SU1308206A3 - Электростатический акселерометр - Google Patents

Электростатический акселерометр Download PDF

Info

Publication number
SU1308206A3
SU1308206A3 SU813359480A SU3359480A SU1308206A3 SU 1308206 A3 SU1308206 A3 SU 1308206A3 SU 813359480 A SU813359480 A SU 813359480A SU 3359480 A SU3359480 A SU 3359480A SU 1308206 A3 SU1308206 A3 SU 1308206A3
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
electrodes
output
input
circuit
ball
Prior art date
Application number
SU813359480A
Other languages
English (en)
Inventor
Бернар Алэн
Original Assignee
Оффис Насьональ Д,Этюд Э Де Решерш Аэроспасьаль О.Н.Е.Р.А. (Фирма)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Оффис Насьональ Д,Этюд Э Де Решерш Аэроспасьаль О.Н.Е.Р.А. (Фирма) filed Critical Оффис Насьональ Д,Этюд Э Де Решерш Аэроспасьаль О.Н.Е.Р.А. (Фирма)
Application granted granted Critical
Publication of SU1308206A3 publication Critical patent/SU1308206A3/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/125—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by capacitive pick-up
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/13—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by measuring the force required to restore a proofmass subjected to inertial forces to a null position
    • G01P15/131—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by measuring the force required to restore a proofmass subjected to inertial forces to a null position with electrostatic counterbalancing means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

Изобретение отиоситс  к акселерометрам , в которых измерение ускорени  производитс  на основании усилий , необходимых дл  удержани  инерционного элемента в состо нии поко . Цель изобретени  - повышение- точности измерени . Устройство содержит инерционный элемент 1, электроды 2 и 3, размещенные в корпусе. Электроды 2 и 3 соединены со схемой 4 определени  положени , котора  измер ет разность емкостей между инерционньм элементом 1 и электродами 2 и 3, Разностный сигнал подаетс  на схему 5 дл  выработки сигналов контрол  расположени , которые могут быть либо посто нными, либо переменными. Электрод 3 соединен со схемой 8 дл  компенсации переменной составл ющей потенциала инерционного элемента 1.Вибрирующий электрод 15 составл ет часть схемы 16 компенсации посто нной составл ющей потенциала инерционного элемента I. 6 ил. СО 00 о 00 О5

