JPH0157439B2 - - Google Patents
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- JPH0157439B2 JPH0157439B2 JP4803983A JP4803983A JPH0157439B2 JP H0157439 B2 JPH0157439 B2 JP H0157439B2 JP 4803983 A JP4803983 A JP 4803983A JP 4803983 A JP4803983 A JP 4803983A JP H0157439 B2 JPH0157439 B2 JP H0157439B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/04—Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
- G11C29/50—Marginal testing, e.g. race, voltage or current testing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
- G11C16/04—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS
- G11C16/0408—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS comprising cells containing floating gate transistors
- G11C16/0433—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS comprising cells containing floating gate transistors comprising cells containing a single floating gate transistor and one or more separate select transistors
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F2201/00—Indexing scheme relating to error detection, to error correction, and to monitoring
- G06F2201/81—Threshold
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
- G11C16/04—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Read Only Memory (AREA)
- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は非揮発性で再プログラミング可能な蓄
積セルを具備している集積されたメモリマトリツ
クスに関するものである。
積セルを具備している集積されたメモリマトリツ
クスに関するものである。
プログラム可能な非揮発性蓄積（メモリ）セル
は種々の略称で文献に記載さている。蓄積媒体を
それぞれ具備している絶縁ゲート電界効果トラン
ジスタ構造を有する蓄積セルが常に関係してい
る。本明細書において「消去」とはセルの電極に
電圧を与えることによりソースおよびドレイン領
域の符号を有する電荷がチヤンネル区域の上方に
位置する蓄積媒体に到達することができる動作を
言うものであり、「書込み」とはこれらの電荷が
同様に電圧の印加により、或はまた紫外線の照射
により蓄積媒体から再び除去される動作を言うも
のとする。内蔵された蓄積セルの概観は技術雑誌
Proceedings of the IEEE第64巻第７号（1976年
７月）第1039頁ないし第1040頁に記載された「非
揮発性半導体メモリ装置」と言う標題の論文に示
されている。
は種々の略称で文献に記載さている。蓄積媒体を
それぞれ具備している絶縁ゲート電界効果トラン
ジスタ構造を有する蓄積セルが常に関係してい
る。本明細書において「消去」とはセルの電極に
電圧を与えることによりソースおよびドレイン領
域の符号を有する電荷がチヤンネル区域の上方に
位置する蓄積媒体に到達することができる動作を
言うものであり、「書込み」とはこれらの電荷が
同様に電圧の印加により、或はまた紫外線の照射
により蓄積媒体から再び除去される動作を言うも
のとする。内蔵された蓄積セルの概観は技術雑誌
