JPH047460B2 - - Google Patents
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- JPH047460B2 JPH047460B2 JP58206725A JP20672583A JPH047460B2 JP H047460 B2 JPH047460 B2 JP H047460B2 JP 58206725 A JP58206725 A JP 58206725A JP 20672583 A JP20672583 A JP 20672583A JP H047460 B2 JPH047460 B2 JP H047460B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/12—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor
- G01L9/125—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor with temperature compensating means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
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Description
【発明の詳細な説明】
＜産業上の利用分野＞
本発明はプロセス制御装置に用いられるベロー
ズ又はダイヤフラム等の受圧要素を用いた差圧又
は圧力伝送器において問題とされる、温度又は静
圧変動に起因するゼロ点変動又はスパン変動を補
償する方法に関する。
ズ又はダイヤフラム等の受圧要素を用いた差圧又
は圧力伝送器において問題とされる、温度又は静
圧変動に起因するゼロ点変動又はスパン変動を補
償する方法に関する。
＜従来技術＞
第１図は差圧伝送器の従来の温度、静圧変動に
よるゼロ点変動、スパン変動補償の概念を説明す
るための構成図である。１は一室構造の差圧伝送
器の本体断面を示し、両端面に測定すべき圧力
pH，pLを受けるダイヤフラム２，３がその周縁を
この本体に溶接されて配置されており、本体に形
成された貫通孔４とこれらダイヤフラムで囲まれ
た中空室内にはシリコン油等の封液５が満たされ
ている。中空室中央部には拡大された電極室が形
成され、この電極室内には本体に嵌合した絶縁材
６に片側が支持された移動電極７及びこれに対向
して静電容量C1，C2を形成するための固定電極
８，９が配置されている。１０は中空室を介して
両ダイヤフラム２，３の中央部を連結するロツド
で、その中央部は電極室内において移動電極７に
固定されており、差圧に応動したダイヤフラムの
変位を移動電極に伝え、静電容量C1，C2を差動
的に変化させる。静電容量C1，C2は演算回路１
１に導かれてC2−C1／C2＋C1の演算が施され、直流出力 信号e0に変換される。この信号e0は出力回路１２
に導かれて、遠隔点の負荷pL、電源EBの直列回路
に対し、４〜20mAスパンの出力電流I0に変換さ
れる。１３は本体１の温度Ｔを測定する温度セン
サ、１４は封液５の圧力即ち静圧pSを測定する圧
力センサであり、これらセンサの出力は、補償電
圧発生回路１５，１６に導かれ、ゼロ点補償用温
度信号eT，ゼロ点補償用静圧信号ePに変換され、
加算点１７，１８で演算回路１１の出力信号e0に
加算又は減算されて温度変動又は静圧変動に対す
るゼロ点の変動が補償される。温度又は静圧変動
に対してダイヤフラム２，３のバネ定数変化等に
より生ずるスパン変動が問題になる場合は、補償
電圧発生回路１５，１６より点線で示すスパン変
動補償用温度信号、静圧信号eT′，eP′を発生させ、
出力回路１２の電圧−電流変換利得を変化させて
スパンの変動を補償する。
よるゼロ点変動、スパン変動補償の概念を説明す
るための構成図である。１は一室構造の差圧伝送
器の本体断面を示し、両端面に測定すべき圧力
pH，pLを受けるダイヤフラム２，３がその周縁を
この本体に溶接されて配置されており、本体に形
成された貫通孔４とこれらダイヤフラムで囲まれ
た中空室内にはシリコン油等の封液５が満たされ
ている。中空室中央部には拡大された電極室が形
成され、この電極室内には本体に嵌合した絶縁材
６に片側が支持された移動電極７及びこれに対向
して静電容量C1，C2を形成するための固定電極
８，９が配置されている。１０は中空室を介して
両ダイヤフラム２，３の中央部を連結するロツド
で、その中央部は電極室内において移動電極７に
固定されており、差圧に応動したダイヤフラムの
変位を移動電極に伝え、静電容量C1，C2を差動
的に変化させる。静電容量C1，C2は演算回路１
１に導かれてC2−C1／C2＋C1の演算が施され、直流出力 信号e0に変換される。この信号e0は出力回路１２
に導かれて、遠隔点の負荷pL、電源EBの直列回路
に対し、４〜20mAスパンの出力電流I0に変換さ
れる。１３は本体１の温度Ｔを測定する温度セン
サ、１４は封液５の圧力即ち静圧pSを測定する圧
力センサであり、これらセンサの出力は、補償電
圧発生回路１５，１６に導かれ、ゼロ点補償用温
度信号eT，ゼロ点補償用静圧信号ePに変換され、
加算点１７，１８で演算回路１１の出力信号e0に
加算又は減算されて温度変動又は静圧変動に対す
るゼロ点の変動が補償される。温度又は静圧変動
に対してダイヤフラム２，３のバネ定数変化等に
より生ずるスパン変動が問題になる場合は、補償
電圧発生回路１５，１６より点線で示すスパン変
動補償用温度信号、静圧信号eT′，eP′を発生させ、
出力回路１２の電圧−電流変換利得を変化させて
スパンの変動を補償する。
このような補償方式をとる場合は、温度センサ
１３及び圧力センサ１４を本体１内に設ける必要
がある。
