JP2019034350A - 板加工用キャリア及び研磨方法 - Google Patents

Abstract

【課題】研磨時に発生した熱に起因する砥石と接触して熱応力による反り及びたわみを抑制しつつ、加工対象物の研磨加工後における厚さのばらつきを抑制することができる板加工用キャリアを提供する。【解決手段】一実施形態に係る板加工用キャリアは、樹脂製のキャリア本体と、キャリア本体の内部に配置される金属部材とを備える。金属部材には、規則的に配列された複数の貫通穴が設けられる。貫通穴は、金属部材を厚さ方向に貫通する。【選択図】図１

Description

本発明は、板加工用キャリア及び研磨方法に関する。

従来から、板加工用キャリアとして、特開２００４−５８２５７号公報（特許文献１）に記載の研磨キャリアが知られている。特許文献１の研磨キャリアは、カーボンナノチューブを含有する鋼製の基材により構成されている。

その他の板加工用キャリアとしては、例えば特開２０００−１２７０３０号公報（特許文献２）に記載のキャリア材、特開平９−２３９６５８号公報（特許文献３）に記載のキャリア及び特開２００８−４４０８３号公報（特許文献４）が知られている。

特開２００４−５８２５７号公報 特開２０００−１２７０３０号公報 特開平９−２３９６５８号公報 特開２００８−４４０８３号公報

上記のとおり、特許文献１に記載の研磨キャリアは、鋼製の基材により構成されている。そのため、特許文献１に記載の研磨キャリアにおいては、研磨時に砥石と接触して発生する熱に起因した熱応力により、反り、たわみが生じるおそれがある。一方、研磨キャリアの剛性が十分でない場合には、加工対象物の研磨後における厚さのばらつきを生じさせるおそれがある。

本発明は、このような従来技術の問題点に鑑みてなされたものである。より具体的には、本発明は、研磨時に砥石と接触して発生した熱に起因する熱応力による反り、たわみを抑制しつつ、加工対象物の研磨加工後における厚さのばらつきを抑制することができる板加工用キャリア及び研磨方法を提供するものである。

本発明の一態様に係る板加工用キャリアは、樹脂製のキャリア本体と、キャリア本体の内部に配置される金属部材とを備える。金属部材には、規則的に配列された複数の貫通穴が設けられる。貫通穴は、金属部材を厚さ方向に貫通する。

本発明の一態様に係る研磨方法は、加工対象物を板加工用キャリアに保持させる工程と、板加工用キャリアをラップ盤に保持させる工程と、板加工用キャリアをラップ盤が自転及び公転させた状態で加工対象物を研磨する工程とを備える。

板加工用キャリアは、樹脂製のキャリア本体と、キャリア本体の内部にあり、かつ規則的に配列された複数の貫通穴が設けられた金属部材とを備える。キャリア本体には、キャリア本体を厚さ方向に貫通し、かつ加工対象物を保持するワークポケットが設けられる。貫通穴は、金属部材を厚さ方向に貫通する。ラップ盤は、板加工用キャリアが載置される定盤を備える。研磨する工程は、定盤と板加工用キャリアとの間に研削液を供給することによって行われる。

上記によれば、研磨時に砥石と接触して発生した熱に起因する熱応力による板加工用キャリアの反り、たわみを抑制しつつ、加工対象物の研磨加工後における厚さのばらつきを抑制することができる。

実施形態に係る板加工用キャリア１の上面図である。 実施形態に係る板加工用キャリア１の側面図である。 実施形態に係る研磨方法を示す工程図である。 実施形態に係る研磨方法に用いられるラップ盤３０の構成を示す模式図である。

［本発明の実施形態の説明］
まず、本発明の実施態様を列記して説明する。

（１）本発明の一態様に係る板加工用キャリアは、樹脂製のキャリア本体と、キャリア本体の内部に配置される金属部材とを備える。金属部材には、規則的に配列された複数の貫通穴が設けられる。貫通穴は、金属部材を厚さ方向に貫通する。

上記（１）の板加工用キャリアによると、研磨時に砥石と接触して発生した熱に起因する熱応力による板加工用キャリアの反り、たわみを抑制しつつ、加工対象物の研磨加工後における厚さのばらつきを抑制することができる。

（２）上記（１）の板加工用キャリアにおいて、貫通穴の形状は、平面視において、円形、六角形及び三角形から選択される形状を有していてもよい。

上記（２）の板加工用キャリアによると、研磨時に砥石と接触して発生した熱に起因する熱応力による板加工用キャリアの反り、たわみを抑制しつつ、加工対象物の研磨加工後における厚さのばらつきを抑制することができる。

