JPS58146804A - 光電式オ−トコリメ−タ - Google Patents
光電式オ−トコリメ−タInfo
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- JPS58146804A JPS58146804A JP2818682A JP2818682A JPS58146804A JP S58146804 A JPS58146804 A JP S58146804A JP 2818682 A JP2818682 A JP 2818682A JP 2818682 A JP2818682 A JP 2818682A JP S58146804 A JPS58146804 A JP S58146804A
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- slit
- signal
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/024—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by means of diode-array scanning
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、光電式オートコリメータ（−関する。
従来の光電式オートコリメータを第１図に基づいて説明
する。
する。
光源１からの光はコンデンサレンズ２を経てターゲット
３を照明する。ターゲット６は例えば紙面に直角方向（
−長手方向を形成されたスリットである。ターゲット３
のスリットを透過した光はハーフミラ−４で反射された
後、ターゲット６の位置を後側焦点位置とする対物レン
ズ５を透過し、平行光束となって反射ミラー１３へ向う
。反射ミラー１３で反射された光は対物レンズ５．ハー
フミラ−４゜６を透過後、焦点板Ｚ上にターゲット６の
像（本例ではスリット像）を結像する。焦点板７上のタ
ーゲット６の像、すなわちスリ゛ット像は接眼レンズ８
によって観察される。ハーフミラ−６で反射された光は
９反射光路中で焦点板７と等価な位置に配置された振動
スリット９（紙面に直角な、方向に長手方向を有する）
上に結像する。振動スリット９の背後には光電検知器１
０が設けられ、振動スリット９と光電検知器１０とは一
体となって光軸とスリットの長手方向と（：各々直交す
る方向へマイクロメータ１１にて移動可能になっており
、移動社はマイクロメータ１１にて読みとることかでき
る。光電検知器１０の出力信号は処理回路１２へ入力さ
れ、スリット像の中心と振動スリット９の振動中心との
位置ずれに応じた表示を行なう如く表示器に表示を行な
う。測定は、スリット像の中心と振動スリット９の振動
中心とが一致する表示が得られるまでマイクロメータ１
１を操作し、マイクロメータ１１の読み取り値（ユよっ
て反射ミラー１３の傾きを知ることができる。
３を照明する。ターゲット６は例えば紙面に直角方向（
−長手方向を形成されたスリットである。ターゲット３
のスリットを透過した光はハーフミラ−４で反射された
後、ターゲット６の位置を後側焦点位置とする対物レン
ズ５を透過し、平行光束となって反射ミラー１３へ向う
。反射ミラー１３で反射された光は対物レンズ５．ハー
フミラ−４゜６を透過後、焦点板Ｚ上にターゲット６の
像（本例ではスリット像）を結像する。焦点板７上のタ
ーゲット６の像、すなわちスリ゛ット像は接眼レンズ８
によって観察される。ハーフミラ−６で反射された光は
９反射光路中で焦点板７と等価な位置に配置された振動
スリット９（紙面に直角な、方向に長手方向を有する）
上に結像する。振動スリット９の背後には光電検知器１
０が設けられ、振動スリット９と光電検知器１０とは一
体となって光軸とスリットの長手方向と（：各々直交す
る方向へマイクロメータ１１にて移動可能になっており
、移動社はマイクロメータ１１にて読みとることかでき
る。光電検知器１０の出力信号は処理回路１２へ入力さ
れ、スリット像の中心と振動スリット９の振動中心との
位置ずれに応じた表示を行なう如く表示器に表示を行な
う。測定は、スリット像の中心と振動スリット９の振動
中心とが一致する表示が得られるまでマイクロメータ１
１を操作し、マイクロメータ１１の読み取り値（ユよっ
て反射ミラー１３の傾きを知ることができる。
このような構成であったので、従来の光電式オートコリ
メータにおいては、スリット像の中心と振動スリットの
振動中心との位置合わせ動作が必要であるため、操作に
手間がかかった。また、アナログ的（−測定を行なう場
合（二は構造上測定範囲が狭いという欠点があった。さ
