JPH02116730A - 容量性圧力センサと差圧センサの温度補償用回路装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （技術分野） ′本発明は、２つの測定キャパシタを具える容量性圧力
センサ（ｃａｐａｃｉｔｉｖｅ　ｐｒｅｓｓｕｒｅ　５
ｅｎｓｏｒ）と差圧センサ（ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ
　ｐｒｅｓｓｕｒｅ　５ｅｎｓｏｒ）の温度補償のため
の回路装置に関連し、該測定キャパシタの各々は２つの
測定積分器（ｍｅａｓｕｒｉｎｇｉｎ　ｔｅｇｒａ　ｔ
ｏｒ　）の各帰還分枝に配設され、かつ検出すべき圧力
あるいは差圧の関数として変化するその容量値は測定積
分器による測定信号に変換され、かつ少なくとも１つの
測定信号から測定積分器の温度依存活性化信号（ｔｅｍ
ｐｅｒａ　ｔｕｒｅ−ｄｅｐｅｎｄｅｎ　ｔａｃｔｉｖ
ａｔｉｏｎ　ｓｉｇｎａｌ）を発生する負帰還回路を具
えている。

（背景技術） 差圧センサの差圧の測定の間に温度効果を補償するこの
種の回路装置は西ドイツ国特許明細書第３３４０８３４
号から既知である。ここで温度補償のための各回路装置
は２室差圧センサ（ｔｗｏ−ｃｈａｍｂｅｒｄｉｆｆｅ
ｒｅｎｔｉａｌ　ｐｒｅｓｓｕｒｅ　５ｅｎｓｏｒ）と
１室（ｓｉｎｇｌｅｃｈａｍｂｅｒ）差圧センサについ
て記載されている。２室差圧センサは非圧縮性液体で充
填された空間を取り囲む２つの測定隔壁（ｍｅａｓｕｒ
ｉｎｇ　ｄｉａｐｈｒａｇｍ）を具えている。この空間
は両側に層電極（ｌａｙｅｒｅｌｅｃｔｒｏｄｅ）が備
えられている電気的に絶縁された分割隔壁（ｐａｒｔｉ
ｔｉｏｎｉｎｇ　ｄｉａｐｈｒａｇｍ）により２つの部
分に細分されている。層電極の反対側には２つの測定キ
ャパシタを形成するためにセンサの主体（ｍａｉｎ　ｂ
ｏｄｙ）に別の電極が配設されている。

温度変動に応して、液体の誘電率が変化し、従って各測
定キャパシタの容量がまた変化する。この温度エラーを
補償するために、差圧に無関係である測定信号の間の差
と同じ程度に温度に依存する測定信号の和が使用されて
いる。差圧ΔＰは以下の弐を用いて決定できる。

定数に１は温度依存零シフト（ｔｅｍｐｅｒａ　ｔｕｒ
ｅ−ｄｅｐｅｎｄｅｎｔ　ｚｅｒｏ　５ｈｉｆｔ）を示
し、ＫＯは比例定数を表している。２室差圧センサの温
度補償用回路装置は２つの測定積分器を具え、その帰還
分枝は各測定キャパシタを含んでいる。検出すべき差圧
の関数として変化する容量値は測定信号として測定積分
器により負帰還回路に印加され、この負帰還回路は基準
値との比較のために比較器に供給する制御信号を形成す
るよう測定信号を合算する。

制御信号と基準値の間の差は制御器（ｃｏｎｔｒｏｌｌ
ｅｒ）に印加され、この制御器は測定積分器に活性化信
号を印加する発振器を制御する。測定信号の振幅が一定
に留まるように制御が実現され、また活性化信号の周波
数および／または振幅の変化の結果として、温度変動に
よる測定キャパシタの容量の変動がある場合にそのよう
に実現される。その結果、演算デバイスによる活性化信
号から計算された差圧測定値は液体の温度変動にもかか
わらずまた一定に留まる。

しかし、１室差圧センサは液体で充填された空胴（ｃａ
ｖｉｔｙ）を取り囲む２つの導電性隔壁からなっている
。隔壁は主体に備えられた反対に位置した各層電極と共
に各測定キャパシタを構成している。測定キャパシタの
容量値の逆数の間の差と和の温度依存性は同じではない
。この依存性は以下の式により表現できる。