Proceedings of the IEEE第64巻第７号（1976年
７月）第1039頁ないし第1040頁に記載された「非
揮発性半導体メモリ装置」と言う標題の論文に示
されている。
本発明は集積されたメモリマトリツクス、すな
わちｍ×ｎ個の蓄積セルがｍ列、ｎ行に配置され
た装置に関するものである。蓄積（メモリ）セル
は蓄積トランジスタのみで構成することもできる
が、蓄積トランジスタの電流路中に選択トランジ
スタを配置し、その選択トランジスタのゲートを
技術雑誌「Electronics」1980年２月28日号第113
頁ないし第117頁に記載されたように選択線接続
した追加の構成を具備したものでもよい。
わちｍ×ｎ個の蓄積セルがｍ列、ｎ行に配置され
た装置に関するものである。蓄積（メモリ）セル
は蓄積トランジスタのみで構成することもできる
が、蓄積トランジスタの電流路中に選択トランジ
スタを配置し、その選択トランジスタのゲートを
技術雑誌「Electronics」1980年２月28日号第113
頁ないし第117頁に記載されたように選択線接続
した追加の構成を具備したものでもよい。
そのようなメモリマトリツクスの製造の監視中
ならびに最終測定中にセルのしきい値に応じてメ
モリマトリツクスを分類できることが問題とな
り、そのために正常な状態において全てのセルが
連続的に摘出されてテストされなければならな
い。
ならびに最終測定中にセルのしきい値に応じてメ
モリマトリツクスを分類できることが問題とな
り、そのために正常な状態において全てのセルが
連続的に摘出されてテストされなければならな
い。
本発明の目的は、回路的および時間的に何等顕
著な追加手段を構じることなくこの分類の問題を
解決することである。
著な追加手段を構じることなくこの分類の問題を
解決することである。
本発明は、集積されたメモリマトリツクスの半
導体中に同様に集積されている同じ型式の基準セ
ル、すなわちマトリツクスの蓄積セルと同時にそ
の半導体中に製作された同じ構造の基準セルをこ
の目的に使用することを基本思想とするものであ
る。
導体中に同様に集積されている同じ型式の基準セ
ル、すなわちマトリツクスの蓄積セルと同時にそ
の半導体中に製作された同じ構造の基準セルをこ
の目的に使用することを基本思想とするものであ
る。
本発明の関係する型式の集積メモリマトリツク
スで同様に同じ型式の、集積された基準セルを使
用することはすでに西ドイツ公開特許公報DE−
OS2620749号公報に記載されている。しかしなが
ら、このマトリツクスは本発明の基礎とする問題
とは別の問題を解決するためのものである。すな
わちそれは読取り動作の長い期間を通して読取り
信号の変動よる信頼性の低下の問題を解決するた
めのものである。従来のマトリツクスにおいて
は、この問題は少なくとも１個のしきい値が可変
な基準電界効果トランジスタを設け、それが読取
り装置によつて１つのしきい値に調整され、蓄積
トランジスタの質問において基準トランジスタを
質問し、これによつて基準信号を生成させ、比較
回路を設けて蓄積信号と基準読取り信号とを比較
することによつて解決している。
スで同様に同じ型式の、集積された基準セルを使
用することはすでに西ドイツ公開特許公報DE−
OS2620749号公報に記載されている。しかしなが
ら、このマトリツクスは本発明の基礎とする問題
とは別の問題を解決するためのものである。すな
わちそれは読取り動作の長い期間を通して読取り
信号の変動よる信頼性の低下の問題を解決するた
めのものである。従来のマトリツクスにおいて
は、この問題は少なくとも１個のしきい値が可変
な基準電界効果トランジスタを設け、それが読取
り装置によつて１つのしきい値に調整され、蓄積
トランジスタの質問において基準トランジスタを
質問し、これによつて基準信号を生成させ、比較
回路を設けて蓄積信号と基準読取り信号とを比較
することによつて解決している。
したがつて上述の文献（DE−OS2620749号）
に示されたメモリマトリツクスを出発点として本
発明は特許請求の範囲に記載された構成の集積マ
トリツクスによつて前述の製造中或は製造後の何
れかに集積マトリツクスを分類する問題を解決す
るものである。
に示されたメモリマトリツクスを出発点として本
発明は特許請求の範囲に記載された構成の集積マ
トリツクスによつて前述の製造中或は製造後の何
れかに集積マトリツクスを分類する問題を解決す
るものである。
第１および第２の電圧源の両者は絶縁ゲート電
界効果トランジスタで構成された分圧器であるこ
とが好ましく、それらは共に蓄積セルの半導体中
