JPH02115096A - 気体および水溶液中に含有される揮発性有機ハロゲン化化合物の分解 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、シリカゲルを紫外線および／またはオゾンと
組み合わせて用いて、汚染された気体および水溶液中に
含有される揮発性有機化合物を分解る、方法および装置
に関る、。

（従来の技術） 紫外線が気体に含有される揮発性有機ハロゲン化化合物
を分解る、ことは良く知られている（米国特許第４．１
４４．１５２号および第４，２１０，５０３号を参照さ
れたい）。しかしながら、これらの化合物を急速に流動
る、水溶液から揮発させ２次いで紫外線で処理る、シス
テムを使用した場合、これらの化合物の分解率が不充分
であることが示されている。このようなシステムで紫外
線を用いて分解を行なう場合、紫外線が連続的に流動る
、ハロゲン化化合物を充分に分解る、だけの時間がない
。

これらの毒性があり、望ましくない化合物を含有る、流
動水溶液系は様々な場合に見られる。例えば、井戸水は
、これらの化合物を含むことが多いため、使用る、前に
浄化しなければならない。

さらに、多様な工業廃液も、これらの化合物を含んでい
る。その−例として、ハロゲン化溶媒で汚染された廃水
が挙げられる。

これらの化合物は有毒であるため、除去しなければなら
ない。従来の有毒物質分解システムは。

−船釣には流動る、溶液からハロゲン化化合物を空気中
へ揮発させるものでり、この汚染された空気は１次いで
大気中へ放出される。それ故、有害な大気汚染を招くこ
とになる。

（発明の要旨） 本発明は、気体および水溶液中に含有される揮発性の有
機ハロゲン化化合物を分解る、方法および装置を提供る
、。

本発明は、ある局面においては、気体および水溶液中に
含有される有機化合物を分解る、装置であり、以下のも
のを包含る、：ａ）汚染された水溶液をオゾンに曝すと
同時に該溶液中の有機化合物に紫外線を照射して酸化し
、該溶液から有機化合物を揮発させる反応槽であって、
溶液を注入る、少なくとも１つの注入口と、溶液を排出
る、少なくとも１の排出口と、該注入口に近接して配設
された。該槽内の汚染された溶液にオゾンを導入る、少
なくとも１つの気体拡散管と、紫外線照射手段とを備え
た反応槽；ｂ）空気からオゾンを生成させてオゾン−空
気混合物を調製し、該オゾン空気混合物を汚染された溶
液と反応る、ように該反応槽に導入る、。少なくとも１
つの気体拡散管に連結されたオゾン生成手段；およびＣ
）反応槽に連結され、気体中に含有される揮発した有機
ハロゲン化化合物を分解る、有毒物質分解ユニットであ
って、揮発した有機化合物を照射る、複数の照射手段と
、オゾンおよび有機化合物を吸着る、多孔質吸着層とを
備え、該多孔質吸着層が該照射手段の周囲に該気体中の
該揮発性有機ハロゲン化化合物の減少を促進る、のに効
果的な距離をおいて配設された有毒物質分解ユニット。

上記照射手段としては、紫外線ランプを使用る、ことが
でき１石英管内に内設してもよい。また。

上記多孔質吸着層は、好ましくはシリカゲルであり、吸
着層を加熱る、手段を包含し得る。

本発明は、他の局面においては、気体中に含有される揮
発性有機化合物を分解る、装置であり。

以下のものを包含る、：ａ）気体供給口、気体排出口、
および該気体供給口と該気体排出口との間に気体流動経
路を備えたハウジング；ｂ）該気体流動経路中に位置し
、オゾンおよび気体状の揮発性有機ハロゲン化化合物を
吸着し得る多孔質吸着層；およびＣ）該気体中の該揮発
性有機化合物の減少を促進る、のに効果的な距離をおい
て該多孔質吸着層の周囲に配設されている紫外線照射手
段。

本発明の上記装置は、多孔質吸着層をオゾンに曝す手段
をさらに包含し得る。

本発明は、さらに他の局面においては、気体中に含有さ
れる揮発性有機ハロゲン化化合物を分解る、装置であり
、以下のものを包含る、：ａ）気体供給口、気体排出口
、および該気体供給口と該気体排出口との間に気体流動
経路を備えたハウジング；ｂ）該気体流動経路中に位置
し、オゾンおよび気体状の揮発性有機ハロゲン化化合物
を吸着し得る多孔質吸着層；およびＣ）該気体中の該揮
発性有機化合物の減少を促進させるために、該多孔質吸
着層をオゾンに曝す手段。

本発明は、さらに他の局面においては、気体中に含有さ
れる揮発性有機ハロゲン化化合物を分解る、方法であり
、揮発性有機化合物を含有る、気体を、シリカゲルを含
む多孔質吸着層に通過させる際に、該気体中の揮発性打
機ハロゲン化化合物を分解る、のに効果的な時間にわた
って、該多孔質吸着層に紫外線を照射しながら、および
／または該多孔質吸着層をオゾンに曝しながら通過させ
ることを包含る、。

本発明は、さらに他の局面においては、水溶液中に含有
される揮発性有毒化合物を分解る、方法であり、ａ）該
水溶液中にキャリアーガスを通過させることにより、汚
染された水溶液から揮発性有機ハロゲン化化合物を該キ
ャリアーガス中へ揮発させること、およびｂ）シリカゲ
ルを含む多孔質吸着層に紫外線を照射しながら、および
／または該多孔質吸着層をオゾンに曝しながら、該キャ
リアーガスを該多孔質吸着層に通過させ、該気体中の揮
発性有機ハロゲン化化合物の分解を充分に行うこと、を
包含る、。

本発明の上記方法においては、水溶液を連続的に流動さ
せることが可能であり、連続的に流動している該水溶液
に前記キャリアーガスを戻して揮発性有機ハロゲン化化
合物を揮発させることにより、かつ多孔質吸着層に紫外
線を照射しながら。

および／または該多孔質吸着層をオゾンに曝しながら、
戻された該キャリアーガスを該多孔質吸着層に通過させ
ることにより、該キャリアーガスを再利用して揮発性有
機ハロゲン化化合物をさらに揮発させることをさらに包
含る、。

従って２本発明の目的は、揮発性有機ハロゲン化化合物
を充分に分解し得る方法および装置を提供る、ことであ
り、これにより、流動る、溶液から揮発した。あるいは
流動る、気体系に含有される揮発性有機ハロゲン化化合
物は、完全にまたは実質的に分解され得る。

本発明の他の特徴および利点に関しては９本発明の原理
を実施例を挙げて詳細に説明る、。以下の記述から明ら
かになる。

（以下余白） （発明の構成） 第１図には、１５〜４０ｐｐｂの濃度のトリクロロエチ
レンを含む給水の浄化に適したシステム１０が示されて
いる。システム１０は、典型的には１分間に２０〜３０
ガロンの水を注入る、ことが可能な水注入口１２．一連
のバッフル１６を有る、反応槽１４．および水排出口１
８を備えている。トリクロロエチレンで汚染された水は
、注入口１２から注入され、バッフル１６を通って排出
口１８から排出される。バッフル１６は１反応槽１４の
幅全体には伸びておらず、バッフル１６の側面を回って
水が流動る、ように１反応槽１４内に配設されている。

