JPH02134748A - スタンパの製造方法 - Google Patents
スタンパの製造方法Info
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- JPH02134748A JPH02134748A JP28792888A JP28792888A JPH02134748A JP H02134748 A JPH02134748 A JP H02134748A JP 28792888 A JP28792888 A JP 28792888A JP 28792888 A JP28792888 A JP 28792888A JP H02134748 A JPH02134748 A JP H02134748A
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- Pending
Links
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Landscapes
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上のＩｌｌ用分野］
本発明は、レーザー光を用いて、１市報の書き込；）
、読み出しを行なう光学的記録媒体のスタンパの製造方
法に関する。
、読み出しを行なう光学的記録媒体のスタンパの製造方
法に関する。
［従来の技術１
（蓬来の現像プロセスに使用していたノズルよりの現像
液の吐出形態は、シャワ一方式、１点ノズル方式、噴霧
方式と種々ある。
液の吐出形態は、シャワ一方式、１点ノズル方式、噴霧
方式と種々ある。
［発明が解決しようとする課題１
従来技術は、モノトーンのフォーマット現像用としては
使用可能であるが、ビット及びグループの深さ寸法及び
形状が違うハーフトーンフォーマット現像用としては、
現像ムラの発生頻度が高い問題があった。
使用可能であるが、ビット及びグループの深さ寸法及び
形状が違うハーフトーンフォーマット現像用としては、
現像ムラの発生頻度が高い問題があった。
本発明の目的は、上記従来技術の問題点である現像ムラ
をなし、高品質、高歩留で、スタンパを製作する製造方
法を提供する事である。
をなし、高品質、高歩留で、スタンパを製作する製造方
法を提供する事である。
〔課題を解決するための手段１
本発明のスタンパの製造方法は、レーザー光を用いて、
情報の書き込み、又は読み出しを行なう光学的記録媒体
のスタンパに於て、その現像プロセス時に使用するノズ
ルよりの現像液の吐出形態が原板と同心円上に不連続な
略唄状である事を特徴としている。
情報の書き込み、又は読み出しを行なう光学的記録媒体
のスタンパに於て、その現像プロセス時に使用するノズ
ルよりの現像液の吐出形態が原板と同心円上に不連続な
略唄状である事を特徴としている。
（実 施 例 １１
第１図に本製造方法で現像している様子を示す、ｌはガ
ラス原板（旭硝子社製ＡＮガラスｔ１０ｍｍ）、２はフ
ォトレジスト（ヘキスト社製ＡＺ−１３５０）で、１３
５０人の厚さである６ガラス原板とフォトレジストの間
には密着強化剤としてＨＭＤＳ （ヘキサメチルシラザ
ン）が使われている。フォトレジストはＨｅＣｄレーザ
ー光を用いた、レーザーカッティングＭ／Ｇにより、既
にプリフォーマット部及びプリグループ部（ハーフトー
ンカット部）が潜像として形成されている。３は現像液
（ヘキスト社製ＡＺデベロッパー）であり、現像液：純
水はｌ：２希釈している。４は現像液の塗布ノズルであ
る。
ラス原板（旭硝子社製ＡＮガラスｔ１０ｍｍ）、２はフ
ォトレジスト（ヘキスト社製ＡＺ−１３５０）で、１３
５０人の厚さである６ガラス原板とフォトレジストの間
には密着強化剤としてＨＭＤＳ （ヘキサメチルシラザ
ン）が使われている。フォトレジストはＨｅＣｄレーザ
ー光を用いた、レーザーカッティングＭ／Ｇにより、既
にプリフォーマット部及びプリグループ部（ハーフトー
ンカット部）が潜像として形成されている。３は現像液
（ヘキスト社製ＡＺデベロッパー）であり、現像液：純
水はｌ：２希釈している。４は現像液の塗布ノズルであ
る。
第２図は第１図のＡ−Ａ断面図である。５は現像液が流
れ出るノズル内の通路であるが環状に複数の孔で構成さ
れて・いる。
れ出るノズル内の通路であるが環状に複数の孔で構成さ
れて・いる。
ノズルより出た現像液は、回転している原板上止、環状
のまま吐出し続け、原板上で均一に外周に拡散し、所定
時間（３０秒）その状態を保って、潜像を現像した。そ
の后、純水を用いてガラス原板表面をリンスして、付着
している現像液を完全に除去した。
のまま吐出し続け、原板上で均一に外周に拡散し、所定
時間（３０秒）その状態を保って、潜像を現像した。そ
の后、純水を用いてガラス原板表面をリンスして、付着
している現像液を完全に除去した。
現像后、Ｎｉスパッタで７００人の導体化処理をガラス
原板表面に施し、その后Ｎｉ電鋳、裏面研磨、ガラス原
板よりのスタンパ剥離、スタンパ表面レジストの除去、
スタンパ内外形加工を行ない、φ１３０用ＩＳＯフォー
マットのスタンパとした。同様な手順で１０枚のスタン
パを本製造方法で製作し、射出成型機（テクノプラス社
製）でポリカーボネート基鈑とし、ＮｄＤｙＦｅＣｏの
光ｌｉｎ気記録媒体を成膜してハーフトーングループ部
の特性を調べた。結果は表−１の如くであった。外観上
、現像ムラの発生頻度は極めて低（プッシュプル信号、
トラッククロス信号の内周から外周迄の１枚の面内分布
は２％以内であった。
原板表面に施し、その后Ｎｉ電鋳、裏面研磨、ガラス原
板よりのスタンパ剥離、スタンパ表面レジストの除去、
スタンパ内外形加工を行ない、φ１３０用ＩＳＯフォー
マットのスタンパとした。同様な手順で１０枚のスタン