らに、振動スリットを正確に移動する機構や、マイクロ
メータとの連動部等、多くの複雑かつ精度の高い機構が
必要であり。
メータにおいては、スリット像の中心と振動スリットの
振動中心との位置合わせ動作が必要であるため、操作に
手間がかかった。また、アナログ的（−測定を行なう場
合（二は構造上測定範囲が狭いという欠点があった。さ
らに、振動スリットを正確に移動する機構や、マイクロ
メータとの連動部等、多くの複雑かつ精度の高い機構が
必要であり。
部品加工時２組立時（−多大の労力を必要とした。また
９機械的可動部が多く存在するため。
９機械的可動部が多く存在するため。
測定データの再現性や装置の寿命等においても問題があ
った。
った。
本発明の目的は、操作性が向上し、アナログ測定の場合
の測定範囲が広く、かつ廉価長寿命の光電式オートコリ
メータを提供すること（二ある。
の測定範囲が広く、かつ廉価長寿命の光電式オートコリ
メータを提供すること（二ある。
以ド１図面（ニボした実施例に基づい（本・蔵開を説明
する。
する。
第２図は本発明の一実施例の要部、すなわち第１図の従
来技術と異なる部分のみを図示した図であり、第６図は
第２図の動作を説明するだめの波形図、第４図はイメー
ジセンサとターゲツト像の関係を示す図、第５図は検出
感度を向上させるた、めのイメージセンサの配置を説明
するための図である。
来技術と異なる部分のみを図示した図であり、第６図は
第２図の動作を説明するだめの波形図、第４図はイメー
ジセンサとターゲツト像の関係を示す図、第５図は検出
感度を向上させるた、めのイメージセンサの配置を説明
するための図である。
第１図の振動スリット９の位置にはＣＣＤ等で構成され
る一次元のイメージセンサ２１が配設されており、その
際イメージセンサ２１の向きは、第４図に示した如く、
各エレメントの配列方向がターゲツト像としてのスリッ
ト像６′の長手方向に直交する方向に設定されている。
る一次元のイメージセンサ２１が配設されており、その
際イメージセンサ２１の向きは、第４図に示した如く、
各エレメントの配列方向がターゲツト像としてのスリッ
ト像６′の長手方向に直交する方向に設定されている。
イメージセンサ２１は一端のエレメントから他端のエレ
メントまでスタートパルスに引き続くパルスによって順
次駆動され、各エレメントに対応した信号を時系列的（
二出力する。すなわち、イメージセンサ２１は２発振器
２２の出力を１／ｎ分周した分周回路２６からのクロッ
クパルスを基準にして周知の駆動回路２４にて駆動され
る。駆動回路２４は、端子Ａにスタートパルスを出力し
た後、端子Ｂにクロックパルスを出力する。
メントまでスタートパルスに引き続くパルスによって順
次駆動され、各エレメントに対応した信号を時系列的（
二出力する。すなわち、イメージセンサ２１は２発振器
２２の出力を１／ｎ分周した分周回路２６からのクロッ
クパルスを基準にして周知の駆動回路２４にて駆動され
る。駆動回路２４は、端子Ａにスタートパルスを出力し
た後、端子Ｂにクロックパルスを出力する。
イメージセンサ２１から出力される時系列的な測定信号
は、プリアンプ２５にて増幅された後、サンプルホール
ド回路２６にてサンプルホールドされた。後、ローパス
フィルタ２７（二て高周波成分をカットされる。ローパ
スフィルタ２７の出力信号は２割算回路２８の一入力端
子に入力されると共に、出力端子を割算回路２８の他入
力端子に入力されたピークホールド回路２９Ｃ：入力さ
れる。割算回路２８は、−入力端子の信号を他入力端子
の信号で割る如き構成であるので、その出力端子に表わ
れる信号は信号の絶対量（＝依存しない一入力端子の信
号に相似の一定振幅の信号となる。すなわち１割算回路
２８とピークホールド回路２９とで一種の自動利得制御
回路を構成する。ピークホールド回路２９の出力信号は
検出範囲制限用コンパレータ５１ｉ二人力され、ローパ
スフィルタ２７の出力信号があまりに小さい時は割算回
路２８の出力信号を後続の回帖（＝入力しないように割
算回路２８の出力端子（−接続されたアナログスイッチ
３０のオン、オフを制御する。アナログスイッチ３０を
通過した割算回・路２８の出力信号は波形整形用のコン
パレータ５２シ：てピーク位置に対応した矩形波（二変
換された後、データセレクタ３乙の制御端子とフリップ
フロップ６４のリセット端子Ｒに入力される。データセ
レクタ′５６の入力端子には発振器２２の出力と発振器
２２の出力をＨ分周した分周回路３５の出力とが入力さ
れており、制御端子に入力される信号によっていずれか
の信号を選択的に出力する。フリップフロップ３４は。
は、プリアンプ２５にて増幅された後、サンプルホール