（３）上記（１）又は上記（２）の板加工用キャリアにおいて、隣り合って配列される貫通穴の間隔は、１ｍｍ以上３ｍｍ以下であってもよい。

上記（３）の板加工用キャリアによると、加工対象物の研磨後における厚みのばらつきをさらに抑制することができる。

（４）上記（１）〜上記（３）の板加工用キャリアにおいて、キャリア本体の厚さは０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下であってもよい。

上記（４）の板加工用キャリアによると、加工対象物の研磨後における厚みのばらつきをさらに抑制することができる。

（５）上記（１）〜上記（４）の板加工用キャリアにおいて、貫通穴に外接する円の直径は、平面視において、２ｍｍ以上２０ｍｍ以下であってもよい。

上記（５）の板加工用キャリアによると、加工対象物の研磨後における厚みのばらつきをさらに抑制することができる。

（６）上記（１）〜上記（５）の板加工用キャリアは、曲げ変形率が１パーセント以上５パーセント以下であってもよい。

上記（６）の板加工用キャリアによると、加工対象物の研磨後における厚みのばらつきをさらに抑制することができる。

（７）上記（１）〜上記（６）の板加工用キャリアにおいて、金属部材は、ステンレス鋼、炭素鋼及びチタン合金から選択される材料により構成されていてもよい。

上記（７）の板加工用キャリアによると、研磨時に砥石と接触して発生した熱に起因する熱応力による板加工用キャリアの反り、たわみを抑制しつつ、加工対象物の研磨加工後における厚さのばらつきを抑制することができる。

（８）本発明の一態様に係る研磨方法は、加工対象物を板加工用キャリアに保持させる工程と、板加工用キャリアをラップ盤に保持させる工程と、板加工用キャリアをラップ盤が自転及び公転させた状態で加工対象物を研磨する工程とを備える。板加工用キャリアは、樹脂製のキャリア本体と、キャリア本体の内部にあり、かつ規則的に配列された複数の貫通穴が設けられた金属部材とを備える。キャリア本体には、キャリア本体を厚さ方向に貫通し、かつ加工対象物を保持するワークポケットが設けられる。貫通穴は、金属部材を厚さ方向に貫通する。ラップ盤は、板加工用キャリアが載置される定盤を備える。研磨する工程は、定盤と板加工用キャリアとの間に研削液を供給することによって行われる。

上記（８）の研磨方法によると、研磨時に砥石と接触して発生した熱に起因する熱応力による板加工用キャリアの反り、たわみを抑制しつつ、加工対象物の研磨加工後における厚さのばらつきを抑制することができる。

［本発明の実施形態の詳細］
次に、本発明の実施形態の詳細を、図面を参照して説明する。なお、各図中同一又は相当部分には同一符号を付している。また、以下に記載する実施形態の少なくとも一部を任意に組み合わせてもよい。

（実施形態に係る板加工用キャリアの構成）
以下に、実施形態に係る板加工用キャリア１の構成を説明する。図１は、実施形態に係る板加工用キャリア１の上面図である。図２は、実施形態に係る板加工用キャリア１の側面図である。図１及び図２に示すように、実施形態に係る板加工用キャリア１は、キャリア本体１０と、金属部材２０とを有している。

キャリア本体１０は、上面１０ａと、底面１０ｂと、外周面１０ｃとを有している。底面１０ｂは、上面１０ａの反対側の面である。外周面１０ｃは、上面１０ａ及び底面１０ｂに連なっている。外周面１０ｃには、歯車１０ｄが設けられている。すなわち、外周面１０ｃには、凹凸形状が形成されている。

キャリア本体１０は、厚さＴ１を有している。厚さＴ１は、上面１０ａと底面１０ｂとの間の距離である。厚さＴ１は、０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下であることが好ましい。なお、厚さＴ１は、実施形態に係る板加工用キャリア１の厚さに相当する。

キャリア本体１０は、樹脂製である。キャリア本体１０を構成する樹脂は、例えば熱硬化性樹脂である。キャリア本体１０を構成する熱硬化性樹脂は、例えばエポキシ樹脂である。キャリア本体１０を構成する樹脂は、熱可塑性樹脂であってもよい。キャリア本体１０を構成する樹脂は、ガラス繊維、炭素繊維等の強化繊維を含有していてもよい。キャリア本体１０を構成する樹脂に含有されている強化繊維は、織物（クロス）となっていてもよい。

