JPH02107577A - 接合フェライトの製造方法 - Google Patents
接合フェライトの製造方法Info
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- JPH02107577A JPH02107577A JP63258291A JP25829188A JPH02107577A JP H02107577 A JPH02107577 A JP H02107577A JP 63258291 A JP63258291 A JP 63258291A JP 25829188 A JP25829188 A JP 25829188A JP H02107577 A JPH02107577 A JP H02107577A
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- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 138
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims abstract description 24
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- -1 carbonate compound Chemical class 0.000 claims description 5
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 14
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 abstract description 5
- 238000005304 joining Methods 0.000 abstract description 4
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 abstract description 3
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 2
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 20
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 20
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 5
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 150000004649 carbonic acid derivatives Chemical class 0.000 description 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L potassium carbonate Chemical compound [K+].[K+].[O-]C([O-])=O BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-M Bicarbonate Chemical compound OC([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011736 potassium bicarbonate Substances 0.000 description 1
- 235000015497 potassium bicarbonate Nutrition 0.000 description 1
- 229910000028 potassium bicarbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000015320 potassium carbonate Nutrition 0.000 description 1
- 229910000027 potassium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- TYJJADVDDVDEDZ-UHFFFAOYSA-M potassium hydrogencarbonate Chemical compound [K+].OC([O-])=O TYJJADVDDVDEDZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
- Soft Magnetic Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えば複合型の磁気ヘッドに用いられる単結
晶フェライトと多結晶フェライトからなる接合フェライ
トの製造方法に関する。
晶フェライトと多結晶フェライトからなる接合フェライ
トの製造方法に関する。
本発明は、単結晶フェライトと多結晶フェライトからな
る接合フェライトの製造方法において、多結晶フェライ
トの単結晶フェライトに接していない部分にに+ Rb
、 Csから選ばれる少なくとも1種の炭酸化合物の懸
濁液を塗布した状態で加熱圧着することにより、熱処理
時の多結晶フェライトの単結晶化及び粒成長を抑えて良
好な接合フェライトを製造できるようにしたものである
。
る接合フェライトの製造方法において、多結晶フェライ
トの単結晶フェライトに接していない部分にに+ Rb
、 Csから選ばれる少なくとも1種の炭酸化合物の懸
濁液を塗布した状態で加熱圧着することにより、熱処理
時の多結晶フェライトの単結晶化及び粒成長を抑えて良