ド回路２６にてサンプルホールドされた。後、ローパス
フィルタ２７（二て高周波成分をカットされる。ローパ
スフィルタ２７の出力信号は２割算回路２８の一入力端
子に入力されると共に、出力端子を割算回路２８の他入
力端子に入力されたピークホールド回路２９Ｃ：入力さ
れる。割算回路２８は、−入力端子の信号を他入力端子
の信号で割る如き構成であるので、その出力端子に表わ
れる信号は信号の絶対量（＝依存しない一入力端子の信
号に相似の一定振幅の信号となる。すなわち１割算回路
２８とピークホールド回路２９とで一種の自動利得制御
回路を構成する。ピークホールド回路２９の出力信号は
検出範囲制限用コンパレータ５１ｉ二人力され、ローパ
スフィルタ２７の出力信号があまりに小さい時は割算回
路２８の出力信号を後続の回帖（＝入力しないように割
算回路２８の出力端子（−接続されたアナログスイッチ
３０のオン、オフを制御する。アナログスイッチ３０を
通過した割算回・路２８の出力信号は波形整形用のコン
パレータ５２シ：てピーク位置に対応した矩形波（二変
換された後、データセレクタ３乙の制御端子とフリップ
フロップ６４のリセット端子Ｒに入力される。データセ
レクタ′５６の入力端子には発振器２２の出力と発振器
２２の出力をＨ分周した分周回路３５の出力とが入力さ
れており、制御端子に入力される信号によっていずれか
の信号を選択的に出力する。フリップフロップ３４は。
セット端子Ｓに駆動回路２４のセット信号が入力される
如く接続されており、セット信号の立ち上ｉＪ（’−て
セットされ、リセット端子Ｒに入力される矩形波の立ち
下りＣ二てリセットされる。データセレクタ３３にて選
択されたパルスとフリップフロップ６４の出力信号はア
ンド回路６６に入力され、アンド回路６６の出力するパ
ルス数はカウンタ３７（二て計数される。カウンタ５７
の計数値は・演算回路６８に入力される。演算回路６８
はまた。デジタルスイッチ６９から補正値を入力される
。
如く接続されており、セット信号の立ち上ｉＪ（’−て
セットされ、リセット端子Ｒに入力される矩形波の立ち
下りＣ二てリセットされる。データセレクタ３３にて選
択されたパルスとフリップフロップ６４の出力信号はア
ンド回路６６に入力され、アンド回路６６の出力するパ
ルス数はカウンタ３７（二て計数される。カウンタ５７
の計数値は・演算回路６８に入力される。演算回路６８
はまた。デジタルスイッチ６９から補正値を入力される
。
演算回路３８は、メモリー指定用の端子Ｍと演算開始指
定用の端子Ｎとを有する。演算回路６８（二て演算され
た結果は、デジタル表示器４０もしくはアナログ表示器
４１にて表示される。
定用の端子Ｎとを有する。演算回路６８（二て演算され
た結果は、デジタル表示器４０もしくはアナログ表示器
４１にて表示される。
このような構成であるから１例えば第１地点に対する第
２地点の傾斜を測定する（二は。
２地点の傾斜を測定する（二は。
第１地点に反射ミラー１６を配置し演算回路６８の端子
Ｍにメモリー指定を行なえば、その時のイメージセンサ
２１上のスリット像の位置し応じた値が記憶される。す
なわち、スリット像６′がイメージセンサ２１上（−第
４図の如く結像していたとすれば、駆動回路２４は第３
図（ａ）のスタートパルスを端子Ａに出力した後２分周
回路２６からの第３図（ｂ）の駆動パルスを出力する。
Ｍにメモリー指定を行なえば、その時のイメージセンサ
２１上のスリット像の位置し応じた値が記憶される。す
なわち、スリット像６′がイメージセンサ２１上（−第
４図の如く結像していたとすれば、駆動回路２４は第３
図（ａ）のスタートパルスを端子Ａに出力した後２分周
回路２６からの第３図（ｂ）の駆動パルスを出力する。
イメージセンサ２１は駆動パルスに同期して順次各エレ
メントからの信号を出力する。この信号はスリット像の
結像する位置（ユ対応して第３図（ｃ）の如き信号とな
・る。第３図（ｃ）の信号はサンプルホールド回路２６
（二て第６図（ａ）の信号に変形された後、ローパスフ
ィルタ２７（二て第３図（ｅ）の信号となる。第３図（
ｅ）の信号のピークが所定のレベルＶｒｅｆ １よりも
大きければ検出範囲制限用コンパレータ６１はアナログ
スイッチ３０をオンする。従って１割算回路６０の出力
信号は第６図（ｆ）の如く一定のピーク値Ｈな有する波
形に変換され、さらに波形整形用のコンパレータ６２に
て基準電圧Ｖｒｅｆ２を基準として第６図（ｇ）の信号
に変換される。データセレクタ３３は、波形整形用のコ
ンパレータ５２の出力がＬレベルのときは発振器２２を
アンド回路６６（二接続し、Ｈレベルのときは分周回路
３５をアンド回路６６に接続し、一方。
