JPH0194391A - 検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、検査方法に関する。

（従来の技術） 文字、数字、図形、画像等を電気的手段を利用して表示
する表示装置として、軽量小型、低消費電力、長寿命化
等の見地から１例えばＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ　Ｃｒｙｓ
ｔａｌ　Ｄｉｓｐｌａｙ　：液晶表示）装置が実用され
ている。

上記ＬＣＤ装置の表示は一般にマトリクス状に構成され
た液晶デバイスを例えばＴ　Ｆ　Ｔ　（ＴｈｉｎＦｉｌ
ｍ　Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）により駆動することにより
行なわれるのであるが、近年、上記ＴＰＴ等の不良に起
因する表示の欠陥を救済する一手段として、例えば日経
エレクトロニクス１９８６．１２．１５（ｎｏ、４１０
）の２０２ページ以降に記載されている液晶の１画素を
介在した２ＴＦＴ構成等による冗長回路が提案されいる
。

そして、上記ＴＰＴの電気的特性の検査は、−般に電子
ビーム（ＥＢ）法、レーザビーム法等による検査装置に
より行なわれている。

（発明が解決しようとする間層点） しかしながら、上述の検査装置は一般に高価であり、ま
た微細デバイスの所定位置にビームを正確に照射するの
は技術的にも難しく、さらにテレビ画面用ＬＣＤのよう
にデバイス数が極めて多い場合には検査時間が長くかか
るというような問題点がある。

本発明は上述の従来事情に対処してなされもので、安価
で簡便に冗長回路も同時に電気的特性を検査する検査方
法を提供しようとするものである。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段） すなわち本発明は、能動回路およびこの回路の冗長回路
を備えた電気回路の電気的特性を検査するに際し、上記
能動回路および冗長回路間に検査信号を印加し、出力信
号検査することを特徴とする。

（作　　用） 本発明検査方法によれば、能動回路および冗長回路間に
検査信号を印加して検査するので、冗長回路も同時に電
気的特性を検査でき、従来のような高価な検査装置は必
要とせず、簡便に検査を行なうことができる。

（実　施　例） 以下、本発明検査方法の一実施例を図面を参照して説明
する。

第１図に示すように、電気回路、例えばアクティブマト
リクス方式のＬＣＤ回路■は、信号線。

例えばｍ本の走査信号線■Ｘ１〜Ｘ１、ｎ本のデータ信
号線■Ｙ工〜Ｙｎを備え、また上記信号線からの入力信
号に応じて駆動され画素に）を表示駆動する複数の例え
ば２個のＴＰＴ０１〜２を備えている。

そして、この２個のＴＰＴ０１〜２は、何れか１個のみ
でもこの２個のＴＦＴ■１，２間に介在した液晶の画素
に）を表示駆動可能であり、２ＴＦＴ方式と呼称される
何れか一方が能動回路、他方が冗長回路として構成され
ている。

次に、ＬＣＤ回路■の各信号線は、検査装置０の所定箇
所に電気的に接続されており、例えば走査信号線■ｘ１
〜ｘ１は検査装置０によって制御される有接点スイッチ
■５ｖ−Ｘ　（１〜ｍ）に接続されている。

そして、このスイッチ■５Ｗ−Ｘを閉じることにより走
査信号線■に電気信号が印加可能に構成されている。

一方、データ信号線■Ｙ１〜Ｙ０も検査装置０の所定箇
所に電気的に接続されており、例えば、データ信号線■
Ｙ工〜Ｙｎ−□は検査装置０によって制御される検査の
有接点入力線スイッチ（８）ｓＷ−ＹｚＮ（１〜ｎ−１
）に、また、データ信号線■Ｙ２〜Ｙｎは検査の有接点
出力線スイッチ０ＳＷ−Ｙｏｕｒ（２ｎ）に接続されて
いる。

そして、隣接する信号線、例えばデータ信号線■Ｙ１〜
Ｙ２の一方のデータ信号線■Ｙ１を検査の入力線、他方
のデータ信号線■Ｙ２を検査の出力線として使用、出力
信号検査をする如く構成されている。

次に、検査方法を説明する。

画素１１（１０）部を検査する際には、検査装置０の制
御により、走査信号線■に接続するスイッチ■Ｓトｘの
１および２を閉じ、また検査の入力線スイッチ（８）Ｓ
　ｂ　−Ｙ　ｘ　Ｎの１、検査の出方線スイッチ（９）
ＳＷ　−ＹＯＵＴの２を閉じる。

そして、上記によりＬＣＤ回路■の走査信号線■のｘｌ
およびｘ２、データ信号線（３）のＹ工に所定の検査信
号を印加し、能動回路、液晶冗長回路間に検査信号を供
給すると、データ信号線■のＹ２の例えば出力電流（１
１）には正常時と不良時で異なる出方を示し、これを検
査装置０によって測定検査する。

画素２１（１２）部分を検査する際には、スイッチ■５
ＩＪ−Ｘノ１および２、スイッチ（８）ＳＷ−ＹｘＮ（
７）　２、スイッチＱ９）ＳＶ−Ｙｏｕｒの３を閉じ、
また画素１２（１３）部分を検査する際には、スイッチ
■５Ｗ−Ｘの２および３、スイッチ（ａ　Ｓ　Ｗ　−Ｙ
　Ｘ　Ｎ　（７）１、　スイッチ（９）ＳＷ−ＹｏｕＴ
（７１２を閉じて検査を行ない、上記の要領ですべての
画素の部分について能動回路と冗長回路の同時検査を繰
返す。