Description

Изобретение относитс  к акселерометрам , в которых измерение ускорени  производитс  на основании усилии необходимых дл  удержани  инерционного элемента в состо нии поко  или подаче назад в положение определ емое относительно корпуса устройства, в частности к акселерометрам, где эти усили  вырабатываютс  электростатически ,и направлено на их улучшение с точки зрени  повьппени  их точности
Цель изобретени  - повышение точности измерени .
На фиГо изображена блок-схема акселерометраJ Н4 фиг. 2 - дл  определени  положени  инерционного элемента; на фиг. Зи 4- блоки компенсации переменной составл ющей потенциала инерционного элемента; на фиг, 5 - блок компенсации посто нной сое тавл ющей потенциала инерционного элмента; на фиГ(, 6 - вычислительна  схема S
На фиг,1 обозначен инерционный элемент 1 и электроды акселерометра. Инерционный элемент выполнен сферическим (в виде mapaj и плавает в корпусе (не показан;, Три пары полюсных электродовJ расположенных в корпусе вместе с измерительным элементом (шаром), создают последовательность емкостей (конденсаторов).Каждый электрод играет роль как электрода определени  положени , так и Электрода контрол  положени . На фиг.1 показаны оба электрода 2 и 3 в одной паре.
Электроды 2 и 3.соединены со схемой 4 определени  положени  Эта схе
R
емкостей () между инерционным элементом и электродами 2 и 3, а также величину (С + С) - С(, где известна  емкостна  величина.
Разностный сигнал (С,-Сг.) подаетс  на схему 5 дл  выработки сигналов контрол  расположени „ Сигналы контрол  расположени , выработанные схемой 5f подаютс  на электроды 2 и 3. Эти сигналы могут быть либо посто нными , либо переменными.
Величина (С,+С,,) - С, передаетс  на вычислительную схему 6, котора  выдает измеренную величину ускорени  на блок 7 индикации.
Электрод 3 в электродной системе акселерометра соединен со схемой 8 дл  компенсации переменной состав
л ющей потенциала инерционного элемента . Выход схемы 8 соединен с электродами 9 и 10.
Если сигнал контрол  положени  переменный, то необходима втора  схема 1 дл  компенсации переменной составл ющей потенциала инерционного элемента, причем эта схема идентична схеме 8, но работает на другой частоте. Ее вход подсоедин етс  к электроду 12, а выходы - к электродам 13 и 14, Вибрирующий электрод 15 в электродной системе акселерометра составл ет часть схемы 16 компенсации посто нной составл ющей потенциала инерционного элемента. Вход схемы 16 соединен с электродами 2 и 3 определени  положени  и контро-. л  положени , а выходы с теми же электродами,
На фиг о 2 представлена измерительна  схема 4 сигнала определени  положени , содержаща  инерционньш элемент (шар) 1 и электроды 2 и 3, создающие емкости С, и С с шаром 1, а также часть кожуха, не снабженную электродами, создающую емкость CQ с шаром, котора  значительно больще, чем С, и С.
Электроды 2 и 3 соединены посредством конденсаторов 17 и 18 с клеммами вторичной обмотки дифференциального трансформатора 19, На первичную
обмотку дифференциального трансформатора подаетс  напр жение от источника 20 переменного напр жени  с угловой частотой СО . Средн   точка 21 вторичной обмотки дифференциального трансформатора 19 соединена с одной из клемм вторичной обмотки второго дифференциального трансформатора 22. Друга  клемма вторичной обмотки дифференциального трансформатора 22 заземлена посредством конденсатора 23 известной емкости С, , Первична  обмотка дифференциального трансформатора 22 соединена с источником 24 переменного тока с угловой частотой о .
Средн   точка 25 дифференциального трансформатора 22 соединена с входом операционного усилител  26 с емкостью С обратной св зи. Выход этого операционного усилител  соединен с двум  синхронными детекторами 27 и 28, на которые поступают сигналы с УГЛОВЫМИ частотами О и со от соответствующих источников 20 и 2Д переменного напр жени .
Сигналы, возникающие на выходе р синхронного детектора 27, пропорциональные () t подаютс  на схему 5 выработки сигнала контрол  положени  Схема 5 в основном содержит элемент 29 коррекции и дифференциальный усилитель 30, Когда сигналы контрол  положени   вл ютс  переменными с частотой СО , схема содержит модул тор 31 , у которого эта высота  вл етс  несущей. Выход схемы 5 сигнала контрол  положени  соединен с электродами 2 и 3 посредством резисторов 32 и 33.
Сигнал, возникающий на выходе р , пропорциональный величине (С,+C)-C, когда потенциал V/(o / шара на частоте со  вл етс  нулевым, подаетс  на вычислительную схему 6.
Дл  исключени  любых погрешностей при измерении ускорени , вносимых паразитными емкост ми Cpi , Ср , Срэ между электродами .и проводниками, наход щимис  на потенциале земли, и контрол  положени  окружены защитными электродами 34 и 35, Последние соединены с экраном 36, которьй также охватывает источники переменного напр жени  и трансформаторы и соединен со средней точкой 25 вторичной обмотки трансформатора 22 и с одним входом операционного усилител  26.
Если е представл ет собой амплитуду на клеммах вторичной обмотки дифференциальных трансформаторов 19 и 22, то входньте сигналы на схему 4 измерени  сигналов определени  положени  могут быть записаны в виде:
р с, -С, е ; (1)
С.Ге;
,р (С,+ С) - - (С, - С.) . V (со ).
(2) (3)
где V(Q ) -5l4-- -e .
Со 2: С, 1 .
V/co / имеет отношение к амплитуде составл ющей потенциала инерционного элемента на частоте со .
Равенство (2) дл  р содержит паразитную величину V((j ), поэтому необходимо предприн ть меры дл  исклю5 . 5