１３及び圧力センサ１４を本体１内に設ける必要
がある。
このように、温度センサ、圧力センサを特別に
設ける構成は、特に圧力センサを本体内に設ける
場合、伝送器の構造が複雑高価となる欠点を有す
る。
設ける構成は、特に圧力センサを本体内に設ける
場合、伝送器の構造が複雑高価となる欠点を有す
る。
＜本発明の構成＞
本発明は、以上の欠点を解決するために、本体
に固定され測定すべき圧力又は差圧を受けて変位
する受圧要素とこの受圧要素に囲まれ先の本体内
に封入された封液とを有し先の変位に関連する信
号を圧力・差圧信号として出力する圧力・差圧伝
送器において、第１に、先の封液が一対の静電容
量の中に満されこの静電容量の変化に応じてデユ
テイ比が変化するパルス信号に変換しこれを用い
て誘電率信号を演算する誘導率演算手段と、先の
圧力・差圧信号に対して先の誘電率信号に関連す
る信号を代数加算することにより先の受圧要素に
加わる静圧及び温度によるゼロ点変動を補償する
ゼロ点補償手段とを具備する構成とし、第２に、
先の封液が一対の静電容量の中に満されこの各静
電容量の変化に応じてデユテイ比が変化するパル
ス信号に変換しこれを用いて誘電率信号を演算す
る誘電率演算手段と、先の誘電率信号に先のパル
ス信号を乗算して得た乗算信号が一端に入力され
出力端に生じた出力信号と誘電率信号とを所定割
合で他端に負帰還しゼロ変動とスパン変動とを分
離する分離演算手段と、先の圧力・差圧信号に対
して先の出力信号に関連する信号を代数加算する
ことにより先の受圧要素に加わる静圧及び温度に
よるゼロ点変動とスパン変動を補償する補償手段
とを具備するようにしたものである。
に固定され測定すべき圧力又は差圧を受けて変位
する受圧要素とこの受圧要素に囲まれ先の本体内
に封入された封液とを有し先の変位に関連する信
号を圧力・差圧信号として出力する圧力・差圧伝
送器において、第１に、先の封液が一対の静電容
量の中に満されこの静電容量の変化に応じてデユ
テイ比が変化するパルス信号に変換しこれを用い
て誘電率信号を演算する誘導率演算手段と、先の
圧力・差圧信号に対して先の誘電率信号に関連す
る信号を代数加算することにより先の受圧要素に
加わる静圧及び温度によるゼロ点変動を補償する
ゼロ点補償手段とを具備する構成とし、第２に、
先の封液が一対の静電容量の中に満されこの各静
電容量の変化に応じてデユテイ比が変化するパル
ス信号に変換しこれを用いて誘電率信号を演算す
る誘電率演算手段と、先の誘電率信号に先のパル
ス信号を乗算して得た乗算信号が一端に入力され
出力端に生じた出力信号と誘電率信号とを所定割
合で他端に負帰還しゼロ変動とスパン変動とを分
離する分離演算手段と、先の圧力・差圧信号に対
して先の出力信号に関連する信号を代数加算する
ことにより先の受圧要素に加わる静圧及び温度に
よるゼロ点変動とスパン変動を補償する補償手段
とを具備するようにしたものである。
実施例の説明に先立ち、ゼロ点変動の発生要因
並びに本発明の補償原理につき、第２図〜第４図
を用いて説明する。第２図は、第１図の一室構造
の差圧伝送器を模形的に示したものであつて、ダ
イヤフラム２，３、封液５、ロツド１０よりな
る。AH，ALはダイヤフラム２，３の有効面積、
FH，FLはダイヤフラム２，３よりロツド１０に
与えられる力、Ｖは封液５の容積、Piは封液５の
内圧、PSは静圧を夫々示す。一室構造の差圧伝送
器のゼロ点変動の要因のほとんどは、ダイヤフラ
ム２，３の有効面積AH，ALに製造過程でわずか
の差が生じることに起因する。
並びに本発明の補償原理につき、第２図〜第４図
を用いて説明する。第２図は、第１図の一室構造
の差圧伝送器を模形的に示したものであつて、ダ
イヤフラム２，３、封液５、ロツド１０よりな
る。AH，ALはダイヤフラム２，３の有効面積、
FH，FLはダイヤフラム２，３よりロツド１０に
与えられる力、Ｖは封液５の容積、Piは封液５の
内圧、PSは静圧を夫々示す。一室構造の差圧伝送
器のゼロ点変動の要因のほとんどは、ダイヤフラ
ム２，３の有効面積AH，ALに製造過程でわずか
の差が生じることに起因する。
今、有効面積AH＞ALの場合に温度変化ΔTによ
り封液の体積ＶがΔV増加し、その結果封液の内
圧PiがΔPi1上昇する（Pi＞Ｐの状態となる）と、
FH，FLの変化ΔFH1，ΔFL1は、夫々 ΔFH1＝AH×ΔPi1 （左方向に発生） ΔFL1＝AL×ΔPi1 （右方向に発生） となる。ここでAH＞ALであるから、 ΔFH1＞ΔFL1となり、左方向のゼロ点変動が発
生する。
り封液の体積ＶがΔV増加し、その結果封液の内
圧PiがΔPi1上昇する（Pi＞Ｐの状態となる）と、
FH，FLの変化ΔFH1，ΔFL1は、夫々 ΔFH1＝AH×ΔPi1 （左方向に発生） ΔFL1＝AL×ΔPi1 （右方向に発生） となる。ここでAH＞ALであるから、 ΔFH1＞ΔFL1となり、左方向のゼロ点変動が発
生する。
次に静圧PSがΔPS上昇することにより封液の容
積がΔV減少し（非圧縮性の封液でも実際にはわ
ずかな圧縮特性を有する）、内圧がΔPi2減少する
（Pi＜Ｐの状態となる）と、FH，FLの変化ΔFH2，
ΔFL2は、夫々 ΔFH2＝AH×ΔPi2 （右方向に発生） ΔFL2＝AL×ΔPi2 （左方向に発生） となる。ここでAH＞ALであるから、 ΔFH2＞ΔFL2となり、右方向のゼロ点変動が発
生する。
積がΔV減少し（非圧縮性の封液でも実際にはわ
ずかな圧縮特性を有する）、内圧がΔPi2減少する
（Pi＜Ｐの状態となる）と、FH，FLの変化ΔFH2，
ΔFL2は、夫々 ΔFH2＝AH×ΔPi2 （右方向に発生） ΔFL2＝AL×ΔPi2 （左方向に発生） となる。ここでAH＞ALであるから、 ΔFH2＞ΔFL2となり、右方向のゼロ点変動が発
生する。
有効面積の関係が逆の場合、即ちAH＜ALの場
合は温度及び静圧変動による変動の発生方向は上