ここで、検査について詳述する。

第２図において、下表の検査項目例のうち、Ａ）ＴＦＴ
導通検査を行なう際には次のようにする。

検査入力条件として、走査信号線■Ｘ１１１−１には、
Ｔ　Ｐ　Ｔ　（１４）　（Ｘ−−１，Ｙｎ−□）を導通
状態にするための電圧ＶＯＮを印加し、走査信号線■ｘ
１．ｌには、ＴＰＴ（ｉｓ）（ｘ、、　ｙｎ）を導通状
態にするための電圧Ｖ。Ｎを印加する。

また、データ信号線（３）Ｙ　ｎ−□には所定の電圧Ｅ
を印加する。

この時、２つのＴ　Ｐ　Ｔ　（１４）　（Ｘ−−−＝　
Ｙｎ−□）、（１５）（Ｘｍｙ　ｙｎ）が導通状態にあ
れば画素（１６）を表示駆動すると共に、データ信号線
■Ｙｎに出力電流（１７）ＩＹＳＭが測定され、この出
力電流（１７）　ＩＹＳＭの値が良否判定基準値工。ｅ
［！、より大きければ検査合格と判定する。なお、逆に
出力電流（１７）ｈｓＭが良否判定基準値ｌ０ＰＩ！Ｎ
より小さければ不良と判定されるが、コノ族、Ｔ　Ｐ　
Ｔ　（１４）　（Ｘ、−１，Ｙｎ−０）　Ｔ　Ｐ　Ｔ　
（１５）　（Ｘ、。

ｙｎ）のどちらか一方のみが断線不良となっているのか
、あるいは両方共断線不良になっているかについては１
判定不可能である。

次に、下０表のＢ）　Ｔ　Ｆ　Ｔ　（１４）　ＣＸｌ１
１−１．Ｙｈ−ｔ）短絡検査に際しては、上記と同様の
要領にてＴ　Ｐ　Ｔ　（１４）（ｘｍ−０ｔｖｎ−１）
を遮断状態、Ｔ　Ｐ　Ｔ　（１５）　（Ｘ＋−Ｙｎ）を
導通状態にして出力電流（１７）ＩＹＳＭを測定し、こ
の出力電流（１７）Ｉｙｓｓの値が良否判定基準値ｌ３
ＨＯＲＴより小さければ、Ｔ　Ｐ　Ｔ　（１４）　（Ｘ
ｍ−１−Ｙｎ−ｔ）は短絡しておらず検査合格と判定す
る。

以下、他の検査項目についても、下表に示す検査項目の
諸条件の下で検査を行ない、画素（１６）の数だけ上記
検査を繰返す。

但し、 ＶＯＮ・・・ＴＰＴがＯＮするための印加電圧■。ＦＦ
・・・ＴＰＴがＯＦＦするための印加電圧Ｅ・・・所定
の電圧 ＩＹＳＭ・・・ＴＰＴの導通時の電流 昨・・・ＴＰＴの０Ｎ１０ＦＦ特性を検査するための可
変電圧１ＯＰＥＮ・・・ＴＰＴの断線を判定する条件電
流値工。ＨＯＲＴ・・・ＴＦＴが短絡した時の電流値な
お、上記実施例では検査の入力線出力線として、それぞ
れデータ信号線■Ｙｎ−いデータ信号線■Ｙ、を使用し
て検査したものについて説明したが、本発明はかかる実
施例に限定されるものではなく。

例えば上記信号線■を逆値用して、データ信号線■Ｙｎ
を入力線、データ信号線■Ｙｎ−１を出力線として使用
しても良い。

また、検査項目例中、例えばＡ）ＴＦＴ導通検査の場合
には、データ信号線■に囲まれた画素（１６）部分を複
数個まとめて左端のデータ信号線■を入力線、右端のデ
ータ信号線■を出力線として使用して検査することも可
能である。

さらにスイッチ■５Ｗ−Ｘ等に有接点スイッチを使用し
たものについて説明したが、無接点スイッチ等の他のス
イッチを使用しても良いことは言うまでもない。

上記説明から理解されるように、従来の検査方法のよう
な高価な検査装置は不要で、極く一般的な検査システム
にて検査を実現することができる。

〔発明の効果〕

上述のように、本発明検査方法によれば、安価で簡便に
能動回路と冗長回路の検査を同時に行なうことができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明検査方法の一実施例を説明するための構
成図、第２図は第１図の主要部の説明図である。 １・・・ＬＣＤ回路、　　　２・・・走査信号線、３・
・・データ信号線、 ４、１０．１２．１３．１６・・・画素、５、１４．１
５・・・ＴＦＴ、　　６・・・検査装置、７．８．９・
・・スイッチ、 １７・・・出力電流。 特許出願人　　チル九州株式会社 第１図 第２図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）能動回路およびこの回路の冗長回路を備えた電気
   回路の電気的特性を検査するに際し、上記能動回路およ
   び冗長回路間に検査信号を印加し、出力信号検査するこ
   とを特徴とする検査方法。
2. （２）冗長回路は２ＴＦＴ間に液晶を介在したことを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の検査方法。
3. （３）電気回路はアクティブマトリクス方式のＬＣＤ回
   路であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   検査方法。