キャリア本体１０は、平面視において（上面１０ａ及び底面１０ｂに直交する方向からみて）円形形状を有していることが好ましい。キャリア本体１０には、ワークポケット１１が設けられている。ワークポケット１１は、厚さ方向（上面１０ａ及び底面１０ｂに直交する方向）にキャリア本体１０を貫通している。ワークポケット１１は、平面視において、円形形状を有していることが好ましい。ワークポケット１１は、平面視において、キャリア本体１０の中心から偏心して設けられていることが好ましい。すなわち、ワークポケット１１の平面視における中心とキャリア本体１０の平面視における中心とは、互いに一致していないことが好ましい。

金属部材２０は、キャリア本体１０の内部に配置されている。このことを別の観点からいえば、金属部材２０は、キャリア本体１０により覆われている。金属部材２０は、厚さＴ２を有している。厚さＴ２は、上面２０ａと底面２０ｂとの間の距離である。厚さＴ２は、厚さＴ１よりも小さい。厚さＴ２は、例えば０．０５ｍｍ以上０．３ｍｍ以下である。

金属部材２０は、上面２０ａと、底面２０ｂとを有している。底面２０ｂは、上面２０ａの反対面である。金属部材２０は、上面２０ａが上面１０ａと対向するように、キャリア本体１０の内部に配置される。

金属部材２０には、複数の貫通穴２１が設けられている。貫通穴２１は、金属部材２０を厚さ方向（上面２０ａ及び底面２０ｂに直交する方向）に貫通している。貫通穴２１は、平面視において、規則的に配列されている。貫通穴２１が平面視において規則的に配列されているとは、隣り合って配置されている貫通穴２１同士の平面視における距離が一定となっていることをいう。

金属部材２０は、平面視において、例えばハニカム構造を有している。すなわち、貫通穴２１は、平面視において六角形形状又は円形形状を有しており、平面視において行列状に配置されており、かつ、ある貫通穴２１の行（列）は、当該行（列）に隣接して配置されている貫通穴２１の行（列）と貫通穴２１の開口径ＯＤの１／２だけ行（列）方向にずれている。なお、貫通穴２１の平面視における形状は三角形形状であってもよく、金属部材２０は、平面視において、アイソグリッド構造を有していてもよい。

貫通穴２１は、平面視において、開口径ＯＤを有している。開口径ＯＤは、平面視において貫通穴２１に外接する円の直径である。なお、貫通穴２１の平面視における形状が円形である場合、開口径ＯＤは、貫通穴２１の直径に一致する。開口径ＯＤは、１ｍｍ以上２０ｍｍ以下であることが好ましい。

金属部材２０は、幅Ｗ１を有している。幅Ｗ１は、隣り合って配置される貫通穴２１の間隔である。別の観点からいえば、幅Ｗ１は、隣り合って配置される貫通穴２１の間に位置する金属部材２０の幅である。なお、隣り合って配置される貫通穴２１の間に位置する金属部材２０の幅が変化する場合には、幅Ｗ１は、その最小値によって規定される。幅Ｗ１は、１ｍｍ以上３ｍｍ以下であることが好ましい。

金属部材２０は、金属材料により構成されている。金属部材２０は、好ましくは、炭素鋼、ステンレス鋼及びチタン合金より選択される材料により構成されている。

実施形態に係る板加工用キャリア１の曲げ変形率は、１パーセント以上５パーセント以下であることが好ましい。板加工用キャリア１の曲げ変形率は、卓上型精密万能試験機ＡＧＳ−Ｘ（島津製作所製）を用いた３点曲げ試験によって測定される曲げ変位量をＶ（単位：ｍｍ）、実施形態に係る板加工用キャリアの厚さをＴ１（単位：ｍｍ）とした場合、｛Ｖ／（Ｔ１＋Ｖ）｝×１００により算出される。なお、この３点曲げ試験において、荷重は５Ｎ、支点間距離は５ｍｍ、試験速度は１ｍｍ／ｍｉｎとする。また、この３点曲げ試験は、板加工用キャリア１から幅９ｍｍの試験片を切り出して行う。

