JPH02133387A - 帯溶融精製用黒鉛ボートの製造方法 - Google Patents
帯溶融精製用黒鉛ボートの製造方法Info
- Publication number
- JPH02133387A JPH02133387A JP28603688A JP28603688A JPH02133387A JP H02133387 A JPH02133387 A JP H02133387A JP 28603688 A JP28603688 A JP 28603688A JP 28603688 A JP28603688 A JP 28603688A JP H02133387 A JPH02133387 A JP H02133387A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- refining
- impurities
- graphite boat
- zone melting
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 57
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 38
- 239000010439 graphite Substances 0.000 title claims abstract description 38
- 238000007670 refining Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 9
- 238000004857 zone melting Methods 0.000 title abstract description 10
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 claims abstract description 8
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 claims abstract description 8
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 claims abstract description 8
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 4
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 15
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 4
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 3
- 150000001721 carbon Chemical class 0.000 claims description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract description 22
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 21
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 21
- 229920002134 Carboxymethyl cellulose Polymers 0.000 abstract description 16
- 235000010948 carboxy methyl cellulose Nutrition 0.000 abstract description 16
- 238000002156 mixing Methods 0.000 abstract description 6
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 abstract description 4
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 abstract description 4
- 238000000465 moulding Methods 0.000 abstract description 4
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 abstract description 4
- 239000001768 carboxy methyl cellulose Substances 0.000 abstract description 2
- 239000008112 carboxymethyl-cellulose Substances 0.000 abstract description 2
- 238000001354 calcination Methods 0.000 abstract 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 15