記とは逆方向となる。
合は温度及び静圧変動による変動の発生方向は上
記とは逆方向となる。
即ち、有効面積差に起因するゼロ点変動の発生
方向は、温度上昇によるものと静圧上昇によるも
のとは反対方向となることがわかる。第３図Ａ，
Ｂはこれらの関係を図示したものであつて、温度
誤差がＡのごとく負方向であれば、静圧誤差はＢ
のごとく正方向となる。Ａ，Ｂにおいて点線で示
したものが有効面積差に起因する誤差であり、こ
れを補償することにより、ゼロ点変動を大幅に減
少させることができる。
方向は、温度上昇によるものと静圧上昇によるも
のとは反対方向となることがわかる。第３図Ａ，
Ｂはこれらの関係を図示したものであつて、温度
誤差がＡのごとく負方向であれば、静圧誤差はＢ
のごとく正方向となる。Ａ，Ｂにおいて点線で示
したものが有効面積差に起因する誤差であり、こ
れを補償することにより、ゼロ点変動を大幅に減
少させることができる。
上記ゼロ点変動は、封液の体積変化（密度変
化）に基く内圧変化に起因して発生している。こ
こで封液の温度変化及び静圧変化に対する変化率
と、封液の誘電率εの温度変化及び静圧変化に対
する変化率との関係をみると、例えば一般的なシ
リコンオイルでは、 １／Ｖ・ΔV／ΔT≒−１／ε・Δε／ΔT×１／1.28(
1) １／Ｖ・ΔV／ΔP≒−１／ε・Δε／ΔP×１／1.30(
2) と表わされ、誘電率εの温度又は静圧による変化
率と封液の温度又は静圧による体積変化率とはほ
ぼ等しいことがわかる。このことは、誘電率εの
変化を検出して封液の温度又は静圧による体積変
化を検出することが可能であることを示してい
る。ゼロ変動は封液の体積変化に起因して有効面
積差がある場合に生ずるのであるから、誘電率の
変化により封液の体積変化が検出できれば、この
検出信号に基づいてゼロ点変動の補償が可能であ
る。
化）に基く内圧変化に起因して発生している。こ
こで封液の温度変化及び静圧変化に対する変化率
と、封液の誘電率εの温度変化及び静圧変化に対
する変化率との関係をみると、例えば一般的なシ
リコンオイルでは、 １／Ｖ・ΔV／ΔT≒−１／ε・Δε／ΔT×１／1.28(
1) １／Ｖ・ΔV／ΔP≒−１／ε・Δε／ΔP×１／1.30(
2) と表わされ、誘電率εの温度又は静圧による変化
率と封液の温度又は静圧による体積変化率とはほ
ぼ等しいことがわかる。このことは、誘電率εの
変化を検出して封液の温度又は静圧による体積変
化を検出することが可能であることを示してい
る。ゼロ変動は封液の体積変化に起因して有効面
積差がある場合に生ずるのであるから、誘電率の
変化により封液の体積変化が検出できれば、この
検出信号に基づいてゼロ点変動の補償が可能であ
る。
ここで、誘電率εは一般に基準状態（Ｔ＝20
℃、Ｐ＝０Kg／cm2）の誘電率εSに対してＴ，Ｐの
変化ΔT，ΔPに対し、α，βを定数として ε＝εS（１−αΔT＋βΔP） (3) で表わされ、温度に対する変化方向と静圧に対す
る変化方向とが逆の特性を有している。
℃、Ｐ＝０Kg／cm2）の誘電率εSに対してＴ，Ｐの
変化ΔT，ΔPに対し、α，βを定数として ε＝εS（１−αΔT＋βΔP） (3) で表わされ、温度に対する変化方向と静圧に対す
る変化方向とが逆の特性を有している。
一方、ゼロ点誤差は、温度が上昇すると内圧が
増加し静圧が上昇すると内圧が減少する（第２
図）ので、これ等に対してゼロ変動誤差は逆方向
の変化となる。このため(3)式に示す誘電率の変化
と同方向の変化となる。したがつて、この誘電率
の変化を検出してこれに所定の係数を乗算して出
力信号e0に加算することにより温度と静圧の双方
を考慮したゼロ点の補償が可能である。
増加し静圧が上昇すると内圧が減少する（第２
図）ので、これ等に対してゼロ変動誤差は逆方向
の変化となる。このため(3)式に示す誘電率の変化
と同方向の変化となる。したがつて、この誘電率
の変化を検出してこれに所定の係数を乗算して出
力信号e0に加算することにより温度と静圧の双方
を考慮したゼロ点の補償が可能である。
即ち、誘電率の変化を検出して補償する方法を
とれば、変動の発生要因がダイヤフラムの有効面
積差に起因する場合は、従来技術のように、温度
センサ、圧力センサを本体内に設けることなく、
ゼロ点変動を有効に補償することができる。
とれば、変動の発生要因がダイヤフラムの有効面
積差に起因する場合は、従来技術のように、温度
センサ、圧力センサを本体内に設けることなく、
ゼロ点変動を有効に補償することができる。
誘電率εの検出の具体的手段は、封液５内に基
準静電容量を設け、この容量変化を検出する方法
でもよいが、差圧に応動して変化する静電容量
C1，C2に基いても演算で容易に求めることがで
き、特別なセンサを必要としない構成が可能であ
る。
準静電容量を設け、この容量変化を検出する方法
でもよいが、差圧に応動して変化する静電容量
C1，C2に基いても演算で容易に求めることがで
き、特別なセンサを必要としない構成が可能であ
る。
第４図は本発明の補償方法を適用した差圧・圧
力伝送器の原理的ブロツク線図であり、第１図と
対応する要素は同一付号で示す。演算回路１１を
介して得られるC1，C2に関連した信号は、誘電
率演算回路１９に導かれて誘電率εに比例したゼ
ロ点変動補償信号eTPが算出され、加算点２０で
演算回路１１の出力信号e0と加算されて温度，静
圧の変動によるゼロ点変動が同時に補償される。
２１は封液５内に設けた基準静電容量手段であ
り、この静電容量CSに基いて誘電率εを演算する
ようにしてもよい。eTP′は誘電率演算回路１９で
演算される、スパン変動補償信号であり、加算点
２１でe0に加算する方法で補償することができ
る。スパン変動の補償については後の実施例で具
体的に説明する。
力伝送器の原理的ブロツク線図であり、第１図と
対応する要素は同一付号で示す。演算回路１１を
