するコ
ーティング47が施されている。 この場合、パラメトリック結晶48の端面から出力され
るパラメトリック光は、2 X 532 nIlの波長
である。 なお、上記第22実施例では、SHG結晶42とパラメ
トリック結晶48を組合わせたものであるが、パラメト
リック結晶48を、T HG結晶44あるいはFHG結
晶46と組合わせ、又は、固体レーザー媒質10の円形
端面10Aに直接取付けるように位置してもよい。 パラメトリック結晶48をTHG結晶44と組合わせた
場合、出力光として得られるパラメトリック光は、2 
X 355 nm付近の波長光となる。 又、出力光は、FHG結晶46と組合わせな場合、2X
266nn付近の波長光となり、更に、パラメツトリッ
ク結晶48を固体レーザー媒質1゜の円形端面10Aに
接続した場合、2X1.06μm付近の波長光となる。 又、上記パラメトリック光は、パラメトリック結晶48
の材質、切出し角によって所望の波長を得ることができ
る。 更に又、コーティングを考慮することによって。 例えば、1.06μl光とTHG光等の複数の波長光を
同時に出力光として取出すようにすることもできる。 次に、第31図に示される本発明の第23実施例につき
説明する。 この第23実施例は、固体レーザー媒質10の円形端面
10Aに、光フアイバー形状非線形結晶50をSHG発
生素子として接続したものである。 この光フアイバー形状非線形結晶50は、例えば、M(
toドープLi Nb O3からなるものであり、この
実施例の場合も、固体レーザー媒質10はYAGから形
成される。ここで、前記光フアイバー形状非線形結晶5
0の、円形端面10A側の端面又は円形端面10Aには
、ARコートが施され、光フアイバー形状非線形結晶5
oの他端には、1.06μm光を全反射する全反射鏡コ
ーティング51が施される。 又、励起光は、端面10B〜IODがら、LD12によ
り注入される。 この実施例においては全反射コーティング51と端面1
0B〜10Dとの間で励起光が共振し、光フアイバー形
状非線形結晶50の先端から、SMC光が出力される。 次に、第32図に示される本発明の第24実施例につき
説明する。 この実施例は、YAGからなる固体レーザー媒質10の
円形端面に、SHG結晶42と、半円形のTHG結晶4
4Aを接続させると共に、円形端面10AとS HG結
晶42の対向端面の一方に、1.06μl光を透過し、
SMC光を全反射するコーティング41Cを、又、SH
G結晶42の、THG結晶52と接触しない上部半円形
部分に1゜06μm光を全反射し、SHG光を透過する
コーティング43Fを、更に下半部には、1.06μl
光及びSHG光を透過し、THG光を全反射するコーテ
ィング43Cを、更に又、半円形のTHG結晶52Q他
端面には、1.06μl光及び5HG光を全反射し、T
HG光を透過するコーティング45をそれぞれ施したも
のである。 この実施例においては、SHG結晶42の、THG結晶
44Aと接続されていない端面からはSHG光が出力光
として取出され、又、T HG結晶44Aの端面からは
THG光を得ることができる。 即ち、部分毎に用いる結晶を変えて、異なる波長の出力
光を得ることができる。 このように、S HG結晶42、THG結晶44.44
A、FHG結晶46、パラメトリック結晶48あるいは
光フアイバー形状非線形結晶50をその断面形状あるい
は種類を適宜組合わせることによって、異なる波長の出
力光を得ることができる。 特に、光フアイバー形状非線形結晶50を複数種類用い
る場合は、各光フアイバー形状非線形結晶から異なる波
長の出力光を得ることができる。 上記のように、AHG結晶42、THG結晶44.44
A、FHG結晶46、パラメトリック結晶48及び/又
は光フアイバー形状非線形結晶50を適宜組合わせるこ
とによって、小型で可視、紫外、赤外の各光を得るレー
ザーを容易に構成することができる。又、これらの構成
では、ミラー調整の必要がないという利点がある。 なお、上記各実施例において、固体レーザー媒質10は
、円柱の一方の端面を相互に直交する3つの面に形成し
たコーナーキューブプリズム形状としたものであるが、
本発明はこれに限定されるものでなく、固体レーザー媒
質を直角プリズム又は曲の形状のプリズムとしてもよい
。 又、上記各実施例において、固体レーザー媒質10に注
入される励起光はLD12によって形成されたレーザー
光であるが、本発明はこれに限定されるものでなく、キ
セノンランプ、クリ1トンランプ等を励起光源としたい
わゆるランプ光源励起の場合ら包含するものである。 更に、上記実施例は、固体レーザー媒質10への励起光
の注入を、円形端面10A及び/又は3つの端面10B
〜IODから行うようにしているが、本発明は、例えば
3つの端面10B〜IODのうちの1又は2あるいはこ
れらと円形端面10A側からの励起光の注入を適宜組合
わせた場合も当然包含するものである。 又、前記各実施例における非線形結晶はSHG結晶、T