１／ＣＩ　＋１／Ｃ２＝　ｅ　＋　ｆΔＴ　　　　　　
　（２）ここでａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆは一定であり、
ΔＴは基準温度と動作温度との間の差であり、そしてΔ
Ｐは圧力差である。定数ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ。

ｆの決定は引用文献の西ドイツ国特許明細書第３３４０
８３４号に開示されている。式（２）と（３）を使用す
ると、差圧に対して以下の弐が得られる。

ここで に２＝ｂｅ Ｋ３＝［−ｂ Ｋ４＝ｆ＋ｂ Ｋ５＝ｃｆ−ｄｅ Ｋ６＝ｄ ｆ である。

１室差圧センサの温度補償の回路装置は２つの測定積分
器を具えるのみならず、また付加基準積分器（ａｄｄｉ
ｔｉｏｎａｌ　ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ　ｉｎｔｅｇｒａｔ
ｏｒ）も具え、それ無しでは温度依存項ｃ十ｄΔＴの効
果は除去できない。負帰還回路において、基準値と比較
すべき制御信号を発生するために、２つの測定信号の合
算に加えて別の演算動作が実行される。測定キャパシタ
の容量値の温度による変動がある場合に活性化信号の周
波数および／または振幅の変動の影響の下で測定信号の
振幅が一定に留まるように制御器は測定積分器と基準積
分器に活性化信号を供給する発振器を制御する。温度に
無関係な差圧は引き続く演算デバイスで決定される。

基準信号を形成するために、負帰還回路は複数の加算器
と乗算器を使用し、活性化信号を形成するために、それ
は比較器、制御器および発振器を具えている。

差圧原理に基づいて動作しない圧カセンザに対して、引
用された回路装置（西ドイツ国特許明細書第３３４０８
３４号）がまた温度補償に使用できる。

そのような圧力センサは主体に配設されかつそのカウン
タ電極が隔壁上に備えられている少なくとも１つの電極
を具えている。温度補償を可能にするために、このよう
に形成された第１測定キヤパシタに加えて別の測定キャ
パシタが具えられ、これは基準キャパシタとして構成さ
れかつ隔壁上の電極と主体上のカウンタ電極により形成
されている。測定積分器を用いて得られた測定信号は温
度補償のために個別的あるいは和としてのいずれかで負
帰還回路に印加できる。

（発明の開示） 従って、本発明の目的は単一負帰還回路を具える容■性
圧カセンサと差圧センサの温度補償用回路装置を与える
ことである。

述べられた種類の回路装置において、負帰還回路が矩形
活性化信号を発生するシュミットトリガ−回路を具える
ことでこの目的は達成される。

本発明による回路装置の負帰還回路は（たとえあるにせ
よ）合算デバイスに加えてシュミットトリガ−回路のみ
を具えている。差圧センサの合算された測定信号および
例えば差圧原理に基づいて動作しない別の圧力センサの
基準キャパシタより導かれた測定信号から発生ずる三角
和波（ｔｒｉａｎｇｕｌａｒｓｕｍ　、ｓｉｇｎａｌ）
はそれから測定積分器の矩形活性化信号を形成するシュ
ミットトリガ−回路に印加される。和信号が増大すると
、シュミット１−リガー回路の出力信号はスイッチング
しきい値に達する場合に変化し、例えば矩形活性化信号
は低い値から高い値に変化する。切り替えの影響の下で
、和信号はひき続いて減少する。別のスイッチングしき
い値に達する場合に、シュミットトリガー回路の出力信
号は再び変化し、例えば活性化信号は高い値から低い値
に切り替わる。矩形活性化信号はこのように和信号に依
存して制御される。

温度効果を補償するために、和信号が形成され、これは
温度に依存するが、しかし圧力には依存しない。例えば
、差圧センサにおいて、そこから和信号が導ける測定信
号の和は温度に依存するが、しかし差圧には依存しない
。