好な接合フェライトを製造できるようにしたものである
。
近時、磁気ヘッド例えばビデオヘッドにおいては、摺動
ノイズを低減させ、C/Nを良(するために、これまで
の単結晶フェライトヘッドから、単結晶フェライトと多
結晶フェライトとの接合フェライトによる複合型ヘッド
に切換えられつつある。又、この接合フェライトのコス
ト低減が求められている。
ノイズを低減させ、C/Nを良(するために、これまで
の単結晶フェライトヘッドから、単結晶フェライトと多
結晶フェライトとの接合フェライトによる複合型ヘッド
に切換えられつつある。又、この接合フェライトのコス
ト低減が求められている。
これに対応するため、接合フェライトは、鏡面研磨した
単結晶フェライトと、同じく鏡面研磨した多結晶フェラ
イトを水(HtO)又は硝酸(HNOz)で仮接着した
後、ホットプレスにより即ちN2等の還元雰囲気中で加
圧しながら1220℃、2時間の条件で加熱処理して製
造されていた。
単結晶フェライトと、同じく鏡面研磨した多結晶フェラ
イトを水(HtO)又は硝酸(HNOz)で仮接着した
後、ホットプレスにより即ちN2等の還元雰囲気中で加
圧しながら1220℃、2時間の条件で加熱処理して製
造されていた。
上述の接合フェライトの製法において、1220°Cを
越える温度で接合すると単結晶フェライトと多結晶フェ
ライトの界面(以下単結晶−多結晶フェライト界面とい
う)から多結晶フェライトの単結晶化が始まり、単結晶
−多結晶フェライト界面がランダムに動く。また多結晶
フェライトの粒成長が起る。これらは極力、抑制する必
要がある。
越える温度で接合すると単結晶フェライトと多結晶フェ
ライトの界面(以下単結晶−多結晶フェライト界面とい
う)から多結晶フェライトの単結晶化が始まり、単結晶
−多結晶フェライト界面がランダムに動く。また多結晶
フェライトの粒成長が起る。これらは極力、抑制する必
要がある。
しかし、従来の接合フェライトの製法では、次のような
問題点があった。
問題点があった。
(i)接合温度が1220°C程度であるため接合強度
が上がらない。即ち接合温度を上げれば接合強度は良く
なるが、逆に多結晶フェライトの単結晶化1粒成長が生
じるため、従来の接合温度1220″Cは接合強度と単
結晶化等との兼ね合いのぎりぎり限界の温度である。
が上がらない。即ち接合温度を上げれば接合強度は良く
なるが、逆に多結晶フェライトの単結晶化1粒成長が生
じるため、従来の接合温度1220″Cは接合強度と単
結晶化等との兼ね合いのぎりぎり限界の温度である。
(11)ホットプレスによって作製されるため、生産性
が悪く、コスト高となる。
が悪く、コスト高となる。
(iii )接合温度1220°Cで多結晶フェライト
の単結晶化は約10μm程度であるが、将来的には更に
制御する必要がある。
の単結晶化は約10μm程度であるが、将来的には更に
制御する必要がある。
一方、多結晶フェライトの単結晶化及び粒成長を抑制す
る方法として、単結晶フェライトと多結晶フェライトが
互に接合する面の少(とも一方の面に鉄の酸化物等を薄
くスパッターしてお(方法も考えられているが、この場
合には小孔1点はがれ(界面において一様に接合されず
、点状のはがれが生ずる)が生じること、生産性が悪く
なりコスト高になること等の問題がある。
る方法として、単結晶フェライトと多結晶フェライトが
互に接合する面の少(とも一方の面に鉄の酸化物等を薄
くスパッターしてお(方法も考えられているが、この場
合には小孔1点はがれ(界面において一様に接合されず
、点状のはがれが生ずる)が生じること、生産性が悪く
なりコスト高になること等の問題がある。
本発明は、上述の点に鑑み、多結晶フェライトの単結晶
化及び粒成長を抑制し、より高温での接合を可能にし、
品質の良い接合フェライトを安価に得られるようにした
接合フェライトの製造方法を提供するものである。
化及び粒成長を抑制し、より高温での接合を可能にし、
品質の良い接合フェライトを安価に得られるようにした
接合フェライトの製造方法を提供するものである。
〔課題を解決するための手段]
本発明は、単結晶フェライト(1)と多結晶フェライト
(2)からなる接合フェライトの製造方法において、多
結晶フェライト(2)の単結晶フェライト(1)に接し
ていない部分にに、 Rb、 Csから選ばれる少なく
とも1種(即ち1種又は複数種)の炭酸化合物の懸濁液
(3)を塗布した状態で加熱圧着して接合フェライトを
製造する。
(2)からなる接合フェライトの製造方法において、多
結晶フェライト(2)の単結晶フェライト(1)に接し
ていない部分にに、 Rb、 Csから選ばれる少なく
とも1種(即ち1種又は複数種)の炭酸化合物の懸濁液
(3)を塗布した状態で加熱圧着して接合フェライトを
製造する。
接合時の熱処理温度としては1220″C〜1330°
C1好ましくは1250°C〜1300°Cとするを可
とし、その加圧力としては0.1〜10kg/cJとす
るを可とする。
C1好ましくは1250°C〜1300°Cとするを可
とし、その加圧力としては0.1〜10kg/cJとす
るを可とする。
K、 Rb、 Csの炭酸化合物としては、K2CO3
,RtlzC03゜C5zCO3の炭酸塩、 KHCO
3,RbHCO:+、 Cs1lC(hの炭酸水素塩等
を用いることができる。
,RtlzC03゜C5zCO3の炭酸塩、 KHCO
3,RbHCO:+、 Cs1lC(hの炭酸水素塩等
を用いることができる。
(作用)
多結晶フェライト(2)にに、 Rb、 Csから選ば
れた少なくとも1種の炭酸化合物の懸濁液(3)を塗布
することにより、接合時(即ち熱処理時)にに、 l?
b。
れた少なくとも1種の炭酸化合物の懸濁液(3)を塗布
することにより、接合時(即ち熱処理時)にに、 l?
