JPH0792422B2 - 偏波面保存型光ファイバと半導体レーザとの組立工程における消光比測定方法 - Google Patents

偏波面保存型光ファイバと半導体レーザとの組立工程における消光比測定方法

Info

Publication number
JPH0792422B2
JPH0792422B2 JP10580093A JP10580093A JPH0792422B2 JP H0792422 B2 JPH0792422 B2 JP H0792422B2 JP 10580093 A JP10580093 A JP 10580093A JP 10580093 A JP10580093 A JP 10580093A JP H0792422 B2 JPH0792422 B2 JP H0792422B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
output
extinction ratio
light output
prism
measuring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP10580093A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH06317498A (ja
Inventor
政幸 與島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
Nippon Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Electric Co Ltd filed Critical Nippon Electric Co Ltd
Priority to JP10580093A priority Critical patent/JPH0792422B2/ja
Publication of JPH06317498A publication Critical patent/JPH06317498A/ja
Publication of JPH0792422B2 publication Critical patent/JPH0792422B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、消光比測定方法に関
し、特に回転機構を有する偏光プリズムを利用した消光
比測定方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の消光比測定装置について図面を参
照して説明する。
【0003】図6は消光比測定方法を説明するための装
置の平面図である。
【0004】この消光比測定装置は、光源である半導体
レーザ50aに接続された偏波面保存型光ファイバ50
と、その出力端側に置かれた偏光プリズム51と、偏光
プリズム51の透過光出力を測定する光パワーメータ5
2と、偏光プリズム51を回転する回転機構53とから
構成されている。
【0005】図7は図6に示した装置で従来例の消光比
測定方法を説明するためのグラフである。
【0006】偏光プリズム51を回転機構53により設
定されたステップ角で回転させながら各光出力を測定
し、180度領域における最小値56及び最大値57か
ら消光比を求めることができる。この測定方法は、局所
的な光出力の凹凸に影響されずに確実に消光比を求める
ことができる反面180度/(ステップ角)分の測定が
必要であり時間がかかる。
【0007】図8は図6に示した装置で従来例の別の消
光比測定方法を説明するためのグラフである。
【0008】この測定方法は山登り法により最小値また
は最大値を求める方法であり、光出力が単調増加・減少
傾向を示す場合は非常に有効である。しかし実際は図9
に示すような局所的な凹凸があるため、例えば探索開始
点58から最小値探索を行った場合極小値59を最小値
と誤検出してしまう。90度回転した位置における最大
値60も実際の最大値とは大きく異なり正確に消光比を
測定できない。また山登り法においてもステップ角を小
さくするとそれに反比例して測定回数が増えるため測定
時間は長くなる。
【0009】さらに、上記いずれの方法においても測定
時間を短くするためにスッテプ幅を段階的に小さくする
手法もあるが最終分解能を上げるためにはかなりの測定
回数が必要である。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の消光比
測定方法は、偏光プリズムを一定のスッテプ角で回転さ
せ、180度全領域で光出力を測定したり、山登り法で
最小値または最小値の探索を行っているため、分解能を
上げると測定時間がかかる上、山登り法については局所
的な凹凸で最小値・最大値を誤検出してしまうという欠
点があった。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明の消光比測定方法
は、偏波面保存型光ファイバと偏波面保存型光ファイバ
への光源である半導体レーザとの組立工程で、偏波面保
存型光ファイバの透過光出力を偏光プリズムを介して測
定し、偏光プリズムを回転した時の最大値および最小値
から消光比を測定する消光比測定方法において、偏光プ
リズムの任意の2つの回転位置で透過光出力を測定して
次の測定を行う場合に、2箇所の偏光プリズム回転位置
の中心で行い、出力される3つの光出力を比較し、小さ
い方の2つを選択し、その選択された2つの偏光プリズ
ム回転位置の中心で次の測定を繰り返して行うことを特
徴としている。
【0012】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
【0013】図1は本発明による消光比測定方法の一実
施例を示すフローチャートである。
【0014】この消光比測定方法では、工程1でプリズ
ム回転位置0度、90度で光出力を測定し、工程2によ
り工程1で測定された2つの出力を比較し小さい方の回
転位置から±45度回転した位置で光出力を測定し、工
程3で3つの光出力を比較し小さい2つの光出力を選択
し、工程4により工程3で選択された2つのプリズム回
転位置の中心で光出力を測定し、工程5で設定回数測定
したか判断し設定回数に満たない場合は工程3に戻るよ
うにし、工程6で最後に残った3つの光出力を比較し最
小光出力を求め、工程7で最小光出力のプリズム回転位
置から90度回転し最大光出力を測定し、工程8で最小
光出力と最大光出力から消光比を計算する。
【0015】尚、この場合の測定する装置は、従来の技
術の項で説明した図6の装置と同じものである。
【0016】図2は図1に示した工程1および工程2を
説明するためのグラフである。
【0017】横軸はプリズムの回転角9、縦軸は光出力
10を表している。一般的に偏波面保存型の光ファイバ
の場合出力は180度の周期関数となる。従って回転角
が90度異なる二つの光出力を測定し小さい方の光出力
を選択すると選択された小さい側はハッチングされた領
域11,11’,12,12’,13,13’のいずれ
かに存在することになる。それ故選択された光出力の小
さいプリズム回転位置から±45度以内の範囲に最小光
出力の得られる位置が必ず存在する。
【0018】図3は図2に示したグラフの補足説明をす
るための45度間隔で光出力を測定した場合を示すグラ
フである。
【0019】条件が良ければ図3(a)のように4回の
測定14,15,16,17で最小光出力の得られる領
域19を探索できるが、図3(b)の様な場合には領域
19’の中に最小光出力がないため5回目の測定18’
を行う必要がある。
【0020】図4は図1のフローチャートに従って最小
光出力および最大光出力を探索する手順を説明するため
のグラフである。
【0021】図4(a)において、まず回転角0度およ
び90度で光出力20,21を測定する。次に光出力の
小さい方20から±45度回転した位置で光出力22,
23を測定する。得られた三つの光出力20,22,2
3を比較し出力の小さい2点20,22の中心24で次
の測定を行う。同様にして三つの出力20,22,24
の中で出力の小さい2点20,24の中心25でさらに
次の測定を行う。以下同様の手順で測定を繰り返すこと
により最小光出力の得られる領域を絞り込むことができ
る。ここでは繰り返し数を2回として最後に残った三つ
の出力20,24,25を比較し最も出力の小さい20
が最小光出力となる。一方最大光出力は最小光出力のプ
リズム回転位置が0度であるから90度における光出力
26が最大光出力となる。最後に求めた最小光出力20
及び最大光出力26を用いて消光比を算出する。
【0022】図4(b)及び図4(c)における場合も
同様にして求めた最小光出力24’,23”及び最大光
出力26’,26”から消光比を算出できる。
【0023】図5は図4に示した調整手順の別の例を説
明するための測定値に局所的な凹凸がある場合の探索例
を示すグラフである。
【0024】この場合も比較する回転角度の幅を段階的
に小さくしているため局所的な凹凸に影響されずに最小
光出力近傍に収束でき、最小光出力26”及び最大光出
力27”から実用的な精度で消光比を測定できる。表1
は測定回数と分解能の関係を示した表である。
【0025】例えば、測定回数8回で2.81度の分解
能が得られている。同じ分解能で180度の全領域を測
定したとすれば64回の測定が必要である。このように
非常に少ない測定回数で高分解能を実現できる。
【0026】
【0027】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の消光比測
定方法では、次の探索を二つの測定値のプリズム回転位
置の中心に設定することを基本としているため探索領域
を指数関数的に絞り込むことができ、少ない測定回数で
高い分解能を実現できる。さらに、プリズム回転幅を段
階的に小さくしているため局所的な光出力の凹凸に影響
されず高い信頼性で消光比を測定できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による消光比測定方法の一実施例を示す
フローチャートである。
【図2】図1に示したフローチャートの工程1及び工程
2を説明するためのグラフである。図2(a),(b)
は図1に示したフローチャートの工程1,2を説明する
ためのグラフである。
【図3】図2に示したグラフの補足説明をするための4
5度間隔で光出力を測定した場合を示すグラフである。
図3(a),(b)は図2に示した補足説明をするため
のグラフである。
【図4】図4は図1のフローチャートに従って最小光出
力および最大光出力を探索する手順を説明するためのグ
ラフである。図4(a),(b),(c)は図1に示し
たフローチャートの工程3,4,5,6,7を説明する
ためのグラフである。
【図5】図4に示した調整手順の別の例を説明するため
の測定値に局所的な凹凸がある場合の探索例を示すグラ
フである。
【図6】消光比測定方法を説明するための装置の平面図
である。
【図7】図6に示した装置で従来例の消光比測定方法を
説明するためのグラフである。
【図8】図6に示した装置で従来例の別の消光比測定方
法を説明するためのグラフである。
【符号の説明】
1,2,3,4,5,6,7,8 調整工程 9,54 回転角 10,55 光出力 11,11’,12,12’,13,13’,19,1
9’ 領域 14,14’,15,15’,16,16’,17,1
7’,18’ 測定点 20,20’,20” 測定点 21,21’,21” 測定点 22,22’,22” 測定点 23,23’,23” 測定点 24,24’,24” 測定点 25,25’,25” 測定点 26,26’,26” 測定点 27” 測定点 50 偏波面保存型光ファイバ 50a 半導体レーザ 51 偏向プリズム 52 光パワ−メ−タ 53 回転機構 56,59 最小値 57,60 最大値 58 探索開始点