バッフルをこのように設計る、ことにより、汚染された
水が逆流して。

浄化された水と混合る、ことが防止されると共に。

反応槽１４内の水金体へのオゾン拡散がより促進され得
る。

反応槽１４には、１８５〜２５４ｎｍの数種の波長を含
む電磁放射線を供給る、３０個の４０ｗ紫外線ランプ２
０が備えられている。反応槽１４の注入口１２付近には
、２個の拡散管の導入口２２が設けられている。

該導入口は、オゾン生成装置２４により生成されたオゾ
ン−空気混合物を反応槽１４へ注入る、と共に。

この混合物を反応槽１４内の溶液全体に拡散させる機能
を有る、。反応槽１４内のオゾン−空気混合物は、紫外
線ランプ２０から出射された紫外線の既知の分解作用と
共に作用し、溶液中の大部分のトリクロロエチレンを酸
化させる。

コンプレッサー２６はオゾン生成装置２４に空気を供給
る、。コンプレッサー２６とオゾン生成装置２４との間
には乾燥器２８が設けられ、供給される空気中に水分が
存在る、ことによりオゾン生成装置の効率が低下しない
ようになっている。

オゾンおよび紫外線で水を処理した後、オゾン−空気混
合物により揮発したトリクロロエチレンおよび他の揮発
性化合物は、コンプレッサー３ｏによって有毒物質分解
ユニット２９に送り込まれる。有毒物質分解ユニット２
９は、実質的には多孔質のシリカゲルを含むカラム（石
英片も本発明に使用し得る）からなる。該カラムには、
それを照射る、ための６個の４０ｗ紫外線ランプ３１が
配置されている。以下で考察る、ように、揮発性有機ハ
ロゲン化化合物（例えば、トリクロロエチレン）を含む
気体をシリカゲルまたは石英片の層に通過させ。

核層に紫外線を照射る、ことにより、これらの化合物の
分解率は実質的に向上る、。このように。

有毒物質分解ユニット２９は２反応槽１４内における紫
外線およびオゾンの作用で分解されなかったトリクロロ
エチレンを分解る、。有毒なトリクロロエチレンは、は
ぼ完全に分解されることになる。

有毒物質分解ユニット２９で処理した後、オゾンをある
程度含む処理済の気体は、コンプレッサー３０により脱
気装置３２へ送り込まれる。脱気装置３２には、実質的
に有毒物質が除去された水（揮発性１ｒｍハロゲン化化
合物が揮発し、さらに反応槽１４内でオゾンおよび紫外
線により処理された水）が。

反応槽１４の排出端部から注入される。脱気装置３２に
は、残存しているオゾンを分解る、紫外線を供給る、た
めに、６個の紫外線ランプが備えられている。また、脱
気装置３２には、システム内に補給用空気を加えるため
の空気導入口３６が設けられている。

脱気装置３２にはレベル計３７が接続されており。

脱気装置３２が有毒物質除去後の水で満たされると。

レベル計３７と遠心ポンプ３８との間のフィードバック
システムが働いてポンプ３８を駆動し、水を脱気装置３
２の底部から反応槽１４へ送り返す。ポンプで送り返さ
れた水は未揮発または未分解のハロゲン化化合物を含有
していることがある。従って、これらの化合物は、シス
テムに戻され、さらに処理され、そして酸化される。

脱気装置３２によりオゾンが除去された空気は。

コンプレッサー２６に戻され、この再利用される空気は
補給用空気と混合される。コンプレッサー２６は、この
混合気体を空気乾燥器２８に送り込み、空気乾燥器は乾
燥空気をオゾン生成装置２４に送り込む。従って、気体
または揮発性有機物は決して大気中に放出されることは
ない。

このように、飲料水中のほぼ全ての有毒なトリクロロエ
チレンを分解る、経済効率の高いシステムが提供される
。有毒物質分解ユニット２９は９例えば以下に記載の他
の揮発性有機ハロゲン化化合物をも分解る、ことができ
る。従って、この同様のシステムは以下のいかなる化合
物で汚染された水の浄化にも使用し得る二四塩化炭素、
テトラクロロエチレン、塩化ビニル、三臭化エチレン、
塩化メチレン、１．１．１−）リクロロエチレン、クロ
ロベンゼン、ヘキサクロロエタン、１．１−ジクロロエ
タン、　１，１．２−　トリクロロエタン、　１．１，
２．２−テトラクロロエタン、ビス（クロロメチル）エ
ーテル、ビス（２−クロロエチル）エーテル、２−クロ
ロエチルビニルエチル（混合）、クロロボルム、　１．
２−’；／ｙロロベンゼン、ｌ、３−ジクロロベンゼン
、１．４−ジクロロベンゼン、１，１−ジクロロエチレ
ン、１．２−）ランスジクロロエチレン。

１＋２−ジクロロプロパン、１，２−ジクロロプロピレ
ン、ビス（２−クロロイソプロピル）エーテル。

ビス（２−クロロエトキシ）メタン、塩化メチル。

臭化メチル、ブロモホルム、ジクロロブロモメタン、ト
リクロロブロモメタン、トリクロロフルオロメタン、ジ
クロロフルオロメタン、クロロジブロモメタン。

第２図には、塗料の剥離作業の際に生ずる典型的な副産
物である化合物、すなわち塩化メチレンおよびフェノー
ルを廃水から除去る、のに適したシステム１００が示さ
れている。４．０００ｐｐｍまでの塩化メチレンで汚染
され、さらにフェノールで汚染された廃水は、１分間に
３〜４ガロンの割合で。

ポンプ１１０によって槽１１２から送り出される。この
廃水は熱交換器１１６を通り９次いでヒーター１１８に
よって約７５〜８０℃に予め加熱される。その後。

反応槽１１４へ流入る、。反応槽１１４には、一連の内
部ヒーター１２０が配設されており、廃水の反応温度が
一定に保たれる。反応温度を一定に保つことにより、フ
ェノールの酸化が促進され、塩化メチレンの気化率およ
び分解率も増加され得る。

反応槽１１４は不透過性の壁１２２を有し、第１部分１
２４と第２部分１２６とに分割される。第１部分１２４
内には、内部ヒーター１２０および４つのバッフル１２
８が配設されている。バッフル１２８は、水が逆流して
混ざり合うのを防止る、ために、槽１１４の片方の端に
のみ達る、ように設計されている。

この設計により、−組の気体拡散管１４０を介して槽１
１４に導入された気体の拡散が促進され得る。

また、槽１１４は、このシステムに補給用空気を供給る
、ための空気導入口１３０を有る、。槽１１４には、槽
内の水位を示すレベル計１３１を配設し得る。

コンプレッサー１３２は、気体拡散管１４０を介して導
入された気体によって揮発した塩化メチレンを含有る、
空気を、槽１１４の上部から有毒物質分解ユニット１３
４へ送り込む。有毒物質分解ユニット１３４は、有毒物
質分解ユニット２９と実質的に同様のものである。有毒
物質分解ユニット１３４は。