b。
Cs等が界面を含んで拡散し、多結晶フェライト(2)
の単結晶化及び粒成長が抑制される。
の単結晶化及び粒成長が抑制される。
多結晶フェライト(2)の単結晶化が少ないため、単結
晶−多結晶フェライト界面の動きが少ない。
晶−多結晶フェライト界面の動きが少ない。
即ち接合温度1330″C以下では多結晶フェライト(
2)の単結晶化はなく単結晶−多結晶フェライト界面は
全く動かない。1330°Cを越えると多結晶フェライ
ト(2)の単結晶化によって単結晶−多結晶フェライト
界面は動く。
2)の単結晶化はなく単結晶−多結晶フェライト界面は
全く動かない。1330°Cを越えると多結晶フェライ
ト(2)の単結晶化によって単結晶−多結晶フェライト
界面は動く。
上記抑制効果は従来よりも高い接合温度1220°C〜
1330°Cにおいても顕著であるため接合強度も上が
る。
1330°Cにおいても顕著であるため接合強度も上が
る。
又、特に0.1〜1kg/c+fl程度の低加圧で接合
が可能なためにホットプレスでなくても通常の雰囲気炉
での接合フェライトの製造が可能となり、生産性が向上
し、コスト低減が図れる。勿論本発明はホットプレスで
も接合フェライトの製造が可能である。
が可能なためにホットプレスでなくても通常の雰囲気炉
での接合フェライトの製造が可能となり、生産性が向上
し、コスト低減が図れる。勿論本発明はホットプレスで
も接合フェライトの製造が可能である。
以下、本発明による接合フェライトの製造方法の実施例
を説明する。
を説明する。
実施例1
第1図に示すように鏡面研磨したMn−Znフェライト
による単結晶フェライト(1)と多結晶フェライト(2
)とを、その界面に水(+120)又は硝酸(HNOり
を介して仮接着した後、単結晶フェライト(1)に接し
ていない多結晶フェライト(2)の部分、例えば多結晶
フェライト(2)の一方の相対向する端面にKzCO3
をアルコールで混ぜた懸濁液(3)を塗布する。塗布後
の本試料(4)に対して、0.1 kg / ci 〜
l 、 Okg / CUTの圧力を加えつつ、N2雰
囲気中で1300″C,2時間の熱処理を行い、接合フ
ェライトを作製した。尚比較のため単結晶フェライト(
1)及び多結晶フェライト(2)の界面に水()120
)を塗布して仮接着しただけの比較試料(5)を−緒に
熱処理をした。
による単結晶フェライト(1)と多結晶フェライト(2
)とを、その界面に水(+120)又は硝酸(HNOり
を介して仮接着した後、単結晶フェライト(1)に接し
ていない多結晶フェライト(2)の部分、例えば多結晶
フェライト(2)の一方の相対向する端面にKzCO3
をアルコールで混ぜた懸濁液(3)を塗布する。塗布後
の本試料(4)に対して、0.1 kg / ci 〜
l 、 Okg / CUTの圧力を加えつつ、N2雰
囲気中で1300″C,2時間の熱処理を行い、接合フ
ェライトを作製した。尚比較のため単結晶フェライト(
1)及び多結晶フェライト(2)の界面に水()120
)を塗布して仮接着しただけの比較試料(5)を−緒に
熱処理をした。
接合装置としては、第2図に示すように構成され、アル
ミナ(A I!、z(h)の型(7)に夫々本試料(4
)及び比較試料(5)を配置し、白金(Pt)(加圧力
1kg/c+fl)又はアルミナ(加圧力0.1kg/
c+fl)の重しく8)を載せて両試料(4)及び(5
)に対して0.1〜1 kg / c+fiの圧力をか
けつつ熱処理を行なった。
ミナ(A I!、z(h)の型(7)に夫々本試料(4
)及び比較試料(5)を配置し、白金(Pt)(加圧力
1kg/c+fl)又はアルミナ(加圧力0.1kg/
c+fl)の重しく8)を載せて両試料(4)及び(5
)に対して0.1〜1 kg / c+fiの圧力をか
けつつ熱処理を行なった。
多結晶フェライト(2)の端面にKzCOxのアルコー
ル懸濁液(3)を塗布した本試料(4)の熱処理後の接
合状態を第3図の写真に示す。又、比較試料(5)の接
合状態を第6図の写真に示す。
ル懸濁液(3)を塗布した本試料(4)の熱処理後の接
合状態を第3図の写真に示す。又、比較試料(5)の接
合状態を第6図の写真に示す。
比較試料(5)では単結晶−多結晶フェライトの界面か
ら多結晶フェライトの単結晶化が進み、また多結晶フェ
ライト部分は異常粒成長(〜500μm程度の粒径)し
ているのが認められる。多結晶フェライト(2)の端面
にKzCOzのアルコール懸濁液(3)を塗布した本試
料(4)では、多結晶フェライト(2)の単結晶化及び
異常粒成長はなく、多結晶フェライト(2)の粒径は5
〜10μm程度であり、きれいに接合している。接合フ