（実施形態に係る板加工用キャリアの製造方法）
以下に、実施形態に係る板加工用キャリア１の製造方法を説明する。実施形態に係る板加工用キャリア１の製造方法は、素板作製工程と、打ち抜き工程とを有している。素板作製工程においては、第１に、金属部材２０を強化繊維に熱硬化性樹脂が含浸されたプリプレグで挟み込む。素板作製工程においては、第２に、プリプレグにより挟み込まれた金属部材２０に対して加熱、加圧を行う。これによって、熱硬化性樹脂が硬化し、板加工用キャリア１の素板が作製される。

打ち抜き工程においては、素板作製工程において作成された板加工用キャリア１の素板に対して打ち抜き加工が行われる。これにより、上記の実施形態に係る板加工用キャリア１の形状が得られる。以上により、実施形態に係る板加工用キャリア１の製造が行われる。

（実施形態に係る研磨方法）
以下に、実施形態に係る研磨方法を説明する。図３は、実施形態に係る研磨方法を示す工程図である。図３に示すように、実施形態に係る研磨方法は、準備工程Ｓ１と、研磨工程Ｓ２とを有している。

準備工程Ｓ１においては、第１に、実施形態に係る板加工用キャリア１に加工対象物Ｗを保持させる工程が行われる。より具体的には、ワークポケット１１に加工対象物Ｗが挿入されることにより、加工対象物Ｗが実施形態に係る板加工用キャリア１に保持される。

準備工程Ｓ１においては、第２に、加工対象物Ｗが保持された実施形態に係る板加工用キャリア１がラップ盤３０に保持される。図４は、実施形態に係る研磨方法に用いられるラップ盤３０の構成を示す模式図である。図４に示すように、ラップ盤３０は、下定盤３１と、上定盤３２と、中心ギア３３と、外周ギア３４とを有している。中心ギア３３は、下定盤３１の中心に設けられている。外周ギア３４は、下定盤３１の外周に設けられている。外周ギア３４は、下定盤３１の中心側に向いている。加工対象物Ｗを保持している実施形態に係る板加工用キャリア１は、歯車１０ｄが中心ギア３３及び外周ギア３４と噛み合い、かつ底面１０ｂが下定盤３１と対向するように下定盤３１上に載置される。上定盤３２は、下定盤３１との間で、加工対象物Ｗを保持している実施形態に係る板加工用キャリア１を挟持している。以上により、加工対象物Ｗを保持している実施形態に係る板加工用キャリア１が、ラップ盤３０に保持される。

研磨工程Ｓ２においては、加工対象物Ｗの研磨が行われる。具体的には、研磨工程Ｓ２においては、中心ギア３３を回転させることにより、加工対象物Ｗを保持している実施形態に係る板加工用キャリア１を下定盤３１及び上定盤３２の間で自転及び公転させる。また、研磨工程Ｓ２においては、研削液が下定盤３１及び上定盤３２の間に供給される。以上により、研磨工程Ｓ２において、加工対象物Ｗの研磨が行われる。

（実施形態に係る板加工用キャリア及び研磨方法の効果）
以下に、実施形態に係る板加工用キャリア１及び実施形態に係る研磨方法の効果について説明する。

上記のとおり、実施形態に係る板加工用キャリア１においては、キャリア本体１０が樹脂により構成されている。そのため、キャリア本体１０が鋼等の金属材料で構成されている場合と異なり、研磨加工時に砥石と接触して発生する熱に伴う熱応力に起因した反り、たわみ等が生じにくい。

また、実施形態に係る板加工用キャリア１は、金属部材２０を有している。そのため、実施形態に係る板加工用キャリア１においては、剛性の向上により、加工対象物Ｗの研磨後における厚さのばらつきが抑制される。一方で、金属部材２０により研磨加工時に発生した熱による金属部材２０の膨張は、規則的に配列された複数の貫通穴２１によって緩和されるため、実施形態に係る板加工用キャリア１が金属部材２０を有することにより、研磨加工時に砥石と接触して発生した熱に起因した熱応力による板加工用キャリア１の反り、たわみが生じにくい。以上により、実施形態に係る板加工用キャリア１及び実施形態に係る研磨方法によると、研磨時に砥石と接触して発生した熱に起因する熱応力による板加工用キャリアの反り、たわみを抑制しつつ、加工対象物の研磨加工後における厚さのばらつきを抑制することができる。