温度が変化する場合、三角測定信号の傾斜は変化する。

しかし、シュミットトリガ−回路のスイッチングしきい
値には異なる時点で到達される。

例えば、急峻な傾斜の場合にはスイッチングしきい値は
温度変化の前の状態に比べてより早く到達される。その
結果、活性化信号あるいは測定信号の周波数は温度と同
程度変化するが、しかし活性化信号の振幅はそうでない
。

差圧センサにおいて、差圧値は微分により測定信号から
決定される。シュミットトリガ−回路の存在の結果とし
て測定信号の振幅は温度変動に応じて一定に留まるから
、一定差圧に対して測定信号から計算された差圧値は温
度変動にもかかわらず温度依存零シフトから発生する成
分を除いて実質的に一定に留まる。

測定信号の和は差圧センサで形成される。この合算動作
は例えば合算デバイスとして構成されている演算増幅器
により実行できる。和信号を受信するシュミットトリガ
−回路はまた正帰還抵抗回路網を具える演算増幅器から
なっている。シュミットトリガ−回路の別の構成におい
て、それは少なくとも１つの測定積分器の出力に抵抗器
を介して結合されている制御入力に正帰還抵抗器を介し
て接続されているその出力に２つの信号レベル間で切り
替えることにより矩形活性化信号を準備するスイッチを
具えている。

このシュミットトリガ−回路において、２つの信号レベ
ルは絶対値に関して同じであるが、異なる符号を持つこ
とが好ましい。スイッチングしきい値は値零（νａｌｕ
ｅ　ｚｅｒｏ）に位置することが好ましい。正帰還抵抗
器を介す正帰還と言う理由で、活性化信号の一部分は制
御信号に加えられる。三角測定信号の増大は負の値から
零までで起こる。

引き続いて、スイッチが切り替えられる。切り■・えの
後で、制御入力上の信号は正帰還のために正の値を取る
。この値は三角測定信号を減少することにより値零に減
少する。引き続いて、再び切り替えが起こり、そして負
の値がスイッチの制御入力上に存在しよう。スイッチを
具えるシュミットトリガー回路は簡単に実現できかつ短
い応答時間を有している。

２室差圧センサと比較すると、１室差圧センサでは温度
についての付加的な依存性が存在し、この依存性は式（
３）の項ｃ＋ｄΔＴによって表現される。従って、１室
差圧センサの温度エラーを完全に補償するために、測定
信号と基準積分器により発生された基準信号との和より
活性、化信号を発生するシュミントトリガー回路から活
性化信号を受信する基準積分器が備えられている。差圧
原理に従って動作しない圧カセンザにおいて、付加的な
温度依存性を補償するためにそのような基準積分器がま
た必要とされよう。インバーターを用いて活性化信号を
変換し、かつ反転された積分器信号を測定積分器と基準
積分器に印加することが必要とされよう。

差圧値を得るために、矩形測定信号と零補正との間の差
は演算デバイスで形成され、直流信号は整流回路でそれ
から導かれ、その直流信号は差圧に比例している。演算
デバイスにおいて、測定信号間の差が形成され、かつそ
れに加えて温度依存零補正（ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ−
ｄｅｐｅｎｄｅｎｔ　ｚｅｒｏ　ｃｏｒｒｅｃｔｉｏｎ
）が実行される。演算デバイスの出力信号は活性化信号
を形成し、これは整流動作により差圧を表すことにより
直流信号に変換できる。

本発明の別の実施例において、整流回路はデマルチプレ
クサ−を具え、これは演算デバイスの出力信号の正の半
波を第１平均値形成デバイス（ｍｅａｎｖａｌｕｅ　ｆ
ｏｒｍｉｎｇ　ｄｅｖｉｃｅ）に、そして負の半波を第
２平均値形成デバイスに印加し、かつ平均値形成デバイ
スの出力信号間の差を形成する微分メンバーを具えてい
る。この整流回路は演算デハ・イスの出力信号のオフセ
ントが抑制され、かつデマルチプレクサ−のスイッチン
グしきい値の変％）Ｊが何らの効果も有しないと言う利
点を提供する。