ェライトにおけるに、CO3のアルコール懸濁液塗布の
単結晶化防止効果及び粒成長抑制効果は顕著である。
ら多結晶フェライトの単結晶化が進み、また多結晶フェ
ライト部分は異常粒成長(〜500μm程度の粒径)し
ているのが認められる。多結晶フェライト(2)の端面
にKzCOzのアルコール懸濁液(3)を塗布した本試
料(4)では、多結晶フェライト(2)の単結晶化及び
異常粒成長はなく、多結晶フェライト(2)の粒径は5
〜10μm程度であり、きれいに接合している。接合フ
ェライトにおけるに、CO3のアルコール懸濁液塗布の
単結晶化防止効果及び粒成長抑制効果は顕著である。
実施例2
鏡面研磨したMn−Znフェライトの単結晶フェライト
(1)と多結晶フェライト(2)の界面を水(H2O)
又は硝酸(HNOりで仮接着した後、単結晶フェライト
(1)に接していない多結晶フェライト(2)の端面に
RbzCO’+をアルコールで混ぜた懸濁液(3)を塗
布した(第1図参照)。塗布後の本試料(4)に対して
0.1〜1.0kg / c++!の圧力を加えつつ、
N2雰囲気中で1300″C,2時間の熱処理を行い接
合フェライトを作製した。
(1)と多結晶フェライト(2)の界面を水(H2O)
又は硝酸(HNOりで仮接着した後、単結晶フェライト
(1)に接していない多結晶フェライト(2)の端面に
RbzCO’+をアルコールで混ぜた懸濁液(3)を塗
布した(第1図参照)。塗布後の本試料(4)に対して
0.1〜1.0kg / c++!の圧力を加えつつ、
N2雰囲気中で1300″C,2時間の熱処理を行い接
合フェライトを作製した。
尚、比較のため実施例1と同様に単結晶−多結晶フェラ
イトの界面に水(HzO)を塗布して仮接着しただけの
比較試料(5)を−緒に熱処理した。接合装置は第2図
と同様である。
イトの界面に水(HzO)を塗布して仮接着しただけの
比較試料(5)を−緒に熱処理した。接合装置は第2図
と同様である。
多結晶フェライト(2)の端面にRbzCO:+のアル
コール懸濁液を塗布した本試料(4)の熱処理後の接合
状態を第4図の写真に示す。
コール懸濁液を塗布した本試料(4)の熱処理後の接合
状態を第4図の写真に示す。
比較試料(5)は、実施例Iと同様に単結晶−多結晶フ
ェライトの界面から多結晶フェライトの単結晶化が進み
、また多結晶フェライト部分は異常粒成長がみられる(
第6図の写真参照)。
ェライトの界面から多結晶フェライトの単結晶化が進み
、また多結晶フェライト部分は異常粒成長がみられる(
第6図の写真参照)。
多結晶フェライト(2)の端面にRbzCO3のアルコ
ール懸濁液(3)を塗布した本試料(4)では多結晶フ
ェライトの単結晶化及び異常粒成長はなく、多結晶フェ
ライト(2)の粒径は5〜10μm程度であり、きれい
に接合している。接合フェライトにおけるI?bzCO
3のアルコール懸濁液塗布の単結晶化防止効果及び粒成
長抑制効果は顕著である。
ール懸濁液(3)を塗布した本試料(4)では多結晶フ
ェライトの単結晶化及び異常粒成長はなく、多結晶フェ
ライト(2)の粒径は5〜10μm程度であり、きれい
に接合している。接合フェライトにおけるI?bzCO
3のアルコール懸濁液塗布の単結晶化防止効果及び粒成
長抑制効果は顕著である。
実施例3
鏡面研磨したMn−Znフェライトの単結晶フェライト
(1)と多結晶フェライト(2)の界面を水(+(20
)又は硝酸(HNO3)で仮接着した後、単結晶フェラ
イト(1)に接していない多結晶フェライト(2)の端
面にC5zCO3をアルコールで混ぜた懸濁液(3)を
塗布した(第1図参照)。塗布後の本試料(4)に対し
て、0.1−1.0kg/cdの圧力を加えつつ、N2
雰囲気中でl300°C,2時間の熱処理を行ない接合
フェライトを作製した。尚、比較のため実施例1と同様
に単結晶−多結晶フェライトの界面に水()120)を
塗布して仮接着しただけの比較試料(5)を−緒に熱処
理した。接合装置は第21;と同様である。
(1)と多結晶フェライト(2)の界面を水(+(20
)又は硝酸(HNO3)で仮接着した後、単結晶フェラ
イト(1)に接していない多結晶フェライト(2)の端
面にC5zCO3をアルコールで混ぜた懸濁液(3)を
塗布した(第1図参照)。塗布後の本試料(4)に対し
て、0.1−1.0kg/cdの圧力を加えつつ、N2
雰囲気中でl300°C,2時間の熱処理を行ない接合
フェライトを作製した。尚、比較のため実施例1と同様
に単結晶−多結晶フェライトの界面に水()120)を
塗布して仮接着しただけの比較試料(5)を−緒に熱処
理した。接合装置は第21;と同様である。
