JPH02103852A - 走査型電子顕微鏡の歪補正方式 - Google Patents
走査型電子顕微鏡の歪補正方式Info
- Publication number
- JPH02103852A JPH02103852A JP25428288A JP25428288A JPH02103852A JP H02103852 A JPH02103852 A JP H02103852A JP 25428288 A JP25428288 A JP 25428288A JP 25428288 A JP25428288 A JP 25428288A JP H02103852 A JPH02103852 A JP H02103852A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- sample
- output
- image
- focus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 7
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 5
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野〕
本発明は走査型電子顕微鏡の歪補正方式に係わり、特に
試料を傾斜させた場合に各走査位置で焦点合わせを行う
と共に、像回転歪をなくすようにした走査型電子顕微鏡
の歪補正方式に関するものである。
試料を傾斜させた場合に各走査位置で焦点合わせを行う
と共に、像回転歪をなくすようにした走査型電子顕微鏡
の歪補正方式に関するものである。
一般に走査型電子顕微鏡において、試料の凹凸部を見た
い場合や、信号強度を大きくしたい場合に試料を傾斜さ
せることが行われている。この場合、電子顕微鏡は被写
界深度が大きいので、試料の中央部に焦点を合わせてお
けば試料を傾斜させても焦点ボケが生ぜず、良好な状態
での試料の観察が可能である。
い場合や、信号強度を大きくしたい場合に試料を傾斜さ
せることが行われている。この場合、電子顕微鏡は被写
界深度が大きいので、試料の中央部に焦点を合わせてお
けば試料を傾斜させても焦点ボケが生ぜず、良好な状態
での試料の観察が可能である。
第５図は電子ビームによる試料面上の走査とその時の画
像を表示するＣＲＴにおける走査を示す図である。
像を表示するＣＲＴにおける走査を示す図である。
第５図（イ）に示すように、試料６１が水平面に対して
所定の傾斜角を有している状態で、電子ビーム６２によ
り試料面上を走査し、その時の画像を第５図（ロ）に示
すように、ＣＲＴ６３における走査を行って画像表示し
ている。
所定の傾斜角を有している状態で、電子ビーム６２によ
り試料面上を走査し、その時の画像を第５図（ロ）に示
すように、ＣＲＴ６３における走査を行って画像表示し
ている。
第６図（イ）は傾斜した試料の中心高さに焦点を合わし
た場合を示す図で、中心高さがフォーカス点６４である
ため、それよりも高い位置あるいは低い位置においては
焦点ボケが生じ、その時得られる画像は第６図（ロ）に
示すように中心部分のめ焦点が合った画像となり、それ
よりも高い位置あるいは低い位置における像はボケだ像
となる。
た場合を示す図で、中心高さがフォーカス点６４である
ため、それよりも高い位置あるいは低い位置においては
焦点ボケが生じ、その時得られる画像は第６図（ロ）に
示すように中心部分のめ焦点が合った画像となり、それ
よりも高い位置あるいは低い位置における像はボケだ像
となる。
このような試料の傾斜による焦点ボケをなくすために、
試料の傾斜角度に応じて対物レンズ電流を変え、各走査
位置においてジャストフォーカスとすることも行われて
いる。
試料の傾斜角度に応じて対物レンズ電流を変え、各走査
位置においてジャストフォーカスとすることも行われて
いる。
第７図（イ）は試料高さに応じて対物レンズ電流を制御
し、常にジャストフォーカスとする場合を示している。
し、常にジャストフォーカスとする場合を示している。
しかしながら、このように試料高さに応じて焦点位置を
変えて常に焦点合わせすることにより、画像のボケを防
止することができるが、対物レンズ電流を変化すること
により電子ビームの回転が生じ、そのため像回転歪が発