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 15
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 12
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 10
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 9
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 8
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 239000000571 coke Substances 0.000 description 5
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 5
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 3
- 239000011301 petroleum pitch Substances 0.000 description 3
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000001805 chlorine compounds Chemical class 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 238000007605 air drying Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 238000005087 graphitization Methods 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は金属の高純度精製技術である帯溶融精製に使用
する黒鉛ボートの製造方法に関する。
する黒鉛ボートの製造方法に関する。
[従来の技術]
第1図は帯溶融精製法の概略を示す断面図である。黒鉛
ボート1上には、高純度精製すべき金属試料2が載置さ
れ、この黒鉛ボート1は石英管4の内部に挿入されてそ
の中央部に配置される。石英管4の両端はM 5 a及
び5bにより気密的に密封されるようになっている。一
方のi5bにはノズル6が設けられており、このノズル
6は配管等により真空排気装置(図示せず)に接続され
ている。また、石英管4の外側には高周波誘導加熱コイ
ル7が石英管4を取り囲むように配設されている。この
高周波誘導加熱コイル7は駆動装置(図示せず)により
石英管の長手方向に沿って移動する。コイル7は適宜の
高周波電源に接続されていて、この高周波電源により高
周波電力が供給される。
ボート1上には、高純度精製すべき金属試料2が載置さ
れ、この黒鉛ボート1は石英管4の内部に挿入されてそ
の中央部に配置される。石英管4の両端はM 5 a及
び5bにより気密的に密封されるようになっている。一
方のi5bにはノズル6が設けられており、このノズル
6は配管等により真空排気装置(図示せず)に接続され
ている。また、石英管4の外側には高周波誘導加熱コイ
ル7が石英管4を取り囲むように配設されている。この
高周波誘導加熱コイル7は駆動装置(図示せず)により
石英管の長手方向に沿って移動する。コイル7は適宜の
高周波電源に接続されていて、この高周波電源により高
周波電力が供給される。
このように構成された帯溶融精製装置においては、先ず
、真空排気装置により石英管4内を真空に排気する。次
に、高周波誘導加熱コイル7により黒鉛ボート1上の金
属試料2を局部的に加熱して溶融させる。そして、高周
波誘導加熱コイル7を石英管4の長手方向に徐々に移動
させると、溶融部3もコイル7と共に移動する。金属試
料2中に含まれていた不純物は溶融部3内に残留して溶
融部3と共に移動する。このため、溶融部3が通過し凝
固した後の金属試料中の不純物は減少し、その純度は上
昇する。このような高周波誘導加熱コイル7の移動を複
数回繰返すことにより、高純度の金属を得ることができ
る。
、真空排気装置により石英管4内を真空に排気する。次
に、高周波誘導加熱コイル7により黒鉛ボート1上の金
属試料2を局部的に加熱して溶融させる。そして、高周
波誘導加熱コイル7を石英管4の長手方向に徐々に移動
させると、溶融部3もコイル7と共に移動する。金属試
料2中に含まれていた不純物は溶融部3内に残留して溶
融部3と共に移動する。このため、溶融部3が通過し凝
固した後の金属試料中の不純物は減少し、その純度は上
昇する。このような高周波誘導加熱コイル7の移動を複
数回繰返すことにより、高純度の金属を得ることができ
る。
従来、この種の黒鉛ボート(カーボンボート)は、コー
クスの微粉に可塑剤として石油ピッチを添加し、以下に
説明する方法により製造されている。
クスの微粉に可塑剤として石油ピッチを添加し、以下に
説明する方法により製造されている。
先ず、原料コークスをオ■砕機、篩分器及び微粉砕機を