介して得られるC1，C2に関連した信号は、誘電
率演算回路１９に導かれて誘電率εに比例したゼ
ロ点変動補償信号eTPが算出され、加算点２０で
演算回路１１の出力信号e0と加算されて温度，静
圧の変動によるゼロ点変動が同時に補償される。
２１は封液５内に設けた基準静電容量手段であ
り、この静電容量CSに基いて誘電率εを演算する
ようにしてもよい。eTP′は誘電率演算回路１９で
演算される、スパン変動補償信号であり、加算点
２１でe0に加算する方法で補償することができ
る。スパン変動の補償については後の実施例で具
体的に説明する。
第５図は本発明の原理を適用した差圧伝送器の
回路の１実施例を示すものであつて、差圧に関連
して変化する静電容量C1，C2は演算回路１１に
導かれて、デユーテイがC1，C2に関連したパル
ス信号に変換された後、平滑されて直流出力信号
e0に変換される。１１内の構成要素はコンパレー
タを形成する増幅器G1，G2、切換スイツチを形
成するゲートG3〜G5、カウンタCT1、インバー
タG6，G7及び双方向性定電流回路CC1を組合せ
た自己発振回路で、C1に関連する周期の発振パ
ルスがカウンタCT1でｎ個計数されるとC2に関連
する発振に切換わり、このパルスが同様にｎ個計
数されると元に戻る動作を繰返し、カウンタCT1
の出力又はインバータG7の出力に、オン時間が
C1にオフ時間がC2（又はその逆）に関連し、振幅
が基準電圧Vzのデユーテイサイクル信号を得る
（この演算回路の詳細については特開昭57−14714
号に説明されている）。
回路の１実施例を示すものであつて、差圧に関連
して変化する静電容量C1，C2は演算回路１１に
導かれて、デユーテイがC1，C2に関連したパル
ス信号に変換された後、平滑されて直流出力信号
e0に変換される。１１内の構成要素はコンパレー
タを形成する増幅器G1，G2、切換スイツチを形
成するゲートG3〜G5、カウンタCT1、インバー
タG6，G7及び双方向性定電流回路CC1を組合せ
た自己発振回路で、C1に関連する周期の発振パ
ルスがカウンタCT1でｎ個計数されるとC2に関連
する発振に切換わり、このパルスが同様にｎ個計
数されると元に戻る動作を繰返し、カウンタCT1
の出力又はインバータG7の出力に、オン時間が
C1にオフ時間がC2（又はその逆）に関連し、振幅
が基準電圧Vzのデユーテイサイクル信号を得る
（この演算回路の詳細については特開昭57−14714
号に説明されている）。
第６図はカウンタCT1の出力波形で、オン時
間T1がC1に、オフ時間T2がC2に関連する。は
インバ−タG7の出力で、と逆位相の信号であ
る。この信号が抵抗R1、コンデンサC3のフイル
タで平滑されて直流出力信号e0に変換され、出力
回路１２の増幅器A1の非反転入力端子Ｙ点に加
算抵抗R2を介して供給される。VR1はゼロ点調
整手段で、その出力は加算抵抗R3を介してＹ点
に接続されている。VR2は増幅器A1の帰還回路
に設けたスパン調整手段で、増幅器A2により、
基準電圧Vzの1/2にバイアスされている。従つて
増幅器A1の入力e0は第６図に示すようにVz／２を 基準にした平滑信号となり、C2−C1／C2＋C1に比例す る。増幅器A1の出力は増幅器A3に導かれて、出
力電流I0が与えられる帰還抵抗RLに発生する帰還
電圧eFと比較増幅され、出力トランジスタTRを
駆動して出力電流I0を制御する。
間T1がC1に、オフ時間T2がC2に関連する。は
インバ−タG7の出力で、と逆位相の信号であ
る。この信号が抵抗R1、コンデンサC3のフイル
タで平滑されて直流出力信号e0に変換され、出力
回路１２の増幅器A1の非反転入力端子Ｙ点に加
算抵抗R2を介して供給される。VR1はゼロ点調
整手段で、その出力は加算抵抗R3を介してＹ点
に接続されている。VR2は増幅器A1の帰還回路
に設けたスパン調整手段で、増幅器A2により、
基準電圧Vzの1/2にバイアスされている。従つて
増幅器A1の入力e0は第６図に示すようにVz／２を 基準にした平滑信号となり、C2−C1／C2＋C1に比例す る。増幅器A1の出力は増幅器A3に導かれて、出
力電流I0が与えられる帰還抵抗RLに発生する帰還
電圧eFと比較増幅され、出力トランジスタTRを
駆動して出力電流I0を制御する。
次に、この様な構成に付加される、本発明の原
理を適用した誘電率演算回路１９について説明す
る。M1は単安定回路で、第６図のデユーテイ
サイクル信号を受け、その立上りでトリガされて
T1＋T2よりは短いのごとき一定時間T0の出力
パルスを発生させる。R4，C4はT0を決定する時
定数回路である。SW1は信号を信号で開閉す
るスイツチ、R5，C5はスイツチSW1の出力信号
を平滑するフイルタである。従つて、このフイル
タの出力信号の電圧は、C1＝εC／１−KΔP（Ｋ： 定数 ΔP：差圧 Ｃ：定数）とすると、 Vz・T1／T0＝εC／T0（１−KΔP）・Vz (4) となる。この電圧は更にの信号で開閉するスイ
ツチSW2を介してフイルタR6，C6を充電する。
SW3は同じくの信号でSW2と逆位相で開閉し、
このフイルタの充電々荷を放電するスイツチであ
る。この構成によりフイルタR6，C6の出力の
電圧Vθは、 θ＝T1／T0×T2／T1＋T2・Vz＝εC／T0
（１−KΔP）×（１−KΔP／２・Vz ＝Ｃ／2T0Vz・ε＝Ａ・ε （Ａ：定
数）(5) となり、Vθは誘電率εに比例する。この電圧は
パツフア増幅器A4，その出力を受ける反転増幅
器A5により正負の電圧Vθ+，Vθ-に変換され、極
性選択及び係数設定用のポテンシヨメータVR3で
適当な係数と極性のゼロ点変動補償信号eTPに変
換され……、加算抵抗Ｒ７を介してＹ点に導か
れ、出力信号e0に加算される。(5)式に示す誘電率
εは、(3)式に示すように温度変化ΔT及び静圧変
化ΔPの関数であるので、ポテンシヨメータVR