生ずる。例えば、メツシュのような試料を観察したとす
ると、試料高さの高い位置においては第７図（ロ）に示
すような像の回転が生じ、試料の中心高さの位置におい
ては第７図（ハ）に示すような像が得られ、高さの低い
位置においては第７図（ロ）と反対方向に回転したよう
な第７図（ニ）に示すような像が得られる。そしてこの
ように順次焦点位置を変化させて正焦点を得ようとする
と、像全体としては第７図（ホ）に示すように、中心の
高さを境に」二下で反対方向に回転したような像の歪が
発生することになる。
変えて常に焦点合わせすることにより、画像のボケを防
止することができるが、対物レンズ電流を変化すること
により電子ビームの回転が生じ、そのため像回転歪が発
生ずる。例えば、メツシュのような試料を観察したとす
ると、試料高さの高い位置においては第７図（ロ）に示
すような像の回転が生じ、試料の中心高さの位置におい
ては第７図（ハ）に示すような像が得られ、高さの低い
位置においては第７図（ロ）と反対方向に回転したよう
な第７図（ニ）に示すような像が得られる。そしてこの
ように順次焦点位置を変化させて正焦点を得ようとする
と、像全体としては第７図（ホ）に示すように、中心の
高さを境に」二下で反対方向に回転したような像の歪が
発生することになる。
本発明は上記問題点を解決するためのもので、試料を傾
斜させた場合に常にジャストフォーカスの状態とすると
共に、像の回転止をなくし、試料傾斜に関わらず歪のな
い像を得ることができる走査型電子顕微鏡の歪補正方式
を提供することを目的とする。
斜させた場合に常にジャストフォーカスの状態とすると
共に、像の回転止をなくし、試料傾斜に関わらず歪のな
い像を得ることができる走査型電子顕微鏡の歪補正方式
を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］
そのために本発明の走査型電子顕微鏡の歪補正方式は、
試料の傾斜角度を検出し、傾斜角度に応して対物レンズ
電流を制御し、試料の各走査位置において焦点合わせを
行うようにした走査型電子顕微鏡であって、水平偏向回
路、および垂直偏向回路のスキャンローテーション成分
を試料の傾斜角度に応して制御することを特徴とする。
試料の傾斜角度を検出し、傾斜角度に応して対物レンズ
電流を制御し、試料の各走査位置において焦点合わせを
行うようにした走査型電子顕微鏡であって、水平偏向回
路、および垂直偏向回路のスキャンローテーション成分
を試料の傾斜角度に応して制御することを特徴とする。
本発明は試料の傾斜角度を検出し、試料高さに応じて対
物レンズ電流を制御して、常時ジャストフォーカスとす
ると共に、試料高さに応して偏向コイル電流のスキャン
ローテーション成分を変化させることにより、像の回転
をなくして常に焦点ボケがなく、かつ像回転歪のない像
を得ることが可能となる。
物レンズ電流を制御して、常時ジャストフォーカスとす
ると共に、試料高さに応して偏向コイル電流のスキャン
ローテーション成分を変化させることにより、像の回転
をなくして常に焦点ボケがなく、かつ像回転歪のない像
を得ることが可能となる。
以下、実施例を図面を参照して説明する。
第１図は本発明による走査型電子顕微鏡の像歪補正方式
の全体構成を示す図である。図中、１１は電子顕微鏡、
１２は試料室、１３ば偏向コイル、１４は対物レンズ、
１５は試料、１６は試料傾斜検出器、１７は傾斜検出回
路、１８は像回転補正回路、１９は水平偏向用発振器、
２０は垂直偏向用発振器、２１は焦点合わせツマミ、２
２は倍率ツマミ、２３は水平偏向回路、２４は垂直偏向
回路、２５は対物レンズ回路である。
の全体構成を示す図である。図中、１１は電子顕微鏡、
１２は試料室、１３ば偏向コイル、１４は対物レンズ、
１５は試料、１６は試料傾斜検出器、１７は傾斜検出回
路、１８は像回転補正回路、１９は水平偏向用発振器、
２０は垂直偏向用発振器、２１は焦点合わせツマミ、２
２は倍率ツマミ、２３は水平偏向回路、２４は垂直偏向
回路、２５は対物レンズ回路である。
図において、試料傾斜検出Ｈ１６により試料１５の傾斜
角を検出し、その検出結果に基づいて傾斜検出回路１７
により傾斜係数を算出する。像回転補正回路１８には算
出した傾斜係数と水平偏向用発振器１つからの水平発振
出力、および垂直偏向用発振器２０からの垂直発振出力