末完による実施例を図面を参照して今後詳細に説明する
。

（実施例） 第１図に示された回路装置はｌ室差圧センサを用いて差
圧を決定する間の温度補償に役立っている。そのような
１室差圧センザは２つの隔壁を具え、それらは層電極を
備えかつ主体上に備えられた層電極と共に測定キャパシ
タ１および２を形成しでいる。測定キャパシタｌおよび
２は第１図に示され、かつそれぞれ容ｆｔｃ１．Ｃ２を
有している。差圧センサの隔壁は例えばシリコンオイル
のような非圧縮性液体で充填された空胴を密閉している
。

第１図に示された回路装置は各測定キャパシタ１．２用
の各測定積分器３，４を具えている。測定積分器はシュ
ミットトリガ−回路５から矩形活性化信号を受信する。

活性化信号はまた容ｆｆ１ＣＯを有するキャパシタ７を
具える基準積分器６に印加される。測定積分器３と４か
らの２つの測定信号と基準積分器６の出力信号はシュミ
ントトリガー回路５に印加されるのみならず、また演算
デバイス８にも印加される。シュミットトリガ−回路５
において、三角測定信号と基準積分器６の三角出力信号
は加算され、かつシュミットトリガ−回路５によって矩
形駆動信号に変換される。さらに、測定信号と基準積分
器６の出力信号は演算デバイスで結合され、同時に温度
依存零シフトが考慮される。演算デバイス８の出力は整
流メンバー９の入力に接続され、整流メンバー９は演算
デバイス８の三角出力信号から直流信号を発生し、この
直流信号は差圧値の測度（ｍｅａｓｕｒｅ）である。整
流メンバーはまた基準積分器６の出力信号を受信する。

シュミットトリガ−回路５はスイッチ１０を具え、その
１つの入力は負の信号レベル−ＵＯを伝え、その別の入
力は正の信号レベル＋Ｕ　Ｏを伝える。

その制御人力１１上の信号に応じて、スイッチは１つの
入力をその出ツノに接続する。スイッチ１０の出力信号
は矩形活性化信号を表している。合算デバイスは共通接
続線を有する抵抗器１２．１３および１４を用いて実現
されている。測定積分器３の測定信号は抵抗器１２を介
して共通接続線１５に印加され、測定積分器４の測定信
号は抵抗器１３を介してそこに印加され、同時に基（＄
積分器６の出力信号は抵抗器１４を介してそこに印加さ
れ、その接続線１５はまたスイッチ１０の制御人力１１
に接続されている。

スイッチ１０の出力もまた抵抗器１６を介して接続線１
５に接続されている。シュミントトリガー回路５は測定
信号に影響を及ぼし、従ってそれらは零シフトの温度依
存性を除いて温度依存性を示さない。

この温度依存零シフトは演算デバイス８で補正される。

測定積分器３．４および基準積分器６を具えるシュミッ
トトリガ−回路５の動作は第２図を参照して今後詳細に
説明されよう。まず第１に、スイッチはその信号レベル
が丁度変化された活性化信号を供給ことが仮定されてい
る。例えば、スイッチ１０の出力電圧Ｕ５は電圧レベル
−ＵＯを有している。接続線１５上に、２つの測定信号
と基準信号の和から形成された和信号からなる電圧が形
成され、そして正帰還抵抗器Ｉ６を介す正帰還により電
圧Ｕ５から導かれる信号が形成される。測定積分器３．
４および基準積分器６が反転積分器であるから、２つの
線形的に増大する測定電圧ｕｉ、ｕ２および線形的に増
大する基準電圧Ｕ３が積分により負電圧Ｕ５から形成さ
れる。実例として第２図は測定電圧Ｕ１の定性的変化の
みを示している。

正電圧＋−Ｕ　Ｏから負電圧−〇　〇への切り替えに引
き続いて、正帰還により負電圧Ｕ４が接続線１５上に形
成される。測定電圧と基準電圧が増大すると言う理由で
、接続線１５上の電圧Ｕ４は線形的に増大しよう。電圧
Ｕ４が零に達すると、スイッチ１゜は切り替えられ、か
つスイッチ１０の出力は電圧子ＵＯを伝える。正帰還の
ために、正電圧Ｕ４が接続線１５上に現れる。この電圧
は測定電圧と基準電圧により零に減少する。引き続いて
、スイッチは再び正電圧＋ＵＯから負電圧−ＵＯに切り
替わる。