メントからの信号を出力する。この信号はスリット像の
結像する位置（ユ対応して第３図（ｃ）の如き信号とな
・る。第３図（ｃ）の信号はサンプルホールド回路２６
（二て第６図（ａ）の信号に変形された後、ローパスフ
ィルタ２７（二て第３図（ｅ）の信号となる。第３図（
ｅ）の信号のピークが所定のレベルＶｒｅｆ １よりも
大きければ検出範囲制限用コンパレータ６１はアナログ
スイッチ３０をオンする。従って１割算回路６０の出力
信号は第６図（ｆ）の如く一定のピーク値Ｈな有する波
形に変換され、さらに波形整形用のコンパレータ６２に
て基準電圧Ｖｒｅｆ２を基準として第６図（ｇ）の信号
に変換される。データセレクタ３３は、波形整形用のコ
ンパレータ５２の出力がＬレベルのときは発振器２２を
アンド回路６６（二接続し、Ｈレベルのときは分周回路
３５をアンド回路６６に接続し、一方。
フリップフロップ３４は、スタートパルスによってセッ
トされ波形整形用のコンパレータ３２の出力信号の立ち
下がり（二てリセットされるから、その出力信号は第６
図（ｈ）の如くなり、その結果、アンド回路３６の出力
パルスは、スタートパルスが生じた時刻ｔ、から波形整
形用のコンパレータ３２の出力信号の立ち上゛る時刻ｔ
ｔまでは周波数ｆ１のパルスを２時刻ｔ２から同信号の
立ち下がる時刻ｔ３までは周波数子のパルスを出力する
こ周波数で１のパルスで計数した場合の時間イメージセ
ンサ２１上のスリット像６′の中心位置に対応している
。従って、カウンタ６７の計数値を入力した演算回路６
８は、メモリー指定時（二おけるイメージセンサ２１上
のスリット像３′の中心位置に対応した値を基準値とし
て記憶できる。
トされ波形整形用のコンパレータ３２の出力信号の立ち
下がり（二てリセットされるから、その出力信号は第６
図（ｈ）の如くなり、その結果、アンド回路３６の出力
パルスは、スタートパルスが生じた時刻ｔ、から波形整
形用のコンパレータ３２の出力信号の立ち上゛る時刻ｔ
ｔまでは周波数ｆ１のパルスを２時刻ｔ２から同信号の
立ち下がる時刻ｔ３までは周波数子のパルスを出力する
こ周波数で１のパルスで計数した場合の時間イメージセ
ンサ２１上のスリット像６′の中心位置に対応している
。従って、カウンタ６７の計数値を入力した演算回路６
８は、メモリー指定時（二おけるイメージセンサ２１上
のスリット像３′の中心位置に対応した値を基準値とし
て記憶できる。
次（二反射ミラー１３を第２地点に移動し。
端子Ｎによって演算開始指定を行なえば、カウンタ３７
からは第２地点におけるイメージセンサ２１上のスリッ
ト像６′の中心位置に対応した値が得られ、演算回路乙
８は、第２地点（二て得られた値から基準値を減算して
ズレ量ｌを求め、対物レンズ５の焦点距離ｆとし９反射
ミラー１３の第１地点に対する第２地点の傾き（一対応
した値θをデジタル表示器４０に表示せしめる。また、
焦点板３と、イメるため、ディジタルスイッチ３９に補
正値を設定可能にしであるので演算回路３８は。
からは第２地点におけるイメージセンサ２１上のスリッ
ト像６′の中心位置に対応した値が得られ、演算回路乙
８は、第２地点（二て得られた値から基準値を減算して
ズレ量ｌを求め、対物レンズ５の焦点距離ｆとし９反射
ミラー１３の第１地点に対する第２地点の傾き（一対応
した値θをデジタル表示器４０に表示せしめる。また、
焦点板３と、イメるため、ディジタルスイッチ３９に補
正値を設定可能にしであるので演算回路３８は。
〔（第２地点におけるカウンタ３７の値）−（基°準値
）〕×〔補正係数〕の演算をし、この値を周率θ（分１
秒読み）に換算しデジタル表示器４０に表示する。
）〕×〔補正係数〕の演算をし、この値を周率θ（分１
秒読み）に換算しデジタル表示器４０に表示する。
また、演算回路３８による演算結果（デジタル信号）は
Ｄ−Ａ変換機能を有するアナログ表示器４１に入力され
るのでアナログ的な表示を得ることもでき、これは工作
機械の載物台の走り精度を測定する時などに連続表示を
行なう場合に有用である。また、測定開始時に反射ミラ
ー１３とオートコリメータを設置し、基準位置において
基準であることをスイッチにて指示するのみの操作で従
来の如く測定毎にターゲットとスリット位置を合致させ
る必要がない。
Ｄ−Ａ変換機能を有するアナログ表示器４１に入力され
るのでアナログ的な表示を得ることもでき、これは工作
機械の載物台の走り精度を測定する時などに連続表示を
行なう場合に有用である。また、測定開始時に反射ミラ
ー１３とオートコリメータを設置し、基準位置において
基準であることをスイッチにて指示するのみの操作で従
来の如く測定毎にターゲットとスリット位置を合致させ
る必要がない。