が入力され、各走査位置における試料高さが求められ、
試料高さに応じてそれぞれ水平発振出力、垂直発振出力
を変調してスキャンローテーション成分Δｖ１ΔＩ］、
及び対物レンズ電流変調用Δ■。、を出力する。
角を検出し、その検出結果に基づいて傾斜検出回路１７
により傾斜係数を算出する。像回転補正回路１８には算
出した傾斜係数と水平偏向用発振器１つからの水平発振
出力、および垂直偏向用発振器２０からの垂直発振出力
が入力され、各走査位置における試料高さが求められ、
試料高さに応じてそれぞれ水平発振出力、垂直発振出力
を変調してスキャンローテーション成分Δｖ１ΔＩ］、
及び対物レンズ電流変調用Δ■。、を出力する。
対物レンズ回路２５は試料高さに応じた八■ｏ１が入力
され、焦点合わせツマミ２１で合わせた焦点位置に対す
る出力Ｉ。、にΔＶｏＬを加算した■。Ｌ十ΔＶａｔを
出力し、試料高さが変化しても常にジャストフォーカス
が得られるようにする。
され、焦点合わせツマミ２１で合わせた焦点位置に対す
る出力Ｉ。、にΔＶｏＬを加算した■。Ｌ十ΔＶａｔを
出力し、試料高さが変化しても常にジャストフォーカス
が得られるようにする。
水平偏向回路２３には水平偏向用発振器１９から基準の
水平発振出力が入力されると共に、試料高さに応じて変
調されたスキャンローテーション成分へ■とが加えられ
て水平偏向回路出力Ｈ十Δ■が出力される。また、垂直
偏向回路２４には垂直偏向用発振器２０から基準の垂直
発振出力が加えられると共に、試料高さに応じたスキャ
ンローチージョン成分Δ■］が加えられて■」−八Ｈを
出力する。こうして水平偏向回路２３および垂直偏向回
路２４は試料高さに応したスキャンローテーション成分
が加えられ、その分だけ電子ビームが回転し、試料高さ
に応じて焦点位置を変化させた時に生じる像回転をキャ
ンセルする。
水平発振出力が入力されると共に、試料高さに応じて変
調されたスキャンローテーション成分へ■とが加えられ
て水平偏向回路出力Ｈ十Δ■が出力される。また、垂直
偏向回路２４には垂直偏向用発振器２０から基準の垂直
発振出力が加えられると共に、試料高さに応じたスキャ
ンローチージョン成分Δ■］が加えられて■」−八Ｈを
出力する。こうして水平偏向回路２３および垂直偏向回
路２４は試料高さに応したスキャンローテーション成分
が加えられ、その分だけ電子ビームが回転し、試料高さ
に応じて焦点位置を変化させた時に生じる像回転をキャ
ンセルする。
なお、倍率ツマミ２２により倍率変更した場合には、そ
れぞれ水平偏向回路２３、垂直偏向回路２４に加えて走
査範囲を変更する。またΔＶａｔは倍率調整前の水平発
振出力、垂直発振出力において求めた値であるので、倍
率変更した場合には変更分を対物レンズ回路２５に加え
てΔＶｏＬを変調し、倍率に応してジャストフォーカス
が得られるようにする。
れぞれ水平偏向回路２３、垂直偏向回路２４に加えて走
査範囲を変更する。またΔＶａｔは倍率調整前の水平発
振出力、垂直発振出力において求めた値であるので、倍
率変更した場合には変更分を対物レンズ回路２５に加え
てΔＶｏＬを変調し、倍率に応してジャストフォーカス
が得られるようにする。
第２図は第１図における各部の信号波形を示す図である
。
。
垂直偏向用発振器２０、水平偏向用発振器１９の基準出
力はそれぞれ第２図（ａ）（ｂ）に示すような波形であ
り、試料高さに応して像回転を生しさせるためのスキャ
ンローテーション成分はそれぞれ第２図（Ｃ）（ｄ）に
示ずようなΔＩ］、Δ■となる。この場合、試料中心高
さに対して上側と下側でそれぞれ像回転の方向が反対で
あるために、ΔＨ１八■へそれぞれ試料中心高さに対し
て位相を反転した信号となる。このΔＨ１Δ■をそれぞ
れ基準発振出力■、■］に重畳することにより、第２図
（ｅ）（ｆ）に示すような偏向回路出力■→−ΔＨＸＨ
＋Δ■が得られる。また、対物レンズ回路出力は基準の
Ｔ。ｌに対して、試料高さに対応したΔ■。、を重畳す
ることにより、第２図（ｇ）に示すような出力が得られ
る。
力はそれぞれ第２図（ａ）（ｂ）に示すような波形であ
り、試料高さに応して像回転を生しさせるためのスキャ
ンローテーション成分はそれぞれ第２図（Ｃ）（ｄ）に
示ずようなΔＩ］、Δ■となる。この場合、試料中心高
さに対して上側と下側でそれぞれ像回転の方向が反対で