使用して粉砕及び篩分けすることにより、コークスの直
径を数μm乃至数ll1mの範囲内の種々の粒度に分け
てホッパに貯留する。そして、この粉砕されたコークス
を各粒度について所定量切り出した後、石油ピッチを添
加して混捏する。次に、この混捏して泥状となったコー
クスをCIP (等方的加圧)成形、型込成形又は押出
成形等により成形し、その後、焼成炉で焼成する。次い
で、この焼成品を黒鉛化炉で約3000°Cの高温に加
熱して黒鉛化し、黒鉛化孔とする。
使用して粉砕及び篩分けすることにより、コークスの直
径を数μm乃至数ll1mの範囲内の種々の粒度に分け
てホッパに貯留する。そして、この粉砕されたコークス
を各粒度について所定量切り出した後、石油ピッチを添
加して混捏する。次に、この混捏して泥状となったコー
クスをCIP (等方的加圧)成形、型込成形又は押出
成形等により成形し、その後、焼成炉で焼成する。次い
で、この焼成品を黒鉛化炉で約3000°Cの高温に加
熱して黒鉛化し、黒鉛化孔とする。
この黒鉛化孔には、Fe、A、RlS、Cu、Mg、S
i等の酸化物が総量で約800ppm含まれているので
、これらの不純物を除くために、高純度処理装置を使用
する。この高純度処理装置は黒鉛化孔をハロゲンガス気
流中で通電加熱して焼結し、不純物を、例えば塩化物の
ように蒸気圧が高い化合物にして揮発させることにより
除去するものである。高純度処理後の黒鉛化孔は所定形
状の黒鉛ボートに加工される。このようにして製造され
た黒鉛ボートには、通常15ppm以上の不純物が含ま
れている。
i等の酸化物が総量で約800ppm含まれているので
、これらの不純物を除くために、高純度処理装置を使用
する。この高純度処理装置は黒鉛化孔をハロゲンガス気
流中で通電加熱して焼結し、不純物を、例えば塩化物の
ように蒸気圧が高い化合物にして揮発させることにより
除去するものである。高純度処理後の黒鉛化孔は所定形
状の黒鉛ボートに加工される。このようにして製造され
た黒鉛ボートには、通常15ppm以上の不純物が含ま
れている。
[発明が解決しようとする課題]
上述の如く、従来の黒鉛ボートはコークス微粉及び石油
ピッチから製造されるため、S、Fe、A!2、Cu、
Mg、S i等の不純物の混入を回避できない。このた
め、黒鉛ボートの製造工程において、黒鉛化孔をハロゲ
ンガス気流中で通電加熱して焼結し、これらの不純物を
塩化物等の蒸気圧が高い化合物にして揮発させることに
より除去している。しかしながら、黒鉛化孔は焼結体と
なっているため、この焼結体の粒界に取込まれた不純物
は、この高純度化処理工程においてハロゲンガスと接触
しないため、黒釦化品中に残留し除去することができな
い。
ピッチから製造されるため、S、Fe、A!2、Cu、
Mg、S i等の不純物の混入を回避できない。このた
め、黒鉛ボートの製造工程において、黒鉛化孔をハロゲ
ンガス気流中で通電加熱して焼結し、これらの不純物を
塩化物等の蒸気圧が高い化合物にして揮発させることに
より除去している。しかしながら、黒鉛化孔は焼結体と
なっているため、この焼結体の粒界に取込まれた不純物
は、この高純度化処理工程においてハロゲンガスと接触
しないため、黒釦化品中に残留し除去することができな
い。
帯溶融精製においては、金属試料は黒鉛ボートに接触し
、局部的に溶融されながら複数回の溶融帯の通過が行な
われるため、黒鉛ボートはこの溶融帯の通過に伴い、局
部的に膨張及び収縮が繰返される。このため、黒鉛ボー
トの粒界が破壊され、粒界に取り込まれていた不純物が
露出し、金属と接触して金属中に溶解する。溶融帯のバ
ス回数(通過回数)を増加しても、この黒鉛ボートから
毎回溶融してくる不純物を除去することはできない。
、局部的に溶融されながら複数回の溶融帯の通過が行な
われるため、黒鉛ボートはこの溶融帯の通過に伴い、局
部的に膨張及び収縮が繰返される。このため、黒鉛ボー
トの粒界が破壊され、粒界に取り込まれていた不純物が
露出し、金属と接触して金属中に溶解する。溶融帯のバ
ス回数(通過回数)を増加しても、この黒鉛ボートから
毎回溶融してくる不純物を除去することはできない。
このため、従来方法により製造された黒鉛ボートを使用
した帯溶融精製においては、残留抵抗比(RRR)が高
々的3000の純度を有する金属を得ることが限界であ
った。
した帯溶融精製においては、残留抵抗比(RRR)が高
々的3000の純度を有する金属を得ることが限界であ
った。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、
黒鉛ボートからの不純物の混入を防止して極めて高純度
の帯溶融精製を可能にする高純度の黒鉛ボートを製造で
きる帯溶融精製用黒鉛ボートの製造方法を提供すること
を目的とする。
黒鉛ボートからの不純物の混入を防止して極めて高純度
の帯溶融精製を可能にする高純度の黒鉛ボートを製造で
きる帯溶融精製用黒鉛ボートの製造方法を提供すること
を目的とする。
[課題を解決するための手段]
本発明に係る帯溶融精製用黒鉛ボートの製造方法は、炭
化水素ガスを不完全燃焼させて得られる炭素微粉と、こ
の炭素微粉量の0.1乃至1重量%の可塑剤との混合物