に同様に集積される。分圧器はそれぞれベースト
ランジスタおよび多数の並列に配置された負荷ト
ランジスタを具備し、それら負荷トランジスタは
チヤンネル領域の幅対長さ比が段階的に変化して
いる。負荷トランジスタは選ばれた電圧値に応じ
て導電状態に切換えられる。
界効果トランジスタで構成された分圧器であるこ
とが好ましく、それらは共に蓄積セルの半導体中
に同様に集積される。分圧器はそれぞれベースト
ランジスタおよび多数の並列に配置された負荷ト
ランジスタを具備し、それら負荷トランジスタは
チヤンネル領域の幅対長さ比が段階的に変化して
いる。負荷トランジスタは選ばれた電圧値に応じ
て導電状態に切換えられる。
以下第１図および第２図に示す実施例を参照に
本発明を説明する。
本発明を説明する。
第１図に示されたような再プログラミング可能
な蓄積セルＭが第２図においては蓄積セルＭ１１
…Mn１，Ｍ１o…Mnoとしてｎ行ｍ列に配置され
た集積メモリマトリツクスを構成している。第１
図の蓄積セルＭは浮遊電位ゲートFgに対して両
方向に電流を流すトンネル注入装置Ｉを備えてい
る。そのような蓄積（メモリ）セルを使用する集
積メモリマトリツクスは前述の雑誌
Electronics1980年２月28日号第113頁ないし第
117頁に記載されている。
な蓄積セルＭが第２図においては蓄積セルＭ１１
…Mn１，Ｍ１o…Mnoとしてｎ行ｍ列に配置され
た集積メモリマトリツクスを構成している。第１
図の蓄積セルＭは浮遊電位ゲートFgに対して両
方向に電流を流すトンネル注入装置Ｉを備えてい
る。そのような蓄積（メモリ）セルを使用する集
積メモリマトリツクスは前述の雑誌
Electronics1980年２月28日号第113頁ないし第
117頁に記載されている。
第１図に示されたような蓄積セルにおいてはト
ンネル注入装置Ｉは一方では蓄積トランジスタ
Tsのソース・ドレイン路を経て第１のビツト線
Ｘに接続され、また他方では選択トランジスタ
Taのソース・ドレイン路を経て第２のビツト線
Ｙに接続されている。一方蓄積トランジスタTs
のゲートはプログラミング線Ｐに接続され、選択
トランジスタTaのゲートは選択線Ｚに接続され
ている。選択線Ｚはメモリマトリツクスの蓄積セ
ルの行単位での選択を行なうデコーダDzの出力
端子の１つの接続されている。
ンネル注入装置Ｉは一方では蓄積トランジスタ
Tsのソース・ドレイン路を経て第１のビツト線
Ｘに接続され、また他方では選択トランジスタ
Taのソース・ドレイン路を経て第２のビツト線
Ｙに接続されている。一方蓄積トランジスタTs
のゲートはプログラミング線Ｐに接続され、選択
トランジスタTaのゲートは選択線Ｚに接続され
ている。選択線Ｚはメモリマトリツクスの蓄積セ
ルの行単位での選択を行なうデコーダDzの出力
端子の１つの接続されている。
第２図のブロツク図に示されているように行デ
コーダDzの外にメモリマトリツクスの周辺回路
としてブロツクデコーダDbが設けられており、
それによつて列方向に配列されたｎ行の蓄積群の
Ｗ＝ｍ／ｂ個のブロツクの１つを選択することが
できる。読取り動作中、第１のビツト線Ｘは回路
のゼロ電位点に第２図に示すように接続される。
コーダDzの外にメモリマトリツクスの周辺回路
としてブロツクデコーダDbが設けられており、
それによつて列方向に配列されたｎ行の蓄積群の
Ｗ＝ｍ／ｂ個のブロツクの１つを選択することが
できる。読取り動作中、第１のビツト線Ｘは回路
のゼロ電位点に第２図に示すように接続される。
ｉ番目の蓄積セルを選択するために、その各行
は行デコーダDzによつて選択され、その各ブロ
ツクはブロツクデコーダDbによつて選択される。
したがつて、ｂ個の蓄積セルのそれぞれはそのｂ
本のデータ線Liの１つを経て到達することができ
る。しかし図を簡単にして判り易くするために今
問題にしているｉ番目のデータ線Liしか第２図に
は示されていない。ｉ番目の蓄積セルのアドレス
を選択する時、読取り電圧ULがこのデータ線上
に現われ、それ故それぞれの情報内容に対応する
ソース・ドレイン電流がその蓄積トランジスタ
（第１図のTS）を通つて流れる。したがつて、読
取り増幅器によつてこの電流から第１の電圧信号
が出力され、それは差動増幅器の形態に設計され
た比較回路Adの第１の入力端子１に供給される。
比較回路Adには前述の西ドイツ公開特許公報DE
−OS2620749号に記載されているような２安定マ
ルチバイブレータを使用してもよい。
は行デコーダDzによつて選択され、その各ブロ
ツクはブロツクデコーダDbによつて選択される。
したがつて、ｂ個の蓄積セルのそれぞれはそのｂ
本のデータ線Liの１つを経て到達することができ