あるために、ΔＨ１八■へそれぞれ試料中心高さに対し
て位相を反転した信号となる。このΔＨ１Δ■をそれぞ
れ基準発振出力■、■］に重畳することにより、第２図
（ｅ）（ｆ）に示すような偏向回路出力■→−ΔＨＸＨ
＋Δ■が得られる。また、対物レンズ回路出力は基準の
Ｔ。ｌに対して、試料高さに対応したΔ■。、を重畳す
ることにより、第２図（ｇ）に示すような出力が得られ
る。
こうして試料高さに応じて常時ジャストフォーカスとす
ると共に、第２図（ｅ）（ｆ）に示すような試料中心高
さに対して」−下において反対方向に像回転を生じさせ
るような偏向コイル電流を加えることにより、結果とし
て像回転歪のない、しかも焦点ボケのない像を得ること
ができる。
ると共に、第２図（ｅ）（ｆ）に示すような試料中心高
さに対して」−下において反対方向に像回転を生じさせ
るような偏向コイル電流を加えることにより、結果とし
て像回転歪のない、しかも焦点ボケのない像を得ること
ができる。
第３図は第１図における像回転補正回路、および対物レ
ンズ回路の詳細な回路構成を示す図である。図中、３１
は全波整流回路、３２は半波整流回路、３３は反転回路
、３４は半波整流回路、３５．３６．３７は乗算回路、
３８は非反転回路、３９は反転回路、４０．４１は乗算
回路、４２は反転回路、４３．４４は加算回路、５１は
倍率係数算出回路、５２は乗算回路、５３は加算回路で
ある。
ンズ回路の詳細な回路構成を示す図である。図中、３１
は全波整流回路、３２は半波整流回路、３３は反転回路
、３４は半波整流回路、３５．３６．３７は乗算回路、
３８は非反転回路、３９は反転回路、４０．４１は乗算
回路、４２は反転回路、４３．４４は加算回路、５１は
倍率係数算出回路、５２は乗算回路、５３は加算回路で
ある。
像回転補正回路１８には、第２図（ａ）（ｂ）ｔこ示ず
ような垂直発振出力Ｖ、水平発振出力ＩＩ、及び（頃斜
係数が入力されている。垂直発振出力■は全波整流回路
３１、半波整流回路３２、反転回路３３に加えられ、そ
れぞれ全波整流回路３１からは■に示すような出力が、
また半波整流回路３２からは■に示ずような出力が、ま
た反転回路３３に加えられ、さらに半波整流回路３４に
反転されて信号■に対して位相反転した出力■が得られ
る。これらの■〜■の出力は傾斜係数と乗算され、それ
ぞれ乗算回路３５からは傾斜係数が最大の場合には出力
■が、また傾斜のない場合には最小出力■が得られ、ま
た乗算回路３６には傾斜係数が最大の場合には出力■が
、また最小の場合には出力■が得られる。また、乗算回
路３７からは傾斜係数最大の場合には出力［相］が、最
小の場合には■が得られる。乗算回路３６の出力および
３７の出力はそれぞれ乗算回路４０．４１、反転回路４
２および加算回路４４に加えられる。同時に乗算回路４
０．４１には水平発振出力の非反転、及び反転出力が加
えられ、乗算回路／１０．４１の加算出力として加算回
路４３からは試料中心高さを境に位相の反転した出力＠
が得られ、この場合も傾斜係数が最小の場合には出力■
のようになる。
ような垂直発振出力Ｖ、水平発振出力ＩＩ、及び（頃斜
係数が入力されている。垂直発振出力■は全波整流回路
３１、半波整流回路３２、反転回路３３に加えられ、そ
れぞれ全波整流回路３１からは■に示すような出力が、
また半波整流回路３２からは■に示ずような出力が、ま
た反転回路３３に加えられ、さらに半波整流回路３４に
反転されて信号■に対して位相反転した出力■が得られ
る。これらの■〜■の出力は傾斜係数と乗算され、それ
ぞれ乗算回路３５からは傾斜係数が最大の場合には出力
■が、また傾斜のない場合には最小出力■が得られ、ま
た乗算回路３６には傾斜係数が最大の場合には出力■が
、また最小の場合には出力■が得られる。また、乗算回
路３７からは傾斜係数最大の場合には出力［相］が、最
小の場合には■が得られる。乗算回路３６の出力および
３７の出力はそれぞれ乗算回路４０．４１、反転回路４
２および加算回路４４に加えられる。同時に乗算回路４
０．４１には水平発振出力の非反転、及び反転出力が加
えられ、乗算回路／１０．４１の加算出力として加算回
路４３からは試料中心高さを境に位相の反転した出力＠
が得られ、この場合も傾斜係数が最小の場合には出力■
のようになる。
さらに加算回路４４では出力■の反転信号と出力［相］