（曲げ試験及び研磨試験）
以下に、実施形態に係る板加工用キャリア１に対する曲げ試験及び実施形態に係る板加工用キャリア１を用いた研磨試験の結果を説明する。

＜サンプル＞
上記の曲げ試験及び研磨試験に供したサンプルを表１に示す。サンプル１〜サンプル７及びサンプル１０は、正六角形形状の貫通穴２１が平面視において規則的に設けられた金属部材２０を有している。なお、サンプル８は、貫通穴２１が設けられていない金属部材２０を有している。また、サンプル９は、金属部材２０を有していない（サンプル９は、キャリア本体１０のみで構成されている）。

表１に示すように、サンプル１が有する金属部材２０に設けられた貫通穴２１の開口径ＯＤは、２ｍｍである。サンプル２〜サンプル５及びサンプル７が有する金属部材２０に設けられた貫通穴２１の開口径ＯＤは、２０ｍｍである。サンプル６が有する金属部材２０に設けられた貫通穴２１の開口径ＯＤは、３０ｍｍである。サンプル１０が有する金属部材２０に設けられた貫通穴２１の開口径ＯＤは、１．５ｍｍである。サンプル１及びサンプル２が有する金属部材２０の幅Ｗ１は、１．５ｍｍである。サンプル３が有する金属部材２０の幅Ｗ１は、３ｍｍである。サンプル４及びサンプル５が有する金属部材２０の幅Ｗ１は、１ｍｍである。サンプル６が有する金属部材２０の幅Ｗ１は、０．５ｍｍである。サンプル７が有する金属部材２０の幅Ｗ１は、５ｍｍである。サンプル１０が有する金属部材２０の幅Ｗ１は、０．８ｍｍである。

サンプル１、サンプル２及びサンプル６の厚さＴ１は、０．５ｍｍである。サンプル３、サンプル４及びサンプル５の厚さＴ１は、０．１ｍｍである。サンプル７の厚さＴ１は、０．０８ｍｍである。サンプル８及びサンプル９の厚さＴ１は、０．１ｍｍである。サンプル１０の厚さＴ１は、０．６ｍｍである。

サンプル１〜サンプル３、サンプル６〜サンプル８及びサンプル１０の金属部材２０を構成する材料は、ステンレス鋼である。サンプル４の金属部材２０を構成する材料は、炭素鋼である。サンプル５の金属部材２０を構成する材料は、チタン合金である。

＜研磨試験方法＞
研磨試験における加工対象物Ｗとして、厚さが１ｍｍ、直径８インチ（約２００ｍｍ）の窒化アルミニウム（ＡｌＮ）板が用いられた。研磨は、浜井産業製ラップ盤１６ＢＦ及びナノテム製砥石（＃６００のダイヤモンド、多孔質砥石を含む）を用いて、面圧２００ｇ／ｃｍ^２、水圧１０ｋＰａの条件で、３０分間行った。

研磨後における加工対象物Ｗの厚さのばらつきは、マイクロメータにより、加工対象物Ｗの厚さを中央及び端部４点（合計５点）において測定し、その最小値と最大値の差から算出した。加工対象物Ｗの表面粗さは、光学干渉計（キヤノン製Ｚｙｇｏ Ｎｅｗ Ｖｉｅｗ ７１００）を用いて算術平均粗さ（Ｒａ）、断面曲線の最大谷深さ（Ｐｖ）として測定した。

＜曲げ試験結果及び研磨試験結果＞
表２に、曲げ試験結果及び研磨試験結果を示す。

表２に示すように、サンプル１〜サンプル５、サンプル６、サンプル７及びサンプル１０の曲げ変形率は、０．５パーセント以上８．２パーセント以下の範囲内にあった。サンプル１〜サンプル５の曲げ変形率は、１．５パーセント以上３．６パーセント以下の範囲内にあった。また、サンプル８及びサンプル９の曲げ変形率は、１０．４パーセント以上の範囲内にあった。

表２に示すように、サンプル１〜サンプル５、サンプル６、サンプル７及びサンプル１０を用いて研磨した加工対象物Ｗの厚さのばらつきは、５４μｍ以下の範囲内にあった。サンプル１〜サンプル５を用いて研磨した加工対象物Ｗの厚さのばらつきは、１０μｍ以下の範囲内にあった。サンプル１〜サンプル５、サンプル６、サンプル７及びサンプル１０を用いて研磨した加工対象物Ｗの表面における算術平均粗さは、５７２ｎｍ以下の範囲内にあった。サンプル１〜サンプル５を用いて研磨した加工対象物Ｗの表面における算術平均粗さは、４１１ｎｍ以下の範囲内にあった。

