JPH0154630B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 (1) 発明の技術分野 液冷モジユールの容器に冷媒液体を封入する
際、冷媒蒸気以外のガス（例えば空気）が残留す
るが、これらのガスが存在すると冷却能力が著し
く低下する。本発明は、冷媒液体を封入する際、
他のガスを除去する方法に関する。

(3) 従来技術と問題点 従来、冷媒液体を封入する場合冷媒蒸気以外の
ガスを混入させないため、液体充填前に、冷却モ
ジユールを真空ポンプで減圧、排気してから液体
を充填していた。しかし、冷媒液体にも、空気等
のガスが溶解しているため、充填後再び、真空ポ
ンプによる排気が必要であつた。この２度目の排
気は、工程数ばかりでなく、冷媒蒸気も一緒に排
気されるので液体の損失も多い欠点があつた。

(4) 発明の目的 本発明は液冷モジユール内に残留する冷媒蒸気
以外のガスを除去することによつて、モジユール
の冷却能力を理想値まで向上させることにある。

(5) 発明の構成 本発明は基板上に取付けられた複数個の半導体
素子と、これらを浸漬して冷却する不活性な冷媒
液体を封入した容液からなる液冷モジユールにお
いて、冷媒液体を封入する際、液体を沸騰させる
ことによつて、モジユール内に残留する冷媒蒸気
以外のガスを除去することを特徴とする冷媒液体
の充填方法により達成される。

液体の沸騰は、液温の上昇によつて、液体を構
成する分子の運動が盛んになり、蒸気圧が外気の
圧力以上になつたとき、急激に気化する現象であ
る。このため、沸騰するまでに溶解していた他の
気体は、沸騰と共に、液体から追出され、さら
に、蒸気中に追出された気体は、蒸気の圧力が外
気の圧力以上であるため、蒸気の流れと共にモジ
ユール外部へ追出される。

(6) 発明の実施例 以下本発明について図を参照して説明する。

第１図の如く液冷モジユール１に冷媒液体２を
注入する。このとき、液冷モジユール１の空間３
には、冷媒液体の蒸気４の他に、空気５が混在し
ている。また、冷媒液体２の中にも空気５′が溶
解している。

この状態において、液冷モジユールの弁６を閉
じて密封し、発熱体７を作動させてて液体を加熱
し、液体の沸点より弱冠高温にする。

第２図の如く冷媒液体２は加熱を始め、その結
果、溶解していた空気５′は空間３へ追出される。
沸騰により発生した蒸気４′は、冷却モジユール
の内壁８で凝縮、再液化して冷媒液体２へ戻り、
空気５，５′は凝縮しないために内壁８付近へ濃
縮される。空間３の圧力は、液温が沸点以上の温
度であるため蒸気圧が１気圧以上になることと、
空気５，５′の分圧があるため、１気圧より高く
なつている。このとき弁６を開くことにより、濃
縮された空気は、少しの蒸気と共に液冷モジユー
ル１の外へ排気される。

空気を少しの蒸気と共に排気後弁６を閉じ液冷
モジユール１を気密状態とし、発熱体７をオフと
し液冷モジユールを冷却する。

発熱体７としては半導体素子そのものを用いて
もよく、又独立に発熱体を設けても良い。

(7) 発明の効果 冷媒体蒸気以外のガスを除去することにより、
モジユールの冷却能力を向上させることができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は冷媒充填時の状態を示す。、第２図は
冷媒蒸気以外のガスを除去する状態を示す図であ
る。 １：液冷モジユール、７：発熱体。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 基板上に取付けられた複数個の半導体素子
   と、これらを浸漬して冷却する不活性な冷媒液体
   を封入した容器からなる液冷モジユールにおい
   て、冷媒液体を封入する際、液体を沸騰させるこ
   とによつて、モジユール内に残留する冷媒蒸気以
   外のガスを除去することを特徴とする冷媒液体の
   充填方法。