多結晶フェライト(2)の端面にC5zC(hのアルコ
ール懸濁液を塗布した本試料(4)の熱処理後の接合状
態を第5図の写真に示す。
ール懸濁液を塗布した本試料(4)の熱処理後の接合状
態を第5図の写真に示す。
比較試料(5)は、実施例1と同様に単結晶−多結晶フ
ェライトの界面に多結晶フェライトの単結晶化が進み、
また多結晶フェライト部分は異常粒成長がみられる(第
6図の写真参照)。
ェライトの界面に多結晶フェライトの単結晶化が進み、
また多結晶フェライト部分は異常粒成長がみられる(第
6図の写真参照)。
多結晶フェライト(2)の端面にC3ZCO:lのアル
コール懸濁液(3)を塗布した本試料(4)では、多結
晶フェライトの単結晶化及び異常粒成長はなく、多結晶
フェライト(2)の粒径は5〜10μm程度であり、き
れいに接合している。接合フェライトにおけるC52C
O1のアルコール懸濁液塗布の単結晶化防止効果及び粒
成長抑制効果は顕著である。
コール懸濁液(3)を塗布した本試料(4)では、多結
晶フェライトの単結晶化及び異常粒成長はなく、多結晶
フェライト(2)の粒径は5〜10μm程度であり、き
れいに接合している。接合フェライトにおけるC52C
O1のアルコール懸濁液塗布の単結晶化防止効果及び粒
成長抑制効果は顕著である。
尚、上側では多結晶フェライト(2)の端面にに2CO
,。
,。
RbHCO3+ C5zCO:+等の懸濁液を塗布して
加熱圧着したが、その他KHCO3,RbHCO3,C
5HCO3等の懸濁液を塗布して加熱圧着してもよい。
加熱圧着したが、その他KHCO3,RbHCO3,C
5HCO3等の懸濁液を塗布して加熱圧着してもよい。
この場合にも、接合温度1330″Cまで多結晶フェラ
イトの単結晶化及び粒成長を抑制して良好な接合フェラ
イトを作製することができる。
イトの単結晶化及び粒成長を抑制して良好な接合フェラ
イトを作製することができる。
上述のに、 Rh、 Cs等の炭酸化合物の懸濁液を用
いる技術は接合フェライトの作製に限らず、所謂多結晶
フェライトの粒成長の制御にも適用できる。
いる技術は接合フェライトの作製に限らず、所謂多結晶
フェライトの粒成長の制御にも適用できる。
上述した本発明による接合フェライトの製法によれば、
次のような効果を有する。
次のような効果を有する。
ホットプレス等の特殊な炉を使用することなく、通常の
雰囲気炉での接合フェライトの製造が可能なために接合
フェライトの生産性が高くなりコスト低減ができる。
雰囲気炉での接合フェライトの製造が可能なために接合
フェライトの生産性が高くなりコスト低減ができる。
単結晶−多結晶フェライトの界面となる少なくとも一方
に鉄の酸化物等をスパッター等により薄い成膜を行う必
要がなく、この点でも生産性が高く、且つコスト低減が
可能になる。
に鉄の酸化物等をスパッター等により薄い成膜を行う必
要がなく、この点でも生産性が高く、且つコスト低減が
可能になる。
多結晶フェライトの粒成長及び単結晶化が抑制されるの
で、接合温度を従来温度より高く即ち1220°C〜1
330°Cまで上げられる。従って作業温度範囲が広く
なり、歩留りの向上、生産性の向上が図られ、且つ接合
強度も向上する。
で、接合温度を従来温度より高く即ち1220°C〜1
330°Cまで上げられる。従って作業温度範囲が広く
なり、歩留りの向上、生産性の向上が図られ、且つ接合
強度も向上する。
単結晶−多結晶フェライトの接合面はきれいで小孔等の
発生も少なく、点はがれの発生も少ない。
発生も少なく、点はがれの発生も少ない。
特に多結晶フェライトの単結晶化が少ないため、単結晶
−多結晶フェライト界面の動きが少なく、従って、その
後の接合フェライトによる複合型の磁気ヘッドの作製が
有利になる。
−多結晶フェライト界面の動きが少なく、従って、その
後の接合フェライトによる複合型の磁気ヘッドの作製が
有利になる。
第1図は本発明に係るフェライト試料の斜視図、第2図
は本発明に係る接合装置の断面図、第3図は実施例1
(K2CO2の懸濁液を塗布した)の熱処理後の接合フ
ェライトの接合状態(結晶の構造)を示す写真、第4図
は実施例2 (RbHCO3の懸濁液を塗布した)の熱
処理後の接合フェライトの接合状態(結晶の構造)を示
す写真、第5図は実施例3 (C32CO3の懸濁液を
塗布した)の熱処理後の接合フェライトの接合状態(結
晶の構造)を示す写真、第6図は比較例(H2Oによる
仮接着のみ)の熱処理後の接合フェライトの接合状態(
結晶の構造)を示す写真である。 (1)は単結晶フェライト、(2)は多結晶フェライト
、(3)はに、C03(又はRbzcOi又はC5zC