揮発した塩化メチレンを分解る、ように設計されており
、実質的には多孔質のシリカゲル層（または石英片）で
ある。この多孔質のシリカゲル層（または石英片）は、
紫外線を発る、８個の４０ｗ紫外線ランプ１３５により
照射される。該紫外線は１８５〜２５４ｎｍのいくつか
の波長のものを含んでいる。

有毒物質分解ユニット１３４が有毒物質分解ユニット２
９と同様であることから、システム１００はシステム１
０が分解し得る全く同じ揮発性有機ハロゲン化化合物を
分解る、ことができる。

第２図に示されているように、廃水には、槽１１４に注
入される前に、Ｈ２０□およびＦｅ５Ｏａの溶液（隔壁
ポンプ１３８により槽１３６から送り込まれる）が添加
される。この溶液はフェノールを酸化る、作用を有し、
上で考察したように、廃水が加熱される場合に最も効率
的に働く。

塗料の剥離作業に伴う廃水が、典型的に、以下の元素の
痕跡量を含むことに注目すべきである。

旦　　　　　　　　　（１３」徂） クロム　　　　　　　　５１．０ 亜鉛　　　　　　　　　１０．０ ｆｌｏ、０５ ニッケル　　　　　　　　０．０６ カドミウム　　　　　　　０．０２ 鉛　　　　　　　　　　　　　　０．２フエノールに対
る、酸化触媒として作用る、Ｆｅ５０゜は、廃水中に既
に存在る、これら元素のうち１種またはそれ以上の元素
がフェノール酸化触媒として働く場合には、必ずしも添
加る、必要はない。

有毒物質分解ユニット１３４における処理の後。

コンプレッサー１３２は気体をユニット１３４の上部か
ら送り出し、一連の気体拡散管１４０に通過させる。気
体拡散管は、これら気体を槽１１４の第１部分１２４に
気泡を形成させながら注入る、。このように処理された
気体は、塩化メチレンがほぼ完全に除去されている。な
お、塩化メチレンは分解されて主としてギ酸となってい
る。第２図に示すように、これら気体はコンプレッサー
１３２によって第１部分１２４の中央部付近から送り出
される。廃水が４つのバッフル１２８のうちの最初の２
つを通過し、第１部分の中央部付近に位置る、ころには
。

廃水から大部分のハロゲン化化合物が揮発している。従
って、壁１２２付近の水は実質的に浄化されている。ユ
ニット１３４で処理された気体は、第１部分１２４の全
部分に戻されるが、これらの気体は解毒されたものであ
るため、壁１２２付近の水の有毒性を高めることはない
。

壁１２２付近の浄化された水は遠心ポンプ１４２によっ
て槽１１４の第２部分１２６へ送り込まれる。また、オ
ゾン生成装置１４６によって生成されたオゾンは、−組
の気体拡散管１４４を介して第２部分１２６に送り込ま
れる。浄化された水およびオゾンは第２部分１２６内で
混合され、フェノールの酸化により生じる中間体の脂肪
酸を酸化る、。そして、オゾンは第２部分１２６の上部
からオゾン分解装置１５２へ送られる。オゾン分解装Ｗ
１５２では酸素が生成し、大気中へ放出される。

オゾン生成装置１４６に送り込まれる空気は、まずエア
フィルター１４８および空気乾燥器１５０を通過る、。

エアフィルター１４８は送り込まれた空気を濾過し、空
気乾燥器はこの空気を乾燥させる。

オゾン生成装置１４６を冷却る、ために、該オゾン生成
装置１４６へ水がポンプで送り込まれる。

第２部分１２６は、−船釣には、はとんど水で満たされ
ており（第１部分１２４の水量は１通常約半分であり、
水面には泡の層が存在る、）、水は排出口１５４を介し
て第２部分１２６の上部付近からポンプで送り出される
。従って、排水は、フェノール、塩化メチレン、および
ギ酸が完全に（あるいは、はぼ完全に）除去されており
、環境へ放出しても安全である。

第２部分１２６から排出される水は、その流動経路にお
ける数個所で加熱されるため、温度が高い。

熱交換器１１６は、この排水の熱を利用して、注入水が
槽１１４に送り込まれる前に、この注入水を予め加熱し
、エネルギーの節約を図っている。あるいは、第２部分
１２６から排出される水を、バイパス１５６に通過させ
ることもできる。このバイパス１５６は、熱交換器１１
６を迂回しており、再浄化のために排水を槽１１４に送
り込む。

第２部分１２６は、さらにレベル計１５５を有る、こと
ができる。また、システム１００には、いずれの個所に
おいても、流量計および水温計（図示していない）を設
けることができる。コンプレッサー１３２には、流量を
調節る、ために、バイパス１５８を設けることができる
。このバイパス１５８は、有毒物質分解ユニット１３４
から排出される気体を。

コンプレッサー１３２に通過させずに迂回させる。

システム１００を使用して、揮発性有機ハロゲン化化合
物を含むが、フェノールは含まない廃水の浄化を行なう
こともできる。フェノールを含まない廃水を処理る、場
合には、この廃水にＨｚ（ｈおよびＦｅ５Ｏａを添加る
、必要は全くない。

ゝ”ユニットの云゛日 第４図にはシステム３０６が示されている。システム３
０６は、有毒空気供給口３１０および典型的な有毒物質
分解ユニッ）　３０８を包含る、。該システム３０６は
、さらに、電気的制御パネル３１４．電源３１６、およ
び電線３１８．３２０．３２１を包含る、。有毒物質分
解ユニット３０８．電気的制御パネル３１４゜および有
毒な空気または気体を有毒物質分解ユニット３０８に送
り込むコンプレッサー３２２は、すべて台３２６上に設
置されている。

存置物質分解ユニット３０８は、システム３０６の他の
部分と共に、システム１０またはシステム１００のいず
れの有毒物質分解ユニット部分としても使用され得る。

第５図には、有毒物質分解ユニッ）　３０８の線５−５
に沿った断面図が示されている。有毒物質分解ユニット
３０８は、キャップ３３０および３３２をそれぞれ上端
および下端に備えたハウジング３２８を有る、。ハウジ
ング３２８には６〜１６メツシユの多孔質シリカゲル層
３３４（あるいは１石英片の多孔質層を使用し得る）の
周辺に、および複数の４０ｗ低圧高強度紫外線ランプ３
３６の周辺に、ハーメチックシールが施されている。有
毒な気体は、空気供給口３１０を介して流入し、シリカ
ゲル層３３４を通って、排出口３１２により流出る、。

紫外線ランプ３３６から出射される紫外線は、シリカゲ
ルＮ３３４に照射され、気体中の揮発性有機ハロゲン化
化合物の分解を促進る、働きをる、。開口部３４２およ
び３４４にそれぞれ位置る、ランプのリード線３３８お
よび３４０は、電線３２１および３２０からの電力を紫
外線ランプ３３６に供給る、。