とが加算されてｊ頃斜係数最大の場合には対物レンズ電
流変調用の出力［相］が、また傾斜のない場合は出力［
相］が得られる。
とが加算されてｊ頃斜係数最大の場合には対物レンズ電
流変調用の出力［相］が、また傾斜のない場合は出力［
相］が得られる。
こうして乗算回路３５からは水平偏向コイルに加えるべ
きスキャンローテーション成分へ■が、また加算回路４
３からは垂直偏向コイルに加えるべきスキャンローテー
ション成分ΔＨが、また加算回路４４からは対物レンズ
変調用の△ＶＯＩが得られる。
きスキャンローテーション成分へ■が、また加算回路４
３からは垂直偏向コイルに加えるべきスキャンローテー
ション成分ΔＨが、また加算回路４４からは対物レンズ
変調用の△ＶＯＩが得られる。
第３図（ロ）に示す対物レンズ回路２５には前述した八
■ｏＬが加えられ、倍率調整つまみによる調整量に応じ
た倍率係数算出回路５１の出力は乗算器５２で乗算され
、倍率変更により変更された走査範囲に応したΔＶＯ１
，が出力される。このΔＶ。１と焦点ツマミにより調整
された基準の対物レンズ電流とが加算回路５３により加
算され、各走査位置においてジャストフォーカスを与え
る対物レンズ駆動出力■。１．＋ΔＶ（Ｈ，が出力され
る。
■ｏＬが加えられ、倍率調整つまみによる調整量に応じ
た倍率係数算出回路５１の出力は乗算器５２で乗算され
、倍率変更により変更された走査範囲に応したΔＶＯ１
，が出力される。このΔＶ。１と焦点ツマミにより調整
された基準の対物レンズ電流とが加算回路５３により加
算され、各走査位置においてジャストフォーカスを与え
る対物レンズ駆動出力■。１．＋ΔＶ（Ｈ，が出力され
る。
第４図は本発明によるビーム走査とＣＲＴ画面−にに得
られる観察像を示す図である。前述したように本発明に
おいては、第４回（イ）に示すように各試料高さにおい
てジャストフォーカスが得られ、同時に焦点位置の変更
に伴う像回転がキャンセルされるので、得られる観察像
は第４図（ロ）に示すように焦点ボケが生じないと共に
像回転に伴う歪もなく、常に正確な像が得られることに
なる。
られる観察像を示す図である。前述したように本発明に
おいては、第４回（イ）に示すように各試料高さにおい
てジャストフォーカスが得られ、同時に焦点位置の変更
に伴う像回転がキャンセルされるので、得られる観察像
は第４図（ロ）に示すように焦点ボケが生じないと共に
像回転に伴う歪もなく、常に正確な像が得られることに
なる。
以上のように本発明によれば、試料高さに応じて対物レ
ンズ電流を制御することにより、各試料高さ位置におい
てジャストフォーカスが得られると共に、試料高さに応
じてスキャンローテーション成分を制御するようにした
ので、焦点位置の変更に伴う像回転がキャンセルされ、
常に焦点ボケがなく、かつ像回転による歪のない正確な
像を観察することが可能となる。
ンズ電流を制御することにより、各試料高さ位置におい
てジャストフォーカスが得られると共に、試料高さに応
じてスキャンローテーション成分を制御するようにした
ので、焦点位置の変更に伴う像回転がキャンセルされ、
常に焦点ボケがなく、かつ像回転による歪のない正確な
像を観察することが可能となる。
第１図は本発明による走査型電子顕微鏡の像歪補正方式
の全体構成を示す図、第２図は第１図における各部の信
号波形を示す図、第３図は第１図における像回転補正回
路、および対物レンス回路の詳細な回路構成を示す図、
第４図は本発明によるビーム走査とＣＲＴ画面」二に得
られる観察像を示す図、第５図は従来の電子ビームによ
る試料面上の走査とその時の画像を表示するＣＲＴにお
ける走査を示す図、第６図は試料中心高さに焦点合わせ
した場合の画像を示す図、第７図は試料高さに応じて焦
点合わせした場合の像回転歪を説明するための図である
。 １１・・・電子顕微鏡、１２・・・試料室、１３・・・
偏向コイル、１４・・・対物レンズ、１５・・・試料、
１６・・・試料傾斜検出器、１７・・・傾斜検出回路、
１８・・・像回転補正回路、１９・・・水平偏向用発振
器、２０・・・垂直偏向用発振器、２１・・・焦点合わ
せツマミ、２２・・・倍率ツマミ、２３・・・水平偏向
回路、２４・・・垂直偏向回路、２５・・・対物レンズ
回路。 出 願 人 株式会社 日電子テクニクス代理人
弁理士 蛭 川 昌 信（外５名）第６図 （イ） 第７ 区 （イ） （ロ） （ロ）
