JPH0192065A - 両頭研削用キャリア - Google Patents
両頭研削用キャリアInfo
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- JPH0192065A JPH0192065A JP62251411A JP25141187A JPH0192065A JP H0192065 A JPH0192065 A JP H0192065A JP 62251411 A JP62251411 A JP 62251411A JP 25141187 A JP25141187 A JP 25141187A JP H0192065 A JPH0192065 A JP H0192065A
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- Japan
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- carrier
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Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、高速度で研削加工する研削盤に、被加工物を
保持して研削加工部に被加工物を供給するためのキャリ
アに関する。
保持して研削加工部に被加工物を供給するためのキャリ
アに関する。
従来、ＩＣ基板や電子部品用ウェハなどの極薄板部品の
両面仕上げ加工法としては、ラッピングやポリシリング
等の研磨加工が行われている。しかし、この方法は１表
面を研磨するものであって。
両面仕上げ加工法としては、ラッピングやポリシリング
等の研磨加工が行われている。しかし、この方法は１表
面を研磨するものであって。
被加工物を短時間に極薄板状に加工する方法としては適
当ではない。
当ではない。
そこで、被加工物を短時間に加工する方法として研削加
工法が考えられる。この研削加工法は。
工法が考えられる。この研削加工法は。
高速度による強制切込み方式のため、ラップ加工に比べ
て、高能率な加工を行うことができる。
て、高能率な加工を行うことができる。
しかしながら、上記研削加工は仕上げ厚さが０゜７Ｍ以
下という極薄板の加工には殆ど使用することができない
、その理由は、被加工物を研削盤の砥石間の研削加工部
分へ送り込むキャリアが、被加工物よりも薄いため、そ
の使用中に剛性、耐久性が極端に劣化し、被加工物を安
定して研削加工部分へ供給することができなくなう、て
しまうからである。
下という極薄板の加工には殆ど使用することができない
、その理由は、被加工物を研削盤の砥石間の研削加工部
分へ送り込むキャリアが、被加工物よりも薄いため、そ
の使用中に剛性、耐久性が極端に劣化し、被加工物を安
定して研削加工部分へ供給することができなくなう、て
しまうからである。
例えば、キャリアとしてラッピングに用いられているス
チール板を用いる場合には、被加工物の研削加工中に該
スチール板が砥石と接触し２発熱し、変形を生じてしま
う、第６図は、この状態を示し、当初点線８で示すごと
く平円板であったスチール製キャリアが、使用中に実線
８０で示すごとき波状円板に変形してしまう、そして、
このような変形が生ずると、加工中に被加工物がキャリ
アの下方へもぐり込み、加工不良となり、更には被加工
物に損傷を生じて、被加工物自体が廃品となるおそれが
ある。なお、同図において符号８１は保持孔、８２は回
転軸孔である。
チール板を用いる場合には、被加工物の研削加工中に該
スチール板が砥石と接触し２発熱し、変形を生じてしま
う、第６図は、この状態を示し、当初点線８で示すごと
く平円板であったスチール製キャリアが、使用中に実線
８０で示すごとき波状円板に変形してしまう、そして、
このような変形が生ずると、加工中に被加工物がキャリ
アの下方へもぐり込み、加工不良となり、更には被加工
物に損傷を生じて、被加工物自体が廃品となるおそれが
ある。なお、同図において符号８１は保持孔、８２は回
転軸孔である。
また、キャリアとして樹脂板を用いる場合には。
被加工物が研削加工中にキャリアの保持孔内で動くため
に、第７図に示すごとく、キャリア８４において、当初
真円状であった保持孔８１が使用中に実線８５で示すご
とく長孔状に摩耗してしまう。
に、第７図に示すごとく、キャリア８４において、当初
真円状であった保持孔８１が使用中に実線８５で示すご
とく長孔状に摩耗してしまう。
そして、上記スチール板使用の場合と同様の問題を発生
する。
する。
しかして、ここで重要なことは、研削加工は。