第６図は、有毒物質分解ユニット３０８の線６−６に沿
った断面図を示す。第６図には、４８個の紫外線ランプ
３３６が示されているが１本発明の他の装置においては
、ランプ数を増減る、ことができる。

（実施例） システム１０およびシステム１００は１両者とも工業的
用途に適しているが、これらのシステムを開発る、前に
１本発明の発明者らは、揮発性有機ハロゲン化化合物を
分解る、効率を測定る、ために。

原型の有毒物質分解ユニットを用いて実験を行なった。

一連の実験（結果は表Ａに示す）において、揮発性有機
ハロゲン化化合物を含む気体を、紫外線が照射されたシ
リカゲル層に通過させることにより、該化合物を分解る
、効率が実証された。

表Ａに結果が示された実験においては、第３図に示され
ている直径２インチの有毒物質分解ユニットと、直径以
外のすべての点で同様の直径１インチの有毒物質分解ユ
ニットが使用された。５３ｐｐｍの塩化ビニルを含有る
、圧縮空気の入ったボンベから、圧縮混合気体が有毒物
質分解ユニットに４ｆ／ｗｉｎの割合で１５分間送り込
まれた。その後、処理済の気体は活性炭層に通過させた
。活性炭が塩化ビニルを吸着る、ことは知られている。

従って未分解の塩化ビニルは活性炭層に残存る、ことに
なる。未分解の塩化ビニルの量を測定る、ために。

活性炭でガスクロマトグラフィーを行なった。この測定
により１分解率を容易に知ることができる。

１八 このように、実験番号４（シリカゲルを使用しない）に
おける残存率を、実験番号２（シリカゲル層に紫外線を
照射る、）の残存率と比較る、と。

塩化ビニルの分解率は、シリカゲル層に紫外線を照射し
た方が、はるかに高いことがわかる。

有機ハロゲン化化合物を含む空気を、紫外線が照射され
ているシリカゲル層に通過させる別の一連の実験を行っ
た。その結果を表１に示す。

（以下余白） 第３図には２本質的に表１でまとめられた実験に使用さ
れた装置である基本的な触媒分解テスト装置２１０が示
されている。槽２１６およびボトル２１８には揮発性有
機ハロゲン化化合物を含む水溶液が入っており、これら
の化合物を含む空気は、槽２１６あるいはボトル２１８
より揮発したものである。

テスト装置２１０の多様な具体例が使用された。

バルブＡ〜Ｈは、これらの化合物を含む空気がテスト装
置２１０の種々の具体例に通される場合の。

種々の空気流路を図示している０表１において。

第１．第３および第５の実験グループでは、空気流動が
「開放」と記載されている。これは空気が有毒物質分解
ユニット２１２の底部から流路２１９を通り、撹拌ボト
ル２１４に流入る、ことを意味している。ボトル２１４
は分解されなかった有機ハロゲン化化合物を捕捉る、。

これらの実験グループにおいては、ユニット２１２から
の空気は、槽２１６またはボトル２１８には流入してい
ない。これはバルブＡおよびＢを閉じ、バルブＨを開く
ことによって可能となる。

第２および第４の実験グループにおいては、空気流が「
循環」と記載されている。これは、空気がコンプレッサ
ー２２５によって送り出され、流路２２３あるいは２２
１を通って槽２１６あるいはボトル２１８に戻されるこ
とを示している。これはバルブＡおよびＢを開き、バル
ブＨを閉じることによって可能となる。

有毒物質分解ユニツ）　２１２は９本質的には、その中
央を貫通る、紫外線ランプ２２０を有し、そして、加熱
テープ２２４に囲まれた粒状シリカゲル層を備えた密閉
円筒形ハウジングである。シリカゲル層２２２を加熱る
、加熱テープ２２４は、各実験の合い間に作動させ、同
時に窒素ガスをシリカゲル層に通した。この加熱／窒素
処理は一時的に有毒物質分解ユニットの効果を高めるが
、この処理を行わない場合も結果は良好であった。

表１にまとめられた多様な実験において、槽２１６ある
いはボトル２１８から流出した空気は、有毒物質分解ユ
ニット２１２の上部に流入し、シリカゲル層２２２を通
り、有毒物質分解ユニット２１２の下部から流出る、。

これらの実験では、有毒物質分解ユニット２１２のいく
つかの異なる具体例が使用された。第３図に示されてい
るユニット２１２は直径２インチのハウジングを有して
いるが、有毒物質分解ユニットの他の例では１表１に示
されているように種々の直径を有る、ハウジングを備え
ていた。補給用空気導入口２３０が示されているが、こ
れはシステム内で失われた空気を補うために使用され得
る。

バルブＧを閉じるとボトル２１８を使用しない状態が可
能となり、このことは、気体が経路２２１には通されず
、槽２１６から該ユニットへの気体の供給は開放経路２
２３を介して行われることを示す。

槽２１６およびボトル２１８は同等の機能を有る、ため
２種々の実験においてそのいずれを使用る、かは重要な
問題ではない。したがって、実際にいずれが使用された
のかは表１に記載されていない。

バルブＣおよびＦ、そしてＤおよびＥについては、ユニ
ット２１２においてさらに異なる２つの実施態様が可能
であることが図示されている。そのうちのひとつの実施
態様においては、ユニット２１２の側方より空気が出入
りしくバルブＣおよびＥを開くことによることが図示さ
れている）、そして他の実施態様においては、ユニット
２１２の上端および下端より空気が出入りる、（バルブ
ＦおよびＤを開くことによることが図示されている）。

実際に使用されたユニット２１２の実施態様がいずれで
あるかは、実験結果において重要でない。したがって表
１には記載されていない。

バルブＩおよびＪ、そしてＫおよびＬにおいては２表１
に示されるように、水は流動経路２２９および２３１の
一方を通って流れるか、あるいはバッチ処理されること
が図示されている。

塩化ビニル（ＣＵＺ・ＣＩＣＩ）の場合には、該化合物
は槽２１６またはボトル２１８の溶液から揮発したもの
ではなく、空気と塩化ビニルとの混合物を含む圧縮シリ
ンダーから放出されたものであった。該混合物は有毒物
質分解ユニット２１２に通された後。

ボトル２１４ではなく活性炭カラムトランプ（図示しな
い）に通された。

表１の「分解率（％）」の欄に示されているように、を
毒物質分解ユニット２１２は、テストされたすべての有
機ハロゲン化化合物を効果的に分解した。テスト装置２
１０によって最初に行われた一連の実験では、ハロゲン
化化合物の分解率がある点で降下傾向を示した。さらに
他の実験が行われた後に、窒素ガスが層に通され、窒素
ガスが核層の分解作用を完全に再生できるか否かが判定
された。分解率は約９８％にまで回復し、実際に再生効
果があったことが示された。