, 20
, 35
40
45
25
50
«
чени  посто нного потенциала V и потенциала V/coV при угловой частоте to инерционного элемента. Если к тому же сигналы контрол  положени   вл ютс  переменными с частотой ОЭ- , то потенциал инерционного элемента на этой частоте также должен быть исключен.
Целью схем 8, 11 и (б  вл етс  устранение этих потенциалов за счет сведени  к нулю,
На фиг. 3 и 4 показаны схемы компенсации переменной составл ющей потенциала инерционного элемента на частотах со (фиг.З) и (0; (фиг.4),
Переменный потенциал инерционного элемента усиливаетс  в операционном усилителе соответственно 37 или 38 и детектируетс  в синхронном детекторе 39 или 40. Детектированньй сигнал подаетс  на интеграторы 41 или 42, а оттуда - на модул тор 43 или 44. С выхода модул тора 43 или 44 сигнал одновременно подаетс  на симметричные электроды- 9 и 10 или 13 и 14.
На синхронный детектор 39 и модул тор 43 поступает .сигнал с частотой со от источника 24 переменного напр жени . На синхронный детектор 40 и модул тор 44 поступает эталонный сигнал с частотой СО, , котора   вл етс  частотой сигнала контрол  положени , от модул тора 31 (фиг.2),
Ввиду независимости частот со и СО; обе операции сведени  к нулю должны осуществл тьс  отдельными схемами, которые показаны на фиг, 3 и 4, одна из которых работает на частоте Са , а друга  - на частоте ей;.
На фиг. 5 показана схема, компенсирующа  посто нную составл клцую потенциала инерционного элемента.
Сведение к нулю посто нной шш слабо измен ющейс  компоненты инерционного элемента аналогично показанному на фиг. 3 и 4, за исключением того, что измерение этой посто нной величины не может быть осуществлено при использовании фиксированного электрода. Должен использоватьс  вибрирукйций электрод.
Вибрирукиций электрод 15 состоит из пьезоэлектрического (керамического ) элемента, который подключен к источнику 45 с угловой частотой Q . Этот электрод модулирует емкость С,,
а поэтому и потенциал V, заданный уравнением, которое принимает вид:
VQ t;
AV V
uCt
GO +Z:C;.
Потенциал t,Vg подаетс  на электроды 2 и 3| усиливаетс  операционным усилителем 46 и детектируетс  синхронным дете,ктором 47. Детектированный сигнал подаетс  на интегратор 48, а оттуда - на усилитель 49. Выходной сигнал с последнего подаетс  на
валентные величины V , V, , относительно других пар электродов возвод тс  в квадрат в блоках 54 и 55 возведени  и других (не показаны), а полученные таким образом квадраты умножаютс  на VC, до v С в умножител х от 56 до 61 с тем, чтобы получились величины oTVCj (V ) до VCg (V,).
20
25
дующие сложени :
vc,/v,/ +
VC,/Vj/ + ,,/ ; VCy/Vj/ + VCfe/V,/S
a сигналы, выход щие из этих сумматоров ,  вл ютс  составл ющими соответственно FJ,, Ь ц и F электростатической силы F,
Формула Изобрет. ени 
электроды 2 и 3 детектировани  поло- 15 Сумматоры 62-64 осуществл ют слежени  и контрол  положени , Так как в трехмерном акселерометре имеетс  три пары электродов определени  положени  и контрол  положени , то одна из этих пар спуж т также дл  устранени  посто нного потенциала инерционного элемента.
На фиг,6 показана вычислительна  схема 6. На эту схему поступают следующие сигналы: сигналы определени  положени  р п (фиг.2); сигналы контрол  положени  V,, V (фиг.2), иду- гцие на электроды 2 и 3 а также другие сигналы определени  положени  и контрол  положени , идущие от электродов и направл ющиес  к парам электродов относительно других координатных осей.
Поперечное сечение электрода предполагаетс  весьма малым, так что конденсаторы электрод - шар могут быть сравнимы с плоскими конденсаторами с емкостью, заданной уравнением
( Х
30
1
(6)
35
40
Электростатический акселерометр, содержащий кожух с расположенным в нем .инерционным элементом в виде шара, систему электродов, расположенную в соответствии с координатными ос ми и образующую электростатический подвес, схему определени  положени  шара, содержащую первый емкостный мост конденсаторы которого соединены с вторичной обмоткой первого дифференциального трансформатора , первична  обмотка которого подключена к источнику переменного напр жени , операционный усилитель с емкостью в цепи обратной св зи, выход которого соединен с одним из входов . синхронного детектора, второй вход которого соединен с источником переменного напр жени , а вход подключен к одному из электродов, схему контрол  положени  шара, содержащую элемент коррекции, вход которого соединен с выходом синхронного детектора , а выход - с последовательно соединенными дифференциальным усилителем и модул тором, и блок индикации.
где
g диэлектрическа  посто нна ; (S - площадь поверхности, X - переменна  высота конденсатора .
После дифференцировани  уравнени  (6) относительно X получаетс  следующее уравнение:
9 Ci с; Тх EG
(7)
Электростатический акселерометр, содержащий кожух с расположенным в нем .инерционным элементом в виде шара, систему электродов, расположенную в соответствии с координатны ми ос ми и образующую электростатический подвес, схему определени  по ложени  шара, содержащую первый емкостный мост конденсаторы которого соединены с вторичной обмоткой первого дифференциального трансформато ра, первична  обмотка которого подключена к источнику переменного нап р жени , операционный усилитель с е костью в цепи обратной св зи, выход которого соединен с одним из входов . синхронного детектора, второй вход которого соединен с источником пере менного напр жени , а вход подключен к одному из электродов, схему контрол  положени  шара, содержащую элемент коррекции, вход которого со динен с выходом синхронного детекто ра, а выход - с последовательно сое диненными дифференциальным усилителем и модул тором, и блок индикации