２つのスイッチング動作の間に経過する期間は継続期間
Ｔどして参照される。

測定信号の合算は温度に依存するが圧力には依存しない
信号となる。温度が変化すると、測定キャパシタ１と２
の容量もまた変化する。これは例えば三角測定信号の傾
斜の増大となる。その結果、スイッチ１０のスイッチン
グしきい値には温度変化の前よりも早い時点で到達する
。その結果、活性化信号あるいは測定信号の周波数は増
大する。従って活性化信号あるいは測定信号の周波数は
温度の変化に比例して変化する。活性化信号の振幅は変
化しない。しかし１室差圧センサの振幅は単なる測定信
号の合算により補償できない。付加的に基準信号が考慮
されなくてはならない。これは上の弐（３）の項ｃ＋ｄ
ΔＴが付加基準積分器無しで補償できないからである。

この項の定数Ｃとｄは式（４）の分母に存在し、この式
（４）は今後説明され、かつ式（２）と（３）から計算
される。

温度依存項を補償するために、式（４）の分母はシュミ
ットトリガ−回路５を用いて実現される。

分子は演算デバイス８で実現され、ここで温度依存零シ
フトが補償される。

定数に５とに６の間の関係は今後例示されよう。

以下の式が第１図から導ける。

１４＝　（０５−Ｕ４）／Ｒ４（５） １１＝　（Ｕ４−Ｕｌ）／Ｒ１（６） １２−　（Ｕ４−Ｕ２）／Ｒ２（７） １３＝　　（Ｕｌ−Ｕ３）／Ｒ３（８）１４＝Ｉ　Ｉ＋
Ｉ２＋Ｉ３　　　　　　　（９）電圧Ｕｌ、Ｕ２および
Ｕ３に対して、 Ｕ１＝Ｕ５ｔＲＣ１（１０） Ｕ２＝［Ｊ５　ｔ　ＲＣ２（１１） Ｕ３＝Ｕ５　ｔ　ＲＣＯ（１２） であり、ここでＬは時間であり、Ｒは測定積分器３と４
および基準積分器６の抵抗器のそれぞれの値である。式
（５）から（８）と式（１０）から（１２）は式（９）
に代入される。このようにして得られた式は期間１＝０
からｔ＝ｔａの期間で取られている。時点ｔａにおいて
、切り替え点に到達する。

この点で、Ｕ４＝０およびＵ３−−００となる。

結果として得られる式は、 である。零から時点ｔａまでの期間はＴ／４となる。

演算デバイス８において、定数Ｋａ、　　Ｋｂ、　　Ｋ
ｃを持つ電圧Ｕｌ、０２．Ｕ３は合算される。時点ｔａ
における演算デバイス８の出力信号のピーク振幅Ｕｓは
以下のようになる。

Ｕｓ＝ＵＯｔａ（Ｋａ／（ＲＣ１）＋Ｋｂ／（ＲＣ２）
＋Ｋｃ／（ＲＣｏ））圧力測定値に比例している整流回
路９で形成された直流電圧Ｕｃは、 である。式（４）の定数に２からに６について探索され
た値は式（４）と（１５）の係数の係数比較により得ら
れる。

Ｋ　　２　　＝　　２　　Ｕ　　ＯＫ　　ｃ　　／　　
（ＲＣＯ）Ｋ　３　＝　２　Ｕ　ＯＫ　ａ　／　ＲＫ４
＝−２ＵＯＫｂ／Ｒ Ｋ５＝Ｒ９／　（Ｒ８ＲＣＯ） Ｋ６＝Ｒ９／　（Ｒ６Ｒ） ここでＲ６＝Ｒ７である。

第３図は第１図に示された回路装置の一実施例の詳細な
表現である。測定積分器３と４の各々は演算増幅器２０
．２１と値Ｒを有しかつ反転入力に接続されている抵抗
器２２．２３と、帰還分枝に接続されかつ各低域通過フ
ィルタ２４．２５にそれぞれ関連している測定キャパシ
タ１．２からなり、それはオフセットの積分を回避する
ために直流帰還を生成している。演算増幅器２０と２１
の非反転入力は大地に接続されている。