O3)の懸濁液である。 第1図
は本発明に係る接合装置の断面図、第3図は実施例1
(K2CO2の懸濁液を塗布した)の熱処理後の接合フ
ェライトの接合状態(結晶の構造)を示す写真、第4図
は実施例2 (RbHCO3の懸濁液を塗布した)の熱
処理後の接合フェライトの接合状態(結晶の構造)を示
す写真、第5図は実施例3 (C32CO3の懸濁液を
塗布した)の熱処理後の接合フェライトの接合状態(結
晶の構造)を示す写真、第6図は比較例(H2Oによる
仮接着のみ)の熱処理後の接合フェライトの接合状態(
結晶の構造)を示す写真である。 (1)は単結晶フェライト、(2)は多結晶フェライト
、(3)はに、C03(又はRbzcOi又はC5zC
O3)の懸濁液である。 第1図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 単結晶フェライトと多結晶フェライトからなる接合フ
ェライトの製造方法において、 前記多結晶フェライトの前記単結晶フェライトに接して
いない部分にK,Rb,Csから選ばれる少なくとも1
種の炭酸化合物の懸濁液を塗布した状態で加熱圧着する
ことを特徴とする接合フェライトの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63258291A JPH02107577A (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 | 接合フェライトの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63258291A JPH02107577A (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 | 接合フェライトの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02107577A true JPH02107577A (ja) | 1990-04-19 |
Family
ID=17318214
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63258291A Pending JPH02107577A (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 | 接合フェライトの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02107577A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20150022057A1 (en) * | 2013-07-16 | 2015-01-22 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Piezoelectric device, method for manufacturing the same, and driven assembly with the same |
-
1988
- 1988-10-13 JP JP63258291A patent/JPH02107577A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20150022057A1 (en) * | 2013-07-16 | 2015-01-22 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Piezoelectric device, method for manufacturing the same, and driven assembly with the same |
US9257630B2 (en) * | 2013-07-16 | 2016-02-09 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Multilayer piezoelectric device with polycrystalline and single crystal members and intermediate member provided between the polycrystalline member and the single crystal member |
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