ラッピングやポリシングのごとき緩和な条件ではなく、
厳しい条件下でおこなわれるということである。即ち、
研削加工においては、その工具（砥石）の周速は１００
０〜１５００ｍ／分という高速であり、これはラップ工
具（定盤）の周速の１０〜３０倍も大きい、それ故、研
削加工においては砥石とキャリアとの接触による発熱が
極めて大きく、前記のごとくキャリアに問題を生ずるの
である。また、高速であるため、被加工物がキャリアの
保持孔中で回転、移動し、該保持孔の壁を高速で摺り、
前記のごとく保持孔が急速に摩耗することとなる。また
、ラッピングは定圧切込みで。
厳しい条件下でおこなわれるということである。即ち、
研削加工においては、その工具（砥石）の周速は１００
０〜１５００ｍ／分という高速であり、これはラップ工
具（定盤）の周速の１０〜３０倍も大きい、それ故、研
削加工においては砥石とキャリアとの接触による発熱が
極めて大きく、前記のごとくキャリアに問題を生ずるの
である。また、高速であるため、被加工物がキャリアの
保持孔中で回転、移動し、該保持孔の壁を高速で摺り、
前記のごとく保持孔が急速に摩耗することとなる。また
、ラッピングは定圧切込みで。
負荷に応じて除去能率が加減されるため、キャリアへ作
用する力が小さく、樹脂板程度でも耐えられるが、研削
加工は強制切込みで除去能率が２０〜３０倍という高速
であるため、研削抵抗が数１０倍高く作用する。更に、
被加工物の取りしるや砥石の切れ味変化により、キャリ
アに与える負荷変動も一様でないため、キャリア強度の
差が耐久性の差として顕著に現れる。
用する力が小さく、樹脂板程度でも耐えられるが、研削
加工は強制切込みで除去能率が２０〜３０倍という高速
であるため、研削抵抗が数１０倍高く作用する。更に、
被加工物の取りしるや砥石の切れ味変化により、キャリ
アに与える負荷変動も一様でないため、キャリア強度の
差が耐久性の差として顕著に現れる。
以上のごとく、従来は、特に厚み０．７ｍｍ以下の極薄
板に加工する場合、研削加工用として有効な耐久性ある
キャリアがなかったため、低能率で自動化が困難である
にも拘らず、殆どの場合、ラッピングに頼らざるを得な
かった。
板に加工する場合、研削加工用として有効な耐久性ある
キャリアがなかったため、低能率で自動化が困難である
にも拘らず、殆どの場合、ラッピングに頼らざるを得な
かった。
本発明は、上記問題点に鑑み、キャリアの構造等につき
種々の検討を重ね、高速度加工である研削加工に用いる
ことができる。耐久性に優れたキャリアを提供しようと
するものである。
種々の検討を重ね、高速度加工である研削加工に用いる
ことができる。耐久性に優れたキャリアを提供しようと
するものである。
本発明は、被加工物の両面を高速度で研削加工して極薄
板となすに際して研削加工の間被加工物を保持しておく
ためのキャリアであって、該キャリアは中央部に配した
鋼板とその両面に配した繊維強化樹脂層とからなると共
に、被加工物を保持 −するための保持孔を有するこ
とを特徴とする両頭研削用キャリアにある。
板となすに際して研削加工の間被加工物を保持しておく
ためのキャリアであって、該キャリアは中央部に配した
鋼板とその両面に配した繊維強化樹脂層とからなると共
に、被加工物を保持 −するための保持孔を有するこ
とを特徴とする両頭研削用キャリアにある。
本発明において、キャリアは中央板としての鋼板とその
上面及び下面に設けた繊維強化樹脂層とよりなる三層構
造を有する。上記鋼板としては普通鋼２機械構造用鋼等
の炭素鋼、ステンレス鋼。
上面及び下面に設けた繊維強化樹脂層とよりなる三層構
造を有する。上記鋼板としては普通鋼２機械構造用鋼等
の炭素鋼、ステンレス鋼。
ばね鋼、工具鋼等の合金鋼などを用いる。また。
繊維強化樹脂層は、綱、織物２編物、短繊維等の繊維の
周囲に樹脂を含浸、被覆させたものである。
周囲に樹脂を含浸、被覆させたものである。
この中、繊維として織物、ｒＡ物を用いたものが。
その強度上から好ましい、また、繊維の材質としては、
ガラス繊維、炭素繊維、アラミド等の有機繊維などを用
いる。上記樹脂としては、不飽和ポリエステル、フェノ
ール、エポキシ、ポリイミド等の樹脂を用いる。しかし
て、上記のごときキャリアを作製するに当たっては１例
えば後述する第３図に示すごと＜、ｉｔｇｌ板の上下に
繊維強化樹脂層板を配すると共に１両者の間に、ポリオ
レフィン。
ガラス繊維、炭素繊維、アラミド等の有機繊維などを用
いる。上記樹脂としては、不飽和ポリエステル、フェノ
ール、エポキシ、ポリイミド等の樹脂を用いる。しかし
て、上記のごときキャリアを作製するに当たっては１例
えば後述する第３図に示すごと＜、ｉｔｇｌ板の上下に