３で適当な係数と極性を選定することにより温度
変動と静圧変動によるゼロ点変動を補償すること
ができる。VR4は信号eTPに適当なバイアスを供
給するための調整手段である。
理を適用した誘電率演算回路１９について説明す
る。M1は単安定回路で、第６図のデユーテイ
サイクル信号を受け、その立上りでトリガされて
T1＋T2よりは短いのごとき一定時間T0の出力
パルスを発生させる。R4，C4はT0を決定する時
定数回路である。SW1は信号を信号で開閉す
るスイツチ、R5，C5はスイツチSW1の出力信号
を平滑するフイルタである。従つて、このフイル
タの出力信号の電圧は、C1＝εC／１−KΔP（Ｋ： 定数 ΔP：差圧 Ｃ：定数）とすると、 Vz・T1／T0＝εC／T0（１−KΔP）・Vz (4) となる。この電圧は更にの信号で開閉するスイ
ツチSW2を介してフイルタR6，C6を充電する。
SW3は同じくの信号でSW2と逆位相で開閉し、
このフイルタの充電々荷を放電するスイツチであ
る。この構成によりフイルタR6，C6の出力の
電圧Vθは、 θ＝T1／T0×T2／T1＋T2・Vz＝εC／T0
（１−KΔP）×（１−KΔP／２・Vz ＝Ｃ／2T0Vz・ε＝Ａ・ε （Ａ：定
数）(5) となり、Vθは誘電率εに比例する。この電圧は
パツフア増幅器A4，その出力を受ける反転増幅
器A5により正負の電圧Vθ+，Vθ-に変換され、極
性選択及び係数設定用のポテンシヨメータVR3で
適当な係数と極性のゼロ点変動補償信号eTPに変
換され……、加算抵抗Ｒ７を介してＹ点に導か
れ、出力信号e0に加算される。(5)式に示す誘電率
εは、(3)式に示すように温度変化ΔT及び静圧変
化ΔPの関数であるので、ポテンシヨメータVR
３で適当な係数と極性を選定することにより温度
変動と静圧変動によるゼロ点変動を補償すること
ができる。VR4は信号eTPに適当なバイアスを供
給するための調整手段である。
第７図は、１／εに比例するゼロ点変動補償信号
eTPを得るための演算回路の例であり、M2，M3
は単安定回路で、時定数はT1，T2の最短周期よ
りは短い一定時間T0で同一とされ、M2は信号
で、M3は信号でトリガされ、その出力が信号
，で駆動されるスイツチSW4，SW5で開閉さ
れた後フイルタで平滑される。各フイルタの出力
信号，の電圧は、 T0／T1×Vz＝１＋KΔP／εC・T0・Vz T0／T1×Vz＝１−KΔP／εC・T0・Vz これら電圧が抵抗R8，R9を介して加算された
信号の電圧Vθは、 Vθ＝＋＝（１＋KΔP／εC＋１−KΔP／εC
）T0・Vz＝2Vz／CT0・１／ε＝Ｂ・１／ε （Ｂ：定数
）(6) となり、１／εに比例したものとなる。これ以後の 回路構成は第５図の場合と同様である。１／εを演 算する構成は、εを演算する構成に比較してスイ
ツチが少なく簡素となる利点がある。εの変化範
囲は小さいので、１／εも温度，静圧に対して直線 的に変化し、この信号を補償信号としても第５図
の場合と補償効果は変らない。
は単安定回路で、時定数はT1，T2の最短周期よ
りは短い一定時間T0で同一とされ、M2は信号
で、M3は信号でトリガされ、その出力が信号
，で駆動されるスイツチSW4，SW5で開閉さ
れた後フイルタで平滑される。各フイルタの出力
信号，の電圧は、 T0／T1×Vz＝１＋KΔP／εC・T0・Vz T0／T1×Vz＝１−KΔP／εC・T0・Vz これら電圧が抵抗R8，R9を介して加算された
信号の電圧Vθは、 Vθ＝＋＝（１＋KΔP／εC＋１−KΔP／εC
）T0・Vz＝2Vz／CT0・１／ε＝Ｂ・１／ε （Ｂ：定数
）(6) となり、１／εに比例したものとなる。これ以後の 回路構成は第５図の場合と同様である。１／εを演 算する構成は、εを演算する構成に比較してスイ
ツチが少なく簡素となる利点がある。εの変化範
囲は小さいので、１／εも温度，静圧に対して直線 的に変化し、この信号を補償信号としても第５図
の場合と補償効果は変らない。
第５図、第７図の実施例はゼロ点変動補償の場
合のみの適用例であるが、スパン変動の補償信号
をゼロ点変動補償信号に重畳させて得ることも容
易に出来る。第８図はεに比例した信号より、ゼ
ロ点変動補償信号とスパン変動補償信号を同時に
得る例であり、フイルタR6，C6の出力に上記(5)
式のVθを得るまでの構成は第５図と同様である。
この信号Vθに更にスイツチSW6，SW7により信
号を乗算してR8，C7のフイルタで平滑した電
圧Vθ′は、Ａを定数として Vθ′＝Vθ×T1／T1＋T2＝Ａ・ε（１＋KΔP） (7) となる。この電圧を演算増幅器A6の非反転入力
端子に加え、A6の出力電圧V0とVθとを、ポテン
シヨメータVR5により（１−α）：αの比率に分
配してA6の反転入力端子に加えると、出力電圧
V0は、 V0＝Vθ／２（KΔP−１＋2α）＝ε／２（KΔP−
１＋2α）Ａ＝εA・KΔP／2α＋εA（2α−１／2α）(8
) となる。(8)式の第１項はスパン変動補償信号成
分、第２項がゼロ点変動補償信号成分を表わし、
αを調整することにより、両成分の比率を変える
ことができる。V0以後の構成は第５図と同様で
ある。又１／εに比例した電圧を得る第８図の出力 Vθに対しても同様の演算でゼロ点変動補償信号
とスパン変動補償信号を同時に得ることが可能で
ある。
合のみの適用例であるが、スパン変動の補償信号
をゼロ点変動補償信号に重畳させて得ることも容
易に出来る。第８図はεに比例した信号より、ゼ
ロ点変動補償信号とスパン変動補償信号を同時に
得る例であり、フイルタR6，C6の出力に上記(5)
式のVθを得るまでの構成は第５図と同様である。
この信号Vθに更にスイツチSW6，SW7により信
号を乗算してR8，C7のフイルタで平滑した電
圧Vθ′は、Ａを定数として Vθ′＝Vθ×T1／T1＋T2＝Ａ・ε（１＋KΔP） (7) となる。この電圧を演算増幅器A6の非反転入力
