JPH0149881B2 - - Google Patents

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JPH0149881B2
JPH0149881B2 JP54001959A JP195979A JPH0149881B2 JP H0149881 B2 JPH0149881 B2 JP H0149881B2 JP 54001959 A JP54001959 A JP 54001959A JP 195979 A JP195979 A JP 195979A JP H0149881 B2 JPH0149881 B2 JP H0149881B2
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JP
Japan
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signal
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forming
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subject
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JP54001959A
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JPS5593008A (en
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Masatoshi Sato
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication of JPS5593008A publication Critical patent/JPS5593008A/ja
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G01B11/306—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces for measuring evenness

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は信号形成装置、例えば半導体製造用の
ウエハ等の薄片の反り量を測定する測定器におい
て、その薄片全体が傾いている場合、傾き量に対
応した補正信号を形成するための装置に関するも
のである。
上記薄片の傾き量が微少である場合には、その
傾き量に対応した信号を検出して測定値を補正す
ることが、薄片の水平度を調整することに比べて
作業性が良い。
従来は上記補正信号を形成する場合、傾き成分
を含んだアナログ信号を積分回路の入力信号と
し、被検体上の前もつて定められた座標軸上の測
定幅の変化に応じて上記積分回路の積分定数を変
化させ、測定幅の変化の影響を受けない、傾き量
に対応した補正信号を得ている。
しかしながら上記測定幅に対応した積分定数の
設定は測定器のパネル上に設けた切替えスイツチ
と可変抵抗器を測定者が手動で操作することによ
つて行われているため、積分定数を正確に設定す
ることは容易ではなく、誤設定による誤測定を生
じやすい。また電子回路構成上、積分定数切替え
のために多くの構成部品を必要とし、組立および
調整にも多くの時間を要する。
本発明は上記従来の問題点に鑑みて提案された
もので、手動による積分定数の設定・切替えとい
つた操作を必要とせずに、測定幅の変化の影響を
受けない、被検体の傾き量に対応した一定の信号
を得ることを目的とするものである。
以下図示の一実施例について説明する。
第１図において１は傾き成分を含んだアナログ
信号発生器、２は補正信号形成装置である。
ガスレーザ３から出射されたレーザビーム４は
ミラー５で反射され、定速回転するポリゴンミラ
ー６で再度反射されて偏光ビームスプリツタ７を
通過し、ミラー８・レンズ９を経て被検体１０に
達する。１１は被検体１０のステージ、ａは被検
体１０の水平面に対する微少の傾き量を示す。
被検体１０で反射された傾き成分を含むレーザ
ビーム４ａは再びレンズ９・ミラー８を経て偏光
ビームスプリツタ７に達し、そこで全反射されて
ポジシヨンデテクタ１２上に集束する。
上記ポジシヨンデテクタ１２は２つの出力を有
し、上記レーザビーム４ａの集束点がゼロ点と一
致した場合には２つの出力は等しく、集束点がゼ
ロ点から一方に片寄るとその側の出力が片寄り分
に比例して増加し、他方の側の出力が片寄り分に
比例して減少する。
上記２つの出力は別々に第１・第２前置増幅器
１３，１４、和増幅器１５・差増幅器１６に導か
れ、和増幅器１５の出力はアナログ割算器１７の
分母入力として、また差増幅器１６の出力は第１
アナログ割算器１７の分子入力として演算され、
傾き成分を含んだアナログ信号１８を出力する
（以上に関する詳細は米国特許第3885875号明細書
参照）。
更に詳細に述べるとこのアナログ信号１８は被
検体１０の各測定点の水平面との傾き量、すなわ
ち各測定点のステージ１１に対する傾き量と被検
体の傾き（被検体全体の傾き量）とを加算した量
に対応している。
上記アナログ信号１８は補正信号形成装置２の
第１積分回路１９に入力される。
本発明の効果を説明するために、アナログ信号
として第２図にそれぞれ実線と破線で示す波形
を有し、それぞれの測定幅に対応した測定時間幅
はT1，T2であり、時間ｔ＝０の時の電圧は同様
にV1であり、またそれぞれのｔ＝T1，T2におけ
る電圧は同様にV2であるような、第１図に示す
様に反つた、２つの被検体を本装置で測定した例
を考える。
時間軸発生器２０は第２図に示すように上記
アナログ信号と同期して、一定周期毎に測定幅に
比例した測定時間幅T1，T2の矩形波を発生す
る。この矩形波の信号２１は第２積分回路２２の
入力信号となると同時に第１・第２積分回路１
９，２２、第１・第２サンプリングホールド回路
２３，２４の動作のタイミング信号として用いら
れる。
上記アナログ信号１８は第１積分回路１９によ
つて測定時間幅T1またはT2の間積分され、測定
時間幅T1またはT2に比例した電圧を出力し、そ
の出力は第１サンプリングホールド回路２３に入
力される。第２図はこの積分出力V11，V12を
示すもので、V12／V11＝T2／T1の関係が成立する。
一方矩形波信号２１は第２積分回路２２によつ
て測定時間幅T1またはT2の間積分され、その測
定時間に比例した電圧を出力し、その出力は第２
サンプリングホールド回路２４に入力される。第
２図はこの積分出力V101，V102を示すもの
で、V102／V101＝T2／T1の関係が成立する。
上記第１サンプリングホールド回路２３の出力
を便宜上V11，V12として第２アナログ割算器２
５の分子入力とし、第２サンプリングホールド回
路２４の出力を便宜上V101，V102として上記ア
ナログ割算器２５の分母入力として演算すると、
その出力はV11／V101＝V12／V102＝Ｋ（一定値）となり
、 測定時間幅ｔに無関係な一定の値となり、結果的
に測定幅に無関係な被検体の傾きに比例した補正
信号が得られるものである。
以上述べたように本発明によれば、従来の手動
による積分定数の設定・切替といつた操作は全く
必要とせずに、測定幅の変化の影響を受けない、
被検体の傾き量に対応した一定の信号を容易に得
ることができるものである。また構成も簡単であ
り、組立・調整も短時間のうちに行うことができ
るといつた利点もある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例の動作説明図、第２
図乃至は夫々第１アナログ割算器、第１積分
回路、時間軸発生器、第２積分回路の出力波形図
である。 １８は傾き成分を含んだアナログ信号、１９は
第１積分回路、２０は時間軸発生器、２２は第２
積分回路、２３は第１サンプリングホールド回
路、２４は第２サンプリングホールド回路、２５
は第２アナログ割算器。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ 前もつて定められた座標軸上における被検体
    の測定幅に対応する測定時間幅の長さに比例した
    信号を形成する時間軸形成手段と、被検体の基準
    の配置姿勢からの傾きに対応した信号を形成する
    傾き信号形成手段と、上記時間軸形成手段から得
    られる信号と傾き信号形成手段で得られる信号の
    比を形成する手段とを備え、被検体の測定幅に対
    応する測定時間幅の長さに影響されない、被検体
    の基準の配置姿勢からの傾きに応じた信号を形成
    することを特徴とする信号形成装置。
JP195979A 1979-01-09 1979-01-09 Signal formation unit Granted JPS5593008A (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP195979A JPS5593008A (en) 1979-01-09 1979-01-09 Signal formation unit
US06/215,341 US4332477A (en) 1979-01-09 1980-12-11 Flatness measuring apparatus

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JP195979A JPS5593008A (en) 1979-01-09 1979-01-09 Signal formation unit

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JPS5593008A JPS5593008A (en) 1980-07-15
JPH0149881B2 true JPH0149881B2 (ja) 1989-10-26

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ID=11516122

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US (1) US4332477A (ja)
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