る。しかし図を簡単にして判り易くするために今
問題にしているｉ番目のデータ線Liしか第２図に
は示されていない。ｉ番目の蓄積セルのアドレス
を選択する時、読取り電圧ULがこのデータ線上
に現われ、それ故それぞれの情報内容に対応する
ソース・ドレイン電流がその蓄積トランジスタ
（第１図のTS）を通つて流れる。したがつて、読
取り増幅器によつてこの電流から第１の電圧信号
が出力され、それは差動増幅器の形態に設計され
た比較回路Adの第１の入力端子１に供給される。
比較回路Adには前述の西ドイツ公開特許公報DE
−OS2620749号に記載されているような２安定マ
ルチバイブレータを使用してもよい。
比較回路Adの第２の入力端子２は読取り増幅
器Ａと類似の基準読取り増幅器Arの出力端子に
接続される。基準読取り増幅器Arの入力には読
取り増幅器Ａの入力と同じ大きさの読取り電圧
ULが供給される。この発明によれば基準読取り
増幅器Arの入力回路内にメモリマトリツクスＳ
の蓄積セルと同一で同様に製作されたプログラム
されない基準セルMrの蓄積トランジスタTs′のソ
ース・ドレイン路が配置されている。
器Ａと類似の基準読取り増幅器Arの出力端子に
接続される。基準読取り増幅器Arの入力には読
取り増幅器Ａの入力と同じ大きさの読取り電圧
ULが供給される。この発明によれば基準読取り
増幅器Arの入力回路内にメモリマトリツクスＳ
の蓄積セルと同一で同様に製作されたプログラム
されない基準セルMrの蓄積トランジスタTs′のソ
ース・ドレイン路が配置されている。
基準セルMrの使用により、同じ型式のセルよ
りなるプログラムされた蓄積セルのしきい値電圧
の制限値に等しい較正さた基準電圧源が与えら
れ、自己放電するプログラムされた蓄積セルのし
きい値電圧を時間の関数として漸近的に近似す
る。
りなるプログラムされた蓄積セルのしきい値電圧
の制限値に等しい較正さた基準電圧源が与えら
れ、自己放電するプログラムされた蓄積セルのし
きい値電圧を時間の関数として漸近的に近似す
る。
もし例えば浮遊電位蓄積ゲートを備えたｎチヤ
ンネル蓄積セルが蓄積ゲートから電子を除去する
ことによつて論理１に設定されるならば、しきい
値電圧は基準の行Mrに対して或る量だけ低下し、
それは品質基準として使用できる。しかしながら
しきい値電圧窓の最大値に到達することは稀であ
り、大抵は実用と関連する必要はない。しかしな
がら、試験動作のためおよび評価限度の第１とし
て作用するために書込まれたセルとして作用する
セルと基準セルMrとして作用するバージンなセ
ルとの間のしきい値電圧が与えられなければなら
ない。これは基準セルに蓄積セルＭに到達する電
位と別の電位を供給することによつて達成され、
その過程においてしきい値電圧はシミユレートさ
れ、それは評価限界として利用される。このため
に基準セルMrは蓄積セルＭに与えられているの
と別の電位を供給される。このようにして蓄積セ
ルを制御する電位の変化に殆ど類似した効果を得
ることができる。
ンネル蓄積セルが蓄積ゲートから電子を除去する
ことによつて論理１に設定されるならば、しきい
値電圧は基準の行Mrに対して或る量だけ低下し、
それは品質基準として使用できる。しかしながら
しきい値電圧窓の最大値に到達することは稀であ
り、大抵は実用と関連する必要はない。しかしな
がら、試験動作のためおよび評価限度の第１とし
て作用するために書込まれたセルとして作用する
セルと基準セルMrとして作用するバージンなセ
ルとの間のしきい値電圧が与えられなければなら
ない。これは基準セルに蓄積セルＭに到達する電
位と別の電位を供給することによつて達成され、
その過程においてしきい値電圧はシミユレートさ
れ、それは評価限界として利用される。このため
に基準セルMrは蓄積セルＭに与えられているの
と別の電位を供給される。このようにして蓄積セ
ルを制御する電位の変化に殆ど類似した効果を得
ることができる。
このために基準セルMrの蓄積トランジスタ
Ts′のソース・ドレイン路がある基準増幅器Arの
入力回路中に電圧が段階的に調節できる第１の電
圧源Ｑ１が配置される。さらに基準セルMrの蓄
積トランジスタTs′のゲート電極は段階的に調節
できる第２の電圧源Ｑ２の端子の１つに接続され
る。もしも、例えば、ｎチヤンネル基準セルのＰ
端子にもつと正の電位が供給されるならばより負
の値に向つてのしきい値電圧Udの明らかな変移
のために評価限界の低下を行なうことができ、ま
たもしもより負の信号が供給されればその反対の
動作が行なわれる。さらにより正の電位を基準セ
ルのＸ端子に供給することによつてしきい値電圧