繊維強化樹脂層板を配すると共に１両者の間に、ポリオ
レフィン。
ポリアミドなどの接着フィルムを配し、これらを重ね合
わせ、プレスしながら加熱し、接着フィルムを溶融し、
その後固化させる。その後、プレス抜き、レーザ加工等
により被加工物の保持孔などを穿設し、キャリアとする
。
わせ、プレスしながら加熱し、接着フィルムを溶融し、
その後固化させる。その後、プレス抜き、レーザ加工等
により被加工物の保持孔などを穿設し、キャリアとする
。
また、キャリアは実施例に示すごとき円板状の外、角板
状等適宜の形状とする。また、保持孔についても被加工
物の外形に応じた形状とする。キャリアの厚みは、被加
工物の最終厚みとほぼ同じか又はこれより薄い０例えば
被加工物の最終厚みが０．１ｍ以下の場合には、キャリ
アは０．７或いは０．６５以下である。
状等適宜の形状とする。また、保持孔についても被加工
物の外形に応じた形状とする。キャリアの厚みは、被加
工物の最終厚みとほぼ同じか又はこれより薄い０例えば
被加工物の最終厚みが０．１ｍ以下の場合には、キャリ
アは０．７或いは０．６５以下である。
本発明においては、キャリアがその中央部に硬質の鋼板
を、またその両面に繊維強化樹脂層を有しているので、
研削加工時に鋼板が砥石面と接触することがなく、シた
がって前記のごとき発熱を生じないので、キャリアが熱
変形し−ない、また。
を、またその両面に繊維強化樹脂層を有しているので、
研削加工時に鋼板が砥石面と接触することがなく、シた
がって前記のごとき発熱を生じないので、キャリアが熱
変形し−ない、また。
保持孔においては鋼板と繊維強化樹脂層の三層によって
被加工物を保持するので、被加工物が保持孔中で摺動し
ても耐摩耗性の高い鋼板の存在によって樹脂が摩耗せず
、保持孔は長期間その形状を維持することができる。ま
た、繊維強化樹脂層は繊維によって補強されているため
、砥石面に接触しても摩耗し難い。
被加工物を保持するので、被加工物が保持孔中で摺動し
ても耐摩耗性の高い鋼板の存在によって樹脂が摩耗せず
、保持孔は長期間その形状を維持することができる。ま
た、繊維強化樹脂層は繊維によって補強されているため
、砥石面に接触しても摩耗し難い。
従って９本発明によれば従来キャリアに比して数〜数十
倍の寿命を有し、高速度で研削加工する場合においても
優れた耐久性を有するキャリアを提供することができる
。また、そのために薄板状部品の加工においても充分安
定した研削加工が可能となり、ラッピングに比べ数十倍
の加工能率を達成することができる。
倍の寿命を有し、高速度で研削加工する場合においても
優れた耐久性を有するキャリアを提供することができる
。また、そのために薄板状部品の加工においても充分安
定した研削加工が可能となり、ラッピングに比べ数十倍
の加工能率を達成することができる。
本発明にかかる実施例を、第１図ないし第５図を用いて
説明する。同図において第１〜第３図はキャリアを、第
４図及び第５図はキャリアの使用状態を示す。
説明する。同図において第１〜第３図はキャリアを、第
４図及び第５図はキャリアの使用状態を示す。
本例にかかるキャリアは、第１図及び第２図に示すごと
く円板状をなし、その中心部に回転軸を挿入するための
回転軸孔１２を、またその周囲に被加工物を挿入保持す
るための多数の保持孔１５を有する。しかして、該キャ
リア１は、第２図にその断面を示すごとく、中央部に円
板状のステンレス板１０を、その上下両面に繊維強化樹
脂層１１．１１の層を形成した三層構造を有する。ここ
に、上記ステンレス板１０は厚み約２００μｍ。
く円板状をなし、その中心部に回転軸を挿入するための
回転軸孔１２を、またその周囲に被加工物を挿入保持す
るための多数の保持孔１５を有する。しかして、該キャ
リア１は、第２図にその断面を示すごとく、中央部に円
板状のステンレス板１０を、その上下両面に繊維強化樹
脂層１１．１１の層を形成した三層構造を有する。ここ
に、上記ステンレス板１０は厚み約２００μｍ。
繊維強化樹脂層１１は厚み約１１００１Ｉである。
この繊維強化樹脂層としては、直径５〜１０μｍのガラ
ス繊維を束ねて編んだクロスに、エポキシ樹脂を含浸、
固化させたものを用いた。尚９本実施例は加工物仕上厚
さ０．５閣用で更に薄い寸法にする場合はステンレス板
を薄くする。
ス繊維を束ねて編んだクロスに、エポキシ樹脂を含浸、
固化させたものを用いた。尚９本実施例は加工物仕上厚
さ０．５閣用で更に薄い寸法にする場合はステンレス板
を薄くする。
上記キャリアｌを製作するに当たっては、第３図に示す
ごとく、ステンレス板１０の両面に上記繊維強化樹脂層
１１．１１を配すると共に両者の間にポリオレフィン材