の全体構成を示す図、第２図は第１図における各部の信
号波形を示す図、第３図は第１図における像回転補正回
路、および対物レンス回路の詳細な回路構成を示す図、
第４図は本発明によるビーム走査とＣＲＴ画面」二に得
られる観察像を示す図、第５図は従来の電子ビームによ
る試料面上の走査とその時の画像を表示するＣＲＴにお
ける走査を示す図、第６図は試料中心高さに焦点合わせ
した場合の画像を示す図、第７図は試料高さに応じて焦
点合わせした場合の像回転歪を説明するための図である
。 １１・・・電子顕微鏡、１２・・・試料室、１３・・・
偏向コイル、１４・・・対物レンズ、１５・・・試料、
１６・・・試料傾斜検出器、１７・・・傾斜検出回路、
１８・・・像回転補正回路、１９・・・水平偏向用発振
器、２０・・・垂直偏向用発振器、２１・・・焦点合わ
せツマミ、２２・・・倍率ツマミ、２３・・・水平偏向
回路、２４・・・垂直偏向回路、２５・・・対物レンズ
回路。 出 願 人 株式会社 日電子テクニクス代理人
弁理士 蛭 川 昌 信（外５名）第６図 （イ） 第７ 区 （イ） （ロ） （ロ）
Claims (1)
- 試料の傾斜角度を検出し、傾斜角度に応じて対物レンズ
電流を制御し、試料の各走査位置において焦点合わせを
行うようにした走査型電子顕微鏡であって、水平偏向回
路、および垂直偏向回路のスキャンローテーション成分
を試料の傾斜角度に応じて制御することを特徴とする走
査型電子顕微鏡の歪補正方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25428288A JPH02103852A (ja) | 1988-10-08 | 1988-10-08 | 走査型電子顕微鏡の歪補正方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25428288A JPH02103852A (ja) | 1988-10-08 | 1988-10-08 | 走査型電子顕微鏡の歪補正方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02103852A true JPH02103852A (ja) | 1990-04-16 |
Family
ID=17262802
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25428288A Pending JPH02103852A (ja) | 1988-10-08 | 1988-10-08 | 走査型電子顕微鏡の歪補正方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02103852A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009070829A (ja) * | 2008-11-25 | 2009-04-02 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子顕微鏡 |
| JP2013061290A (ja) * | 2011-09-14 | 2013-04-04 | Sumitomo Rubber Ind Ltd | ゴム材料のシミュレーション方法 |
| US20150145980A1 (en) * | 2013-11-27 | 2015-05-28 | Mitutoyo Corporation | Machine Vision Inspection System and Method for Obtaining an Image With an Extended Depth of Field |
| US10178321B2 (en) * | 2013-11-27 | 2019-01-08 | Mitutoyo Corporation | Machine vision inspection system and method for obtaining an image with an extended depth of field |
-
1988
