JPH02121794A - レーザ加工用光学装置 - Google Patents
レーザ加工用光学装置Info
- Publication number
- JPH02121794A JPH02121794A JP63272394A JP27239488A JPH02121794A JP H02121794 A JPH02121794 A JP H02121794A JP 63272394 A JP63272394 A JP 63272394A JP 27239488 A JP27239488 A JP 27239488A JP H02121794 A JPH02121794 A JP H02121794A
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- JP
- Japan
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- objective lens
- laser light
- laser beam
- window
- enclosed chamber
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Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 10
- 238000003754 machining Methods 0.000 title 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 abstract description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000001182 laser chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はレーザ加工装置に関し、特にレーザＣＶＤまた
はレーザアシストエツチング等のレーザ加工のためのレ
ーザ光の集光あるいは結像を行うレーザ加工用光学装置
に関する。
はレーザアシストエツチング等のレーザ加工のためのレ
ーザ光の集光あるいは結像を行うレーザ加工用光学装置
に関する。
［従来の技術］
従来、この種のレーザ加工用光学装置は、レーザ光の集
光用あるいは結像用の対物レンズを密閉チェンバーの外
部に配し、密閉チェンバーの上記対物レンズ側の側面に
レーザ光導入窓を配していた。
光用あるいは結像用の対物レンズを密閉チェンバーの外
部に配し、密閉チェンバーの上記対物レンズ側の側面に
レーザ光導入窓を配していた。
このような構成により、レーザ光は、対物レンズに入射
して集光されて射出し、レーザ光導入窓を通過して密閉
チェンバー内の試料上に照射されるようになっていた。
して集光されて射出し、レーザ光導入窓を通過して密閉
チェンバー内の試料上に照射されるようになっていた。
［発明が解決しようとする課題］
上述した従来のレーザ加工用光学装置では、対物レンズ
が密閉チェンバーの外側に配されており、レーザ光導入
窓を通してレーザ光を試料に照射するようになっている
ので、レーザ光導入窓をレーザ光が通過する際に収差が
発生し、且つ対物レンズと試料との間にレーザ光導入窓
および密閉チェンバーが配されることにより対物レンズ
の作動器ｌ！！（ワーキングデイスタンス）が極端に長
くなることから、高倍率の分解能の良い対物レンズを使
用することが困難であるという欠点があった。
が密閉チェンバーの外側に配されており、レーザ光導入
窓を通してレーザ光を試料に照射するようになっている
ので、レーザ光導入窓をレーザ光が通過する際に収差が
発生し、且つ対物レンズと試料との間にレーザ光導入窓
および密閉チェンバーが配されることにより対物レンズ
の作動器ｌ！！（ワーキングデイスタンス）が極端に長
くなることから、高倍率の分解能の良い対物レンズを使
用することが困難であるという欠点があった。
［課題を解決するための手段］
本発明のレーザ加工用光学装置は、上述した従来の課題
を解決するためになされたものであり、密閉チェンバー
内の試料上に対物レンズによりレーザ光を集光あるいは
結像させてレーザ加工を行うレーザ加工用光学装置にお
いて、上記対物レンズを上記密閉チェンバー内に配する
と共に、上記対物レンズの入射側に、上記密閉チェンバ
ー内にレーザ光を導入するレーザ光導入窓を配するよう
にした構成としている。
を解決するためになされたものであり、密閉チェンバー
内の試料上に対物レンズによりレーザ光を集光あるいは
結像させてレーザ加工を行うレーザ加工用光学装置にお
いて、上記対物レンズを上記密閉チェンバー内に配する
と共に、上記対物レンズの入射側に、上記密閉チェンバ
ー内にレーザ光を導入するレーザ光導入窓を配するよう
にした構成としている。
［実施例コ
次に、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は本発明の一実施例の縦断面図である。
本実施例のレーザ加工用光学装置は、基本的に、密閉チ
ェンバー２と、レーザ光導入窓３と、対物レンズ１とか