HG結晶、F HG結晶及びパラメトリック結晶のうち
1種又は複数種を組合わせてもよい。 又、非線形結晶はKTP、β−BaBzO*、KN b
O’3又はIJIOドープLiNbO3とするのがよい
。 更に、光フアイバー形状非線形結晶は、導波路状に形成
したものであればよい。
【発明の効果】
本発明は、上記のように構成したので、固体レーザー媒
質をプリズム形状とすることによって、該レーザー媒質
内光路長を長くして、大出力小型固体レーザーを構成で
きるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る光励起固体レーザーの第1実施例
を示す側面図、第2図は同実施例におけるコーナーキュ
ーブプリズム形状の固体レーザー媒質を示す斜視図、第
3図は本発明の第2実施例を示す側面図、第4図は本発
明の第3実施例を示す側面図、第5図は本発明の第4実
施例を示す側面図、第6図は本発明の第5実施例を示す
側面図、第7図は同実施例の円形端面を示す正面図、第
8図は本発明の第6実施例を示す側面図、第9図は同第
6実施例の円形端面を示す正面図、第10図は本発明の
第7実施例を示す側面図、第11図は同第7実施例の円
形端面を示す正面図、第12図は本発明の第8実施例を
示す側面図、第13図は本発明の第9実施例を示す側面
図、第14図は同第9実施例の円形端面を示す正面図、
第15図は本発明の第10実施例を示す側面図、第16
図は本発明の第11実施例における円形端面を示す正面
図、第17図は本発明の第12実施例を示す側面図、第
18図は同第12実施例の円形端面を示す正面図、第1
9図は本発明の第13実施例を示す側面図、第2O図は
同第13実施例における円形端面を示す正面図、第21
図は本発明の第14実施例を示す側面図、第22図は同
第14実施例における円形端面を示す正面図、第23図
乃至第32図は同第15〜24実施例を示す側面図であ
る。 0・・・固体レーザー媒質、 OA・・・円形端面、 OB〜IOD・・・端面、 IA・・・注入光軸、 1B・・・取出光軸、 2・・・LD(半導体レーザー)、 4・・・レンズ、 6・・・共振器鏡、 8・・・出力鏡、 0・・・レーザー光取出用反射鏡、 2・・・出力光、 24・・・共振器全反射鏡コーティング、26・・・出
力鏡コーティング、 28・・・コーティング、 30・・・全反射共振器鏡コーティング、32・・・共
振器兼出力鏡コーティング、34・・・出力鏡コーティ
ング、 36・・・共振器鏡コーティング、 38.40・・・光ファイバー 42・・・SHG結晶、 44・・・THG結晶、 46・・・FHG結晶、 48・・・パラメトリック結晶、 50・・・光フアイバー形状非線形結晶。

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)固体レーザー媒質をプリズム形状としてなる光励
    起固体レーザー。
  2. (2)前記プリズム形状をコーナーキユーブ形状とした
    請求項1の光励起固体レーザー。
  3. (3)前記プリズム形状を直角プリズム形状とした請求
    項1の光励起固体レーザー。
  4. (4)前記プリズム形状の固体レーザー媒質の複数の端
    面からの励起光の入射を可能とした請求項1、2又は3
    の光励起固体レーザー。
  5. (5)前記励起光は、半導体レーザー光である請求項4
    の光励起固体レーザー。
  6. (6)前記プリズム形状の固体レーザー媒質の端面が共
    振器鏡又は出力鏡として作用するように、該端面の少な
    くとも一部に、少なくとも1種類のコーティングを施し
    た請求項1乃至5のいずれかの光励起固体レーザー。
  7. (7)前記プリズム形状の固体レーザー媒質の端面に光
    ファイバーの光入出力端を接続してなる請求項1乃至6
    のいずれかの光励起固体レーザー。
  8. (8)前記光ファイバーは出力光取出用光ファイバーで
    ある請求項7の光励起固体レーザー。
  9. (9)前記光ファイバーは励起光注入用光ファイバーで
    ある請求項7の光励起固体レーザー。
  10. (10)前記固体レーザー媒質のレーザー光出力端面に
    、非線形結晶を結合してなる請求項1乃至5のいずれか
    の光励起固体レーザー。
  11. (11)前記非線形結晶は、SHG結晶、THG結晶、
    FHG結晶及びパラメトリック結晶のうちの少なくとも
    一種である請求項10の光励起固体レーザー。
  12. (12)前記非線形結晶は、KTP、β−BaB_2O
    _4、KNbO_3又はMgOドープLiNbO_3で
    ある請求項10の光励起固体レーザー。
  13. (13)前記非線形結晶は、導波路状に形成された請求
    項10、11、又は12の光励起固体レーザー。
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