を原料として焼成することを特徴とする。
化水素ガスを不完全燃焼させて得られる炭素微粉と、こ
の炭素微粉量の0.1乃至1重量%の可塑剤との混合物
を原料として焼成することを特徴とする。
[作用]
本発明においては、アセチレンガス等の炭1ヒ水素ガス
の不完全燃焼により発生する炭素微粉(所謂煤)に、こ
の炭素微粉の0.1乃至1重量%のカルボキシルメチル
セルロー゛ス(以下、CMCという)又はポリビニルア
ルコール(以下、PVAという)等の可塑剤を添加し、
これを焼成して黒鉛ボートを製造する。これにより、従
来に比して一層高純度化された黒鉛ボートを得ることが
できる。
の不完全燃焼により発生する炭素微粉(所謂煤)に、こ
の炭素微粉の0.1乃至1重量%のカルボキシルメチル
セルロー゛ス(以下、CMCという)又はポリビニルア
ルコール(以下、PVAという)等の可塑剤を添加し、
これを焼成して黒鉛ボートを製造する。これにより、従
来に比して一層高純度化された黒鉛ボートを得ることが
できる。
以下に、この詳細について説明する。
アセチレンガス等の炭化水素ガスの不完全燃焼により発
生する炭素微粉には金属系の不純物は殆ど含有していな
い。従って、炭素微粉の不純物の溶解が問題となること
はない。
生する炭素微粉には金属系の不純物は殆ど含有していな
い。従って、炭素微粉の不純物の溶解が問題となること
はない。
可塑剤としては、例えばCMCがある。このCMCを前
記炭素微粉量の0.1乃至1重量%だけ炭素微粉に添加
する。CMCはS、Ni、V等の不純物を実買的に含有
していないため、これらの不純物が問題となることはな
い。但し、CMC中には極微量のNaが含有されている
か、このNaはCpガス気流中で化学反応してNaCη
となり、黒鉛ボートの表層に微量析出するので、帯溶融
精製を開始する前に黒鉛ボートを純水で洗浄することに
より、NaC,Qを水に溶解して除去することができる
。このようにしてNaを除去できるが、仮に、Naが完
全に除去されずに炭素粒界に残存したとしても、元来こ
のNa量は極微量であるためCMCの添加量が前述の範
囲であれば、帯溶融精製時に金属中に溶解する量は無視
できるほど微量である。 次に、CMC等の可塑剤の混
合比の限定理由について説明する。
記炭素微粉量の0.1乃至1重量%だけ炭素微粉に添加
する。CMCはS、Ni、V等の不純物を実買的に含有
していないため、これらの不純物が問題となることはな
い。但し、CMC中には極微量のNaが含有されている
か、このNaはCpガス気流中で化学反応してNaCη
となり、黒鉛ボートの表層に微量析出するので、帯溶融
精製を開始する前に黒鉛ボートを純水で洗浄することに
より、NaC,Qを水に溶解して除去することができる
。このようにしてNaを除去できるが、仮に、Naが完
全に除去されずに炭素粒界に残存したとしても、元来こ
のNa量は極微量であるためCMCの添加量が前述の範
囲であれば、帯溶融精製時に金属中に溶解する量は無視
できるほど微量である。 次に、CMC等の可塑剤の混
合比の限定理由について説明する。
可塑剤の混合比は炭素微粉量の0.1乃至1重量%であ
る。可塑剤の混合比が0.1重量%未満の場合は、炭素
微粉のバインダとして作用させるには不十分である。ま
た、可塑剤の混合比が1重量%を超えると、可塑剤から
混入してくるNaの量が無視できなくなる。即ち、この
Naが帯溶融精製時に金属中に混入するため、精製後の
金属の残留抵抗比を改善することができない、このため
、可塑剤の混合比は0.1乃至1重量%にする。
る。可塑剤の混合比が0.1重量%未満の場合は、炭素
微粉のバインダとして作用させるには不十分である。ま
た、可塑剤の混合比が1重量%を超えると、可塑剤から
混入してくるNaの量が無視できなくなる。即ち、この
Naが帯溶融精製時に金属中に混入するため、精製後の
金属の残留抵抗比を改善することができない、このため
、可塑剤の混合比は0.1乃至1重量%にする。
[実施例]
次に、本発明の実施例について説明する。
実施例及び比較例として、アセチレンガスを不完全燃焼
させることにより得られた炭素微粉1 kgにつき、夫
々0.9g 、 Ig 、 10g又はl1gのCM
Cをバインダとして添加した。但し、このCMCは50
mgの純水に溶解した状態で添加した。なお、これらの
添加量は炭素微粉量に対して、夫々0.09%(比較例
1)、0.1%(実施例1)、1%(実施例2)又は1
.1%(比較例2)である。そして、この炭素微粉とバ
インダとの各混合物を混練した後、ラバープレスにより
圧力を加えて直径が47mm、長さが300 inの丸
棒に成形した。その後、前述した通常の高純度黒鉛製造
工程により、これらの丸棒を黒鉛化し、更に成形加工し
て黒鉛ボートを製造した。
させることにより得られた炭素微粉1 kgにつき、夫
々0.9g 、 Ig 、 10g又はl1gのCM
Cをバインダとして添加した。但し、このCMCは50
mgの純水に溶解した状態で添加した。なお、これらの
添加量は炭素微粉量に対して、夫々0.09%(比較例
1)、0.1%(実施例1)、1%(実施例2)又は1
.1%(比較例2)である。そして、この炭素微粉とバ