表１および表Ａにまとめられた実験結果に基づいて、シ
リカゲル層がハロゲン化化合物を分解る、のを補助る、
次の２つの機能があるという仮説がたてられる： （１）層が化合物を吸収し、その広い表面領域に濃縮る
、ことにより、該利用しやすい、濃縮された化合物の紫
外線による分解が促進される。

（２）層は、紫外線による分解を促進る、ような触媒効
果を有る、と思われる。

このように、紫外線および／またはオゾンにさらすごと
を包含しシリカゲルを利用した典型的な有毒物質分解ユ
ニットは、その形を改変した多様なシステムにおいて利
用可能であり１種々の揮発性有機ハロゲン化化合物が分
解される。紫外線および／またはオゾンにより分解され
得、さらに水溶液から揮発し得る有機ハロゲン化化合物
のいずれもが、有毒物質分解ユニットにより分解可能で
あると考えられる。そのような揮発性有機ハロゲン化化
合物には１次の化合物が包含されるがこれらに限定され
ない： （以下余白） テトラクロロエチレン；塩化ビニル；四塩化炭素；エチ
レンジブロマイド；メチレンクロライド；１．１．１−
トリクロロエタン；クロロベンゼン；ヘキサクロロエタ
ン；１，１−ジクロロエタン；　１，１．２トリクロロ
エタン；　１，１，２．２−テトラクロロエタン；クロ
ロエタン；ビス（クロロメチル）エーテル；ビス（２−
クロロエチル）エーテル；２−クロロエチルビニルエー
テル（混合）；クロロホルム；１，２−ジクロロベンゼ
ン；１，３−ジクロロベンゼン；１，４−ジクロロベン
ゼン；１，１−ジクロロエチレン、　１．２−　）ラン
スジクロロエチレン；１．２−ジクロロプロパン；１，
２−ジクロロプロピレン；ビス（２−クロロイソプロピ
ル）エーテル；ビス（２−クロロエトキシ）メタン；メ
チルクロライド；メチルブロマイド：ブロモホルム；ジ
クロロブロモメタン；トリクロロブロモメタン；トリク
ロロフルオロメタン；ジクロロフルオロメタン；クロロ
ジブロモメタン；および１．２．ジブロモ−３−クロロ
プロパン。

１旌炭Ｉ チ・・ブ　　　いた　　　　　”ユニ　トシリカゲル層
が、紫外線と組み合わせると、トリクロロエチレンの分
解を高めると判定されたため、従来の向流空気ストリッ
ピングタワーと類似の機能を備え、わずかに改変が加え
られた装置が製作された。この改変された装置（図示し
ない）においては、水が下向きにアルミニウムチップ層
を通って通過し、そして空気が層を通って上向きに通過
る、。次に、その空気は、直径１インチの有毒物質分解
ユニットに流入る、。そのユニットは、紫外線照射され
たシリカゲル層または多孔性石英チップを備え、そして
、第３図に示されている直径２インチの有毒物質分解ユ
ニット２１２と直径以外のすべての点で同等である。

この装置を用いることにより１石英チップ層もまた。ト
リクロロエチレンの分解率を高めることが実証されたが
、シリカゲル層を使用した場合はど高レベルにはならな
かった。

向流空気流によってアルミニウムチップ層内で水からハ
ロゲン化化合物をストリッピングる、これらの実験結果
と１表１および表Ａにまとめられた実験結果とを総合し
て判断る、と１本発明の有毒物質分解ユニットは、従来
の向流水／空気ストリッピングタワーからの汚染空気を
受は入れ、浄化る、ことができるということがわかる。

通常。

水／空気ストリッピングタワーから流出る、汚染空気は
、単に大気中に排出される。

他の実験によってもまた１本発明の有毒物質分解ユニッ
トが、乾燥空気、湿気を含む空気、あるいは水分飽和状
態の空気のいずれに含まれる揮発性有機ハロゲン化化合
物も分解できるということが実証された。

これらすべての実験に使用される場合には、紫外線は１
８５から２５４ｎｍの間の波長のいくらかを含む複数の
波長が含まれていた。報告されない一連の実験では、紫
外線の波長がハロゲン化化合物の分解率に影響を与える
か否かという判定が行われた。これらの実験では、以下
にその詳細が説明されるが、有機ハロゲン化化合物の溶
液にオゾンが加えられ、さらにその溶液に紫外線が照射
された。

有機ハロゲン化化合物の水溶液は、１個の４０ワツト紫
外線ランプが中央に備えられた反応槽に導入された。ま
た、槽の底からオゾン／酸素、またはオゾン／空気、あ
るいはオゾン／窒素の混合物が供給された。

これらの実験では、２種類の異なった４０ワツトの紫外
線ランプが使用された。これらのランプの双方とも２５
４ｎｌ１１１でそのエネルギーの大部分を放出した。こ
れら２種のランプのうち１種は、　１８５　ｎｍでその
エネルギーの一部を放出したが、その量は総エネルギー
量の１％未満であった。１８５ｎｍ成分を有る、ランプ
を使用る、ことにより、１．２−ジブロモ−３−クロロ
プロパン、種々のＰＣＢ　、　　リンデンおよびヘキサ
クロロベンゼンの分解率は、１８５ｎｍ成分を持たない
ランプによる分解率の３倍に増大した。このように、こ
れらのハロゲン化化合物の酸化率は、　１８５ｎｍのエ
ネルギーの割合を増加させると高くなる。これらの結果
は論理的に推定可能であり、そして、他のハロゲン化化
合物の分解率もまた。そのエネルギーの１％を超える量
を１８５０Ｉ１１で放射る、ランプを用いることにより
増大る、であろうことが理解され得る。しかし、ペンタ
クロロフェノールの紫外線照射−オゾン処理用に。

エネルギーの幾分かを１８５ｎｍにおいて放出る、ラン
プ、あるいは全くこれを放出しないランプのいずれを用
いても、紫外線を用いずにオゾンを使用した場合に比べ
て、酸化率かわずかに１０％増加しただけであった。

表２ 表２にまとめられた一連の実験において、　８．０２を
加えた後に紫外線照射した場合に、水溶液中のある種の
有機化合物の酸化率は、該溶液の温度を８０℃に上げる
ことによって増大る、ことが実証された。

＊ＲＴは９反応が室温で行われたことを示す。

傘車　時間は、紫外線照射時間を示す（単位：分）。

本本ネ処理の開始時（時間＝Ｏ）およびそれに続く記載
された時間の処理後における化合物濃度が「有機炭素の
総量」の欄に示されている。

（以下余白） 室温で行われたテストと８０℃で行われたテストとを比
べると１反応塩度が高（なれば表２に記載されたすべて
の化合物の酸化率が高くなることが理解され得る。報告
されていない一連の実験において１反応塩度を８０’Ｃ
に上げると、以下に記載る、化合物の溶液の（酸化のた
めに紫外線およびＨ，Ｏ□を利用したシステムにおける
）酸化率もまた増大る、ことが示された。