端子に加え、A6の出力電圧V0とVθとを、ポテン
シヨメータVR5により（１−α）：αの比率に分
配してA6の反転入力端子に加えると、出力電圧
V0は、 V0＝Vθ／２（KΔP−１＋2α）＝ε／２（KΔP−
１＋2α）Ａ＝εA・KΔP／2α＋εA（2α−１／2α）(8
) となる。(8)式の第１項はスパン変動補償信号成
分、第２項がゼロ点変動補償信号成分を表わし、
αを調整することにより、両成分の比率を変える
ことができる。V0以後の構成は第５図と同様で
ある。又１／εに比例した電圧を得る第８図の出力 Vθに対しても同様の演算でゼロ点変動補償信号
とスパン変動補償信号を同時に得ることが可能で
ある。
第９図は差圧検出用の静電容量C1，C2を交流
発振器で励振し、各容量を流れる電流の差から差
圧又は圧力を検出する方式の伝送器に本発明を適
用した例を示す。OSCは交流発振器で、その出
力ejの振幅は増幅器A7で制御される。CPはC1，
C2と同一環境に設置される基準静電容量でjでｅ
励振され、これを流れる電流はダイオードD1で
整流され、抵抗R9，静電容量C8のフイルタ回路
で直流電圧に変換され、この電圧と一定電圧VS
とが増幅器A7で比較増幅され、OSCの出力ejが
制御される。従つて、 VS＝ejωR9CP (9) となる。静電容量C1，C2もejで励振され、これら
を流れる電流は夫々ダイオードD2，D3で整流さ
れ、抵抗R10、静電容量C9、抵抗R11、静電容量
C10のフイルタ回路で夫々電圧V1，V2に変換され
る。このような構成により、 V1＝C1R10ωej (10) V2＝C2R11ωej (11) となる。ここで、R9＝R10＝R11とすれば、９〜
11式及び C1＝εC・１／１−KΔP，C2＝εC・１／１＋KΔP より、 V1＝C1／CPVS＝VS／CP・Ｃ／１−KΔP (12) V2＝C2／CPVS＝VS／CP・Ｃ／１＋KΔP (13) が得られる。これら電圧は演算回路２３により、 V1−V2／V1＋V2∝C1−C2／C1＋C2∝ΔP の演算が施され、出力信号e0が発生する。
発振器で励振し、各容量を流れる電流の差から差
圧又は圧力を検出する方式の伝送器に本発明を適
用した例を示す。OSCは交流発振器で、その出
力ejの振幅は増幅器A7で制御される。CPはC1，
C2と同一環境に設置される基準静電容量でjでｅ
励振され、これを流れる電流はダイオードD1で
整流され、抵抗R9，静電容量C8のフイルタ回路
で直流電圧に変換され、この電圧と一定電圧VS
とが増幅器A7で比較増幅され、OSCの出力ejが
制御される。従つて、 VS＝ejωR9CP (9) となる。静電容量C1，C2もejで励振され、これら
を流れる電流は夫々ダイオードD2，D3で整流さ
れ、抵抗R10、静電容量C9、抵抗R11、静電容量
C10のフイルタ回路で夫々電圧V1，V2に変換され
る。このような構成により、 V1＝C1R10ωej (10) V2＝C2R11ωej (11) となる。ここで、R9＝R10＝R11とすれば、９〜
11式及び C1＝εC・１／１−KΔP，C2＝εC・１／１＋KΔP より、 V1＝C1／CPVS＝VS／CP・Ｃ／１−KΔP (12) V2＝C2／CPVS＝VS／CP・Ｃ／１＋KΔP (13) が得られる。これら電圧は演算回路２３により、 V1−V2／V1＋V2∝C1−C2／C1＋C2∝ΔP の演算が施され、出力信号e0が発生する。
誘電率εを算出する手段はブロツク２４〜２６
で実現される。ブロツク２４はC1に関連する電
圧V1を受け、１／V1に比例する電圧を発生する機能 を有し、一定電圧VS／２にバイアスされた比較器A8 の出力で開閉されるスイツチSW7を介してV1と
バイアスVS／２を比較する。この結果A8の出力のデ ユーテイサイクルD1は、 D1＝１／２・VS／V1 となる。このデユーテイ信号で更にスイツチSW8
を開閉し、一定電圧VFをサンプルしてフイルタ
で平滑した出力V3は、 V3＝D1VF＝１／２・VS／V1・VF (14) となる。
で実現される。ブロツク２４はC1に関連する電
圧V1を受け、１／V1に比例する電圧を発生する機能 を有し、一定電圧VS／２にバイアスされた比較器A8 の出力で開閉されるスイツチSW7を介してV1と
バイアスVS／２を比較する。この結果A8の出力のデ ユーテイサイクルD1は、 D1＝１／２・VS／V1 となる。このデユーテイ信号で更にスイツチSW8
を開閉し、一定電圧VFをサンプルしてフイルタ
で平滑した出力V3は、 V3＝D1VF＝１／２・VS／V1・VF (14) となる。
ブロツク２５はブロツク２４と同様構成で、
C2に関連する電圧V2を受け、 V4＝１／２・VS／V2・VF (15) なる電圧V4を発生する。これら電圧V3，V4は加
算回路２６で加算され、その出力Vθは、 Vθ＝V3＋V4＝１／２・VS・VF（１／V1＋１／V2）と
な る。これに12，13式を代入すると、 Vθ＝１／２・VS・VFCP／VS・１／εC（１−
KΔP＋１＋KΔP）＝CPVF／2C・１／ε(16) となり、１／εに比例する。
C2に関連する電圧V2を受け、 V4＝１／２・VS／V2・VF (15) なる電圧V4を発生する。これら電圧V3，V4は加
算回路２６で加算され、その出力Vθは、 Vθ＝V3＋V4＝１／２・VS・VF（１／V1＋１／V2）と
な る。これに12，13式を代入すると、 Vθ＝１／２・VS・VFCP／VS・１／εC（１−
KΔP＋１＋KΔP）＝CPVF／2C・１／ε(16) となり、１／εに比例する。
従つて、この信号を係数設定手段２２を介して
ゼロ点変動補償信号eptに変換して加算点２０に
与える。(16)式に示す誘電率εは、(3)式に示すよ
うに温度変化ΔT及び静圧変化ΔPの関数である
ので、係数設定手段２２で適当に係数を設定すれ