からなる接着フィルム５゜５を介在させ、これらを重ね
合わせ、その上から圧力をかけながら加熱した。これに
より接着フィルムは溶融し２次いで冷却することによっ
て２両者を接着した。更に、その後ポンチにより、第１
図に示すごとく、直径８０閤の回転軸孔１２と直径１７
ｍｍの保持孔１５を穿設し、キャリア１となした。
ごとく、ステンレス板１０の両面に上記繊維強化樹脂層
１１．１１を配すると共に両者の間にポリオレフィン材
からなる接着フィルム５゜５を介在させ、これらを重ね
合わせ、その上から圧力をかけながら加熱した。これに
より接着フィルムは溶融し２次いで冷却することによっ
て２両者を接着した。更に、その後ポンチにより、第１
図に示すごとく、直径８０閤の回転軸孔１２と直径１７
ｍｍの保持孔１５を穿設し、キャリア１となした。
次に、上記キャリアｌを用いて、被加工物を研削加工す
る例につき説明する。
る例につき説明する。
研削加工は、第４図及び第５図に示すごとく。
回転する砥石２０と３０との間に、キャリア１の保持孔
１５に保持した被加工物４を、キャリア１を順次回しな
がら送り込むことにより行う、砥石２０．３０は互いに
逆方向に毎分約１０００回転の高速で回転し、キャリア
１は毎分約１回転で回転する。第４図に示すごとく、被
加工物４は砥石２０．３０の間に、キャリア１に保持さ
れたまま供給され、順次左方向に回転させられながら送
られ、砥石面２１．３１により研削加工されて最終の極
薄板４２となって取り出される。符号４１は。
１５に保持した被加工物４を、キャリア１を順次回しな
がら送り込むことにより行う、砥石２０．３０は互いに
逆方向に毎分約１０００回転の高速で回転し、キャリア
１は毎分約１回転で回転する。第４図に示すごとく、被
加工物４は砥石２０．３０の間に、キャリア１に保持さ
れたまま供給され、順次左方向に回転させられながら送
られ、砥石面２１．３１により研削加工されて最終の極
薄板４２となって取り出される。符号４１は。
研削加工の中間状態の被加工物を示している。
なお、被加工物４は第５図に示すごとく、砥石前方にお
いて保持孔１５に挿入し、研削加工後同図に示すごとく
極薄板４２として取り出される。
いて保持孔１５に挿入し、研削加工後同図に示すごとく
極薄板４２として取り出される。
なお、上記砥石２０．３０は、その基台２２．３２に固
定し１回転軸（図示せず）によりそれぞれ回転する。な
お、上側の砥石３０の軸心は、下側の砥石２０の軸心に
対して角度θだけ傾斜させである。これは、上記のごと
く右から左方向に順次。
定し１回転軸（図示せず）によりそれぞれ回転する。な
お、上側の砥石３０の軸心は、下側の砥石２０の軸心に
対して角度θだけ傾斜させである。これは、上記のごと
く右から左方向に順次。
間隙を小さくして被゛加工物を順次研削加工するためで
ある。
ある。
以上のごとく１本例のキャリアにおいては、中心部に硬
質のステンレス板を、その上下面に軟質でかつ耐摩耗性
のエポキシ樹脂含浸の繊維強化樹脂層を設けているので
、被加工物を高速度で研削加工しても、キャリアに損傷
を与えることがない。
質のステンレス板を、その上下面に軟質でかつ耐摩耗性
のエポキシ樹脂含浸の繊維強化樹脂層を設けているので
、被加工物を高速度で研削加工しても、キャリアに損傷
を与えることがない。
第１図ないし第５図は本発明の実施例を示し。
第１図はキャリアの斜視図、第２図はキャリアの要部断
面図、第３図はキャリアの製作状況を示す図、第４図は
第５図のｍＶ−ＩＶ線矢視方向から見た研削加工時の要
部断面図、第５図は研削加工時の斜視図、第６図及び第
７図は従来のキャリアを示し、第６図は斜視図、第７図
は他の従来例の平面図である。 １６１．キャリア、 ｉｏ、、、鋼板。 １１、 、 、繊維強化樹脂層、１２．、、回転軸孔。 １５、、、保持孔。 ２０．３０．、、砥石。 ２１．３１．、、砥石面。 ４０９．被加工物、 ４２．、、極薄板。 ８．８４．、、従来のキャリア。
面図、第３図はキャリアの製作状況を示す図、第４図は
第５図のｍＶ−ＩＶ線矢視方向から見た研削加工時の要
部断面図、第５図は研削加工時の斜視図、第６図及び第
７図は従来のキャリアを示し、第６図は斜視図、第７図
は他の従来例の平面図である。 １６１．キャリア、 ｉｏ、、、鋼板。 １１、 、 、繊維強化樹脂層、１２．、、回転軸孔。 １５、、、保持孔。 ２０．３０．、、砥石。 ２１．３１．、、砥石面。 ４０９．被加工物、 ４２．、、極薄板。 ８．８４．、、従来のキャリア。
Claims (4)
- （１）被加工物の両面を高速度で研削加工して極薄板と
なすに際して研削加工の間被加工物を保持しておくため
のキャリアであって、該キャリアは中央部に配した鋼板