基準積分器６はまた演算増幅器２６を具え、その非反転
入力は大地に接続され、かつその反転入力は値Ｒを有す
る抵抗器２７の接続線とキャパシタ７の接続線とに接続
されている。キャパシタ７の別の接続線は演算増幅器２
６の出力に接続され、また抵抗器１４の接続線は演算デ
バイス８に備えられている抵抗器３０と３１の接続線に
接続されている。演算増幅器２０の出力は一つの側では
抵抗器１２の接続線に、そして他の側では演算デバイス
に含まれている抵抗器３２に接続されている。抵抗器１
２．１３および１４の別の接続線はスイッチ１０の制御
入力と抵抗器１６の１つの接続線に接続され、抵抗器１
６の別の接続線はスイッチ１０の出力に接続されている
。

スイッチ１０の出力はまた抵抗器２２．２３および２７
の別の接続線に接続されている。

演算デバイス８はまた演算増幅器３４を具え、その非反
転入力は抵抗器３１の別の接続線と、抵抗器３３の別の
抵抗器、および大地に接続されている別の抵抗器３５と
に接続されている。抵抗器３０と３２、大地に接続され
ている抵抗器３６および帰還分枝に含まれている抵抗器
３７の別の接続線は演算増幅器３４の反転入力に接続さ
れている。演算増幅器３４の出力はまた抵抗器３７の別
の接続線に接続されている。定数Ｋａ、Ｋｂ、Ｋｃは抵
抗器３０から３３および３５から３７を用いて実現され
ている。

また演算増幅器３４の出力である演算デバイス８の出力
は整流回路９に含まれているデマルチプレクサ−４０の
入力に接続されている。デマルチプレクサ−４０の第１
出力は抵抗器４２とキャパシタ４３からなる平均値形成
デバイス４１に接続されている。

抵抗器４２はデマルチプレクサ−４０の第１出力と演算
増幅器５３の非反転入力との間に接続されている。

大地に接続されているキャパシタ４３は演算増幅器５３
の非反転入力に接続されている。デマルチプレクサ−の
別の出力はこれまた抵抗器４６とキャパシタ４７を具え
る平均値形成デバイス５４に接続されている。抵抗器４
６の１つの接続線はデマルチプレクサ−４０の第２出力
に接続されている。抵抗器４６の別の接続線は大地に接
続されているキャパシタ４７に、そして演算増幅器４８
の非反転入力に接続されている。演算増幅器４８の反転
入力には、大地に接続されている抵抗器４９と、その出
力に接続されている抵抗器５０が接続されている。演算
増幅器４８の出力はまたその別の接続線が演算増幅器５
３の反転入力に接続されている抵抗器５１の１つの接続
線に、そしてその別の接続線は演算増幅器５３の出力に
接続されている抵抗器５２の接続線に接続されている。

演算増幅器５３の出力はまた整流回路９の出力を構成し
ている。デマルチプレクサ−は基準積分器６の出力信号
によって制御されている。

演算デバイス８の三角出力信号の正の半波の間に、デマ
ルチプレクサ−４０の入力は平均値形成デバイス４１に
接続されている。演算デバイス８の三角出力信号の負の
半波の間に、平均値形成デバイス４５はデマルチプレク
サ−４０の入力に接続されている。演算デバイス８の三
角出力信号のピーク振幅の半分に相当する関連半波の平
均値は２つのデマルチプレクサ−の出力に存在する。演
算増幅器５３と４８および抵抗器４９から５２は微分メ
ンバーを形成し、その出力、すなわち演算増幅器５３の
出力は平均値形成デバイス４１と４５の２つの平均化さ
れた信号の間の差を供給する。第４図はまた平均値形成
デバイスの入力で生起する電圧Ｕ６（平均値形成デバイ
ス４１からの入力）とＵ７（平均値形成デバイス４５か
らの人力）を示している。