ば、温度、静圧によるゼロ点変動補償が同時にで
きる。同様に第８図で説明したごとき付加的回路
手段により、スパンの温度、静圧変動の補償も容
易に実現できる。
ゼロ点変動補償信号eptに変換して加算点２０に
与える。(16)式に示す誘電率εは、(3)式に示すよ
うに温度変化ΔT及び静圧変化ΔPの関数である
ので、係数設定手段２２で適当に係数を設定すれ
ば、温度、静圧によるゼロ点変動補償が同時にで
きる。同様に第８図で説明したごとき付加的回路
手段により、スパンの温度、静圧変動の補償も容
易に実現できる。
静電容量C1，C2の内一方が固定容量、例えば
C2＝C0（固定）の場合は、(12)，(13)式のV1，V2
は夫々 V1＝C1／CPVS，V2＝C0／CPVS となる。ここで差圧の測定に関しては、V2／V1∝ C0／C1∝ΔPの演算を行なうことにより求められ、誘 電率εに関してはV2の信号を利用して、 V2＝VS／CPC0＝VS／CP・Ｃ・ε (17) の演算で容易に算出することができる。
C2＝C0（固定）の場合は、(12)，(13)式のV1，V2
は夫々 V1＝C1／CPVS，V2＝C0／CPVS となる。ここで差圧の測定に関しては、V2／V1∝ C0／C1∝ΔPの演算を行なうことにより求められ、誘 電率εに関してはV2の信号を利用して、 V2＝VS／CPC0＝VS／CP・Ｃ・ε (17) の演算で容易に算出することができる。
上記した実施例は、いずれも差圧又は圧力を測
定する本体の基本構造が、２枚の測定ダイヤフラ
ムをロツドで連結した、いわゆる一室構造のゼロ
点変動、静圧変動の補償に本発明を適用した例で
あるが、受圧ダイヤフラムを介して一枚の測定ダ
イヤフラムの両側に測定すべき圧力を受け、この
測定ダイヤフラムの変位より差圧又は圧力を測定
する、いわゆる二室構造の伝送器の場合にも、誘
電率εが(3)式に示すように温度変化ΔT及び静圧
変化ΔPの関数であることを利用して温度、静圧
変動に基づくゼロ点変動、スパン変動を補償する
ことができる。二室構造の場合は、その構造上の
特徴から、静圧変動によつて測定ダイヤフラムの
バネ定数が変化し、スパン変動の原因となりやす
い。従つて静圧変動のみを精密に補償する場合
は、誘電率に関する信号より温度変動に関する成
分を引いた信号を補償信号として用いればよい。
温度成分を引くためには、温度センサを別途設け
る必要があるが、温度センサは静圧変動を測定す
る圧力センサに比較すると構造的にも簡単に本体
内に設置できるので、全体構造はさほど複雑には
ならないで済む。このような構成にした場合でも
圧力センサが不要である点、本発明の効果は充分
に維持される。
定する本体の基本構造が、２枚の測定ダイヤフラ
ムをロツドで連結した、いわゆる一室構造のゼロ
点変動、静圧変動の補償に本発明を適用した例で
あるが、受圧ダイヤフラムを介して一枚の測定ダ
イヤフラムの両側に測定すべき圧力を受け、この
測定ダイヤフラムの変位より差圧又は圧力を測定
する、いわゆる二室構造の伝送器の場合にも、誘
電率εが(3)式に示すように温度変化ΔT及び静圧
変化ΔPの関数であることを利用して温度、静圧
変動に基づくゼロ点変動、スパン変動を補償する
ことができる。二室構造の場合は、その構造上の
特徴から、静圧変動によつて測定ダイヤフラムの
バネ定数が変化し、スパン変動の原因となりやす
い。従つて静圧変動のみを精密に補償する場合
は、誘電率に関する信号より温度変動に関する成
分を引いた信号を補償信号として用いればよい。
温度成分を引くためには、温度センサを別途設け
る必要があるが、温度センサは静圧変動を測定す
る圧力センサに比較すると構造的にも簡単に本体
内に設置できるので、全体構造はさほど複雑には
ならないで済む。このような構成にした場合でも
圧力センサが不要である点、本発明の効果は充分
に維持される。
＜効果＞
以上説明したように、本発明は封液を有する差
圧・圧力伝送器であればどのような形式のもので
も、その封液の誘電率の変化を検出することによ
り温度変動又は静圧変動の一方又は両方に起因す
るゼロ点変動又はスパン変動を、少なく共圧力セ
ンサのごとき複雑な構造を本体内に内蔵させるこ
となく簡単に実現することができる。
圧・圧力伝送器であればどのような形式のもので
も、その封液の誘電率の変化を検出することによ
り温度変動又は静圧変動の一方又は両方に起因す
るゼロ点変動又はスパン変動を、少なく共圧力セ
ンサのごとき複雑な構造を本体内に内蔵させるこ
となく簡単に実現することができる。
一室構造の差圧・圧力伝送器の場合は、変動の
発生要因が封液の体積変化（密度変化）に基づく
２枚の測定ダイヤフラムの有効面積差により発生
する割合が大きいので、本発明の補償方法によ
り、温度変動並びに静圧変動によるゼロ点変動、
スパン変動を、一個の加算点への補償信号の供給
という極めて簡単な回路構成で実現できる。しか
も静電容量変化を利用して変位を測定する形式で
あれば、特別な誘電率検出用のセンサを一切用い
ることなく補償が可能であり、高精度、高信頼度
の製品を低コストで実現できる。
発生要因が封液の体積変化（密度変化）に基づく
２枚の測定ダイヤフラムの有効面積差により発生
する割合が大きいので、本発明の補償方法によ
り、温度変動並びに静圧変動によるゼロ点変動、
スパン変動を、一個の加算点への補償信号の供給
という極めて簡単な回路構成で実現できる。しか
も静電容量変化を利用して変位を測定する形式で
あれば、特別な誘電率検出用のセンサを一切用い
ることなく補償が可能であり、高精度、高信頼度
の製品を低コストで実現できる。
第１図は従来の差圧伝送器のゼロ点変動補償、
スパン変動補償を説明する構成図、第２図、第３
図は温度、静圧の変動による誤差発生のメカニズ
ムを説明する模形図及び特性図、第４図は第１図
に本発明補償方法を適用した場合の基本構成を示
すブロツク線図、第５図は第４図を具体化した場