Блок 50 позвол ет вычислить разность (C,-Cj),B то врем  как блок 51 вычисл ет сумму (С,+0) .Сумматор-вы- .атт,кр1с  тем, что, читатель 5-2 выдает сигналы, представс целью повышени  точности измерени , в него введены 1второй емкостны мост, второй дифференциальный транс форматор, одна из клемм вторичной о
л ющие С, и Cj, Эти сигналы возвод тс  в квадрат в блоке 53 возведени . Полученные таким образом сигналы
пропорциональны VC, , VC и эквивалентным величинам VC, VC, C и VCg относительно других пар электродов .
Величины V, и V
7
а также экви- Vj и V,
валентные величины V , V, , относительно других пар электродов возвод тс  в квадрат в блоках 54 и 55 возведени  и других (не показаны), а полученные таким образом квадраты умножаютс  на VC, до v С в умножител х от 56 до 61 с тем, чтобы получились величины oTVCj (V ) до VCg (V,).
Сумматоры 62-64 осуществл ют сле
дующие сложени :
vc,/v,/ +
VC,/Vj/ + ,,/ ; VCy/Vj/ + VCfe/V,/S
a сигналы, выход щие из этих сумматоров ,  вл ютс  составл ющими соответственно FJ,, Ь ц и F электростатической силы F,
Сумматоры 62-64 осуществл ют слеФормула Изобрет. ени 
30
35
40
Электростатический акселерометр, содержащий кожух с расположенным в нем .инерционным элементом в виде шара, систему электродов, расположенную в соответствии с координатными ос ми и образующую электростатический подвес, схему определени  положени  шара, содержащую первый емкостный мост конденсаторы которого соединены с вторичной обмоткой первого дифференциального трансформатора , первична  обмотка которого подключена к источнику переменного напр жени , операционный усилитель с емкостью в цепи обратной св зи, выход которого соединен с одним из входов . синхронного детектора, второй вход которого соединен с источником переменного напр жени , а вход подключен к одному из электродов, схему контрол  положени  шара, содержащую элемент коррекции, вход которого соединен с выходом синхронного детектора , а выход - с последовательно соединенными дифференциальным усилителем и модул тором, и блок индикации
50
.атт,кр1с  тем, что,
.атт,кр1с  тем, что,
с целью повышени  точности измерени , в него введены 1второй емкостный мост, второй дифференциальный трансформатор , одна из клемм вторичной обмотки которого заземлена через введенный конденсатор, а друга  клемма вторичной обмотки соединена со средней точкой вторичной обмотки первого дифференциального трансформатора второй источник переменного напр жени , соединенный с первичной обмоткой второго дифференциального трансформатора , средн   точка вторичной обмотки которого соединена с входом операционного усилител  и одним из защитных электродов, при этом вход операционного усилител  соединен с другим защитным электродом, а также второй синхронный детектор, один из входов которого соединен с вторым источником переменного напр жени , а другой вход - с выходом операционного усилител  и одним из входов первого синхронного детектора, а также вычислительна  схема, подключенна  к блоку индикации и включающа  блоки вычитани  и сложени ,входы которых соединены с выходом схемы определени  положени  шара, сумматор-вычита- тель, входы которого соединены с выходами блоков вычитани  и сложени , блок вычислени  градиента, вход ко- Voporo соединен с выходом сумматора- вычитател , квадраторы, входы которых соединены с соответствующими электродами умножители, входы которых подключены к выходам блока вычислени  градиента и выходам квадраторов , .сумматоры, входы которых соединены с выходами умножителей, а выходы - с входами блока индикации, а
также два блока компенсации переменной составл ющей потенциала инертш- онного элемента, каждый из которых содержит операционный усилитель с ем- костью в цепи обратной св зи, вход которого соединен с соответствующими симметричными электродами, а выход подключен к входу синхронного детектора , интегратор, вход которого соединен с выходом синхронного детектора , второй вход которого подключен к соответствующему источнику переменного напр жени , а выход - к вычислительной схеме, и модул тор, один
вход которого соединен с выходом интегратора , другой вход - с выходом второго источника переменного напр жени  схемы определени  положени , а выход подключен к соответствующей
паре электродов, а также блок компенсации посто нной составл ющей потенциала инерционного элемента, содержащий источник питани , вход которого соединен с соответствующими электродами , синхронный детектор, один из входов которого соединен с выходом источника питани , а другой - с выходом операционного усилител , вход которого подключен к соответствующим
электродам, интегратор, вход которого соединен с выходом синхронного детектора , а выход - с входом усилител , выход которого подключен к соответствующим электродам, при этом выход синхронного, детектора подключен к входу вычислительной схемы.
Со
5
t:h
,
-V2
Риа.З
us. 4e ,
Редактор М.Петрова
Составитель Н.Мараховска  Техред В.Кадар
Заказ 1646/59 Тираж 777 .Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР
по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раугаска  наб,, д.4/5
Производственно-полиграфическое предпри тие, г.Ужгород, ул.Проектна , 4
фиг. 5
Корректор А.Зи юкосов