第１図に示された回路装置はまた２室差圧センサあるい
は差圧原理に基づいて動作しない圧力センサの温度補償
に使用できる。回路装置が２室差圧センサに使用される
場合に、基準積分器は無しで済ますことができる。差圧
原理に基づいて動作しない圧力センサに対して、インバ
ーター５５を介して測定積分器３．４あるいは基準積分
器６の入力に反転された活性化信号を印加する必要があ
ろう。例えば弐（４）の定数に６が負の符号を持ってい
る弐により圧力センサが記載されている場合がこのケー
スである。そのような負の符号はシリコンオイル以外の
オイルが１室差圧センサで使用される場合に式（４）で
また起こるであろう。その場合インバーター５５がまた
必要である。

【図面の簡単な説明】

第１図は容量性差圧センサの温度補償用回路装置のブロ
ック線図を示し、 第２図は第１図に示された回路装置で起こる信号を線図
的に示し、 第３図は第１図に示された回路装置の詳細な表現であり
、 第４図は第３図に示された整流回路で起こる信号を線図
的に示している。 １．２・・・測定キャパシタ ３．４・・・測定積分器 ５・・・シュミットトリガ−回路 ６・・・基準積分器　　　　７・・・キャパシタ８・・
・演算デバイス　　　９・・・整流メンバー１０・・・
スイッチ　　　　　１１・・・制御入力１２、１３．１
４・・・抵抗器 １５・・・共通接続線 １６・・・抵抗器 ２０、２１．２６・・・演算増幅器 ２２、２３．２７・・・抵抗器 ２４、２５・・・低域通過フィルタ ３０、３１　３２．３３．３５．３６゜３４・・・演算
増幅器 ４０・・・デマルチプレクサ− ４１・・・平均値形成デバイス ４２・・・抵抗器 ４５・・・平均値形成デバイス ４７・・・キャパシタ ４９、５０．５１．５２・・・抵抗器 ５４・・・平均値形成デバイス ３７・・・抵抗器 ４３・・・キャパシタ ４６・・・抵抗器 ４８・・・演算増幅器 ５３・・・演算増幅器 ５５・・・インバーター

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、２つの測定キャパシタ（１、２）を具える容量性圧
   力センサと差圧センサの温度補償のための回路装置であ
   って、該測定キャパシタの各々は２つの測定積分器（３
   、４）の各帰還分枝に配設され、かつ検出すべき圧力あ
   るいは差圧の関数として変化するその容量値は測定積分
   器（３、４）による測定信号に変換され、かつ少なくと
   も１つの測定信号から測定積分器（３、４）の温度依存
   活性化信号を発生する負帰還回路を具えるものにおいて
   、負帰還回路が矩形活性化信号を発生するシュミットト
   リガー回路（５）を具えることを特徴とする回路装置。 ２、シュミットトリガー回路はその出力の２つの信号レ
   ベルの間に切り替えることにより矩形活性化信号を準備
   するスイッチ（１０）を具え、該スイッチは正帰還抵抗
   器（１６）を介して制御入力に接続され、該制御入力は
   抵抗器（１２、１３）を介して少なくとも１つの測定積
   分器（３、４）の出力に結合されることを特徴とする請
   求項１に記載の回路装置。 ３、シュミットトリガー回路（５）から活性化信号を受
   信する基準積分器（６）が備えられ、該シュミットトリ
   ガー回路（５）は測定信号と、基準積分器（６）により
   形成された基準信号との和から活性化信号を形成するこ
   とを特徴とする請求項１あるいは２に記載の回路装置。 ４、三角測定信号と零修正との間の差が演算デバイス（
   ８）で形成され、差圧に比例する直流信号が整流回路（
   ９）での整流によりそこから導かれることを特徴とする
   請求項１から３のいずれか１つに記載の回路装置。 ５、整流回路（９）は演算デバイス（８）の出力信号の
   正の半波を第１平均値形成デバイス（４１）に印加し、
   かつ負の半波を第２平均値形成デバイス（４５）に印加
   するデマルチプレクサー（４０）を具え、かつ平均値形
   成デバイス（４１、４５）の出力信号の間の差を形成す
   る微分メンバ（４８から５３）を具えることを特徴とす
   る請求項４に記載の回路装置。