Ud′の上昇がシユミレートされ、したがつて評価
限界は上昇する。評価限界の低下はＸ端子により
負の電位を印加することによつて行なわれる。出
力電圧が段階的に調節される２個の電圧源Ｑ１お
よびＱ２はメモリマトリツクスの半導体中に同じ
ように集積される。
Ts′のソース・ドレイン路がある基準増幅器Arの
入力回路中に電圧が段階的に調節できる第１の電
圧源Ｑ１が配置される。さらに基準セルMrの蓄
積トランジスタTs′のゲート電極は段階的に調節
できる第２の電圧源Ｑ２の端子の１つに接続され
る。もしも、例えば、ｎチヤンネル基準セルのＰ
端子にもつと正の電位が供給されるならばより負
の値に向つてのしきい値電圧Udの明らかな変移
のために評価限界の低下を行なうことができ、ま
たもしもより負の信号が供給されればその反対の
動作が行なわれる。さらにより正の電位を基準セ
ルのＸ端子に供給することによつてしきい値電圧
Ud′の上昇がシユミレートされ、したがつて評価
限界は上昇する。評価限界の低下はＸ端子により
負の電位を印加することによつて行なわれる。出
力電圧が段階的に調節される２個の電圧源Ｑ１お
よびＱ２はメモリマトリツクスの半導体中に同じ
ように集積される。
第２図から明らかなように、これら２個の電圧
源Ｑ１およびＱ２は絶縁ゲート電界効果トランジ
スタからなる分圧器の形態に設計されている。各
分圧器はそれぞれベーストランジスタＴ１または
Ｔ１′を備え、そのソース電極は接地され、ゲー
ト電極は電源電圧Vccのような一定の電位に接続
されている。ベーストランジスタＴ１，Ｔ１′の
それぞれのドレイン領域に対して複数の負荷トラ
ンジスタＴ１１，Ｔ１２；Ｔ１１′，Ｔ１２′のソ
ース電極がそれぞれ接続され、それらはチヤンネ
ル領域の幅対長さＷ／Ｌが段階的に変えられてい
る。メモリマトリツクスの選択された１つの蓄積
セルＭの蓄積トランジスタの制御ゲートに対して
ブロツク線Bpを経てブロツク信号源BSのブロツ
ク信号Uoを供給するから、第２の電圧源Ｑ２の
ベーストランジスタＴ１′のソース電極は同様に
基準電圧として作用する電位U0に接続される。
源Ｑ１およびＱ２は絶縁ゲート電界効果トランジ
スタからなる分圧器の形態に設計されている。各
分圧器はそれぞれベーストランジスタＴ１または
Ｔ１′を備え、そのソース電極は接地され、ゲー
ト電極は電源電圧Vccのような一定の電位に接続
されている。ベーストランジスタＴ１，Ｔ１′の
それぞれのドレイン領域に対して複数の負荷トラ
ンジスタＴ１１，Ｔ１２；Ｔ１１′，Ｔ１２′のソ
ース電極がそれぞれ接続され、それらはチヤンネ
ル領域の幅対長さＷ／Ｌが段階的に変えられてい
る。メモリマトリツクスの選択された１つの蓄積
セルＭの蓄積トランジスタの制御ゲートに対して
ブロツク線Bpを経てブロツク信号源BSのブロツ
ク信号Uoを供給するから、第２の電圧源Ｑ２の
ベーストランジスタＴ１′のソース電極は同様に
基準電圧として作用する電位U0に接続される。
２個の電圧源Ｑ１またはＱ２においてそれぞれ
２個の負荷トランジスタＴ１１とＴ１２またはＴ
１１′とＴ１２′が使用される時、基準セルMr中
の蓄積トランジスタTs′の16のしきい値をシユミ
レートする可能性が生じる。基準セルMrのしき
い値を選択するために、第２図に示すように個々
の負荷トランジスタＴ１１，Ｔ１２，Ｔ１１′，
Ｔ１２′の１つのゲートにそれぞれ接続された４
個の出力端子１１，１２，１３，１４を有するレ
ジスタＲが設けられる。さらに前述の１６の可能
性に応じてレジスタは４個のレジスタ入力端子Ｅ
を有し、それを経てそれぞれ１つの出力端子に割
当てられた１個のスタチツクなレジスタが調節で
きる。レジスタ入力端子Ｅを経て対応するバイト
の入力によりシユミレートされたしきい値の選択
おいて、レジスタはロツク入力端子SVにロツク
用パルスを供給することによつてロツクされる。
２個の負荷トランジスタＴ１１とＴ１２またはＴ
１１′とＴ１２′が使用される時、基準セルMr中
の蓄積トランジスタTs′の16のしきい値をシユミ
レートする可能性が生じる。基準セルMrのしき
い値を選択するために、第２図に示すように個々
の負荷トランジスタＴ１１，Ｔ１２，Ｔ１１′，
Ｔ１２′の１つのゲートにそれぞれ接続された４
個の出力端子１１，１２，１３，１４を有するレ
ジスタＲが設けられる。さらに前述の１６の可能
性に応じてレジスタは４個のレジスタ入力端子Ｅ
を有し、それを経てそれぞれ１つの出力端子に割
当てられた１個のスタチツクなレジスタが調節で
きる。レジスタ入力端子Ｅを経て対応するバイト
の入力によりシユミレートされたしきい値の選択
おいて、レジスタはロツク入力端子SVにロツク