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】偏波面保存型光ファイバと前記偏波面保存
    型光ファイバへの光源である半導体レーザとの組立工程
    で、前記偏波面保存型光ファイバの透過光出力を偏光プ
    リズムを介して測定し、前記偏光プリズムを回転した時
    の最大値および最小値から消光比を測定する消光比測定
    方法において、前記偏光プリズムの任意の2つの回転位
    置で透過光出力を測定して次の測定を行う場合に、前記
    2箇所の偏光プリズム回転位置の中心で行い、出力され
    る3つの光出力を比較し、小さい方の2つを選択し、そ
    の選択された2つの偏光プリズム回転位置の中心で次の
    測定を繰り返して行うことを特徴とする消光比測定方
    法。
  2. 【請求項2】(a)偏光プリズムの回転位置0度、90
    度で光出力(以下P1,P2とする)を測定する工程
    と、(b)前記P1,P2を比較し出力の小さい方の回
    転位置から±45度プリズムを回転した位置で光出力
    (以下P3,P4とする)を測定する工程と、(c)前
    記P1,P2のいずれか小さい方、P3およびP4の中
    から光出力の小さい2つを選択し、選択された2つのプ
    リズム回転位置の中心で光出力を測定する工程と、
    (d)(c)と同様にして設定された回数順次光出力の
    小さい2つのプリズム回転位置の中心で光出力を測定し
    最小光出力を探索する工程と、(e)最後に残った3つ
    の光出力を比較し最小光出力を求める工程と、(f)最
    小光出力の得られた回転位置から90度プリズムを回転
    し最大光出力を測定する工程と、(g)最小光出力およ
    び最大光出力から消光比を算出する工程とを含むことを
    特徴とする請求項1記載の消光比測定方法。
JP10580093A 1993-05-07 1993-05-07 偏波面保存型光ファイバと半導体レーザとの組立工程における消光比測定方法 Expired - Lifetime JPH0792422B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10580093A JPH0792422B2 (ja) 1993-05-07 1993-05-07 偏波面保存型光ファイバと半導体レーザとの組立工程における消光比測定方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10580093A JPH0792422B2 (ja) 1993-05-07 1993-05-07 偏波面保存型光ファイバと半導体レーザとの組立工程における消光比測定方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06317498A JPH06317498A (ja) 1994-11-15
JPH0792422B2 true JPH0792422B2 (ja) 1995-10-09