ら構成され、密閉チェンバー２内の試料４上に対物レン
ズ１によりレーザー光を集光または結像させてレーザ加
工を行うものである。
ェンバー２と、レーザ光導入窓３と、対物レンズ１とか
ら構成され、密閉チェンバー２内の試料４上に対物レン
ズ１によりレーザー光を集光または結像させてレーザ加
工を行うものである。
上記密閉チェンバー２は、気密な箱状の容器からなる。
密閉チェンバー２は、上面に上記レーザー光導入窓３と
略同じ大きさに開孔形成した開孔部１０を有している。
略同じ大きさに開孔形成した開孔部１０を有している。
また、側面には、密閉チェンバー２内を真空にするため
のガスの導入用および排気用の通気孔７．８が開孔形成
されている。密閉チェンバー２は、内部下面に試料４を
載置する載物台５を配している。
のガスの導入用および排気用の通気孔７．８が開孔形成
されている。密閉チェンバー２は、内部下面に試料４を
載置する載物台５を配している。
上記載物台５は、板状からなる台で、Ｘ、Ｙ。
ＺＩｌｉｔｈ方向の移動が可能な機構となっている。
上記レーザ光導入窓３は、密閉チェンバー２の上面の開
孔部１０に、０リング９により気密に保持されている。
孔部１０に、０リング９により気密に保持されている。
レーザ光導入窓３は、通常の光学ガラスまたは石英ガラ
スからなり、密閉チェンバー２内を真空に排気するとき
にレーザ光導入窓３が破壊されないために、厚みは３ｍ
ｍ（有効径２０ｍｍのとき）程度となっている。また、
レーザ光導入窓３は、上方からの平行ビームのレーザ光
６を密閉チェンバー２内に平行に導入するのに適切な結
像レンズとなっている。なお、レーザ光導入窓３は、レ
ーザ光６の波長に応じて無反射コーティングがなされて
いる。
スからなり、密閉チェンバー２内を真空に排気するとき
にレーザ光導入窓３が破壊されないために、厚みは３ｍ
ｍ（有効径２０ｍｍのとき）程度となっている。また、
レーザ光導入窓３は、上方からの平行ビームのレーザ光
６を密閉チェンバー２内に平行に導入するのに適切な結
像レンズとなっている。なお、レーザ光導入窓３は、レ
ーザ光６の波長に応じて無反射コーティングがなされて
いる。
上記対物レンズ１は、密閉チェンバー２内に固定して配
され、レーザ光導入窓３側が、対物レンズ１の入射側と
対向するようになっている。対物レンズ１には、無限補
正型のものが使用される。
され、レーザ光導入窓３側が、対物レンズ１の入射側と
対向するようになっている。対物レンズ１には、無限補
正型のものが使用される。
次に本実施例の動作を説明する。
まず、密閉チェンバー２の上方からレーザ光６が平行に
レーザ光導入窓３を介して密閉チェンバー２内に平行に
導入される。そして、密閉チェンバー２内に導入された
レーザ光６は、対物レンズｌに入射し、試料４上に集束
または結像される。なお、対物レンズ１のピント調節は
、載物台５のｘ、ｙ、ｚ位置を調節することにより行う
。
レーザ光導入窓３を介して密閉チェンバー２内に平行に
導入される。そして、密閉チェンバー２内に導入された
レーザ光６は、対物レンズｌに入射し、試料４上に集束
または結像される。なお、対物レンズ１のピント調節は
、載物台５のｘ、ｙ、ｚ位置を調節することにより行う
。
第２図は本発明の実施例２の縦断面図である。
第一の実施例と異なる点は、密閉チェンバー２２の開孔
部１０に円筒形状の対物レンズ用カバー２３を設け、対
物レンズ１およびレーザ光導入窓３を対物レンズ用カバ
ー２３内に固定して収めたことである。
部１０に円筒形状の対物レンズ用カバー２３を設け、対
物レンズ１およびレーザ光導入窓３を対物レンズ用カバ
ー２３内に固定して収めたことである。
この対物レンズ用カバー２３は、密閉チェンバー２２と
の接合部に０リング２９を配して、気密になるようにし
ている。また、対物レンズ用カバー２３は、開孔部１０
に対して上下動するようになっており、対物レンズ１の
ピントの調節をする場合に使用する。このため、載物台
５は、Ｚ軸方向の移動機構が不要となり、載物台５の構
造を簡略化できる。
の接合部に０リング２９を配して、気密になるようにし
ている。また、対物レンズ用カバー２３は、開孔部１０
に対して上下動するようになっており、対物レンズ１の
ピントの調節をする場合に使用する。このため、載物台
５は、Ｚ軸方向の移動機構が不要となり、載物台５の構
造を簡略化できる。
［発明の効果］
以上説明したように本発明に係るレーザ加工用光学装置
は、対物レンズを密閉チェンバー内に配し、レーザ光導
入窓を上記対物レンズの入射側に置くように構成するこ
とにより、対物レンズから直接レーザ光を試料上に集光
等できるので、従来のようなレーザ光導入窓通過の際の
収差の発生が防止でき、かつ、対物レンズと試料の間距
離が短くなるため、高倍率で分解能の良い対物レンズを
使用することができる効果がある。
は、対物レンズを密閉チェンバー内に配し、レーザ光導
入窓を上記対物レンズの入射側に置くように構成するこ
とにより、対物レンズから直接レーザ光を試料上に集光
等できるので、従来のようなレーザ光導入窓通過の際の
収差の発生が防止でき、かつ、対物レンズと試料の間距