用パルスを供給することによつてロツクされる。
論理“１”が蓄積セルの消去状態に対して割当
てられ「消去」がｎチヤンネル蓄積トランジスタ
を有する蓄積ゲートのさらに負に帯電させること
を言うものとする時、蓄積トランジスタのシユミ
レートされた比較的高いしきい値によつて基準セ
ルMrに論理“１”の１品質に関する評価限界を
与えることが可能であり、蓄積トランジスタ
Ts′の比較的低いしきい値をシユミレートするこ
とによつて論理“０”の別の品質を基準セルに与
えることが可能である。もしも今、蓄積グループ
ｂのビツトｂの数に対応する差動増幅器が設けら
れ、その第１の入力端子にそれぞれ選択された蓄
積グループの１つの蓄積セルの１データ線が接地
され、その第２の入力端子に基準セルのシミユレ
ートされたしきい値に対応した信号が供給される
ならば論理“１”の品質に関しておよびまた論理
“０”のそれらに関してグループ単位で全グルー
プの任意のシーケンス順序で検査することができ
る。すなわち、それにおいて１つのそのようなシ
ユミレートされたしきい値対はレジスタＲによつ
て与えられ、それは集積されたメモリマトリツク
スの品質の特性である。
てられ「消去」がｎチヤンネル蓄積トランジスタ
を有する蓄積ゲートのさらに負に帯電させること
を言うものとする時、蓄積トランジスタのシユミ
レートされた比較的高いしきい値によつて基準セ
ルMrに論理“１”の１品質に関する評価限界を
与えることが可能であり、蓄積トランジスタ
Ts′の比較的低いしきい値をシユミレートするこ
とによつて論理“０”の別の品質を基準セルに与
えることが可能である。もしも今、蓄積グループ
ｂのビツトｂの数に対応する差動増幅器が設けら
れ、その第１の入力端子にそれぞれ選択された蓄
積グループの１つの蓄積セルの１データ線が接地
され、その第２の入力端子に基準セルのシミユレ
ートされたしきい値に対応した信号が供給される
ならば論理“１”の品質に関しておよびまた論理
“０”のそれらに関してグループ単位で全グルー
プの任意のシーケンス順序で検査することができ
る。すなわち、それにおいて１つのそのようなシ
ユミレートされたしきい値対はレジスタＲによつ
て与えられ、それは集積されたメモリマトリツク
スの品質の特性である。
第２図および今迄の説明から明らかなように実
際にテスト読取り動作を実行するための本発明に
よる集積メモリマトリツクス中の回路における投
資は効果に比較して小さく、アドレス・アクセス
時間に影響しないように設計することができる。
際にテスト読取り動作を実行するための本発明に
よる集積メモリマトリツクス中の回路における投
資は効果に比較して小さく、アドレス・アクセス
時間に影響しないように設計することができる。
第１図は本発明メモリマトリツクスに使用する
蓄積セルの１例を示し、第２図は本発明メモリマ
トリツクスの１実施例を示す。 Ｍ……蓄積セル、Ts……蓄積トランジスタ、
Ta……選択トランジスタ、Ｘ，Ｙ……ビツト線、
Ｐ……プログラミング線、Ｚ……選択線、Ｉ……
インジエクタ装置、Dz……行デコーダ、Db……
ブロツクデコーダ、Ａ，Ar……増幅器、Ad……
比較回路、Mr……基準セル、Ｒ……レジスタ、
Ｑ１，Ｑ２……段階的に変化できる電圧源。
蓄積セルの１例を示し、第２図は本発明メモリマ
トリツクスの１実施例を示す。 Ｍ……蓄積セル、Ts……蓄積トランジスタ、
Ta……選択トランジスタ、Ｘ，Ｙ……ビツト線、
Ｐ……プログラミング線、Ｚ……選択線、Ｉ……
インジエクタ装置、Dz……行デコーダ、Db……
ブロツクデコーダ、Ａ，Ar……増幅器、Ad……
比較回路、Mr……基準セル、Ｒ……レジスタ、
Ｑ１，Ｑ２……段階的に変化できる電圧源。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ それぞれ蓄積トランジスタTSを備え、行お
よび列に配列された非揮発性で再プログラミング
可能な蓄積素子を具備し、蓄積トランジスタTS
の蓄積セルＭのアドレスの選択によりその蓄積ト
ランジスタのソース・ドレイン路から第１の電圧
信号が出力されて比較回路の一方の入力端子に供
給され、前記蓄積トランジスタTSと同じ構成の
同一の基準蓄積トランジスタのソース・ドレイン
路から第２の電圧信号が出力されて比較回路の他
方の入力端子に供給される集積されたメモリマト
リツクスにおいて、 前記比較回路Adの第１の入力端子１は第１の
読取増幅器の出力端子に接続され、前記蓄積セル
Ｍの蓄積トランジスタTSのソース・ドレイン電
流がその増幅器の入力回路に結合され、 前記比較回路Adの第２の入力端子２に基準読