Ｃ）ホルムアルデヒドおよびギ酸 ｄ）クエン酸およびシュウ酸 ｅ）フェノールおよびメチレンクロライドｆ）フェノー
ルおよびイソプロピルアルコールある種の長鎖アルコー
ルの酸化率は、紫外線およびＨ２０□を使用した時に、
温度を上げても増大しないことが観察された。

他の一連の実験において、水溶液に紫外線照射およびオ
ゾン添加を行う場合の該水溶液中のある種の化合物の酸
化率は、該溶液の温度を８０″Ｃに上げることによって
、増大る、ことが示された。その結果を表３にまとめて
示す。

表３ ８０℃にお６るＵＶ１０　ニよる の ＊ＲＴは反応が室温で行われたことを示す。

＊傘　時間は、紫外線処理時間を示す（単位：分）。

＊ｓ＝本ＴＯＣは、処理開始時（時間＝Ｏ）およびそれ
に続く記載された時間の処理後における有機炭素濃度の
総量を示す。

本＊＊＊Ｎ、Ｄ、は検出されなかったことを示す。

室温で行なわれたテストと８０℃で行なわれたテストと
を比較る、と、温度を上げると酸化率が増大る、ことが
わかる。報告されていない一連の実験においては、酸化
のために紫外線およびオゾンを用いたときの酸化率は、
　ＢａｔａｃｈｌｏｒおよびＥＤＴＡの両者について、
温度を８０℃に上げることにより増大した。

このシステムを使用した場合にはまた。長鎖アルコール
の酸化率は温度を上げても増加しないことが観察された
。

災施斑ｉ 紫外線および／またはオゾンにさらすことにより揮発性
ハロゲン化化合物を有毒物質分解ユニットが分解る、効
果を実証る、ために、さらに付加的な実験が典型的なユ
ニットを使用して行われた。

この一連の実験において、第３図に示された有毒物質分
解ユニット２１２に類似した直径１．３インチの有毒物
質分解ユニットであって２次のように改変されたユニッ
トが使用された。この有毒物質分解ユニットは１粒状シ
リカゲルのカラムを包含し。

該シリカゲルを所定の位置に保持る、ために両端にクラ
スウールプラグを備えたガラスの円筒形ノλウジング、
および該円筒形ハウジングを密閉る、ために上端と下端
にシリコーンゴムストッパーが備えられている。ストッ
パーには気体流入口および排出口が設けられている。シ
リカゲル層の温度は、第３図に示されるように２円筒形
ハウジングの外側を包んでいる加熱テープ２２４によっ
て調節される。上端が閉じられたガラスシリンダー（容
量２リツトル）もまた使用され、トリクロロエチレン（
ＴＥＣ）を包含る、１８００ｄの水が満たされた。

空気ポンプからの圧縮空気が、ガラスシリンダー中のＴ
ＣＥ溶液に選択された流速で通され、そして排出管を介
してガラスシリンダーから排出され。

有毒物質分解ユニットの底部へと送り込まれた。

ガラスシリンダーからの排出用の排出管には、オゾンを
導入る、ためのオゾン流入口が設けられた。

ＴＥＣ溶液を含むガラスシリンダーから排出された気体
は、このように、有毒物質分解ユニットに送り込まれ、
シリカゲル層を通って、ユニットの上端から排出された
。

有毒物質分解ユニットから排出される気体中にＴＣＥお
よび他の揮発性化合物が残存している場合には、それら
を捕捉る、ために、ヘキサントラップが設けられた。こ
のトラップは、２００−のヘキサンが入った気体洗浄ボ
トル（ＶＷＲ５ｃｉｅｎｔｉｆｉｃ　１ｎｃ、、Ｃｅｒ
ｒｉｔｏｓ＋　ＣＡ）である。有毒物質分解ユニットか
ら排出された気体のうちの全部あるいは１部がこのトラ
ップに通された。

このテスト装置により、　ＴＣＥを含む溶液の一回分を
テストる、手段が提供された。追加のテストにおいて、
溶液にＴＣＥを補充る、ために、所定の間隔をおいてガ
ラスシリンダー内の溶液にＴＣＥが追加された。紫外線
照射を利用した実験では１円筒形ハウジングには、該シ
リンダーの中央部を貫通る、４０ワツトの紫外線ランプ
２２０（長さ７４ｃｍ）が含まれていた。オゾンに対る
、暴露を行う実験では、紫外線ランプは取り外されてい
た。上記テープの温度は、　Ｖａｒｉａｃ自動変圧器３
ＰＮ１０１０型（Ｓｔａｃ。

Ｅｎｅｒｇｙ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　Ｃｏ、、　Ｄａｙｔ
ｏｎ、　０ｆ（）によって調節された。シリンダーの上
部には、温度計（ＶＷＲ５ｃｉｅｎｔｉｆｉｃ　Ｉｎｃ
、　）が備えられ、その際には、該温度計の球状部がシ
リカゲル層に挿入され、そのガラス管部が垂直になるよ
うに取りつけられた。

最初の一連の実験（その結果は表４にまとめられている
）では、溶液中の揮発性有機化合物の除去効果が最終的
に実証された。その実験においては、圧縮空気が利用さ
れ、モデル化合物としてＴＣＥが使用され、そして、空
気がシリカゲル層を通過し、オゾンのみにさらされた。

つまり、紫外線照射が行われなかった。

表４にまとめられた実験では９種々の濃度（ｐｐｍ）の
ＴＣＥを含有る、水から、空気によってＴＣＥがストリ
ッピングされ、その除去されたＴＣＥを含有る、空気は
、有毒物質分解ユニットに送り込まれ。

１リットル／分（ｆｆｉ／ｍ）の割合で同様のシリカゲ
ル層に８分間通された。圧縮空気は９種々の流速で空気
ポンプより供給された。オゾンの流入量および温度は一
定に保たれた。テスト番号１から７の実験は、　ＴＣＥ
の濃度３５０ｐｐｂ、酸素中のオゾンの流入量０．３１
７分、そして、シリカゲルの温度４０℃の条件で行われ
た。テスト番号１から４の実験では、圧縮空気流入量は
２．３ｊ２／ｎｍであった。

表４に示されるように、有毒物質分解ユニットを通過し
たＴＣＥは１％未満であった。この場合の空間速度は９
２０ｈｒ−１であった。テスト番号５から７の実験にお
いては、水中のＴＣＥ濃度は３５０ｐｐｂに維持された
が、気体の流速は６．３１／ｎｍに増大させた。表に示
されるように、有毒物質分解ユニットを通過る、ＴＣＥ
量が、８．９％（２５２０ｈｒ−’）　ニ始まり。

大きく増加した。表４のテスト番号８から１６の実験で
は、　ＴＣＥ量が３５０ｐｐｂから５０ｐｐｂに引き下
げられた。他の全てのパラメータは一定に維持された。

有毒物質分解ユニットを通過したＴＣＥの容量は３％か
ら８０％まで多様であった。テスト番号１７から２０ま
での実験では、温度が５度上げられたが。

システムにおけるＴＣＥ除去作用には特に影響は見られ
なかった。

同様のシリカゲルの飽和状態が起こり、そしてＴＣＨの
除去が制限されるらしいため、窒素が８５℃にて約１／
！／ｎｍの割合で２時間にわたりシリカゲルに通される
ことにより、まずシリカゲルの部分的な再生が行われ、
そして上記の有毒物質分解ユニットを使用してテストが
続けられた。