また、前述のとと＜ＤＡ変換することによりアナログ出
力が全範囲にゎたりえられるので、ステージの走り精度
測定等の連続測定が可能となり、しかも、ＤＡ変換のレ
ンジを切換えるのみで任意の測定レンジを設定できる（
従来は振動スリットの振巾の約％の領域。
力が全範囲にゎたりえられるので、ステージの走り精度
測定等の連続測定が可能となり、しかも、ＤＡ変換のレ
ンジを切換えるのみで任意の測定レンジを設定できる（
従来は振動スリットの振巾の約％の領域。
約５秒の範囲に固定されていた）。
さら（二従来の装置のよう（二純粋なアナログ処理でな
くデジタル的（二出力を得られるので。
くデジタル的（二出力を得られるので。
振動、空気のゆらぎ等により測定値がばらつく場合、カ
ウント値の積算平均を求める機能を演算回路３８に付加
するのみで安定な測定値を容易（二えられる利点がある
。本例ではイメージセンサ２１の駆動パルスと、カウン
トパルスの周波数比をｎにして内挿して第６図（ｆ）の
ピークを求めているのであるが、測定精度はイメージセ
ンサのエレメントのピッチが細かい程向上する。しかし
ながら、イメージセンサ２１のピッチは製造上現在のと
ころ１０数μ以上であるので精度向上のためにピッチを
細かくするためには、イメージセンサ２１をスリット像
３′に対して第５図のように斜めに設置すれば良い。こ
の場合、イメージセンサの角度が測定精度に直接影響す
るので本来は厳密な位置出しが必要であるが。
ウント値の積算平均を求める機能を演算回路３８に付加
するのみで安定な測定値を容易（二えられる利点がある
。本例ではイメージセンサ２１の駆動パルスと、カウン
トパルスの周波数比をｎにして内挿して第６図（ｆ）の
ピークを求めているのであるが、測定精度はイメージセ
ンサのエレメントのピッチが細かい程向上する。しかし
ながら、イメージセンサ２１のピッチは製造上現在のと
ころ１０数μ以上であるので精度向上のためにピッチを
細かくするためには、イメージセンサ２１をスリット像
３′に対して第５図のように斜めに設置すれば良い。こ
の場合、イメージセンサの角度が測定精度に直接影響す
るので本来は厳密な位置出しが必要であるが。
本装置では補正演算を行なうことができるので、大まか
な調整をした後９個別Ｃ：補正係数を導入することがで
き位置出しの煩わしさを解消できる。また補正演算を行
なわず２発振器を２つ装備し一方の周波数を連続可変シ
ーすること（二よりイメージセンサの駆動パルスとカウ
ントパルスの周波数比の調整をすることにより上述の補
正演算の代わりを成さしめることは容易（−行なえる。
な調整をした後９個別Ｃ：補正係数を導入することがで
き位置出しの煩わしさを解消できる。また補正演算を行
なわず２発振器を２つ装備し一方の周波数を連続可変シ
ーすること（二よりイメージセンサの駆動パルスとカウ
ントパルスの周波数比の調整をすることにより上述の補
正演算の代わりを成さしめることは容易（−行なえる。
なお２本例ではターゲットとしてスリットを用いたが、
特にスリット（＝限定されることはない。
特にスリット（＝限定されることはない。
また以上の実施例は暗視野の場合の例であったが、明視
野の場合であっても同様に行なえることは言うまでもな
い。
野の場合であっても同様に行なえることは言うまでもな
い。
本発明によれば、実施例の中に述べたごとく操作性が大
きく向上したこと、広範囲にわたって出力かえられるこ
と、調整が容易であること等の利点があるばかりでなく
、光電式マイクロメータ、振動スリット等の機械的可動
部分がないことＣ二より信頼性の向上が期待でき、さら
に、マイクロメータのネジのピッチ精度、ネジのガタ等
域−より、精度、再現性に影響をうけていたが、これに
対応する誤差としてはイメージセンサのピッチ誤差のみ
で。
きく向上したこと、広範囲にわたって出力かえられるこ
と、調整が容易であること等の利点があるばかりでなく
、光電式マイクロメータ、振動スリット等の機械的可動
部分がないことＣ二より信頼性の向上が期待でき、さら
に、マイクロメータのネジのピッチ精度、ネジのガタ等
域−より、精度、再現性に影響をうけていたが、これに
対応する誤差としてはイメージセンサのピッチ誤差のみ
で。
この誤差はネジの誤差にくらべ非常に小さく精度、再現
性とも向上することが期待できる。
性とも向上することが期待できる。
第１図は従来の光電式オートコリメータの説明図。
第２図は第１図の従来技術と異なる部分のみを示した図
。 第６図は第２図の動作を説明するための波形図、第４図
はイメージセンサとターゲツト像の関係を示す図。 第５図は検出感度を向上させるためのイメージセンサの