取増幅器Arの出力端子が接続され、前記蓄積セ
ルＭのそれと同一構成のプログラミング可能でな
い基準セルMrの蓄積トランジスタTs′のソース・
ドレイン電流がこの基準読取増幅器Arの入力回
路に結合され、 前記基準読取増幅器Arの入力回路および前記
基準セルMrの蓄積トランジスタTs′のソース・ド
レイン路を含む回路において電圧が段階的に調整
可能な第１の電圧源Ｑ１が配置され、および、ま
たは前記基準セルMrの蓄積トランジスタTs′のゲ
ート電極が段階的に調整可能な第２の電圧源Ｑ２
の１端子に接続され、 前記基準読取増幅器Ar、前記基準セルMrおよ
び前記段階的に調整可能な電源Ｑ１，Ｑ２はそれ
ぞれ前記メモリマトリツクスＳの半導体中に集積
されていることを特徴とするメモリマトリツク
ス。 ２ 前記電圧源Ｑ１，Ｑ２の少なくとも１つは絶
縁ゲート電界効果トランジスタＴ１１，Ｔ１，Ｔ
１２；Ｔ１１′，Ｔ１′，Ｔ１２′からなりメモリ
マトリツクスの半導体中に集積された分圧器であ
り、この分圧器はそれぞれ１個のベーストランジ
スタＴ１，Ｔ１′および複数の負荷トランジスタ
Ｔ１１，Ｔ１１′；Ｔ１２，Ｔ１２′を備え、それ
ら負荷トランジスタはチヤンネル領域の幅と長さ
との比（Ｗ／Ｌ）が順次変化しており、負荷トラ
ンジスタのソース・ドレイン路は選択される電圧
に応じて導電状態に切換えられることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載のメモリマトリツク
ス。 ３ 前記負荷トランジスタＴ１１，Ｔ１２；Ｔ１
１′，Ｔ１２′の各ゲート電極はメモリマトリツク
スの半導体中に集積されたレジスタＲの出力端子
の１つ１１，１２，１３，１４にそれぞれ接続さ
れ、このレジスタＲは集積メモリマトリツクスの
外部端子を介して調整可能であり、少なくとも１
つの追加の外部端子Svを介してロツク可能に構成
されていることを特徴とする特許請求の範囲第２
項記載のメモリマトリツクス。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP82102447A EP0089397B1 (de) | 1982-03-24 | 1982-03-24 | Integrierte Speichermatrix mit nichtflüchtigen, umprogrammierbaren Speicherzellen |
| EP82102447.8 | 1982-03-24 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5942695A JPS5942695A (ja) | 1984-03-09 |
| JPH0157439B2 true JPH0157439B2 (ja) | 1989-12-05 |
Family
ID=8188946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58048039A Granted JPS5942695A (ja) | 1982-03-24 | 1983-03-24 | 非揮発性で再プログラミング可能な蓄積セルを備えた集積メモリマトリツクス |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4524429A (ja) |
| EP (1) | EP0089397B1 (ja) |
| JP (1) | JPS5942695A (ja) |
| DE (1) | DE3267750D1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018000608A (ja) * | 2016-07-04 | 2018-01-11 | 株式会社三共 | 遊技機 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3587082T2 (de) * | 1984-04-02 | 1993-06-03 | Univ Leland Stanford Junior | Speichersystem fuer analoge daten. |
| IT1221018B (it) * | 1985-03-28 | 1990-06-21 | Giulio Casagrande | Dispositivo per verificare celle di memoria in funzione del salto di soglia ottenibile in fase di scrittura |