Family

ID=14417198

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10580093A Expired - Lifetime JPH0792422B2 (ja) 1993-05-07 1993-05-07 偏波面保存型光ファイバと半導体レーザとの組立工程における消光比測定方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0792422B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102338691A (zh) * 2010-07-16 2012-02-01 北京国科世纪激光技术有限公司 光学参数测量装置及静态消光比的测量方法
CN102466560A (zh) * 2010-11-11 2012-05-23 北京国科世纪激光技术有限公司 一种光学参数测量装置

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4740089B2 (ja) * 2006-10-27 2011-08-03 富士通株式会社 光モジュールおよびその製造方法並びに光ファイバの回転角調整方法
CN102338692A (zh) * 2010-07-16 2012-02-01 北京国科世纪激光技术有限公司 静态消光比测量装置及静态消光比测量方法
CN104034513B (zh) * 2014-05-22 2016-08-17 武汉邮电科学研究院 空间偏振光消光比测量装置及方法
CN108398242B (zh) * 2018-01-31 2019-11-26 北京交通大学 椭圆偏振态保持光纤消光比的测量装置和方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102338691A (zh) * 2010-07-16 2012-02-01 北京国科世纪激光技术有限公司 光学参数测量装置及静态消光比的测量方法
CN102466560A (zh) * 2010-11-11 2012-05-23 北京国科世纪激光技术有限公司 一种光学参数测量装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH06317498A (ja) 1994-11-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3874422B2 (ja) 表面検査システム
EP0165771B1 (en) Method of determining a phase difference between a rotating analyser and a rotary phase detecting means of an ellipsometer
US6549648B1 (en) Method for determining a position of a structural element on a substrate
US20060098199A1 (en) Overlay error detection
US20040130730A1 (en) Fast 3D height measurement method and system
JPH0149881B2 (ja)
KR20000068713A (ko) 좌표 측정기의 측정 오차 보정 방법
US4659936A (en) Line width measuring device and method
JPH0792422B2 (ja) 偏波面保存型光ファイバと半導体レーザとの組立工程における消光比測定方法
TW202210814A (zh) 使用光柵耦合表面電漿子共振之光學計量台的方位角之校準
JP3304111B2 (ja) 屈折率分布型光学素子の屈折率分布測定装置及び性能評価方法
EP0459494A2 (en) Method and apparatus for detecting wavelength of laser beam
JP2014522987A (ja) 相互関係プロファイル分析を実行するための方法および装置
JPH07134013A (ja) 表面形状計測方法および投影露光装置
JPH0797064B2 (ja) 光フアイバ構造測定法
JP3219223B2 (ja) 特性値測定方法及び装置
JP3031140B2 (ja) 非接触測長装置
JP2000097660A (ja) 光学系の光軸調整方法及び干渉計測装置
US7330259B2 (en) Optical measurements of patterned articles
JP3298473B2 (ja) 探針形状適合判定及び表面形状の測定方法
KR0181993B1 (ko) 레이저광을 이용한 물체의 외관치수측정장치 및 외관치수측정방법
JPH0754685B2 (ja) 電子ビームを用いた寸法測定装置
JPS58173438A (ja) 発光素子の遠視野像測定装置
JP4251361B2 (ja) 三次の光学非線形感受率の非対角成分の測定方法
JP3068695B2 (ja) ダハ面測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19960528