Claims (1)

  1. Формула, изобрет. ения
    Электростатический акселерометр, содержащий кожух с расположенным в нем .инерционным элементом в виде шара, систему электродов, расположенную в соответствии с координатными осями и образующую электростатический подвес, схему определения положения шара, содержащую первый емкостный мост, конденсаторы которого соединены с вторичной обмоткой первого дифференциального трансформатора, первичная обмотка которого подключена к источнику переменного напгде Е - диэлектрическая постоянная;
    <3 - площадь поверхности,
    X - переменная высота конденсатора.
    После дифференцирования уравнения (6) относительно X получается следующее уравнение:
    Э ci_ = с;
    ““ах “Еб~“ *
    Блок 50 позволяет вычислить разность (С(-Сг),в то время как блок 51 вычисляет сумму (С4+С2).Сумматор-вычитатель 5-2 выдает сигналы, представляющие С( и С2, Эти сигналы возводятся в квадрат в блоке 53 возведения. Полученные таким образом сигналы ряжения, операционный усилитель с емкостью в цепи обратной связи, выход которого соединен с одним из входов 2 синхронного детектора, второй вход которого'соединен с источником переменного напряжения, а вход подключен к одному из электродов, схему контроля положения шара, содержащую элемент коррекции, вход которого соединен с выходом синхронного детектора, а выход - с последовательно соединенными дифференциальным усилителем и модулятором, и блок индикации, ^отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, в него введены второй емкостный мост, второй дифференциальный трансформатор, одна из клемм вторичной об-
SU813359480A 1980-11-28 1981-11-27 Электростатический акселерометр SU1308206A3 (ru)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8025272A FR2495328B1 (fr) 1980-11-28 1980-11-28 Perfectionnements aux accelerometres electrostatiques