とその両面に配した繊維強化樹脂層とからなると共に、
被加工物を保持するための保持孔を有することを特徴と
する両頭研削用キャリア。 - （２）被加工物は、０．７ｍｍ以下の極薄板に加工され
るものであることを特徴とする特許請求の範囲第１項に
記載の両頭研削用キャリア。 - （３）繊維強化樹脂層の繊維は、ガラス繊維、炭素繊維
、アラミド繊維等の高強度繊維であることを特徴とする
特許請求の範囲第１項又は第２項に記載の両頭研削用キ
ャリア。 - （４）繊維強化樹脂層の樹脂は、不飽和ポリエステル樹
脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂で
あることを特徴とする特許請求の範囲第１項、第２項又
は第３項に記載の両頭研削用キャリア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62251411A JPH0192065A (ja) | 1987-10-05 | 1987-10-05 | 両頭研削用キャリア |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62251411A JPH0192065A (ja) | 1987-10-05 | 1987-10-05 | 両頭研削用キャリア |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0192065A true JPH0192065A (ja) | 1989-04-11 |
| JPH042387B2 JPH042387B2 (ja) | 1992-01-17 |
Family
ID=17222443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62251411A Granted JPH0192065A (ja) | 1987-10-05 | 1987-10-05 | 両頭研削用キャリア |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0192065A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5301078A (en) * | 1990-06-15 | 1994-04-05 | Hitachi, Ltd. | Magnetic disk unit and manufacturing method of carriage structure thereof |
| US5584750A (en) * | 1994-09-07 | 1996-12-17 | Toshiba Machine Co., Ltd. | Polishing machine with detachable surface plate |
| CN102773791A (zh) * | 2012-07-30 | 2012-11-14 | 成都富凯飞机工程服务有限公司 | 活塞研磨工装 |
| CN110919541A (zh) * | 2019-12-12 | 2020-03-27 | 唐伟 | 一种光纤端面检测装置 |
-
1987
- 1987-10-05 JP JP62251411A patent/JPH0192065A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5301078A (en) * | 1990-06-15 | 1994-04-05 | Hitachi, Ltd. | Magnetic disk unit and manufacturing method of carriage structure thereof |
| US5584750A (en) * | 1994-09-07 | 1996-12-17 | Toshiba Machine Co., Ltd. | Polishing machine with detachable surface plate |
| CN102773791A (zh) * | 2012-07-30 | 2012-11-14 | 成都富凯飞机工程服务有限公司 | 活塞研磨工装 |
| CN110919541A (zh) * | 2019-12-12 | 2020-03-27 | 唐伟 | 一种光纤端面检测装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH042387B2 (ja) | 1992-01-17 |
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