離が短くなるため、高倍率で分解能の良い対物レンズを
使用することができる効果がある。
第１図は本発明の第一の実施例を示す縦断面図、第２図
は第二の実施例を示す縦断面図である。 １：対物レンズ ２．２２：密閉チェンバー レーザ光導入窓 載物台 ８；通気孔 二対物レンズ用カバー ２９二〇リング
は第二の実施例を示す縦断面図である。 １：対物レンズ ２．２２：密閉チェンバー レーザ光導入窓 載物台 ８；通気孔 二対物レンズ用カバー ２９二〇リング
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 密閉チェンバー内の試料上に対物レンズによりレーザ光
を集光あるいは結像させてレーザ加工を行うレーザ加工
用光学装置において、 上記対物レンズを上記密閉チェンバー内に配すると共に
、 上記対物レンズの入射側に、上記密閉チェンバー内にレ
ーザ光を導入するレーザ光導入窓を配するようにしたこ
とを特徴とするレーザ加工用光学装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63272394A JP2803106B2 (ja) | 1988-10-28 | 1988-10-28 | レーザ加工用光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63272394A JP2803106B2 (ja) | 1988-10-28 | 1988-10-28 | レーザ加工用光学装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02121794A true JPH02121794A (ja) | 1990-05-09 |
| JP2803106B2 JP2803106B2 (ja) | 1998-09-24 |
Family
ID=17513282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63272394A Expired - Lifetime JP2803106B2 (ja) | 1988-10-28 | 1988-10-28 | レーザ加工用光学装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2803106B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105345000A (zh) * | 2015-11-26 | 2016-02-24 | 北京隆源自动成型系统有限公司 | 一种选区激光熔化成型设备及其容积可调节成型室 |
| JP2020004674A (ja) * | 2018-07-02 | 2020-01-09 | 株式会社Ｊｏｌｅｄ | 表示パネル製造装置および表示パネル製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60223694A (ja) * | 1984-04-23 | 1985-11-08 | Nuclear Fuel Co Ltd | レ−ザ光による気密溶接装置 |
| JPS61232088A (ja) * | 1985-04-02 | 1986-10-16 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | 表面構造体の製造装置 |
-
1988
- 1988-10-28 JP JP63272394A patent/JP2803106B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60223694A (ja) * | 1984-04-23 | 1985-11-08 | Nuclear Fuel Co Ltd | レ−ザ光による気密溶接装置 |
| JPS61232088A (ja) * | 1985-04-02 | 1986-10-16 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | 表面構造体の製造装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105345000A (zh) * | 2015-11-26 | 2016-02-24 | 北京隆源自动成型系统有限公司 | 一种选区激光熔化成型设备及其容积可调节成型室 |
| CN105345000B (zh) * | 2015-11-26 | 2018-04-10 | 北京隆源自动成型系统有限公司 | 一种选区激光熔化成型设备及其容积可调节成型室 |
| JP2020004674A (ja) * | 2018-07-02 | 2020-01-09 | 株式会社Ｊｏｌｅｄ | 表示パネル製造装置および表示パネル製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2803106B2 (ja) | 1998-09-24 |
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