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1308206A3 true SU1308206A3 (ru) 1987-04-30

Family

ID=9248446

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU813359480A SU1308206A3 (ru) 1980-11-28 1981-11-27 Электростатический акселерометр

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4393710A (ru)
JP (1) JPS57146166A (ru)
DE (1) DE3147011C2 (ru)
FR (1) FR2495328B1 (ru)
GB (1) GB2088564B (ru)
SU (1) SU1308206A3 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6679118B1 (en) 1999-04-27 2004-01-20 Tokimec Inc. Accelerometer and spherical sensor type measuring instrument
RU2618482C1 (ru) * 2013-05-02 2017-05-03 Нортроп Грумман Литеф Гмбх Датчик ускорения, а также способ изготовления датчика ускорения

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3205367C1 (de) * 1982-02-17 1985-11-07 Office National d'Etudes et de Recherches Aérospatiales, O.N.E.R.A., Châtillon-sous-Bagneux, Hauts-de-Seine Elektrostatischer Beschleunigungsmesser mit kreuzförmiger Testmasse
EP0118359B1 (en) * 1983-02-28 1987-05-20 Office National d'Etudes et de Recherches Aérospatiales (O.N.E.R.A.) Electrostatic accelerometer
FR2541775B1 (fr) * 1983-02-28 1985-10-04 Onera (Off Nat Aerospatiale) Accelerometres a suspension electrostatique
FR2544865B1 (fr) * 1983-04-21 1985-10-04 Onera (Off Nat Aerospatiale) Accelerometres a suspension electrostatique
US4611863A (en) * 1983-07-25 1986-09-16 Honeywell Inc. Magnetically supported and torqued momentum reaction sphere
FR2566599B1 (fr) * 1984-06-25 1986-09-26 Onera (Off Nat Aerospatiale) Dispositif de suspension electrostatique d'un corps
US4711125A (en) * 1985-11-06 1987-12-08 Morrison Melvin M Inertial measurement unit
FR2592491B1 (fr) * 1985-12-31 1988-02-12 Onera (Off Nat Aerospatiale) Accelerometre triaxial electrostatique avec double liaison electrique a la masse d'epreuve
US4818948A (en) * 1986-08-05 1989-04-04 Pratt & Whitney Canada Inc. Capacitive bridge-type probe for measuring blade tip clearance
FR2608771B1 (fr) * 1986-12-18 1989-04-28 Onera (Off Nat Aerospatiale) Dispositif d'etalonnage d'accelerometres ultrasensibles
US4795965A (en) * 1987-10-14 1989-01-03 Pratt & Whitney Canada Inc. Capacitance to voltage conversion circuit including a capacitive bridge and a capacitive offset
JP2802954B2 (ja) * 1989-12-28 1998-09-24 株式会社ワコー 力の作用体を有するセンサの試験方法およびこの方法を実施しうるセンサ
WO1991010118A1 (en) 1989-12-28 1991-07-11 Wacoh Corporation Apparatus for detecting physical quantity that acts as external force and method of testing and producing this apparatus
US6864677B1 (en) 1993-12-15 2005-03-08 Kazuhiro Okada Method of testing a sensor
US5253526A (en) * 1990-05-30 1993-10-19 Copal Company Limited Capacitive acceleration sensor with free diaphragm
US5357803A (en) * 1992-04-08 1994-10-25 Rochester Institute Of Technology Micromachined microaccelerometer for measuring acceleration along three axes
US5562266A (en) * 1992-10-29 1996-10-08 Aerospatiale Societe Nationale Industrielle Rate gyro calibration method and apparatus for a three-axis stabilized satellite
AU735871B2 (en) * 1997-06-11 2001-07-19 Fugro Finance Ag Gravity gradiometer
US5962782A (en) 1997-06-11 1999-10-05 The Broken Hill Proprietary Company Limited Gravity gradiometer accelerometers
US5922951A (en) * 1997-06-11 1999-07-13 The Broken Hill Proprietary Company Ltd. Gravity gradiometer
FI20041344A (fi) * 2004-10-15 2006-04-16 Valtion Teknillinen Anturi ja menetelmä komponenttiin kohdistuvan suureen mittaamiseksi