（以下余白） 表５は、シリカゲルを部分的に再生した後に行われたテ
ストを示す。このテストでもまた。　ＴＣＥの最初の濃
度５０ｐｐｂが水溶液から除去された。空気流量は６．
３１／ｎ＋に、そしてオゾン流入量は０．３１／ｍに維
持された。温度は５０℃にまで上げられ。

そして表５に示されているように、有毒物質分解ユニッ
トを通過したＴＣＨの量は、テスト番号３０に至るまで
検出可能量を下回っていた。その後、再びＴＣＥの通過
が見られ、シリカゲルが飽和したという結論を下すに至
った。シリカゲルは再び、８５℃で２時間、１ｊ２／ｒ
ｎの割合で窒素が通されることにより１部分的に再生さ
れた。

（以下余白） 表６には、温度を６０℃に上げた場合のテストの結果が
示されている。他のすべての変数値は表５と同等の値に
維持された。この一連の実験における１９回のテストで
は、有毒物質分解ユニットへのＴＣＥ通過はなかった。

表６に示された操作条件において、均衡を保ち、さらに
そのシリカゲル中をＴＣＥがそのまま通過してしまうの
を防止る、ためには、温度６０℃が必要であるという結
論に至った。

（以下余白） 表７にまとめられているように、さらに他のテストが行
われた。テスト番号５７から６０においては。

水中のＴＣＥ　ｆｉ度は７００　ｐｐｂに上げられ他の
全ての条件は表６のテストの場合と同等に維持された。

この場合には、２２から２６％のＴＣＥが、同様のシリ
カゲル中をそのまま通過した。テスト番号６１から６４
では、温度が７０℃まで上げられ、その結果、シリカゲ
ルを通過したＴＣＥの割合がわずかに増大した。テスト
番号６５から７０においては、温度は６０℃にまで下げ
られ、またオゾン流入量は０．５　ｌ／ｒａへとわずか
に引き上げられた。これらの２点の条件変更もまた。シ
リカゲル中のＴＣＥ除去に有意な影否を与えなかった。

テスト番号７１から７８においては、シリカゲル中に流
入させる圧縮空気の流量が。

５．５　ｅｌｍから４．５１７ｍへ、そして次に３．５
１１ｍへと段階的に減少る、ようにされ、空間速度は１
４００ｈｒ”　’を示すようにされた。

（以下余白） 表８に示されたテストにおいては、　ＴＣＥ吸着にシリ
カゲルのメツシュサイズが影響る、か否かを判定る、た
めに、これまでのテストで使用されていた６〜１６メツ
シユのシリカゲルの代わりに３〜９メツシユのシリカゲ
ルが使用された。３〜８メツシユのシリカゲルの重量は
１４７グラムであり。

これはシリンダーに使用されていた６〜１６メツシユの
シリカゲルの重量に等しい。粗いシリカゲルは　２イン
チのＮＰＴステンレススチールパイプに詰められた。粗
いシリカゲルのみかけの容量は１９０ＣＣである一方、
６〜１６メツシユのものは１５０　ｄである。表８に示
されたすべてのテストにおいて。

７００　ｐｐｂのＴＣＥが水から除去された。また、オ
ゾン流量は０．３１／ｆｆｌに、そして温度は６０℃に
維持された。シリカゲル中を通過る、空間速度は、　１
０４２ｈｒ−’から３２５３ｈｒ−’にまで変化した。

表８のテスト番号９９から１０３と９表７のテスト番号
５７から６０とを比べると、より粗いメツシュのシリカ
ゲルを使用した場合は、より細かいメツシュのシリカゲ
ルを使用した場合よりも、シリカゲルをそのまま通過る
、ＴＣＥ量を約１％を下まわる量にまで減少させるよう
に思われる。この一連の実験では同様−のシリカゲルが
使用された。

（以下余白） これらの一連のテストから、以下のような結論が導かれ
得る： １、紫外線照射なしでオゾン処理が行われると２次の条
件下において９０％またはそれ以上のＴＣＥが飽和状態
の空気流から除去され得る。つまり、シリカゲルの温度
が６０℃１オゾン流入量が、酸素に対る、重量比２％の
状態で０．３１　／ｍ、水中のＴＣＥ　４度が５０ｐｐ
ｂ。

そして、空間速度が約２５００ｈｒ−Ｉに保たれた条件
下において上記の割合のＴＣＥが除去され得る。水中に
より高濃度のＴＣＥが存在る、場合には、　ＴＣＥ　４
度に比例して空間速度を減少させなければならない。

２．７ＣＥ除去に影響を与える他の変数には。

シリカゲルのメツシュおよびオゾン流入量がある。シリ
カゲルに含まれる水の量は。

吸収され得る。従ってオゾンによる酸化され得るＴＣＨ
の量に影響を与えるようである。

紫外線のみにより、空間速度２４００ｈｒ−’の範囲で
。

ＴＣＨのうちの８０％またはそれ以上が除去される。

紫外線照射にオゾン処理を加えることにより、　ＴＣＨ
の酸化率は増大し得る。

皿勿応且 有機ハロゲン化化合物用の典型的な有毒物質分解ユニッ
ト（シリカゲルまたは石英チップの層と。

紫外線照射および／またはオゾンへの暴露と、を利用し
たもの）は、さらに、前記の適用例の他に。

種々の産業上の適用が可能である。これらのハロゲン化
化合物は、ドライクリーニング、廃ガスとしてこれらの
化合物を生成る、焼却炉、化学廃液を伴う多くの化学プ
ロセス、および化学薬品保存槽において使用され、およ
び／または生産される。

本ユニットは、これらのシステムのいずれにおいても有
毒物質を除去る、ために使用され得る。また、より細か
いメツシュのシリカゲル層は、細菌を含有る、水の浄化
システムに使用され得る。紫外線が細菌を殺すことは知
られており、また有毒物質分解ユニットにバクテリアで
汚染された水を通すと、細菌の破壊率が増大し得ると考
えられる。

紫外線より短い波長を有る、電磁放射線もまた。

これらの化合物の気体の混合物がシリカゲル層あるいは
石英チップ層に通されるようなシステム内で、核層に対
して照射された場合には、上記の揮発性有機ハロゲン化
化合物を効果的に分解し得る。

さらに、シリカゲルあるいは石英チップ以外でも揮発性
有機ハロゲン化化合物を吸収し濃縮る、ことのできる物
質であれば９本発明の有毒物質分解ユニットに使用され
得る。