インダとの各混合物を混練した後、ラバープレスにより
圧力を加えて直径が47mm、長さが300 inの丸
棒に成形した。その後、前述した通常の高純度黒鉛製造
工程により、これらの丸棒を黒鉛化し、更に成形加工し
て黒鉛ボートを製造した。
上述の如く製造した実施例及び比較例の各黒鉛ボート及
び従来方法により製造した高純度黒鉛ボートを使用して
銅を帯溶融精製し、精製後の銅の残留抵抗比(RRR)
を調べた。なお、帯溶融精製は10’Torrの真空中
において、周波数が100KHz、出力が5KWの条件
で高周波加熱することにより行なった。また、精製前の
原料銅はRRR値が5000の電解精製銅である。
び従来方法により製造した高純度黒鉛ボートを使用して
銅を帯溶融精製し、精製後の銅の残留抵抗比(RRR)
を調べた。なお、帯溶融精製は10’Torrの真空中
において、周波数が100KHz、出力が5KWの条件
で高周波加熱することにより行なった。また、精製前の
原料銅はRRR値が5000の電解精製銅である。
帯溶融精製後の銅のRRRは下記第1表にまとめて示す
とおりである。
とおりである。
第1表
但し、CMCを0.9g添加した比較例1においては、
丸棒に成形した後自然乾燥中に丸棒に亀裂が発生したた
め、焼成するに至らず、このため帯溶融精製に使用する
ことができなかった。
丸棒に成形した後自然乾燥中に丸棒に亀裂が発生したた
め、焼成するに至らず、このため帯溶融精製に使用する
ことができなかった。
この第1表から明らかなように、本発明に係る実施例1
及び2は、いずれも比較例及び従来例に比して著しく純
度が向上している。特に、CMCを1g添加した実施例
1においては、十分に焼成が可能であると共に、電解精
製後の銅の純度が従来の3倍以上と極めて高純度の銅が
得られた。
及び2は、いずれも比較例及び従来例に比して著しく純
度が向上している。特に、CMCを1g添加した実施例
1においては、十分に焼成が可能であると共に、電解精
製後の銅の純度が従来の3倍以上と極めて高純度の銅が
得られた。
一方、CMCの量が過多である比較例2では、従来例に
比して残留抵抗比が殆ど改善されていない、また、CM
Cの量が過少である比較例1は、前述したように焼成で
きず、黒鉛ボートを製造することができなかった。
比して残留抵抗比が殆ど改善されていない、また、CM
Cの量が過少である比較例1は、前述したように焼成で
きず、黒鉛ボートを製造することができなかった。
なお、上記実施例は、炭化水素ガスとしてアセチレンガ
スを使用し、可塑剤としてCMCを使用したが、本発明
はこれらの物質に限らず、種々の炭化水素ガスを使用す
ることができると共に、CMC以外に、例えばPVAの
ように高純度の種々の可塑剤を使用することもできる。
スを使用し、可塑剤としてCMCを使用したが、本発明
はこれらの物質に限らず、種々の炭化水素ガスを使用す
ることができると共に、CMC以外に、例えばPVAの
ように高純度の種々の可塑剤を使用することもできる。
[発明の効果]
以上説明したように、本発明によれば、炭化水素ガスを
不完全燃焼させて得られる炭素微粉を原料とし、これに
CMC等の可塑剤を所定量配合して黒鉛ボードを製造す
るから、不純物の量が極めて少ない黒鉛ボードが得られ
る。このため、この黒鉛ボードを使用して、帯溶融精製
すれば、精製金属中の不純物濃度を著しく減少させるこ
とができ、従来に比して極めて高純度の金属を得ること
ができる。このように、本発明は帯溶融精製による金属
の高純度化技術に対し、著しい貢献をなす。
不完全燃焼させて得られる炭素微粉を原料とし、これに
CMC等の可塑剤を所定量配合して黒鉛ボードを製造す
るから、不純物の量が極めて少ない黒鉛ボードが得られ
る。このため、この黒鉛ボードを使用して、帯溶融精製
すれば、精製金属中の不純物濃度を著しく減少させるこ
とができ、従来に比して極めて高純度の金属を得ること
ができる。このように、本発明は帯溶融精製による金属
の高純度化技術に対し、著しい貢献をなす。
第1図は帯溶融精製方法の概略を示す断面図である。
1;黒鉛ボート、2;金属試料、3;溶融部、4;石英
管、5a、5b;蓋、6;ノズル、7;高周波誘導加熱
コイル
管、5a、5b;蓋、6;ノズル、7;高周波誘導加熱
コイル
Claims (1)
- (1)炭化水素ガスを不完全燃焼させて得られる炭素微
粉と、この炭素微粉量の0.1乃至1重量%の可塑剤と
の混合物を原料として焼成することを特徴とする帯溶融
精製用黒鉛ボートの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28603688A JPH02133387A (ja) | 1988-11-11 | 1988-11-11 | 帯溶融精製用黒鉛ボートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28603688A JPH02133387A (ja) | 1988-11-11 | 1988-11-11 | 帯溶融精製用黒鉛ボートの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02133387A true JPH02133387A (ja) | 1990-05-22 |