合の回路構成図、第６図はその動作説明図、第７
図は主要部の他の実施例を示す回路構成図、第８
図はスパン変動の補償も同時に行なう場合の実施
例を示す回路構成図、第９図は交流励振される静
電容量変化を利用する形の差圧・圧力伝送器に本
発明を適用した場合の回路構成図を示す。 C1，C2……静電容量、１……本体、２，３…
…ダイヤフラム、５……封液、１１……演算回
路、１２……出力回路、１９……誘電率演算回
路、２１……基準静電容量手段、ε……誘電率、
eTP……ゼロ点変動補償信号、eTP′……スパン変動
補償信号。
スパン変動補償を説明する構成図、第２図、第３
図は温度、静圧の変動による誤差発生のメカニズ
ムを説明する模形図及び特性図、第４図は第１図
に本発明補償方法を適用した場合の基本構成を示
すブロツク線図、第５図は第４図を具体化した場
合の回路構成図、第６図はその動作説明図、第７
図は主要部の他の実施例を示す回路構成図、第８
図はスパン変動の補償も同時に行なう場合の実施
例を示す回路構成図、第９図は交流励振される静
電容量変化を利用する形の差圧・圧力伝送器に本
発明を適用した場合の回路構成図を示す。 C1，C2……静電容量、１……本体、２，３…
…ダイヤフラム、５……封液、１１……演算回
路、１２……出力回路、１９……誘電率演算回
路、２１……基準静電容量手段、ε……誘電率、
eTP……ゼロ点変動補償信号、eTP′……スパン変動
補償信号。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 本体に固定され測定すべき圧力又は差圧を受
けて変位する受圧要素とこの受圧要素に囲まれ前
記本体内に封入された封液とを有し前記変位に関
連する信号を圧力・差圧信号として出力する圧
力・差圧伝送器において、前記封液が一対の静電
容量の中に満されこの静電容量の変化に応じてデ
ユテイ比が変化するパルス信号に変換しこれを用
いて誘電率信号を演算する誘電率演算手段と、前
記圧力・差圧信号に対して前記誘電率信号に関連
する信号を代数加算することにより前記受圧要素
に加わる静圧及び温度によるゼロ点変動を補償す
るゼロ点補償手段とを具備することを特徴とする
圧力・差圧伝送器。 ２ 本体に固定され測定すべき圧力又は差圧を受
けて変位する受圧要素とこの受圧要素に囲まれ前
記本体内に封入された封液とを有し前記変位に関
連する信号を圧力・差圧信号として出力する圧
力・差圧伝送器において、前記封液が一対の静電
容量の中に満されこの各静電容量の変化に応じて
デユテイ比が変化するパルス信号に変換しこれを
用いて誘電率信号を演算する誘電率演算手段と、
前記誘電率信号に前記パルス信号を乗算して得た
乗算信号が一端に入力され出力端に生じた出力信
号と誘電率信号とを所定割合で他端に負帰還しゼ
ロ変動とスパン変動とを分離する分離演算手段
と、前記圧力・差圧信号に対して前記出力信号に
関連する信号を代数加算することにより前記受圧
要素に加わる静圧及び温度によるゼロ点変動とス
パン変動を補償する補償手段とを具備することを
特徴とする圧力・差圧伝送器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58206725A JPS6098328A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 圧力・差圧伝送器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58206725A JPS6098328A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 圧力・差圧伝送器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6098328A JPS6098328A (ja) | 1985-06-01 |
| JPH047460B2 true JPH047460B2 (ja) | 1992-02-12 |
Family
ID=16528070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58206725A Granted JPS6098328A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 圧力・差圧伝送器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6098328A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0245031B1 (en) * | 1986-05-05 | 1993-07-14 | Texas Instruments Incorporated | Low cost high precision sensor |
| JP4862376B2 (ja) * | 2005-12-07 | 2012-01-25 | 横河電機株式会社 | 圧力伝送器 |
| JP5445020B2 (ja) * | 2009-10-20 | 2014-03-19 | 横河電機株式会社 | 電子式差圧・圧力伝送器 |
| CN102168994B (zh) * | 2010-12-29 | 2013-01-09 | 沈阳仪表科学研究院 | 一种硅电容多参量差压传感器及静压影响补偿方法 |
-
1983
- 1983-11-02 JP JP58206725A patent/JPS6098328A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6098328A (ja) | 1985-06-01 |
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