本発明の他の修飾および改変が本発明の精神から逸脱る
、ことなく行われ得る。従って９本発明は特許請求の範
囲によってのみ限定される。

４　　゛　　の　　　なう゛　Ｈ 第１図は飲料水から揮発性有機ハロゲン化化合物を除去
る、システムを示す図、第２図は塗料の剥離作業に伴う
廃水からフェノールおよび揮発性有機ハロゲン化化合物
を除去る、システムを示す図、第３図は本発明の方法の
効率を試験る、のに使用された装置を示す図、第４図は
第１図および第２図のシステムに使用される有毒物質分
解ユニットを示す図、第５図は第４図の線５−５に沿っ
た有毒物質分解ユニ７）の断面図、第６図は第４図の線
６−６に沿った有毒物質分解ユニットの断面図である。

以上

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、気体および水溶液中に含有される有機化合物を分解
   する装置であって、 ａ）汚染された水溶液をオゾンに曝すと同時に該溶液中
   の有機化合物に紫外線を照射して酸化し、該溶液から有
   機化合物を揮発させる反応槽であって、溶液を注入する
   少なくとも１つの注入口と、溶液を排出する少なくとも
   １の排出口と、該注入口に近接して配設された、該槽内
   の汚染された溶液にオゾンを導入する少なくとも１つの
   気体拡散管と、紫外線照射手段とを備えた反応槽；ｂ）
   空気からオゾンを生成させてオゾン−空気混合物を調製
   し、該オゾン−空気混合物を汚染された溶液と反応する
   ように該反応槽に導入する、少なくとも１つの気体拡散
   管に連結されたオゾン生成手段；および ｃ）反応槽に連結され、気体中に含有される揮発した有
   機ハロゲン化化合物を分解する有毒物質分解ユニットで
   あって、揮発した有機化合物を照射する複数の照射手段
   と、オゾンおよび有機化合物を吸着する多孔質吸着層と
   を備え、該多孔質吸着層が該照射手段の周囲に該気体中
   の該揮発性有機ハロゲン化化合物の減少を促進するのに
   効果的な距離をおいて配設された有毒物質分解ユニット
   、を包含する装置。 ２、前記照射手段が、前記有毒物質分解ユニットの石英
   管内に内設されている、特許請求の範囲第１項に記載の
   装置。 ３、前記反応槽が、鉛直方向に配設されたバッフルで形
   成され、注入された溶液を該反応槽の注入口から排出口
   へ流動し易くする複数のチェンバーをさらに包含し、該
   バッフルが互いに平行に配置され、かつ該バッフルの長
   さが該バッフルにより形成される経路間を溶液が流れる
   得る反応槽の幅より短い、特許請求の範囲第１項に記載
   の装置。 ４、前記照射手段が、前記反応槽のチェンバー内に、鉛
   直方向に配設されたバッフルに対して垂直に設置された
   複数の紫外線ランプを包含する、特許請求の範囲第１項
   から第３項のいずれかに記載の装置。 ５、前記多孔質吸着層がシリカゲルを含む、特許請求の
   範囲第１項から第４項のいずれかに記載の装置。 ６、前記有毒物質分解ユニットが前記多孔質吸着層を加
   熱する手段を包含する、特許請求の範囲第１項から第５
   項のいずれかに記載の装置。 ７、気体に含有される揮発性有機ハロゲン化化合物を分
   解する装置であって、 ａ）気体供給口、気体排出口、および該気体供給口と該
   気体排出口との間に気体流動経路を備えたハウジング； ｂ）該気体流動経路中に位置し、オゾンおよび気体状の
   揮発性有機ハロゲン化化合物を吸着し得る多孔質吸着層
   ；および ｃ）該気体中の該揮発性有機化合物の減少を促進するの
   に効果的な距離をおいて該多孔質吸着層の周囲に配設さ
   れている紫外線照射手段、 を包含する装置。 ８、前記多孔質吸着層をオゾンに曝す手段をさらに備え
   ている、特許請求の範囲第７項に記載の装置。 ９、気体に含有される揮発性有機ハロゲン化化合物を分
   解する装置であって、 ａ）気体供給口、気体排出口、および該気体供給口と該
   気体排出口との間に気体流動経路を備えたハウジング； ｂ）該気体流動経路中に位置し、オゾンおよび気体状の
   揮発性有機ハロゲン化化合物を吸着し得る多孔質吸着層
   ；および ｃ）該気体中の該揮発性有機化合物の減少を促進させる
   ために、該多孔質吸着層をオゾンに曝す手段、 を包含する装置。 １０、気体中の揮発性有機ハロゲン化化合物を分解する
   方法であって、 揮発性有機化合物を含有する気体を、シリカゲルを含む
   多孔質吸着層に通過させる際に、該気体中の揮発性有機
   ハロゲン化化合物を分解するのに効果的な時間にわたっ
   て、該多孔質吸着層に紫外線を照射しながら、および／
   または該多孔質吸着層をオゾンに曝しながら通過させる
   ことを包含する方法。 １１、揮発性有機化合物を含有する気体をシリカゲル多
   孔質吸着層に通過させる前に、該気体にオゾンを添加す
   る、特許請求の範囲第１０項に記載の方法。 １２、前記揮発性有機ハロゲン化化合物の分解を促進す
   るために、前記多孔質吸着層の温度が約５０℃から７０
   ℃に調節される、特許請求の範囲第１０項または第１１
   項に記載の方法。 １３、前記気体が、乾燥気体、湿気を含む気体、および
   水分で飽和した気体のうちのいずれかである、特許請求
   の範囲第１０項から第１２項のいずれかに記載の方法。 １４、特許請求の範囲第１項から第９項のいずれかに記
   載の装置を用いて実施される、特許請求の範囲第１０項
   から第１３項のいずれかに記載の方法。 １５、水溶液中に含有される揮発性有機ハロゲン化化合
   物を分解する方法であって、 ａ）該水溶液中にキャリアーガスを通過させることによ
   り、汚染された水溶液から揮発性有機ハロゲン化化合物
   を該キャリアーガス中へ揮発させること、および ｂ）シリカゲルを含む多孔質吸着層に紫外線を照射しな
   がら、および／または該多孔質吸着層をオゾンに曝しな
   がら、該キャリアーガスを該多孔質吸着層に通過させ、
   該気体中の揮発性有機ハロゲン化化合物の分解を充分に
   行うこと、 を包含する方法。 １６、汚染された前記水溶液が連続的に流動しており、
   そして 連続的に流動している該水溶液に前記キャリアーガスを
   戻して揮発性有機ハロゲン化化合物を揮発させることに
   より、かつ多孔質吸着層に紫外線を照射しながら、およ
   び／または該多孔質吸着層をオゾンに曝しながら、戻さ
   れた該キャリアーガスを該多孔質吸着層に通過させるこ
   とにより、該キャリアーガスを再利用して揮発性有機ハ
   ロゲン化化合物をさらに揮発させることをさらに包含す
   る、特許請求の範囲第１５項に記載の方法。 １７、特許請求の範囲第１項から第６項のいずれかに記
   載の装置を用いて実施され特許請求の範囲第１５項また
   は第１６項に記載の方法。