Family
ID=17699146
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28603688A Pending JPH02133387A (ja) | 1988-11-11 | 1988-11-11 | 帯溶融精製用黒鉛ボートの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02133387A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0489388A (ja) * | 1990-07-27 | 1992-03-23 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | チョクラルスキー法によるシリコン単結晶の製造方法 |
AU2002311245B2 (en) * | 2001-12-18 | 2004-05-20 | Hillspan Pty Ltd | Liner Panels |
CN104399724A (zh) * | 2014-12-05 | 2015-03-11 | 株洲硬质合金集团有限公司 | 舟皿清理机 |
-
1988
- 1988-11-11 JP JP28603688A patent/JPH02133387A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0489388A (ja) * | 1990-07-27 | 1992-03-23 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | チョクラルスキー法によるシリコン単結晶の製造方法 |
AU2002311245B2 (en) * | 2001-12-18 | 2004-05-20 | Hillspan Pty Ltd | Liner Panels |
CN104399724A (zh) * | 2014-12-05 | 2015-03-11 | 株洲硬质合金集团有限公司 | 舟皿清理机 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2012107337A (ja) | 元素Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta及びCrの金属粉末もしくは金属水素化物粉末の製造方法 | |
JPS59213619A (ja) | 高純度マグネシア微粉末の製造方法 | |
JP3636370B2 (ja) | 窒化アルミニウム粉末及びその製造方法 | |
JPH02133387A (ja) | 帯溶融精製用黒鉛ボートの製造方法 | |
CN1311723A (zh) | 铬的提纯方法 | |
US20220185677A1 (en) | Hafnium carbide powder for plasma electrodes, method for producing same, hafnium carbide sintered body, and plasma electrode | |
JPH0323206A (ja) | 窒化アルミニウム粉末及びその製造方法 | |
JP2011063487A (ja) | ホウ化ランタン焼結体、その焼結体を用いたターゲット及びその焼結体の製造方法 | |
JPS59205432A (ja) | 活性金属や貴金属を含む合金の溶解法 | |
JP3950042B2 (ja) | カーボンナノチューブの製造方法 | |
JP3934686B2 (ja) | 高純度金属クロムの製造方法 | |
JPS61207480A (ja) | 研磨材の製法 | |
JP2652909B2 (ja) | 等方性高強度黒鉛材料の製造方法 | |
US3076716A (en) | Production of granular zirconia products | |
JPH0158131B2 (ja) | ||
JP2902060B2 (ja) | イリジウム焼結体の製造方法 | |
JPH02271919A (ja) | 炭化チタン微粉末の製造方法 | |
EP2192084B1 (en) | Method for production of silicon carbide powder | |
JPH03187998A (ja) | 窒化アルミニウムウィスカーの製造方法 | |
JPH0761814A (ja) | スピネル粉末の製造方法 | |
JPH10120466A (ja) | 高耐食性炭化ケイ素質部材及びその用途 | |
Syamaprasad et al. | Zirconia ceramics by thermal plasma | |
KR20230167485A (ko) | 저산소 맥스 상 합성 방법 | |
JPH01141809A (ja) | 高純度窒化アルミニウム粉末の製造法 | |
JP2003095731A (ja) | アルミナ質焼結体の製造方法 |