- 1988-10-08 JP JP25428288A patent/JPH02103852A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009070829A (ja) * | 2008-11-25 | 2009-04-02 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子顕微鏡 |
| JP2013061290A (ja) * | 2011-09-14 | 2013-04-04 | Sumitomo Rubber Ind Ltd | ゴム材料のシミュレーション方法 |
| US20150145980A1 (en) * | 2013-11-27 | 2015-05-28 | Mitutoyo Corporation | Machine Vision Inspection System and Method for Obtaining an Image With an Extended Depth of Field |
| US9726876B2 (en) * | 2013-11-27 | 2017-08-08 | Mitutoyo Corporation | Machine vision inspection system and method for obtaining an image with an extended depth of field |
| US10178321B2 (en) * | 2013-11-27 | 2019-01-08 | Mitutoyo Corporation | Machine vision inspection system and method for obtaining an image with an extended depth of field |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0616473B1 (en) | Image correction apparatus | |
| JP2551984B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPH02103852A (ja) | 走査型電子顕微鏡の歪補正方式 | |
| JP6796616B2 (ja) | 荷電粒子線装置および画像取得方法 | |
| JPH06217236A (ja) | 表示装置 | |
| JP2542578B2 (ja) | シエ−デイング補正信号発生回路 | |
| JPH0689687A (ja) | 走査電子顕微鏡における自動焦点合わせ装置 | |
| JP3571561B2 (ja) | 走査顕微鏡 | |
| US20050017192A1 (en) | System and method for fast focal length alterations | |
| JP3101089B2 (ja) | 走査電子顕微鏡における輝度補正方法 | |
| KR830002228B1 (ko) | 주사 전자 현미경 | |
| JP3268445B2 (ja) | 電子顕微鏡装置 | |
| JPS5820192B2 (ja) | コンバ−ジエンス制御装置 | |
| JPS5914222B2 (ja) | 走査電子顕微鏡等用倍率制御装置 | |
| JP2918344B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JP2737220B2 (ja) | 走査型反射回折電子顕微鏡 | |
| JPH01221849A (ja) | 走査形電子顕微鏡 | |
| JPH08223470A (ja) | 自動焦点制御方法及び装置 | |
| JPH027506B2 (ja) | ||
| JP2002343293A (ja) | 走査形電子顕微鏡装置 | |
| JPS5847825B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JPH09312142A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPH0215153B2 (ja) | ||
| JPS62232845A (ja) | 電子線走査型映像装置 | |
| JPH05190130A (ja) | 電子顕微鏡の電子ビーム偏向磁場調整方法 |