パを本製造方法で製作し、射出成型機（テクノプラス社
製）でポリカーボネート基鈑とし、ＮｄＤｙＦｅＣｏの
光ｌｉｎ気記録媒体を成膜してハーフトーングループ部
の特性を調べた。結果は表−１の如くであった。外観上
、現像ムラの発生頻度は極めて低（プッシュプル信号、
トラッククロス信号の内周から外周迄の１枚の面内分布
は２％以内であった。
又 表−２に示す如く、この場合吐出孔の数は３ヶ以上
が好ましかった。
が好ましかった。
表−２、実施例１の孔数と外観不良率
［実 施 例 ２］
第３図に本製造方法で現像している様子を示づ°。１１
はガラス原板（旭硝子社製ＡＮガラスｔ６ｍｍ）１２は
フォトレジスト（ヘキスト社製ＡＺ−１３５０） で１
４００人ノｒ＝さである。１３は現像液（ヘキスト社製
ＡＺデ／＼ロソパー）であ表−１、実施例１の結果−覧 リ、現像液 純水は１・２希釈している。１４は現ｆ象
ｉイｌの塗布ノズルである。
はガラス原板（旭硝子社製ＡＮガラスｔ６ｍｍ）１２は
フォトレジスト（ヘキスト社製ＡＺ−１３５０） で１
４００人ノｒ＝さである。１３は現像液（ヘキスト社製
ＡＺデ／＼ロソパー）であ表−１、実施例１の結果−覧 リ、現像液 純水は１・２希釈している。１４は現ｆ象
ｉイｌの塗布ノズルである。
第４図は第２図のＢ −Ｂ ｔ！、ｌｉ面図である。１
５は現像液が流れ出るノズル内の通路であるが、不連続
な環状となっている。実施例１と同様に現像を実施し、
光６１１気記録媒体を製作してハーフトーングループ部
の特性を調べた。結果は表−３の如くであった。外観上
、現像ムラの発生頻度は極めて低く、プッシュプル信号
、トラッククロス信号の内周から外周迄の１枚の面内分
布は２％以内であ−）だ。
５は現像液が流れ出るノズル内の通路であるが、不連続
な環状となっている。実施例１と同様に現像を実施し、
光６１１気記録媒体を製作してハーフトーングループ部
の特性を調べた。結果は表−３の如くであった。外観上
、現像ムラの発生頻度は極めて低く、プッシュプル信号
、トラッククロス信号の内周から外周迄の１枚の面内分
布は２％以内であ−）だ。
尚１本実施例では、一つのノズルで？！ 数ケ所より現
ｆｍ液を吐出させたが、複数のノズルで同様な吐出形態
をとる事は可能である。
ｆｍ液を吐出させたが、複数のノズルで同様な吐出形態
をとる事は可能である。
［発明の効果］
原版上への現像液の供給、拡散が均一となり、現像ムラ
の発生頻度が極めて低く、面目っ、案内ｉ＋’ｌ’＋の
プツシコブル信号、トラッククロス信号の内周Ｖ）ら外
周迄の面内分布が、２％以内に入る高精度のスタンパを
製作できる効果がある。
の発生頻度が極めて低く、面目っ、案内ｉ＋’ｌ’＋の
プツシコブル信号、トラッククロス信号の内周Ｖ）ら外
周迄の面内分布が、２％以内に入る高精度のスタンパを
製作できる効果がある。
第１図は本発明の現像時略図。
第２図は第１図のＡ−Ａ断面図。
第３図は本発明の現像時略図。
第４図は第３図のＢ −’Ｆ３１１Ｊｉ面図、以
上
Claims (1)
- レーザー光を用いて、情報の書き込み、又は読み出しを
行なう光学的記録媒体のスタンパに於て、その現像プロ
セス時に使用するノズルよりの現像液の吐出形態が原板
と同心円上に不連続な略環状である事を特徴とする、ス
タンパの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28792888A JPH02134748A (ja) | 1988-11-15 | 1988-11-15 | スタンパの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28792888A JPH02134748A (ja) | 1988-11-15 | 1988-11-15 | スタンパの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02134748A true JPH02134748A (ja) | 1990-05-23 |
Family
ID=17723546
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28792888A Pending JPH02134748A (ja) | 1988-11-15 | 1988-11-15 | スタンパの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02134748A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6042647A (en) * | 1997-05-16 | 2000-03-28 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Nozzle system for feeding treatment liquid such as a liquid developer on a workpiece |
-
1988
- 1988-11-15 JP JP28792888A patent/JPH02134748A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6042647A (en) * | 1997-05-16 | 2000-03-28 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Nozzle system for feeding treatment liquid such as a liquid developer on a workpiece |
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