| EP0198935A1 (de) * | 1985-04-23 | 1986-10-29 | Deutsche ITT Industries GmbH | Elektrisch umprogrammierbarer Halbleiterspeicher mit Redundanz |
| US4715014A (en) * | 1985-10-29 | 1987-12-22 | Texas Instruments Incorporated | Modified three transistor EEPROM cell |
| JPS62177799A (ja) * | 1986-01-30 | 1987-08-04 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
| US6226200B1 (en) * | 1999-11-17 | 2001-05-01 | Motorola Inc. | In-circuit memory array bit cell threshold voltage distribution measurement |
| US7850378B1 (en) | 2005-05-13 | 2010-12-14 | Apple Inc. | Webbed keyboard assembly |
| US8320191B2 (en) | 2007-08-30 | 2012-11-27 | Infineon Technologies Ag | Memory cell arrangement, method for controlling a memory cell, memory array and electronic device |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4127901A (en) * | 1977-08-03 | 1978-11-28 | Sperry Rand Corporation | MNOS FET memory retention characterization test circuit |
| US4181980A (en) * | 1978-05-15 | 1980-01-01 | Electronic Arrays, Inc. | Acquisition and storage of analog signals |
| US4223394A (en) * | 1979-02-13 | 1980-09-16 | Intel Corporation | Sensing amplifier for floating gate memory devices |
| JPS57141097A (en) * | 1981-02-25 | 1982-09-01 | Toshiba Corp | Storage circuit |
| US4441168A (en) * | 1982-01-13 | 1984-04-03 | Sperry Corporation | Storage logic/array (SLA) circuit |
-
1982
- 1982-03-24 EP EP82102447A patent/EP0089397B1/de not_active Expired
- 1982-03-24 DE DE8282102447T patent/DE3267750D1/de not_active Expired
-
1983
- 1983-03-04 US US06/472,349 patent/US4524429A/en not_active Expired - Fee Related
- 1983-03-24 JP JP58048039A patent/JPS5942695A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018000608A (ja) * | 2016-07-04 | 2018-01-11 | 株式会社三共 | 遊技機 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0089397B1 (de) | 1985-12-04 |
| US4524429A (en) | 1985-06-18 |
| JPS5942695A (ja) | 1984-03-09 |
| DE3267750D1 (en) | 1986-01-16 |
| EP0089397A1 (de) | 1983-09-28 |
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