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1409016A (fr) * 1963-08-27 1965-08-20 Sperry Rand Corp Accéléromètre à inertie
FR1462195A (fr) * 1965-03-30 1966-04-15 Onera (Off Nat Aerospatiale) Micro-accéléromètre
FR2124055B1 (ru) * 1971-02-02 1975-03-21 Onera (Off Nat Aerospatiale)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Патент GB № 1134655, кл. G 1 N, 1968. Патент FR № 2124055, кл. G 01 Р 15/00, опублик. 1973. *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6679118B1 (en) 1999-04-27 2004-01-20 Tokimec Inc. Accelerometer and spherical sensor type measuring instrument
RU2618482C1 (ru) * 2013-05-02 2017-05-03 Нортроп Грумман Литеф Гмбх Датчик ускорения, а также способ изготовления датчика ускорения

Also Published As

Publication number Publication date
US4393710A (en) 1983-07-19
FR2495328A1 (fr) 1982-06-04
DE3147011A1 (de) 1982-07-01
FR2495328B1 (fr) 1986-04-11
DE3147011C2 (de) 1986-02-06
GB2088564B (en) 1985-06-12
GB2088564A (en) 1982-06-09
JPS57146166A (en) 1982-09-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SU1308206A3 (ru) Электростатический акселерометр
US4583404A (en) Electrostatic accelerometer
US4009607A (en) Force measuring system including combined electrostatic sensing and torquing means
US5440939A (en) Servo-controlled pendular micro-sensor
EP0385917B1 (en) Pulse-driven accelerometer arrangement
Merhav A nongyroscopic inertial measurement unit
US4102202A (en) Electrostatic accelerometer
CN106872730B (zh) 一种加速度测量装置及方法
KR20010005555A (ko) 정전용량-전압 변환기 및 변환 방법
CN109579810B (zh) 物理量测量装置、电子设备和移动体
WO2010024729A2 (en) Micromechanical gyroscope and method for tuning thereof based on using of amplitude modulated quadrature
EP0969287A2 (en) Charge balance network with floating ground capacitive sensing
JP2003531359A (ja) 振動型マイクロジャイロスコープ
JP2717011B2 (ja) 容量性圧力センサと差圧センサの温度補償用回路装置
JPS5921509B2 (ja) 静電位計
CN111998841A (zh) 一种半球谐振子芯轴振动检测电路及装置
JPH0476408B2 (ru)
US3295379A (en) Spherically symmetric gyro
US20080079435A1 (en) Electrostatic Voltmeter With Spacing-Independent Speed of Response
US4799386A (en) Electrostatic accelerometer with dual electrical connection to its test mass
US3680392A (en) Three-axis accelerometer
Li et al. A continuous charge estimation for gravitational wave detections
EP0118359B1 (en) Electrostatic accelerometer
RU2471149C2 (ru) Микромеханический гироскоп компенсационного типа
RU2750131C1 (ru) Емкостный датчик перемещений