配置を説明するための図である。 φ 〔主要部分の符号の説明〕 １３． 反射ミラー ２１、 イメージセンサ ２６、 サンプルホールド回路 ２Ｚ ローパスフィルタ ３０、 割算回路 ６２、 波形整形用のコンパレータ３６、 デ
ータセレクタ ６Ｚ カウンタ ６８、 演算回路 ４０、 デジタル表示器 ４１、 アナログ表示器
。 第６図は第２図の動作を説明するための波形図、第４図
はイメージセンサとターゲツト像の関係を示す図。 第５図は検出感度を向上させるためのイメージセンサの
配置を説明するための図である。 φ 〔主要部分の符号の説明〕 １３． 反射ミラー ２１、 イメージセンサ ２６、 サンプルホールド回路 ２Ｚ ローパスフィルタ ３０、 割算回路 ６２、 波形整形用のコンパレータ３６、 デ
ータセレクタ ６Ｚ カウンタ ６８、 演算回路 ４０、 デジタル表示器 ４１、 アナログ表示器
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 光電式オートコリメータにおいて。 反射ターゲツト像の結像位置に該像の位置に応じた電気
信号を出力するイメージセンサを配設し、該イメージセ
ンサの出力信号を被検物の傾きＣ二変換する変換手段と
該変換手段に接続されて前記傾きを表示する表示手段と
を設けたことを特徴とする光電式オートコリメータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2818682A JPS58146804A (ja) | 1982-02-25 | 1982-02-25 | 光電式オ−トコリメ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2818682A JPS58146804A (ja) | 1982-02-25 | 1982-02-25 | 光電式オ−トコリメ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58146804A true JPS58146804A (ja) | 1983-09-01 |
Family
ID=12241662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2818682A Pending JPS58146804A (ja) | 1982-02-25 | 1982-02-25 | 光電式オ−トコリメ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58146804A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6054598U (ja) * | 1983-09-22 | 1985-04-17 | 渋谷工業株式会社 | 定量式充填装置の充填量変更装置 |
| JPS6082908A (ja) * | 1983-10-14 | 1985-05-11 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 光電式オ−トコリメ−タ |
| JPS61275801A (ja) * | 1985-05-31 | 1986-12-05 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 回折格子露光装置 |
| JPS61275802A (ja) * | 1985-05-31 | 1986-12-05 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 回折格子露光装置 |
| EP0253247A2 (de) * | 1986-07-18 | 1988-01-20 | Fried. Krupp Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Fotoelektrisch abgetasteter Kollimator |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS55124002A (en) * | 1979-03-17 | 1980-09-24 | Tokyo Optical Co Ltd | Optical position detector |
-
1982
- 1982-02-25 JP JP2818682A patent/JPS58146804A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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