表２に示すように、サンプル１〜サンプル５、サンプル６、サンプル７及びサンプル１０を用いて研磨した加工対象物Ｗの表面における断面曲線の最大谷深さは、５．９μｍ以下の範囲内にあった。サンプル１〜サンプル５を用いて研磨した加工対象物Ｗの表面における断面曲線の最大谷深さは、３．４μｍ以下の範囲内にあった。

表２に示すように、サンプル８及びサンプル９を用いて研磨を行った加工対象物Ｗの厚さのばらつきは、８４μｍ以上の範囲内にあった。サンプル８及びサンプル９を用いて研磨を行った加工対象物Ｗの表面における算術平均粗さは、７５２ｎｍ以上の範囲内にあった。サンプル８及びサンプル９を用いて研磨を行った加工対象物Ｗの表面における断面曲線の最大谷深さは、７．９μｍ以上の範囲内にあった。

サンプル１〜サンプル５、サンプル６、サンプル７及びサンプル１０における試験結果と、サンプル８及びサンプル９における試験結果との対比から、実施形態に係る板加工用キャリア１が規則的に配列された貫通穴２１が設けられた金属部材２０を有することにより、加工対象物Ｗの研磨後における厚さのばらつき及び表面粗さが改善されることが実験的に示された。

また、サンプル１〜サンプル５における試験結果と、サンプル６、サンプル７及びサンプル１０における試験結果との対比から、幅Ｗ１が１ｍｍ以上３ｍｍ以下である場合、厚さＴ１が０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下の場合、開口径ＯＤが２ｍｍ以上２０ｍｍ以下である場合、及び曲げ変形率が１パーセント以上５パーセント以下の場合には、加工対象物Ｗの研磨後における厚さのばらつき及び表面粗さがさらに改善されることが実験的に示された。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した実施の形態ではなく特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１ 板加工用キャリア
１０ キャリア本体
１０ａ 上面
１０ｂ 底面
１０ｃ 外周面
１０ｄ 歯車
１１ ワークポケット
２０ 金属部材
２０ａ 上面
２０ｂ 底面
２１ 貫通穴
３０ ラップ盤
３１ 定盤
３２ 上定盤
３３ 中心ギア
３４ 外周ギア
ＯＤ 開口径
Ｓ１ 準備工程
Ｓ２ 研磨工程
Ｔ１，Ｔ２ 厚さ
Ｗ 加工対象物
Ｗ１ 幅

Claims (8)

1. 樹脂製のキャリア本体と、
   前記キャリア本体の内部に配置される金属部材とを備え、
   前記金属部材には、規則的に配列された複数の貫通穴が設けられ、
   前記貫通穴は、前記金属部材を厚さ方向に貫通する、板加工用キャリア。
2. 前記貫通穴は、平面視において、円形、六角形及び三角形から選択される形状である、請求項１に記載の板加工用キャリア。
3. 隣り合って配列される前記貫通穴の間隔は、１ｍｍ以上３ｍｍ以下である、請求項１又は請求項２に記載の板加工用キャリア。
4. 前記キャリア本体の厚さが０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下である、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の板加工用キャリア。
5. 平面視において前記貫通穴に外接する円の直径は、２ｍｍ以上２０ｍｍ以下である、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の板加工用キャリア。
6. 曲げ変形率が１パーセント以上５パーセント以下である、請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の板加工用キャリア。
7. 前記金属部材は、ステンレス鋼、炭素鋼及びチタン合金から選択される材料により構成される、請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の板加工用キャリア。
8. 加工対象物を板加工用キャリアに保持させる工程と、
   前記板加工用キャリアをラップ盤に保持させる工程と、
   前記板加工用キャリアを前記ラップ盤が自転及び公転させた状態で前記加工対象物を研磨する工程とを備え、
   前記板加工用キャリアは、
   樹脂製のキャリア本体と、
   前記キャリア本体の内部にあり、かつ規則的に配列された複数の貫通穴が設けられた金属部材とを備え、
   前記キャリア本体には、前記キャリア本体を厚さ方向に貫通し、かつ前記加工対象物を保持するワークポケットが設けられ、
   前記貫通穴は、前記金属部材を厚さ方向に貫通し、
   前記ラップ盤は、
   前記板加工用キャリアが載置される定盤を備え、
   前記研磨する工程は、前記定盤と前記板加工用キャリアとの間に研削液を供給することによって行われる、研磨方法。

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